技術(shù)編號:9689371
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種高密度存儲器裝置,且特別是有關(guān)于一種存儲器裝置,其中配置有存儲單元的多個面至三維陣列中。背景技術(shù)由于集成電路中裝置的臨界尺寸微縮化已至一般存儲單元技術(shù)的極限,設(shè)計(jì)者不斷尋求疊層多個存儲單元面(Plane)的技術(shù),藉此達(dá)到更大的儲存容量,并降低每位的成本。圖1為三維集成電路裝置的立體圖,其使用垂直柵結(jié)構(gòu)。圖1中的裝置100包括在集成電路基底上,由導(dǎo)電條紋與絕緣條紋在z方向上交錯構(gòu)成的疊層。圖1所示的例子中,多層陣列形成在絕緣層上,并包括多個...
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