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      一種爐前清洗機加酸方法及其裝置制造方法

      文檔序號:1435204閱讀:248來源:國知局
      一種爐前清洗機加酸方法及其裝置制造方法
      【專利摘要】本發(fā)明公開了一種爐前清洗機加酸裝置及其方法,本發(fā)明通過改變加酸的方式,即從流量式改為液位式來提高酸的配液量的精準(zhǔn)性,減小酸濃度配比誤差,降低因清洗不凈而造成的硅片燒焦、污染爐管和硅片工裝夾具的風(fēng)險,減少化學(xué)物品的浪費,提高其利用率,本發(fā)明應(yīng)用廣泛,可用于各類溶液配比。
      【專利說明】一種爐前清洗機加酸方法及其裝置
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及晶體硅太陽能超凈車間爐前清洗機,特別涉及一種爐前清洗機加酸方法及其裝置。
      【背景技術(shù)】
      [0002]目前,在太陽能電池片的生產(chǎn)過程中,為防止硅片在高溫擴散時由于雜質(zhì)產(chǎn)生燒焦,而影響硅片品質(zhì),所以硅片擴散前虛經(jīng)爐前清洗機清洗,而爐前清洗機主要通過HCL,HF溶液清洗,用以去除硅片中的雜質(zhì)和金屬離子。為保證清洗效果,必須保證溶液的配比,酸多了易發(fā)生硅片被過多腐蝕,酸少了則會導(dǎo)致硅片清洗不凈,清洗不凈的硅片進(jìn)入擴散爐后會引起自身及周圍硅片的大面積燒焦,重則會污染擴散爐爐管。為了保證酸濃度的配比,必須確認(rèn)加酸的量是一定的,傳統(tǒng)補酸方式為:在酸液流速一定的情況下,通過控制閥門的開關(guān)時間和補液系數(shù)來控制加酸量,這種加酸方式很容易受到流速的影響,實際操作中,酸液流動的速度不可能是勻速的,此方法加酸,誤差較大。
      [0003]故,需要一種新的技術(shù)方案以解決上述問題。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0004]針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題和不足,本發(fā)明的目的是提供一種爐前清洗機加酸方式及其裝置,清洗機補酸準(zhǔn)確,保證清洗工藝穩(wěn)定且大大減少生產(chǎn)成本的浪費。
      [0005]為實現(xiàn)上述發(fā)明目的,本發(fā)明采用的技術(shù)方案為一種爐前清洗機加酸裝置,包括用于存儲酸的恒壓罐、高液位傳感器、中液位傳感器和清洗槽;所述高液位傳感器和中液位傳感器均位于恒壓罐內(nèi)部,且該恒壓罐表面標(biāo)有刻度,所述恒壓罐與清洗槽通過加酸管道相連接。
      [0006]本發(fā)明采用的另一技術(shù)方案為一種爐前清洗機加酸方法,包括以下步驟:
      a.調(diào)節(jié)高、中液位傳感器之間的距離,使得清洗工藝所需酸的體積為中液位和高液位之間酸體積的整數(shù)倍;
      b.高液位傳感器檢測恒壓罐內(nèi)的液體是否到達(dá)高液位;如到達(dá)高液位,進(jìn)行步驟C,如未達(dá)到高液位,進(jìn)行步驟d;
      c.恒壓罐通過加酸管道加酸至清洗槽,中液位傳感器檢測到恒壓罐內(nèi)的液體至中液位時,加酸停止,完成一次加酸;
      d.自動補酸至高液位再進(jìn)行步驟C。
      [0007]作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步優(yōu)化,其中酸的配液量由加酸次數(shù)和單次加酸量共同控制。
      [0008]本發(fā)明相比現(xiàn)有技術(shù),其優(yōu)點為本發(fā)明通過改變加酸的方式,即從流量式改為液位式來提高酸的配液量的精準(zhǔn)性,減小酸濃度配比誤差,降低因清洗不凈而造成的硅片燒焦、污染爐管和硅片工裝夾具的風(fēng)險,減少化學(xué)物品的浪費,提高其利用率,本發(fā)明應(yīng)用廣泛,可用于各類溶液配比?!緦@綀D】

      【附圖說明】
      [0009]圖1為本發(fā)明的加酸裝置結(jié)構(gòu)示意圖。
      【具體實施方式】
      [0010]如圖1所示,本發(fā)明的加酸裝置包括用于存儲酸的恒壓罐、高液位傳感器、中液位傳感器和清洗槽;高液位傳感器和中液位傳感器位于恒壓罐內(nèi)部,該恒壓罐表面標(biāo)有刻度,便于調(diào)節(jié)高液位傳感器、中液位傳感器之間的距離,恒壓罐與清洗槽通過加酸管道相連接。
      [0011]將加酸管道開度適中,調(diào)節(jié)液位傳感器之間的距離,使得清洗工藝所需酸的體積為中液位和高液位之間酸體積的整數(shù)倍,收到加酸信號后,高液位傳感器自動檢測恒壓罐內(nèi)的液體是否到達(dá)高液位,若達(dá)到高液位則自動加酸至相應(yīng)的清洗槽內(nèi),若未達(dá)到高液位則先自動補酸至高液位再進(jìn)行加酸至清洗槽內(nèi),中液位傳感器檢測到恒壓罐內(nèi)的液體至中液位時,加酸停止,進(jìn)行補酸至高液位,依次循環(huán),酸的配液量由加酸次數(shù)和單次加酸量共同控制,使加酸配液量更加精確,避免不必要的浪費和損失。
      【權(quán)利要求】
      1.一種爐前清洗機加酸裝置,其特征在于:包括用于存儲酸的恒壓罐、高液位傳感器、中液位傳感器和清洗槽;所述高液位傳感器和中液位傳感器均位于恒壓罐內(nèi)部,且該恒壓罐表面標(biāo)有刻度,所述恒壓罐與清洗槽通過加酸管道相連接。
      2.一種爐前清洗機加酸方法,其特征在于:包括以下步驟: a.調(diào)節(jié)高、中液位傳感器之間的距離,使得清洗工藝所需酸的體積為中液位和高液位之間酸體積的整數(shù)倍; b.高液位傳感器檢測恒壓罐內(nèi)的液體是否到達(dá)高液位;如到達(dá)高液位,進(jìn)行步驟C,如未達(dá)到高液位,進(jìn)行步驟d; c.恒壓罐通過加酸管道加酸至清洗槽,中液位傳感器檢測到恒壓罐內(nèi)的液體至中液位時,加酸停止,完成一次加酸; d.自動補酸至高液位再進(jìn)行步驟C。
      3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種爐前清洗機加酸方法,其特征在于:所述酸的配液量由加酸次數(shù)和單次加酸量共同控制。
      【文檔編號】B08B13/00GK103658139SQ201310616775
      【公開日】2014年3月26日 申請日期:2013年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月29日
      【發(fā)明者】汪俊 申請人:合肥海潤光伏科技有限公司
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