技術(shù)編號：9607206
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。隨著材料科學(xué)的不斷發(fā)展，材料的結(jié)構(gòu)向二維方向發(fā)展為充分發(fā)揮材料潛能提供了一種重要途徑。薄膜科學(xué)是開發(fā)新材料和新器件非常重要的領(lǐng)域。高技術(shù)材料由體材向薄膜轉(zhuǎn)移，從而使鍍膜器件迅速發(fā)展起來。靶材是表面鍍膜技術(shù)中的關(guān)鍵材料，靶材性能的優(yōu)劣直接影響薄膜性能的好壞，而靶材的性能主要由靶材生產(chǎn)工藝決定。目前靶材生產(chǎn)方法主要有熔煉法和粉末冶金法。熔煉工藝能生產(chǎn)多數(shù)金屬靶材，但少數(shù)靶材由于合金成分熔點差距太大、靶材要求嚴(yán)格控制晶粒尺寸等因素而只能采用粉末冶金工藝制備。熱等...
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