技術(shù)編號：9593263
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。外延工藝不僅是要在襯底表面生長一層與襯底材料晶格結(jié)構(gòu)完全一致的薄層，還要對外延層進(jìn)行摻雜，形成P型或N型有源層。Si外延工藝在高溫下進(jìn)行，保溫、隔熱是必須采取的措施，且外延生長速率與氣體流速緊密相關(guān)，在一定的工藝溫度下，外延層厚度和摻雜均勻性主要受氣體流速、氣體流均勻性等因素影響。在保證氣體流速、氣體流均勻性一定的情況下，石墨盤旋轉(zhuǎn)可以有效提高外延片的均勻性，為了保證氣體在運輸過程中的純度，保證管道的低泄漏率，外延工藝中需要石墨盤始終處于旋轉(zhuǎn)狀態(tài)。通常的旋...
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