專利名稱：對浮子流量計進行在線清洗方法及循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及循環(huán)水冷卻技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及對浮子流量計進行在線清洗的方法及 一種循環(huán)冷卻水系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前，各種高功率的工業(yè)設(shè)備(包括半導(dǎo)體制造設(shè)備)都會用到不同形式的冷卻 系統(tǒng)，而循環(huán)冷卻水系統(tǒng)(recirculating cooling water system)以其低廉的成本和高冷 卻效率，在業(yè)界得到了最為廣泛的應(yīng)用。循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的基本構(gòu)造如圖1所示，主要由冷卻設(shè)備101、水泵102、進水口 103、出水口 104、流量計105以及依次連接上述部分的管道組成，箭頭表示循環(huán)冷卻水的流 向。在工作狀態(tài)下，冷水流過需要降溫的生產(chǎn)設(shè)備106(常稱換熱設(shè)備，如換熱器、冷凝器、 反應(yīng)器)后，溫度上升；升溫的水流過冷卻設(shè)備101則水溫回降，除生產(chǎn)設(shè)備106的物料泄 漏外，可用水泵102將再次冷卻的水送回生產(chǎn)設(shè)備106再次使用，管道外通常用風(fēng)散熱。流 量計105的作用是檢測循環(huán)冷卻水系統(tǒng)中水的流動速度，如果水流速過慢或過快都會造成 對生產(chǎn)設(shè)備106的冷卻不夠，因此需要根據(jù)流量計105來調(diào)節(jié)水泵102，是循環(huán)冷卻水保持 適宜的流速。循環(huán)冷卻水系統(tǒng)使冷卻水能夠得到循環(huán)利用，使冷水的用量大大降低，常可節(jié)約 95%以上。冷卻水占工業(yè)用水量的70%左右，循環(huán)冷卻水系統(tǒng)起了節(jié)約大量工業(yè)用水的作用。在實際工業(yè)應(yīng)用中，浮子流量計是最常采用的流量計。浮子流量計的流量元件是 由一根自下向上擴大的垂直錐管和一個沿著錐管軸上下移動的浮子組所組成。工作原理如 圖2所示，被測流體從下向上經(jīng)過錐管201和浮子202形成的環(huán)隙203時，浮子202上下端 產(chǎn)生差壓形成上升力，當(dāng)浮子202所受上升力大于浸在流體中浮子重量時，浮子202便向上 移動，環(huán)隙203的面積隨之增大，環(huán)隙203處流體流速立即下降，使浮子202上下端差壓降 低，作用于浮子202的上升力亦隨著減少，直到上升力等于浸在流體中浮子重量時，浮子便 穩(wěn)定在某一高度。因此浮子202在錐管201中高度和通過的流量有對應(yīng)關(guān)系。冷卻水在使用過程中，水溫周期性地循環(huán)升高與下降，雖然其物理性狀變化不大， 但長期循環(huán)使用后，水中某些溶解物濃縮或消失、塵土積累、微生物滋長，造成設(shè)備、管道內(nèi) 垢物沉積或?qū)饘僭O(shè)備管道腐蝕。循環(huán)冷卻水系統(tǒng)在使用較長時間(具體時間長短取決于 水質(zhì))后，都會表現(xiàn)出一些故障，例如冷卻水流量下降且無法調(diào)節(jié)，冷卻水流量異常波動， 流量計浮子卡死等。以上這些現(xiàn)象都是循環(huán)冷卻水管路出現(xiàn)不同程度淤塞的直接體現(xiàn)。如 果置之不理，短期內(nèi)可能會造成設(shè)備異常故障，輕則影響生產(chǎn)提高設(shè)備故障率，重則對設(shè)備 甚至對人員造成永久性傷害；而長期內(nèi)隱患不除則有可能導(dǎo)致整個循環(huán)冷卻水系統(tǒng)堵死。浮子流量計的工作特點導(dǎo)致了垢物沉積比較容易出現(xiàn)在浮子流量計中。而且，浮 子流量計的作用是檢測循環(huán)冷卻水的流速，浮子流量計由于垢物沉積出現(xiàn)異常容易使整個 循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的工作狀態(tài)造成巨大影響。因此對循環(huán)冷卻水系統(tǒng)中浮子流量計的清洗是整個清洗工作中的重點。現(xiàn)有技術(shù)中通常采用的循環(huán)冷卻水系統(tǒng)中浮子流量計的清洗方法 為關(guān)閉水泵102，打開出水口 104，將循環(huán)冷卻水系統(tǒng)中的循環(huán)冷卻水排排出；將浮子流量計從循環(huán)冷卻水系統(tǒng)拆卸下來，并對其進行清洗；清洗完畢后再將浮子流量計裝到循環(huán)冷卻水系統(tǒng)中；以及關(guān)閉出水口 104，打開進水口 103，將新的冷卻水(也可以是清洗前排出的循環(huán)冷 卻水)注入循環(huán)冷卻水系統(tǒng)中，并開啟水泵使冷卻水在系統(tǒng)中循環(huán)起來。這樣做會導(dǎo)致以下問題1、清洗過程中循環(huán)冷卻水系統(tǒng)無法工作，因此還需要使工作設(shè)備停機，導(dǎo)致清洗 成本較高，因此清洗頻率不能太高，而清洗時間間隔過長又會導(dǎo)致難以清洗掉沉積的垢污， 造成惡性循環(huán)；2、浮子流量計的拆卸和安裝極為不便，由于受到狹小工作區(qū)域的限制，而使得清 洗時間絕大部分都消耗在浮子流量計的拆卸和安裝上。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的在于，提出對浮子流量計進行在線清洗的方法，可以無需 拆卸浮子流量計即可實現(xiàn)對浮子流量計的清洗。本發(fā)明實施例提出的一種對浮子流量計進行在線清洗的方法，所述浮子流量計安 裝于循環(huán)冷卻水系統(tǒng)中，其兩端分別通過管道與循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的其他部分連接，所述浮 子流量計的兩端分別安裝第一清洗閥門和第二清洗閥門；所述在線清洗方法包括如下步 驟保持循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的進水口和出水口處于關(guān)閉狀態(tài)的情況下，開啟第一清洗閥 門和第二清洗閥門；用高壓水槍向第一清洗閥門內(nèi)進行噴水，所噴出的水流對浮子流量計進行沖洗， 多余的水從第二清洗閥門流出，待流量計暢通后關(guān)閉第一清洗閥門和第二清洗閥門。本發(fā)明實施例提出的另一種對浮子流量計進行在線清洗的方法，所述浮子流量計 安裝于循環(huán)冷卻水系統(tǒng)中，其兩端分別通過管道與循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的其他部分連接，所述 浮子流量計的兩端分別安裝第一清洗閥門和第二清洗閥門；所述在線清洗方法包括如下步 驟保持循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的進水口和出水口處于關(guān)閉狀態(tài)的情況下，開啟第一清洗閥 門和第二清洗閥門；用氮氣噴槍向第一清洗閥門內(nèi)進行噴氣，所噴出的氣流對浮子流量計進行清掃， 第二清洗閥門作為排氣口，待流量計暢通后關(guān)閉第一清洗閥門和第二清洗閥門。本發(fā)明的目的還在于，提出一種循環(huán)冷卻水系統(tǒng)，可以無需拆卸浮子流量計對該 循環(huán)冷卻水系統(tǒng)實現(xiàn)清洗。該循環(huán)冷卻水系統(tǒng)包括進水口、出水口和浮子流量計，所述循環(huán)冷卻水系統(tǒng)進一 步包括第一清洗閥門和第二清洗閥門，所述第一清洗閥門和第二清洗閥門分別安裝于所 述浮子流量計兩端。從以上技術(shù)方案可以看出，通過開啟第一清洗閥門和第二清洗閥門即可實現(xiàn)對浮子流量計的清洗，而無需拆卸浮子流量計，清洗過程十分方便，并極大節(jié)約了清洗所需的時 間。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)的循環(huán)冷卻水系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為浮子流量計的結(jié)構(gòu)示意圖，包括正視圖和俯視圖；圖3為本發(fā)明實施例提出的循環(huán)冷卻水系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步 的詳細(xì)闡述。本發(fā)明實施例提出的循環(huán)冷卻水系統(tǒng)如圖3所示，包括冷卻設(shè)備301、水泵302、進 水口 303、出水口 304、浮子流量計305、第一清洗閥門306、第二清洗閥門307以及依次連接 上述部分的管道組成。在工作狀態(tài)下，冷水流過需要降溫的生產(chǎn)設(shè)備308后，溫度上升；升溫的水流過冷 卻設(shè)備301則水溫回降，用水泵102將再次冷卻的水送回生產(chǎn)設(shè)備308再次使用，管道外通 常用風(fēng)散熱。浮子流量計305的作用是檢測循環(huán)冷卻水系統(tǒng)中水的流動速度，根據(jù)浮子流 量計305檢測到的流速來調(diào)節(jié)水泵302，使循環(huán)冷卻水保持適宜的流速。本發(fā)明實施例的關(guān)鍵點在于，在浮子流量計305的兩端分別設(shè)置了第一清洗閥門 306和第二清洗閥門307，在循環(huán)冷卻水系統(tǒng)處于工作狀態(tài)時，第一清洗閥門306和第二清 洗閥門307都是關(guān)閉的。當(dāng)需要對浮子流量計305進行清洗時，保持進水口 303和出水口 304依然是關(guān)閉 的，開啟第一清洗閥門306和第二清洗閥門307。用高壓水槍向第一清洗閥門306內(nèi)進行噴 水，所噴出的水流對浮子流量計端或冷卻水循環(huán)管路端進行沖洗，多余的水從第二清洗閥 門307流出，待流量計或管路暢通后關(guān)閉第一清洗閥門306和第二清洗閥門307。之后打開 進水口 303和出水口 304，恢復(fù)冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，到此清洗過程完畢?；蛘撸３诌M水口 303和出水口 304依然是關(guān)閉的，開啟第一清洗閥門306和第二 清洗閥門307。用氮氣噴槍(N2 GUN)向第一清洗閥門306內(nèi)進行噴氣，所噴出的氣流對浮 子流量計端或冷卻水循環(huán)管路端進行清掃，第二清洗閥門307作為排氣口，待流量計或管 路暢通后關(guān)閉第一清洗閥門306和第二清洗閥門307。之后打開進水口 303和出水口 304， 恢復(fù)冷卻水循環(huán)系統(tǒng)，到此清洗過程完畢。以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已，并不用以限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精 神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種對浮子流量計進行在線清洗的方法，所述浮子流量計安裝于循環(huán)冷卻水系統(tǒng) 中，其兩端分別通過管道與循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的其他部分連接，其特征在于，所述浮子流量計 的兩端分別安裝第一清洗閥門和第二清洗閥門；所述在線清洗方法包括如下步驟保持循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的進水口和出水口處于關(guān)閉狀態(tài)的情況下，開啟第一清洗閥門和第二清洗閥門；用高壓水槍向第一清洗閥門內(nèi)進行噴水，所噴出的水流對浮子流量計進行沖洗，多余 的水從第二清洗閥門流出，待流量計暢通后關(guān)閉第一清洗閥門和第二清洗閥門。
2.一種對浮子流量計進行在線清洗的方法，所述浮子流量計安裝于循環(huán)冷卻水系統(tǒng) 中，其兩端分別通過管道與循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的其他部分連接，其特征在于，所述浮子流量計 的兩端分別安裝第一清洗閥門和第二清洗閥門；所述在線清洗方法包括如下步驟保持循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的進水口和出水口處于關(guān)閉狀態(tài)的情況下，開啟第一清洗閥門和 第二清洗閥門；用氮氣噴槍向第一清洗閥門內(nèi)進行噴氣，所噴出的氣流對浮子流量計進行清掃，第二 清洗閥門作為排氣口，待流量計暢通后關(guān)閉第一清洗閥門和第二清洗閥門。
3.一種循環(huán)冷卻水系統(tǒng)，包括進水口、出水口和浮子流量計，其特征在于，所述循環(huán)冷 卻水系統(tǒng)進一步包括第一清洗閥門和第二清洗閥門，所述第一清洗閥門和第二清洗閥門 分別安裝于所述浮子流量計兩端。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種對浮子流量計進行在線清洗的方法，所述浮子流量計安裝于循環(huán)冷卻水系統(tǒng)中，其兩端分別通過管道與循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的其他部分連接，所述浮子流量計的兩端分別安裝第一清洗閥門和第二清洗閥門；所述在線清洗方法包括如下步驟保持循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的進水口和出水口處于關(guān)閉狀態(tài)的情況下，開啟第一清洗閥門和第二清洗閥門；用高壓水槍向第一清洗閥門內(nèi)進行噴水，所噴出的水流對浮子流量計進行沖洗，多余的水從第二清洗閥門流出，待流量計暢通后關(guān)閉第一清洗閥門和第二清洗閥門。本發(fā)明還公開了可以實現(xiàn)上述方法的循環(huán)冷卻水系統(tǒng)。本發(fā)明方案可以無需拆卸浮子流量計實現(xiàn)對其進行清洗，且清洗過程十分方便，并極大節(jié)約了清洗所需的時間。
文檔編號B08B3/02GK102107195SQ20091020098
公開日2011年6月29日 申請日期2009年12月23日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月23日
發(fā)明者孫建軍, 楊文 , 郝學(xué)濤, 黎健 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司