技術(shù)編號：9536022
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于機械設(shè)計與制造，具體涉及一種并聯(lián)式宏微高精度運動平臺ο背景技術(shù)隨著現(xiàn)代科學技術(shù)的發(fā)展，對具有高精度和分辨率的大尺度運動平臺的需求越來越迫切，這類平臺在諸如1C制造裝備、超精密加工和測量、生物醫(yī)學工程、航天航空等領(lǐng)域都有著廣泛的應用。傳統(tǒng)大尺度精密運動平臺一般采用伺服電機驅(qū)動和精密滾珠絲杠傳動的方式，也有采用直線電機直接驅(qū)動的方式。這類運動平臺的傳動部件在運動過程中不可避免的存在間隙、非線性摩擦、溫升、磨損等，因此難以獲得很高的運動精度，一般都限制...
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