技術(shù)編號：9703433
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。采用惰性氣體隔離空氣，使含碳氣體在高頻偏壓電場作用下發(fā)生等離子體化學(xué)氣相沉積反應(yīng)，生成類金剛石(英文簡稱DLC)的技術(shù)設(shè)計的非真空DLC塑料容器生產(chǎn)裝置，屬于等離子體化學(xué)氣相沉積。2、背景技術(shù)在高頻電場作用下，含碳氣體會發(fā)生電離反應(yīng)并形成等離子體，帶正電荷的碳原子在偏壓電場作用下向偏壓負極移動聚集，并與氫氣發(fā)生還原反應(yīng)，生成由碳原子構(gòu)成的類金剛石沉積在高頻偏壓電場負極一側(cè)。如果在高頻偏壓電場中存在空氣，會不利于類金剛石的沉積，所以等離子體化學(xué)氣相沉積類金剛...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。