技術(shù)編號(hào)：9609670
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明設(shè)及一種多層石墨締W及具有該多層石墨締的蓄電裝置和半導(dǎo)體裝置。背景技術(shù) 近年來，石墨締被探討用于半導(dǎo)體裝置中的具有導(dǎo)電性的電子構(gòu)件。石墨締是指 石墨中的水平層，即由碳原子構(gòu)成的六元環(huán)在平面方向上連接而成的碳層，尤其兩層W上 且一百層W下的該碳層被疊層時(shí)稱為多層石墨締。 由于石墨締具有化學(xué)穩(wěn)定性和良好的電特性，所W有望應(yīng)用于包括在半導(dǎo)體裝置 中的晶體管的溝道區(qū)、通孔、布線等。 另外，在專利文件1中，為了提高裡離子電池的電極材料的導(dǎo)電性，將石墨締覆蓋 ...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。