技術(shù)編號:9965858
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。多晶硅鑄錠的制備過程包括長晶、退火和冷卻三個階段,目前,長晶和退火階段需要對整個爐體加熱,進行長晶及退火,但是長晶及退火過程一般需要非常高的溫度,并且時長約為29?30h,因此對整個爐體加熱需要消耗非常的能量。實用新型內(nèi)容有鑒于此,本實用新型提出一種多晶硅鑄錠爐,該多晶硅鑄錠爐解決了多晶硅鑄錠生長過程中能耗高的技術(shù)問題。本實用新型的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的—種多晶硅鑄錠爐,包括爐體、坩禍、真空裝置、加熱裝置、保溫套筒、升降裝置;所述爐體內(nèi)所述升降裝置,所述升降...
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