技術(shù)編號：9812523
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。隨著半導(dǎo)體器件尺寸不斷縮小，使用傳統(tǒng)的平版印刷技術(shù)(Lithography)已很難獲得更精細的節(jié)距圖案。作為制作更小尺寸圖案問題的解決方案,定向自組裝(Directed self-assembly,DSA)技術(shù)已經(jīng)引起人們的關(guān)注。DSA技術(shù)是將嵌段共聚物(Block Copolymer,BCP)或是聚合物混合物沉積在襯底上，經(jīng)由特定工藝以“指揮”其形成有序的結(jié)構(gòu)。DSA能夠形成小節(jié)距圖案。在適當(dāng)條件下，此類共聚物嵌段分離為微域(也稱為“域”，(domain...
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