技術(shù)編號：9689772
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微波器件，具體是一種基于機電親合的分布式MEMS移相器電 容橋高度公差的確定方法。本發(fā)明涉及分布式MEMS移相器結(jié)構(gòu)設(shè)計制造公差的分配方法， 可用于指導(dǎo)分布式MEMS移相器的MEMS橋高度公差的快速確定及結(jié)構(gòu)方案的評價。背景技術(shù)隨著RFMEMS(Micro_electromechanicalSystems)技術(shù)的發(fā)展，MEMS移相器，因 其小型化、損耗低、成本低、性能好等優(yōu)勢，已廣泛應(yīng)用于各種雷達和衛(wèi)星導(dǎo)航等領(lǐng)域中。其 中分布式MEMS移相器相對...
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