藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑的制備方法，其特征在于：所述藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑含有淀粉糖苷表面活性劑、其它表面活性劑、助溶劑、金屬絡(luò)合物、懸浮劑、水質(zhì)軟化劑或抗硬水劑、緩蝕劑和純水，其特征在于，所述的藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑含5-15％重量的淀粉糖苷表面活性劑，5-20％重量的其它表面活性劑，3-5％重量的助溶劑，3-5％重量的金屬絡(luò)合物，0.01-1％重量的水質(zhì)軟化劑或抗硬水劑，0.5-1％的重量的懸浮劑和10-20％重量的藍(lán)寶石襯底腐蝕劑和適量的純水；本發(fā)明的藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑為水基環(huán)保型清洗劑，清洗后清洗劑15天內(nèi)可自行降解；且只需進(jìn)行一次清洗即可達(dá)到清洗要求，提高了生產(chǎn)效率，加入了緩蝕劑保證清洗過(guò)程中清洗劑不會(huì)對(duì)藍(lán)寶石表面造成嚴(yán)重腐蝕。
【專利說(shuō)明】藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑的制備方法。

【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石單晶(Sapphire),又稱白寶石,透明，與天然寶石具有相同的光學(xué)特性、力學(xué)性能及化學(xué)性能，有著很好的熱特性，極好的電氣特性和介電特性，并且防化學(xué)腐蝕，對(duì)紅外線透過(guò)率高，有很好的耐磨性，硬度僅次于金剛石，達(dá)莫氏9級(jí)，在高溫下仍具有較好的穩(wěn)定性，熔點(diǎn)為2030°C，所以被廣泛應(yīng)用于工業(yè)、國(guó)防、科研等領(lǐng)域，如光電子、通訊、GaN發(fā)光二極管(LED)襯底、軍工導(dǎo)彈彈頭外殼、精密儀器儀表、航天工業(yè)的紅外透光材料、激光器的窗口及反射鏡、半導(dǎo)體硅的外延基片及絕緣存底等。
[0003]目前藍(lán)寶石襯底是最為普遍的一種襯底材料，但由于藍(lán)寶石在生產(chǎn)過(guò)程中往往有一些雜質(zhì)附著在藍(lán)寶石表面上，需要對(duì)藍(lán)寶石進(jìn)行清洗才能得到合格產(chǎn)品。目前藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑主要有溶劑型、半水型和水基型三大類(lèi)，前兩類(lèi)對(duì)清洗的污染物有限制、對(duì)人體有害、對(duì)環(huán)境影響較大、易燃、廢液難處理等問(wèn)題；且目前多數(shù)藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑存在如下缺點(diǎn):清洗時(shí)間較長(zhǎng)，一般需要10-20分鐘，清洗效果不理想，即清洗后的藍(lán)寶石表面會(huì)出現(xiàn)殘留物，對(duì)藍(lán)寶石表面腐蝕較嚴(yán)重，造成清洗良品率降低。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于 :提供一種水基、可降解、環(huán)保型且清洗效果好、清洗效率高的藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑，使用該清洗劑只需進(jìn)行一次清洗，即可達(dá)到清洗要求，提高了清洗效率，降低生產(chǎn)成本，經(jīng)濟(jì)環(huán)境友好。
[0005]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明含有5-15%重量的烷基糖苷表面活性劑，5-20%的其它表面活性劑，3-5%重量的助溶劑，3-5%重量的金屬絡(luò)合物，0.5-1%的重量的懸浮劑，
0.01-1%重量的水質(zhì)軟化劑或抗硬水劑和10-20%重量的藍(lán)寶石襯底腐蝕劑和適量的純水；本發(fā)明的藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑為水基環(huán)保型清洗劑，清洗后清洗劑15天內(nèi)可自行降解；且清洗效率高，只需進(jìn)行一次清洗即可達(dá)到清洗要求，提高了生產(chǎn)效率，加入了緩蝕劑保證清洗過(guò)程中清洗劑不會(huì)對(duì)藍(lán)寶石表面造成嚴(yán)重腐蝕。
[0006]藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑中的烷基糖苷表面活性劑優(yōu)選淀粉糖苷表面活性劑，該表面活性劑具有生物降解速度快而徹底、無(wú)毒、對(duì)環(huán)境無(wú)污染，且與其它表面活性劑相比，更不易受溫度變化的影響。與其它表面活性劑復(fù)配使用，效果更好，可減少表面活性劑的用量。
[0007]藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑中的其它表面活性劑一般選用陰離子表面活性劑和非離子表面活性劑，可以列舉的有:十二烷基苯磺酸鈉、椰油脂肪酸單乙醇酰胺、脂肪烷基醇聚氧乙烯(7)醚、脂肪醇聚氧乙烯(9)醚、脂肪醇聚氧乙烯(15)醚、脂肪醇聚氧乙烯(20)醚、脂肪酸烷醇酰胺、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸鈉、烷基酚聚氧乙烯(9)醚、烷基酚聚氧乙烯
(10)醚、烷基酚聚氧乙烯(15)醚、烷基酚聚氧乙烯(21)醚、油酸三乙醇胺、聚氧乙烯聚氧丙烯醚、聚氧乙烯脂肪醇醚、硫酸化蓖麻油、烷基磺酸鈉、烷基苯磺酸鈉、烷基硫酸酯鈉、仲烷基磺酸鈉、仲烷基硫酸酯鈉、a 一烯基磺酸鈉、烷基萘磺酸鈉、琥珀酸烷基酯磺酸鈉、脂肪醇聚氧乙烯醚、烷基酚聚氧乙烯醚、琥珀酸二異辛酯磺酸鈉、N，N_ 二甲基十二烷基胺丙基磺酸內(nèi)銨鹽等，該表面活性劑與烷基糖苷表面活性劑復(fù)配使用，能達(dá)到更好地清洗效果，且可降低表面活性劑的用量。
[0008]藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑中的助溶劑是促進(jìn)清洗劑中的各組分更好的互溶在一起，一般選用尿素、乙酸乙酯、乙二醇丁醚或其混合物。
[0009]藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑中的金屬絡(luò)合物具有很強(qiáng)的螯合能力，可以有效的螯合水中微量的多價(jià)金屬離子，如鈣、鎂、鉛、鋅、鎳、鐵、銅和錳，一般選用乙二胺四乙酸二鈉、檸檬酸鈉、乙二胺四乙酸、氮川三乙酸和氮川三乙酸鈉等。
[0010]藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑中的懸浮劑的作用是使藍(lán)寶石表面機(jī)器細(xì)小的顆粒，如碳化硅、硅粉等，穩(wěn)定的懸浮在水中，避免清洗過(guò)程中再次吸附在藍(lán)寶石表面，造成二次污染，所以本清洗劑只需清洗一次即可到達(dá)清洗要求，一般選用馬來(lái)酸-丙烯酸共聚物、羧甲基纖維素鈉或其組合。
[0011]藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑中的水質(zhì)軟化劑或者抗硬水劑為水玻璃、聚氧乙烯醚硫酸鹽、月桂酸二乙醇酰胺一種或兩種的混合物，這些物質(zhì)具有很好的軟化水質(zhì)的能力，穩(wěn)定體系。
[0012]藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑中的藍(lán)寶石襯底腐蝕劑一般選用氫氧化鈉、氫氧化鉀或碳酸鈉，這些腐蝕劑可與藍(lán)寶石反應(yīng)形成溶于水的硅酸鹽，可很好的去除藍(lán)寶石襯底的切割損壞層，而同時(shí)不會(huì)對(duì)藍(lán)寶石表面造成嚴(yán)重的腐蝕。

【具體實(shí)施方式】
[0013]為能進(jìn)一步了解本發(fā)明的內(nèi)容、特點(diǎn)及功效，茲例舉以下實(shí)施例，詳細(xì)說(shuō)明如下:
[0014]本實(shí)施狀態(tài)的藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑中含有淀粉糖苷表面活性劑、其它表面活性劑、助溶劑、金屬絡(luò)合物、懸浮劑、水質(zhì)軟化劑或抗硬水劑、藍(lán)寶石襯底腐蝕劑和適量的純水。
[0015]下面就以具體實(shí)例來(lái)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說(shuō)明。
[0016]根據(jù)需要，往純水中分別添加重量7 %的淀粉糖苷表面活性劑，5 %的脂肪醇聚氧乙烯(9)醚，4%的十二烷基苯磺酸鈉，4%的尿素，4%的檸檬酸鈉，0.8%的羧甲基纖維素鈉，0.1 %的水玻璃，0.5%的聚氧乙烯醚硫酸鹽和15%的藍(lán)寶石襯底腐蝕劑和純水制得IKG藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑。然后將此拋光液原液用純水進(jìn)行稀釋，作為實(shí)施例。
[0017]選用一款半水型藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑，取出IKG與實(shí)施例按照相同的方法稀釋,作為比較例I。
[0018]選用一款溶劑型藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑，取出IKG與實(shí)施例按照相同的方法稀釋,作為比較例2。
[0019]將上述實(shí)施例藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑和兩個(gè)比較例藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑分別放入到超聲波清洗槽中對(duì)相同的藍(lán)寶石進(jìn)行清洗，并利用超聲波來(lái)加強(qiáng)清洗效果，清洗時(shí)間為5分鐘，清洗溫度為60°C。清洗完后將藍(lán)寶石取出進(jìn)行洗滌和干燥。
[0020]目測(cè)經(jīng)過(guò)實(shí)施例和比較例清洗的藍(lán)寶石，經(jīng)過(guò)實(shí)施例清洗的藍(lán)寶石不發(fā)暗，無(wú)花片，無(wú)斑點(diǎn)，無(wú)殘留物。
[0021]使用分析天平(精確度為0.0001克)，稱量經(jīng)過(guò)實(shí)施例和比較例清洗的藍(lán)寶石清洗前后的質(zhì)量差異，通過(guò)質(zhì)量差異來(lái)分析來(lái)計(jì)算藍(lán)寶石的腐蝕厚度:藍(lán)寶石腐蝕厚度=質(zhì)量差異/ (藍(lán)寶石密度*藍(lán)寶石表面積)。結(jié)果顯示，與對(duì)比清洗劑相比，使用本發(fā)明清洗劑清洗的藍(lán)寶石的腐蝕厚度明顯更低，具體結(jié)果見(jiàn)表1。
[0022]

I藍(lán)寶石腐蝕厚度(μ m)~
實(shí)施例10TT2
比較例I025
比較例2038
[0023]表1
[0024]將上述清洗后的三種藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑的廢液取相同的重量放在三個(gè)相同的容器中，靜置15天，15天內(nèi)觀察，水基型的去蠟清洗劑已經(jīng)完全揮發(fā)，半水型的去蠟清洗劑揮發(fā)1/2，溶劑型的去蠟清洗劑揮發(fā)1/5.
[0025]以上對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，不能被認(rèn)為用于限定本發(fā)明的實(shí)施范圍。凡依本發(fā)明申請(qǐng)范圍所作的均等變化與改進(jìn)等，均應(yīng)仍歸屬于本發(fā)明的專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑，其特征在于:該藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑含5-15%重量的烷基糖苷表面活性劑，5-20%的其它表面活性劑，3-5 %重量的助溶劑，3-5 %重量的金屬絡(luò)合物，0.5-1%的重量的懸浮劑，0.01-1%重量的水質(zhì)軟化劑或抗硬水劑和10-20%重量的藍(lán)寶石襯底腐蝕劑和適量的純水；本發(fā)明的藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑為水基環(huán)保型清洗劑，清洗后清洗劑15天內(nèi)可自行降解；且清洗效率高，只需進(jìn)行一次清洗即可達(dá)到清洗要求，提高了生產(chǎn)效率，加入了緩蝕劑保證清洗過(guò)程中清洗劑不會(huì)對(duì)藍(lán)寶石表面造成嚴(yán)重腐蝕。
2.按照權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑，其特征在于:所述藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑為水基環(huán)保型清洗劑，清洗后清洗劑15天內(nèi)可自行降解。
3.按照權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑，其特征在于:所述藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑只需進(jìn)行一次清洗即可達(dá)到清洗要求，提高了生產(chǎn)效率，也不會(huì)對(duì)藍(lán)寶石表面造成嚴(yán)重腐蝕。
4.按照權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑，其特征在于:所述烷基糖苷表面活性劑一般淀粉糖苷表面活性劑，質(zhì)量含量為5-15%。
5.按照權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑，其特征在于:所述其它表面活性劑選用陰離子表面活性劑或者非離子表面活性劑，質(zhì)量含量為5-20%。
6.按照權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑，其特征在于:所述助溶劑選自尿素、乙酸乙酯、乙二醇丁醚或其混合物，質(zhì)量含量為3-5%。
7.按照權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑，其特征在于:所述金屬絡(luò)合物選自以下的一種或多種:乙二胺四乙酸鈉，檸檬酸鈉，乙二胺四乙酸，氮川三乙酸或氮川三乙酸鈉，質(zhì)量含量為3-5%。
8.按照權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑，其特征在于:所述懸浮劑選自馬來(lái)酸-丙烯酸共聚物、羧甲基纖維素鈉或其組合物。
9.按照權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑，其特征在于:所述水質(zhì)軟化劑或者抗硬水劑為水玻璃、聚氧乙烯醚硫酸鹽、月桂酸二乙醇酰胺一種或兩種的混合物質(zhì)量含量為 0.01-1%。
10.按照權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑，其特征在于:所述藍(lán)寶石襯底腐蝕劑選自氫氧化鈉、氫氧化鉀或碳酸鈉中的一種或兩種的混合物，質(zhì)量含量為10-20%。
11.按照權(quán)利要求1所述的藍(lán)寶石襯底用去蠟清洗劑，其特征在于:其余組分為純水。
【文檔編號(hào)】C11D3/10GK104178367SQ201310201274
【公開(kāi)日】2014年12月3日 申請(qǐng)日期:2013年5月27日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月27日
【發(fā)明者】高如山 申請(qǐng)人:天津西美半導(dǎo)體材料有限公司