技術(shù)編號：9580695
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。在目前的半導體產(chǎn)業(yè)中，集成電路產(chǎn)品主要可分為三大類型邏輯、存儲器和模擬電路，其中存儲器件在集成電路產(chǎn)品中占了相當大的比例。而在存儲器件中，近年來閃存器件(flash memory)的發(fā)展尤為迅速。它的主要特點是在不加電的情況下能長期保持存儲的信息，具有集成度高、較快的存取速度、易于擦除和重寫等多項優(yōu)點，因而在微機、自動化控制等多項領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。現(xiàn)有的閃存器件的結(jié)構(gòu)示意圖，包括半導體襯底，位于所述半導體襯底上分立的存儲晶體管柵極堆疊和選擇晶體管柵極堆...
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