技術(shù)編號(hào):9658904
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 自2013年開(kāi)始,由于技術(shù)進(jìn)步我國(guó)多晶硅行業(yè)普遍實(shí)施了冷氫化改造。由此,多 晶硅行業(yè)飽受指責(zé)的副產(chǎn)--四氯化硅的難題得以基本解決,多晶硅裝置四氯化硅廢液的 副產(chǎn)數(shù)量由之前的每噸多晶硅10~20噸降低至0. 5~2噸。這基本改變了之前多晶硅行 業(yè)高污染的情況。 冷氫化改造后多晶硅裝置副產(chǎn)的四氯化硅廢液成分發(fā)生了顯著變化,廢液中聚合 氯硅烷的含量顯著上升。聚合氯硅烷產(chǎn)生自多晶硅還原爐中氯硅烷和硅棒的反應(yīng)以及冷氫 化過(guò)程中氯硅烷和金屬硅的反應(yīng)。 由氣質(zhì)聯(lián)用分析...
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