技術(shù)編號(hào)：9802806
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。 ZnO薄膜是一種具有廣泛用途的材料，其性質(zhì)隨摻雜組分和制備條件的不同而表 現(xiàn)出很大的差異性。ZnO薄膜的應(yīng)用主要集中在透明導(dǎo)電性、壓電性、光電性、氣敏性、壓敏 性等方面。ZnO材料難以達(dá)到完美的化學(xué)計(jì)量比，天然存在著鋅填隙和氧空位，除了鋅填隙 和氧空位這兩種主導(dǎo)的具有施主性質(zhì)的缺陷外，ZnO還有氧填隙、氧錯(cuò)位和鋅空位等缺陷。 因此，ZnO材料的本征態(tài)為η型極性半導(dǎo)體，無論是塊體還是薄膜都具有非常弱的導(dǎo)電性。為 了獲得具有良好導(dǎo)電性的 ZnO 材料，人們用...
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