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技術(shù)編號：9827160

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本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，特別涉及。背景技術(shù)BAff (Bulk acoustic wave,體聲波)器件或者 FBAR(Film bulk acousticresonator,薄膜體聲波諧振器)器件現(xiàn)在廣泛應(yīng)用于4G設(shè)備(LTE,Long Term Evolut1n,長期演進)以獲得高Q因子(即品質(zhì)因子)。然而，對于晶片級封裝方法，現(xiàn)在可用的FBAR工藝全部是在帽蓋組件CAP晶片101上應(yīng)用后通孔(TSV，Through Silicon Vias，硅通孔)工...
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