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      微納復(fù)合結(jié)構(gòu)模板的制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):9499801

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      微納復(fù)合結(jié)構(gòu)在許多領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用價(jià)值,例如具有自清潔功能的超親水/超疏水結(jié)構(gòu)、可自由行走于墻壁的蜘蛛人手足結(jié)構(gòu)等等。目前,微納復(fù)合結(jié)構(gòu)的制作通常需要分別進(jìn)行微結(jié)構(gòu)制作和納結(jié)構(gòu)制作,既兩步制作來(lái)完成,這不僅增加了制作成本,而且制作過(guò)程中還需要保證微、納結(jié)構(gòu)的高精度對(duì)準(zhǔn)。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供一種,可在壓印工藝中,利用該模板實(shí)現(xiàn)微納復(fù)合結(jié)構(gòu)的一步式、低成本制造。為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案,包括以下步驟(1)將硅片或ΙΤ0玻璃表面清潔干凈...
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