技術(shù)編號：9713468
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。專利說明光學(xué)部件相關(guān)申請的交叉引用德國專利申請102013213842.3的內(nèi)容通過引用并入本文。本發(fā)明涉及一種光學(xué)部件。本發(fā)明還涉及一種包括這種部件的光學(xué)組合裝置。此夕卜，本發(fā)明涉及一種投射曝光設(shè)備的照明光學(xué)單元和照明系統(tǒng)以及一種包括這種光學(xué)組合裝置的投射曝光設(shè)備。最后，本發(fā)明涉及一種制造微結(jié)構(gòu)或納米結(jié)構(gòu)部件的方法。背景技術(shù)當(dāng)使用光學(xué)部件時，它們在光路中的布置具有很大的重要性。在該情況下，可區(qū)分在光路方向上的定位和垂直于光路的位置。取決于應(yīng)用，這些位置中...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。