專利名稱:Ipa霧化干燥機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種對(duì)硅片的清洗的IPA霧化干燥機(jī)。
背景技術(shù):
IPA霧化干燥機(jī)主要用于對(duì)硅片的清洗,以往要用IPA清洗硅片時(shí),是把硅片放 入IPA液體內(nèi)進(jìn)行浸泡清洗,但是這種清洗既洗不干凈也浪費(fèi)材料并且效率也低。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種IPA霧化干燥機(jī),解決常用的清洗設(shè)備在IPA液體 內(nèi)浸泡清洗,效率低而且浪費(fèi)嚴(yán)重的問(wèn)題。本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)的。IPA霧化干燥機(jī),包括石英缸、鋁板加熱器、冷卻盤管和提升裝置,在整個(gè)設(shè)備 的頂部設(shè)置有風(fēng)機(jī),在所述冷卻盤管位于石英缸的上部側(cè)面,所述鋁板加熱器位于石英 缸的下部,所述提升裝置位于石英缸的中心上部,在石英缸內(nèi)提升產(chǎn)品。所述冷卻盤管 的外部連接冷水循環(huán)機(jī)。整個(gè)設(shè)備的外圍還設(shè)置有二氧化碳滅火器。石英缸的下部通過(guò) 管路連接到廢液箱,可以將廢液收集起來(lái)。本公司所制作IPA霧化干燥機(jī),(1)它首先是讓IPA受熱蒸發(fā),然后再利用石 英缸頂部冷卻盤管使它直接落在要洗的硅片上,這樣就要比直接放在IPA液體里洗的干 凈。(2)我公司的設(shè)備,它上下放置硅片是利用提升機(jī)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)的,這樣可避免人直接接 觸到IPA液體,并且它提高了工廠的生產(chǎn)效率。(3)本設(shè)備所洗硅片的時(shí)間、批次、溫度 的高低、等參數(shù)是可以根據(jù)PLC來(lái)控制。并且我公司的程序可根據(jù)用戶所要求的工藝的 不同來(lái)設(shè)定,已達(dá)到高效率的生產(chǎn)。IPA干燥劑的工作原理是手動(dòng)把液體(IPA)注入到石英缸(1)內(nèi),然后通過(guò)石英 缸底部的鋁板加熱器(2),把里面的液體加熱到82.7°C,當(dāng)里面的液體達(dá)到溫度時(shí),就會(huì) 使里面的液體氣化,當(dāng)氣化的液體遇到石英缸頂部的冷卻盤管(3)時(shí),就會(huì)結(jié)晶落到石 英缸里面花籃中的硅片上,使硅片得以洗干凈,利用設(shè)備的提升機(jī)構(gòu)把花籃中的硅片提 出來(lái),然后手動(dòng)排出廢液。
下面根據(jù)附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例所述的IPA霧化干燥機(jī)風(fēng)機(jī)部分的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例所述的IPA霧化干燥機(jī)的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
如圖1至2所示,IPA霧化干燥機(jī),包括石英缸1、鋁板加熱器2、冷卻盤管3和 提升裝置5,在整個(gè)設(shè)備的頂部設(shè)置有風(fēng)機(jī)6,在所述冷卻盤管3位于石英缸1的上部側(cè)面,所述鋁板加熱器2位于石英缸1的下部,所述提升裝置5位于石英缸1的中心上部, 在石英缸1內(nèi)提升產(chǎn)品。所述冷卻盤管3的外部連接冷水循環(huán)機(jī)9。整個(gè)設(shè)備的外圍還 設(shè)置有二氧化碳滅火器8。石英缸1的下部通過(guò)管路連接到廢液箱7,可以將廢液收集起來(lái)。本公司所制作IPA霧化干燥機(jī),(1)它首先是讓IPA受熱蒸發(fā),然后再利用石 英缸頂部冷卻盤管使它直接落在要洗的硅片上,這樣就要比直接放在IPA液體里洗的干 凈。(2)我公司的設(shè)備,它上下放置硅片是利用提升機(jī)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)的,這樣可避免人直接接 觸到IPA液體,并且它提高了工廠的生產(chǎn)效率。(3)本設(shè)備所洗硅片的時(shí)間、批次、溫度 的高低、等參數(shù)是可以根據(jù)PLC來(lái)控制。并且我公司的程序可根據(jù)用戶所要求的工藝的 不同來(lái)設(shè)定,已達(dá)到高效率的生產(chǎn)。IPA干燥劑的工作原理是手動(dòng)把液體(IPA)注入到石英缸(1)內(nèi),然后通過(guò)石英 缸底部的鋁板加熱器(2),把里面的液體加熱到82.7°C,當(dāng)里面的液體達(dá)到溫度時(shí),就會(huì) 使里面的液體氣化,當(dāng)氣化的液體遇到石英缸頂部的冷卻盤管(3)時(shí),就會(huì)結(jié)晶落到石 英缸里面花籃中的硅片上,使硅片得以洗干凈,利用設(shè)備的提升機(jī)構(gòu)把花籃中的硅片提 出來(lái),然后手動(dòng)排出廢液。
權(quán)利要求1.IPA霧化干燥機(jī),包括石英缸、鋁板加熱器、冷卻盤管和提升裝置,其特征在于, 在所述冷卻盤管位于石英缸的上部側(cè)面,所述鋁板加熱器位于石英缸的下部,所述提升 裝置位于石英缸的中心上部,在石英缸內(nèi)提升產(chǎn)品。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的IPA霧化干燥機(jī),其特征在于,在整個(gè)設(shè)備的頂部設(shè)置有風(fēng)機(jī)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的IPA霧化干燥機(jī),其特征在于,所述冷卻盤管的外部連接冷 水循環(huán)機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的IPA霧化干燥機(jī),其特征在于,石英缸的下部通過(guò)管路連接 到廢液箱。
專利摘要IPA霧化干燥機(jī),包括石英缸、鋁板加熱器、冷卻盤管和提升裝置,在整個(gè)設(shè)備的頂部設(shè)置有風(fēng)機(jī),在所述冷卻盤管位于石英缸的上部側(cè)面,所述鋁板加熱器位于石英缸的下部,所述提升裝置位于石英缸的中心上部,在石英缸內(nèi)提升產(chǎn)品。所述冷卻盤管的外部連接冷水循環(huán)機(jī)。整個(gè)設(shè)備的外圍還設(shè)置有二氧化碳滅火器。本公司所制作IPA霧化干燥機(jī),首先是讓IPA受熱蒸發(fā),然后再利用石英缸頂部冷卻盤管使它直接落在要洗的硅片上,這樣就要比直接放在IPA液體里洗的干凈。上下放置硅片是利用提升機(jī)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)的,這樣可避免人直接接觸到IPA液體,并且它提高了工廠的生產(chǎn)效率。本設(shè)備所洗硅片的時(shí)間、批次、溫度的高低、等參數(shù)是可以根據(jù)PLC來(lái)控制。
文檔編號(hào)B08B3/10GK201791690SQ20102023496
公開日2011年4月13日 申請(qǐng)日期2010年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月24日
發(fā)明者劉金升, 祁延山, 裴文龍 申請(qǐng)人:蘇州華林科納半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)有限公司