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      微電子設備清洗劑的制作方法

      文檔序號:1559751閱讀:342來源:國知局

      專利名稱::微電子設備清洗劑的制作方法
      技術領域
      :本發(fā)明涉及一種清洗劑,具體地說,涉及一種水基型的微電子設備清洗劑。
      背景技術
      :微電子設備部件的清洗是該設備在進行加工、裝配、儲存和維修等過程中不可缺少的工藝環(huán)節(jié)。由于微電子設備的電子精密元器件的用量相當丸因此對這類電子部件清洗的工作量和清洗劑的使用量也肯定會相應的增大。目前,對微電子部件的清洗方法,主要有浸洗法、噴洗法以及超聲波清洗法等,無論采取哪種清洗方法,都需要使用清洗劑。典型地程序是先在低pH值范圍的情況下進行清洗,去除礦物質垢污染物,然后再進行高PH值清洗,去除有機物。有些清洗溶液中加入了洗滌劑以幫助去除嚴重的生物和有機碎片垢物,同時,可用螯合物來輔助去除膠體、有機物、微生物及硫酸鹽垢。現(xiàn)有用于無線電設備清洗劑多為溶劑型,這些清洗劑存在的缺點,首先是清洗效果不很理想,清洗后的電子部件料容易出現(xiàn)黑色的表層,給后續(xù)加工帶來麻煩,特別對精密元器件的加工造成困惑;其次是對設備腐蝕性較強,增加設備成本;再者,清洗溫度和清洗時間很難同時達到理想條件,在清洗效果不變的情況下,往往是在高溫下清洗,可以縮短清洗時間,清洗溫度降低至室溫的情況下,清洗時間就需要延長,一般在室溫條件下清洗時間需要10到30分鐘。因此有待研制一種水基型的微電子清洗齊丄可在室溫條件下提高清洗效果,還能降低對設備的腐蝕性。
      發(fā)明內容本發(fā)明的主要目的在于克服現(xiàn)有產品存在的上述缺點,提供一種微電子設備清洗劑,能夠徹底清洗無線電設備表面油污和銹斑,并能夠防止無線電設備表面再次形成銹斑,還能縮短清洗時間,提高工作效率。本發(fā)明的微電子設備清洗劑,按照重量百分比包括如下組份無機鹽310表面活性劑510滲透劑510緩蝕劑15PH調節(jié)劑16去離子水余量,其中,所說的無機鹽為磷酸鈉、磷酸二鈉、硫酸鈉、硫酸三鉀或氯化鉀;所說的表面活性劑是非離子型表面活性劑,為脂肪醇聚氧乙稀醚或垸基醇酰胺;所說的滲透劑是脂肪醇聚氧乙烯醚或者乙二醇醚類化合物;所說的緩蝕劑為苯駢三氮唑鈉或鎢酸鈉;所說的PH調節(jié)劑是無機堿、有機堿或者其組合;無機堿是氫氧化鈉或氫氧化鉀;有機堿是多羥多胺和胺中的一種或多種。優(yōu)選地,本發(fā)明的微電子設備清洗劑,按照重量百分比包括如下組份:無機鹽510表面活性劑58滲透劑58緩蝕劑35PH調節(jié)劑26去離子水余量,其中,所說的無機鹽為磷酸鈉;所說的表面活性劑和滲透劑脂肪醇聚氧乙烯醚為聚合度為15的脂肪醇聚氧乙烯醚、聚合度為20的脂肪醇聚氧乙烯醚、聚合度為35的脂肪醇聚氧乙烯醚或者聚合度為40的脂肪醇聚氧乙烯醚;所說的表面活性劑垸基醇酰胺為月桂酰單乙醇胺;所說的滲透劑劑乙二醇醚類化合物為是乙二醇乙醚和乙二醇丁醚中的一種或者兩種;所說的緩蝕劑為苯駢三氮唑鈉;所說的PH調節(jié)劑多羥多胺為三乙醇胺、四羥基乙二胺、六羥基丙基丙二胺、乙二胺或四甲基氫氧化銨。更優(yōu)選地,本發(fā)明的微電子設備清洗劑,其特征在于,按照重量百分比包括如下組份磷酸鈉3聚合度為20的脂肪醇聚氧乙烯醚5乙二醇乙醚10苯駢三氮唑鈉1氫氧化鉀2去離子水79。本發(fā)明的清洗劑的PH值為11至12,顏色為微黃,無剌激性氣味,比重為1.01.1。本發(fā)明的微電子設備清洗劑,具有如下技術效果1)本發(fā)明配方科學合理,生產工藝簡單,不需要特殊設備;2)清洗能力強,清洗時間短節(jié)省人力和工時,提高工作效率且具有除銹和防銹功效;3)為水溶性清洗劑,對設備的腐蝕性低,使用安全可靠。具體實施例方式本發(fā)明的實施例所使用的原料及設備,均為市售產品。實施例1本實施例中,微電子設備清洗劑各組分的重量百分比如下:組分重量百分比%磷酸鈉3聚合度為20的脂肪醇聚氧乙,5乙二醇乙醚10苯駢三氮唑鈉1氫氧化鉀2去離子水79制備方法按照上述比例準備各組分,在室溫下將上述組分依次溶于去離子水中,攪拌混合均勻,即成為本發(fā)明之清洗劑成品。實施例2本實施例中,微電子設備清洗劑各組分的重量百分比如下<table>tableseeoriginaldocumentpage8</column></row><table>制備方法按照上述比例準備各組分,在室溫下將上述組分依次溶于去離子水中,攪拌混合均勻,即成為本發(fā)明之清洗劑成品。實施例3本實施例中,微電子設備清洗劑各組分的重量百分比如下<table>tableseeoriginaldocumentpage8</column></row><table>制備方法按照上述比例準備各組分,在室溫下將上述組分依次溶于去離子水中,攪拌混合均勻,即成為本發(fā)明之清洗劑成品。實施例4:效果分析選用實施例1至3中任意一種配方的微電子設備清洗劑,清洗微電子設備清洗時采用28khz的超聲波清洗設備,將微電子設備放置在超聲波清洗設備中,加入清洗劑和20倍體積的純水混合的液體,控制清洗溫度為4(TC,清洗6分鐘,取出。清洗后,采用光學顯微鏡放大100倍的方法檢測,微電子設備表面無油污殘留,表面光亮,清洗后24小時內無線電設備表面仍無發(fā)烏以及銹斑現(xiàn)象。以上所述,僅是本發(fā)明的較佳實施例而已,并非對本發(fā)明作任何形式上的限制,凡是依據(jù)本發(fā)明的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾,均仍屬于本發(fā)明技術方案的范圍內。權利要求1、一種微電子設備清洗劑,其特征在于,按照重量百分比包括如下組份無機鹽3~10表面活性劑5~10滲透劑5~10緩蝕劑1~5PH調節(jié)劑1~6去離子水余量,其中,所說的無機鹽為磷酸鈉、磷酸二鈉、硫酸鈉、硫酸三鉀或氯化鉀;所說的表面活性劑是非離子型表面活性劑,為脂肪醇聚氧乙烯醚或烷基醇酰胺;所說的滲透劑是脂肪醇聚氧乙烯醚或者乙二醇醚類化合物;所說的緩蝕劑為苯駢三氮唑鈉或鎢酸鈉;所說的PH調節(jié)劑是無機堿、有機堿或者其組合;無機堿是氫氧化鈉或氫氧化鉀;有機堿是多羥多胺和胺中的一種或多種。2、根據(jù)權利要求1所述的微電子設備清洗劑,其特征在于,按照重量百分比包括如下組份無機鹽510表面活性劑58滲透劑58緩蝕劑35PH調節(jié)劑26去離子水余量,其中,所說的無機鹽為磷酸鈉;所說的表面活性劑和滲透劑脂肪醇聚氧乙烯醚為聚合度為15的脂肪醇聚氧乙烯醚、聚合度為20的脂肪醇聚氧乙烯醚、聚合度為35的脂肪醇聚氧乙烯醚或者聚合度為40的脂肪醇聚氧乙烯醚;所說的表面活性劑烷基醇酰胺為月桂酰單乙醇胺;所說的滲透劑劑乙二醇醚類化合物為是乙二醇乙醚和乙二醇丁醚中的一種或者兩種;所說的緩蝕劑為苯駢三氮唑鈉;所說的ra調節(jié)劑多羥多胺為三乙醇胺、四羥基乙二胺、六羥基丙基丙二胺、乙二胺或四甲基氫氧化銨。3、根據(jù)權利要求1或2所說的微電子設備清洗劑,其特征在于,按照重量百分比包括如下組份磷酸鈉3聚合度為20的脂肪醇聚氧乙烯醚5乙二醇乙醚10苯駢三氮唑鈉1氫氧化鉀2去離子水79。全文摘要本發(fā)明涉及一種微電子設備清洗劑,按照重量百分比包括如下組份無機鹽為3~10,表面活性劑為5~10,滲透劑為5~10,緩蝕劑為1~5,pH值調節(jié)劑為1~6;去離子水余量。本發(fā)明的微電子設備清洗劑,具有如下技術效果1)本發(fā)明配方科學合理,生產工藝簡單,不需要特殊設備;2)清洗能力強,清洗時間短,節(jié)省人力和工時,提高工作效率,且具有除銹和防銹功效;3)為水溶性清洗劑,對設備的腐蝕性低,使用安全可靠。文檔編號C11D1/72GK101463296SQ20081023555公開日2009年6月24日申請日期2008年11月28日優(yōu)先權日2008年11月28日發(fā)明者仲躋和申請人:江蘇海迅實業(yè)集團股份有限公司
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