專利名稱：石英管內(nèi)表面的處理方法、光纖預(yù)制件的制造方法以及光纖的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及石英管內(nèi)表面的處理方法、光纖預(yù)制件的制造方法和光纖的制造方法。
背景技術(shù)：
為了生產(chǎn)光纖預(yù)制件，將多個(gè)玻璃件組合在一起。為了獲得損耗低的光纖，在生產(chǎn)光纖預(yù)制件的過(guò)程中，必須減少處于光波導(dǎo)區(qū)內(nèi)的玻璃件之間的界面內(nèi)所存在的雜質(zhì)。位于玻璃件之間的界面內(nèi)的氣孔及異物會(huì)導(dǎo)致光纖的可靠性降低，即使該界面并不處于光波導(dǎo)區(qū)內(nèi)。
因此，為了獲得可靠性高、損耗低的光纖，要對(duì)制造光纖預(yù)制件所使用的石英管的內(nèi)表面進(jìn)行處理。過(guò)去，在這種石英管的內(nèi)表面處理中采用的是使用CF4氣體或SF6氣體的氣相蝕刻法(例如，參見(jiàn)日本專利申請(qǐng)公開(kāi)No.S56-73637或日本專利申請(qǐng)公開(kāi)No.S55-90430)。
然而，在這種氣相蝕刻法中，不能完全消耗掉CF4氣體和SF6氣體，因此這些氣體中的一部分作為未反應(yīng)氣體被排出。這種CF4氣體和SF6氣體被指出是使全球變暖的氣體，因此需要減少它們的用量。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供石英管內(nèi)表面的處理方法、光纖預(yù)制件的制造方法以及光纖制造方法，其中使全球變暖的氣體的排放量少于使用傳統(tǒng)方法時(shí)的情況。
為了達(dá)到該目的，石英管內(nèi)表面的處理方法包括以下步驟對(duì)石英管進(jìn)行加熱，使其溫度達(dá)到1800℃或更高，同時(shí)向石英管的內(nèi)部供入含氯的氣體，從而用氯來(lái)處理石英管的內(nèi)表面。
在石英管的內(nèi)表面處理步驟中，優(yōu)選的是，使用電阻爐或感應(yīng)電爐作為熱源對(duì)石英管進(jìn)行加熱，并且在石英管的內(nèi)部被控制為正壓的狀態(tài)下加熱石英管。并且，優(yōu)選的是，在實(shí)施內(nèi)表面處理之前，先進(jìn)行預(yù)處理，其中在低于1800℃的溫度下加熱石英管的同時(shí)，向石英管的內(nèi)部供入含氯的氣體。
為了達(dá)到所述目的，本發(fā)明所提供的另一個(gè)方面是制造光纖預(yù)制件的方法，該方法包括處理石英管內(nèi)表面的步驟以及將石英管加工成棒的步驟，所述的處理石英管內(nèi)表面的步驟是通過(guò)將石英管加熱到1800℃或更高的溫度，同時(shí)向石英管的內(nèi)部供入含氯的氣體而進(jìn)行的。本發(fā)明的又一個(gè)方面是光纖的制造方法，其中通過(guò)對(duì)采用本發(fā)明的光纖預(yù)制件制造方法所制備的光纖預(yù)制件進(jìn)行拉絲而制成光纖。


通過(guò)以下說(shuō)明、所附的權(quán)利要求以及附圖將會(huì)更好地理解本發(fā)明的上述這些方面、特征和優(yōu)點(diǎn)。在

中，相同的標(biāo)記表示相同的元件并且省去重復(fù)說(shuō)明。
圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的光纖制造方法的第一實(shí)施方案的流程圖。
圖2是示出第一實(shí)施方案的內(nèi)表面處理過(guò)程的示意圖。
圖3是光纖拉絲過(guò)程的示意圖。
圖4是示出在氯氣氣氛中，由SiO2形成的氣相化合物的量與溫度的關(guān)系的計(jì)算結(jié)果的圖。
圖5是示出根據(jù)本發(fā)明的光纖制造方法的第二實(shí)施方案的流程圖。
圖6是示出第二實(shí)施方案的內(nèi)表面處理過(guò)程的示意圖。
圖7是示出根據(jù)本發(fā)明的光纖制造方法的第一實(shí)施方案的變形例的流程圖。
具體實(shí)施例方式
本發(fā)明者針對(duì)氯具有能夠除去存在于玻璃表面上的雜質(zhì)和水分的功能，發(fā)現(xiàn)在氯氣氣氛下使玻璃達(dá)到1800℃或更高的高溫，能夠除去玻璃表面的一部分，并且完成了本發(fā)明。
(第一實(shí)施方案)圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的光纖制造方法的第一實(shí)施方案的流程圖。第一實(shí)施方案是通過(guò)將管棒(rod-in-tube)法制備的光纖預(yù)制件進(jìn)行拉絲而制造光纖的方法，該實(shí)施方案包括內(nèi)表面處理步驟S10，預(yù)制件形成步驟(將石英管加工成棒的過(guò)程)S11，以及光纖拉絲步驟S12。
圖2是示出第一實(shí)施方案的內(nèi)表面處理步驟的示意圖。在內(nèi)表面處理步驟S10中，清理將要在管棒法中使用的石英管的內(nèi)表面。首先，將石英管10(將被加工為包層區(qū))安裝于機(jī)床(圖中沒(méi)有示出)上。在這種情況下，將支撐管(圖中沒(méi)有示出)與石英管10的兩端連接，并且通過(guò)支撐管將石英管10安裝在機(jī)床上，安裝方式為使得石英管10能夠繞其中心軸旋轉(zhuǎn)。石英管10的材料是例如純石英玻璃、摻氟石英玻璃、或者摻氯石英玻璃等。為了對(duì)高溫加熱石英管10所引起的石英管10變形進(jìn)行抑制，石英管10的壁厚優(yōu)選為不小于15mm。
在石英管10被安裝于機(jī)床上之后，使氯氣從石英管10的一端流向另一端，同時(shí)使用感應(yīng)電爐21作為熱源來(lái)加熱石英管，使石英管10的溫度達(dá)到1800℃或更高。本文所述的石英管10的溫度是指石英管10外表面的溫度。在此過(guò)程中，在使石英管10繞其中心軸旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，使感應(yīng)電爐21在石英管10的縱向(平行于氯氣流動(dòng)方向的方向)上移動(dòng)。
在內(nèi)表面處理步驟S10中，通過(guò)在使氯氣流過(guò)的同時(shí)將石英管10加熱到1800℃或更高的溫度，來(lái)實(shí)施石英管10的內(nèi)表面處理。更具體地說(shuō)，內(nèi)表面10a的一部分被蒸發(fā)除去。并且，在不低于1800℃的高溫下處理的結(jié)果是玻璃表面因發(fā)生粘性流動(dòng)而變光滑，因而形成這樣的表面該表面在隨后的處理過(guò)程中能夠抑制氣孔的產(chǎn)生。為了便于實(shí)施這種光滑化操作，優(yōu)選的是石英管10中摻雜有氟和氯中的至少任一種。加入氟或氯的結(jié)果是使玻璃的粘度降低。因此，可以降低使石英管10變光滑所需的溫度，并且可以容易地產(chǎn)生光滑效果。
優(yōu)選的是，在實(shí)施加熱步驟使得石英管10的溫度不低于1800℃之前，先在一定溫度(低于1800℃的溫度)下加熱石英管10，同時(shí)使氯氣流入石英管10的內(nèi)部(預(yù)處理)(見(jiàn)圖7)，在該溫度下，既沒(méi)有產(chǎn)生石英管內(nèi)表面被除去的現(xiàn)象，也沒(méi)有產(chǎn)生表面變光滑的現(xiàn)象。當(dāng)在低于1800℃的溫度(例如500℃)下實(shí)施該熱處理時(shí)，既沒(méi)有產(chǎn)生內(nèi)表面10a被蒸發(fā)的現(xiàn)象，也沒(méi)有產(chǎn)生粘性流動(dòng)的現(xiàn)象；但是氯氣除去了內(nèi)表面10a上的一部分雜質(zhì)。因此，即使在隨后的處理過(guò)程中，在不低于1800℃的高溫下實(shí)施熱處理而導(dǎo)致發(fā)生粘性流動(dòng)時(shí)，雜質(zhì)也很難被帶進(jìn)石英管10的內(nèi)表面10a中，這是因?yàn)橄惹耙呀?jīng)除去了內(nèi)表面10a上的一部分雜質(zhì)。結(jié)果，使用石英管10制成的光纖中的雜質(zhì)含量被降低得更多，因此可以達(dá)到使傳輸損耗減少以及使可靠性提高的效果。
在內(nèi)表面處理步驟S10之后的預(yù)制件形成步驟S11中(將石英管轉(zhuǎn)變成棒的過(guò)程)，使用經(jīng)內(nèi)表面處理后的石英管10來(lái)生產(chǎn)光纖預(yù)制件。光纖預(yù)制件形成步驟S11包括棒插入過(guò)程S11A、氯處理過(guò)程S11B以及塌縮過(guò)程S11C。
首先，在棒插入過(guò)程S11A中，將其外徑小于石英管10的內(nèi)徑的石英玻璃棒插入經(jīng)內(nèi)表面處理后的石英管10中。將成為芯區(qū)的石英玻璃棒中摻雜有氯。
隨后，在氯處理過(guò)程S11B中，使氯氣流入介于石英玻璃棒和石英管10之間的間隙中，并且在低于內(nèi)表面處理步驟S10所采用的溫度(1800℃)下實(shí)施熱處理。因此，可以除去將成為芯區(qū)的石英玻璃棒表面上的雜質(zhì)。隨后，在塌縮過(guò)程S11C中，通過(guò)熔化使其中插有石英玻璃棒的石英管10的一端完全密封，然后通過(guò)在減壓條件下在氧氣氣氛中加熱而使石英管10和石英玻璃棒一體化(塌縮)，由此形成光纖預(yù)制件11。
圖3是示出光纖拉絲操作的示意圖。隨后，在光纖拉絲步驟S12中，在預(yù)制件形成步驟S11中制成的光纖預(yù)制件11被放進(jìn)拉絲爐30中進(jìn)行光纖拉絲，由此制成光纖12。
在第一實(shí)施方案的光纖制造方法中，重要的是在向石英管10的內(nèi)部供入氯氣的同時(shí)，通過(guò)加熱使石英管10達(dá)到1800℃的高溫，由此來(lái)清理內(nèi)表面10a。圖4是示出在氯氣氣氛中，由SiO2形成的氣相化合物的量與溫度的關(guān)系的計(jì)算結(jié)果的圖。更具體地說(shuō)，它示出了含Si化合物的量的計(jì)算結(jié)果，這是通過(guò)在1個(gè)大氣壓下、在1摩爾的SiO2和1摩爾的Cl2共存的情況下，在達(dá)到平衡時(shí)進(jìn)行化學(xué)平衡計(jì)算而獲得的。
如圖4所示，在溫度達(dá)到1800℃或更高時(shí)，形成大量的氣相的含Si化合物(SiClx(x為1、2、3或4)和SiO)。SiClx是通過(guò)氯的反應(yīng)而生成的，并且其生成量在1800℃-2000℃的溫度范圍內(nèi)達(dá)到最大。由升華反應(yīng)產(chǎn)生的SiO與溫度相關(guān)，并且在2200℃或更高的溫度下作為氣相產(chǎn)物來(lái)說(shuō)變成主要物質(zhì)。在對(duì)石英管實(shí)施塌縮后，SiO保留在光纖預(yù)制件中。
通過(guò)在氯氣氣氛中進(jìn)行加熱使石英管10的溫度達(dá)到1800℃或更高，內(nèi)表面10a的一部分就會(huì)借助于氯氣而被蒸發(fā)除去。這樣就使得在根本不使用SF6氣體和CF4氣體或減少其用量的條件下，對(duì)石英管10的內(nèi)表面10a進(jìn)行了清理，并且可以更可靠地除去存在于內(nèi)表面10a上的雜質(zhì)和水分等。因此可以制造出雜質(zhì)等被減少的光纖預(yù)制件。并且，在使用經(jīng)內(nèi)表面處理后的石英管10制成的光纖12中，也降低了由于雜質(zhì)和水分等而引起的傳輸損耗，從而使光纖12具有優(yōu)異的可靠性。
過(guò)去，在制造光纖預(yù)制件時(shí)，由于采用了使用SF6氣體或CF4氣體的氣相蝕刻法來(lái)實(shí)施石英管的內(nèi)表面處理，所以排出了SF6氣體或CF4氣體，而這些氣體被認(rèn)為是使全球變暖的原因。與之形成對(duì)比的是，在第一實(shí)施方案的光纖制造方法中，因?yàn)槭⒐艿膬?nèi)表面處理是使用氯氣進(jìn)行的，而根本沒(méi)有使用SF6氣體或CF4氣體，所以沒(méi)有排出使全球變暖的氣體，因此該內(nèi)表面處理方法是對(duì)地球環(huán)境友好的方法。
過(guò)去，通常認(rèn)為如果石英管被加熱到等于或大于1800℃的高溫，石英管就會(huì)變形。但是在第一實(shí)施方案的光纖制造方法中，由于通過(guò)感應(yīng)電爐21的輻射熱對(duì)石英管10進(jìn)行加熱，所以能夠抑制石英管10的變形。
(第二實(shí)施方案)圖5是示出根據(jù)本發(fā)明的光纖制造方法的第二實(shí)施方案的流程圖。第二實(shí)施方案的制造方法(其中通過(guò)使用改進(jìn)的化學(xué)氣相沉積(MCVD)法制備的光纖預(yù)制件進(jìn)行拉絲而制成光纖)包括內(nèi)表面處理步驟S20，預(yù)制件形成步驟(將石英管轉(zhuǎn)變成棒的過(guò)程)S21，以及光纖拉絲步驟S22。
圖6是示出第二實(shí)施方案的內(nèi)表面處理步驟的示意圖。在內(nèi)表面處理步驟S20中，首先將石英管40安裝在MCVD機(jī)床上(圖中沒(méi)有說(shuō)明)，該石英管40由(例如)純石英玻璃制成，并且其將成為包層區(qū)的一部分。之后，在使用氫氧燃燒器22作為熱源對(duì)石英管40的外周進(jìn)行加熱以使石英管40的溫度達(dá)到1800℃或更高的同時(shí)，使氯氣流入石英管40的內(nèi)部。在這種情況下，使石英管40以預(yù)定的轉(zhuǎn)速繞其中心軸旋轉(zhuǎn)，同時(shí)使氫氧燃燒器22以預(yù)定的速度在石英管40的縱向上移動(dòng)。另外，為了防止石英管40變形，使用內(nèi)壓控制機(jī)構(gòu)(通常被設(shè)置在MCVD機(jī)床中)來(lái)控制石英管40的內(nèi)壓，以使石英管40的內(nèi)壓可以達(dá)到比外壓更高的正壓。在石英管40的壁厚薄至(例如)6mm的情況下，使石英管40的內(nèi)壓為正壓是非常有效的。
然后，在預(yù)制件形成步驟S21中，使用其內(nèi)表面40a經(jīng)過(guò)處理的石英管40來(lái)形成光纖預(yù)制件。預(yù)制件形成步驟S21包括玻璃層形成過(guò)程S21A和塌縮過(guò)程S21B。在玻璃層形成過(guò)程S21A中，將成為包層區(qū)的玻璃層和將成為芯區(qū)的摻Ge玻璃層被依次沉積在其內(nèi)表面經(jīng)過(guò)處理的石英管40的內(nèi)表面上。然后，在隨后的塌縮過(guò)程S21B中，實(shí)施塌縮操作，通過(guò)該塌縮操作制成具有外包層的棒，并由此獲得光纖預(yù)制件41。在光纖拉絲步驟S22中，如圖3所示，在預(yù)制件形成步驟S21中制備的光纖預(yù)制件41在拉絲爐30中被拉制成光纖42。
此外，在第二實(shí)施方案中，因?yàn)槭⒐?0的內(nèi)表面處理是使用氯氣來(lái)實(shí)施的，而沒(méi)有使用SF6氣體和CF4氣體(使全球變暖的氣體)，所以可以在不排出任何使全球變暖的氣體的情況下完成石英管的內(nèi)表面處理，因此，這種光纖制造方法對(duì)地球環(huán)境友好。此外，由于在1800℃或更高的溫度下加熱石英管40的同時(shí)將氯氣供入石英管40中，所以石英管40的部分內(nèi)表面能夠被蒸發(fā)除去。因此，可以制造出其中雜質(zhì)等的含量被降低的光纖預(yù)制件。并且可以制成其包層區(qū)沒(méi)有被雜質(zhì)和水分等污染的光纖42，結(jié)果，可以減少如此獲得的光纖42的傳輸損耗，從而使得光纖42具有優(yōu)異的可靠性。
本發(fā)明的實(shí)施方案不限于上述優(yōu)選實(shí)施方案。例如，關(guān)于熱源，在第一實(shí)施方案中使用感應(yīng)電爐21，而在第二實(shí)施方案中使用氫氧燃燒器22；但是，如果電阻爐可以將石英管10和40加熱到1800℃或更高的溫度，則可以使用電阻爐代替感應(yīng)電爐21和氫氧燃燒器22。為了達(dá)到即使在1800℃或更高的溫度下加熱石英管10和40，石英管10和40也不容易變形、并且能夠抑制表層被吹走的效果，通過(guò)輻射熱來(lái)加熱石英管10和40的電阻爐和感應(yīng)電爐是優(yōu)選的。
另外，在內(nèi)表面處理步驟S10和S20中，被導(dǎo)入石英管10和40中的氣體是不含SF6氣體和CF4氣體的氯氣；但是也可以使用其它種類的含氯的氣體。在石英管10的內(nèi)表面10a和石英管40的內(nèi)表面40a上附著有含碳雜質(zhì)的情況下，被導(dǎo)入石英管10和40中的氣體中優(yōu)選含氧，這是因?yàn)殡s質(zhì)能夠通過(guò)其氣相氧化反應(yīng)而被除去。在內(nèi)表面處理過(guò)程中，在用含氯的氣體在1800℃或更高的溫度下實(shí)施熱處理之前，可以先使用氧進(jìn)行處理。并且，如果SF6氣體或CF4氣體的含量很少而不至于產(chǎn)生未發(fā)生反應(yīng)的氣體(它們通過(guò)與石英管10和40反應(yīng)而被消耗掉)，那么在被導(dǎo)入石英管10和40中的氣體中可以含有SF6氣體或CF4氣體。
為了制備石英管10和40，采用機(jī)械加工的方法在實(shí)心石英玻璃內(nèi)形成通孔，并且拉伸如此形成的管狀玻璃體。因此，優(yōu)選的是，在拉伸石英管10和40的同時(shí)，實(shí)施內(nèi)表面處理過(guò)程S10和S20。在拉伸石英管10和40時(shí)，用于加熱石英管10和40的溫度為1800℃或更高，因此可以進(jìn)行氣相去除過(guò)程，這可以與拉伸過(guò)程同時(shí)進(jìn)行，從而使生產(chǎn)率得以提高。
(實(shí)施例1)按照第一實(shí)施方案的方法制造光纖。首先，通過(guò)機(jī)械加工，在由石英玻璃(所述石英玻璃中摻雜有氟，使得其與未摻雜的石英的相對(duì)折射率差值為-0.33％)構(gòu)成的棒內(nèi)形成孔，并且由此形成外徑為75mmφ、內(nèi)徑為8mmφ的石英管10。隨后，為了除去機(jī)械加工過(guò)程所產(chǎn)生的溶液，使用HF溶液以預(yù)定的時(shí)間處理石英管10的內(nèi)表面和外表面，之后將支撐管與石英管10的各端相連，并將其安裝在機(jī)床上。然后，在使用感應(yīng)電爐21進(jìn)行加熱以使石英管10的溫度達(dá)到1800℃或更高時(shí)，使氯氣以1000sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/每分鐘)的流量流入石英管10中。在此期間，感應(yīng)電爐21以25mm/分鐘的速度(橫動(dòng)速度)從氯氣流動(dòng)方向的上游側(cè)向下游側(cè)橫向移動(dòng)，該操作被重復(fù)了5次。并且，在機(jī)床的作用下，石英管10的轉(zhuǎn)數(shù)為30轉(zhuǎn)/分鐘。
接著，在棒插入過(guò)程S11A中，將外徑為5mmφ的摻氯石英玻璃棒插入石英管10中。該石英玻璃棒是由以下步驟制成的采用氣相軸向沉積法(VAD)合成煙塵體；在含有SiCl4的氣氛中使煙塵體脫水并燒結(jié)；以及在無(wú)水氣氛中通過(guò)用電阻爐加熱來(lái)拉伸燒結(jié)體。該石英玻璃棒的相對(duì)折射率差值為0.06％。隨后，通過(guò)實(shí)施氯處理過(guò)程S11B和塌縮過(guò)程S11C而制成光纖預(yù)制件11。然后，實(shí)施光纖拉絲步驟S12。由此制成光纖12，并評(píng)價(jià)其傳輸損耗。
然后，將上述傳輸損耗與以如下方式制成的光纖的傳輸損耗進(jìn)行對(duì)比，該光纖是在相同的條件下制成的，不同之處在于石英管10的內(nèi)表面處理是使用SF6氣體通過(guò)傳統(tǒng)蝕刻法來(lái)進(jìn)行的。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，在光纖12中，二者在1.55μm波長(zhǎng)帶的傳輸損耗(由金屬雜質(zhì)造成)基本上彼此相等。此外，關(guān)于光纖在1.38μm波長(zhǎng)帶的傳輸損耗(由OH吸收造成)，二者的差值為0.2dB/km，因此，兩種光纖的損耗基本相等。
(實(shí)施例2)按照第二實(shí)施方案制造光纖。首先，將外徑為25mmφ、壁厚為6mm的石英管40作為起始管安裝在MCVD機(jī)床上。然后，在使氯氣以500sccm的流量流入石英管40中的同時(shí)，使用氫氧燃燒器22從石英管40的外周進(jìn)行加熱，使得其溫度達(dá)到1800℃。在這種情況下，使用被設(shè)置在MCVD機(jī)床中的內(nèi)壓控制機(jī)構(gòu)將石英管40的內(nèi)部控制為正壓，從而可以防止石英管40發(fā)生變形。并且，使氫氧燃燒器22以50mm/分鐘的速度從氯氣流動(dòng)方向的上游側(cè)向下游側(cè)橫向移動(dòng)，該操作被重復(fù)了4次。并且，在機(jī)床的作用下，石英管40以30轉(zhuǎn)/分鐘的轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)。
在完成內(nèi)表面處理之后，將經(jīng)過(guò)玻璃層形成過(guò)程S21A和塌縮過(guò)程S21B而制成的棒進(jìn)行外包過(guò)程，以制成光纖預(yù)制件41。然后，在光纖拉絲步驟S22中，將如此制成的光纖預(yù)制件41在拉絲爐30中進(jìn)行拉絲。由此制成光纖42，并評(píng)價(jià)其傳輸損耗。
然后，將上述傳輸損耗與以如下方式制成的光纖的傳輸損耗進(jìn)行對(duì)比，該光纖是在相同的條件下制成的，不同之處在于石英管40的內(nèi)表面處理是使用SF6通過(guò)傳統(tǒng)蝕刻法來(lái)進(jìn)行的。結(jié)果發(fā)現(xiàn)，這兩種光纖42在1.55μm波長(zhǎng)帶的傳輸損耗(由金屬雜質(zhì)造成)基本相等。此外，關(guān)于光纖42在1.38μm波長(zhǎng)帶的傳輸損耗(由OH吸收造成)，二者的差值為0.3dB/km，兩種光纖的損耗基本相等。
盡管結(jié)合了目前認(rèn)為最實(shí)用和最優(yōu)選的實(shí)施方案來(lái)描述本發(fā)明，但本發(fā)明并不是限于以上公開(kāi)的實(shí)施方案的，而是應(yīng)該包括有在所附權(quán)利要求書(shū)的實(shí)質(zhì)和范圍內(nèi)的各種變形和等同形式。
2005年9月1日提交的日本專利申請(qǐng)No.2005-253887所公開(kāi)的全部?jī)?nèi)容(包括說(shuō)明書(shū)、權(quán)利要求書(shū)、附圖和摘要)以引用方式全部并入本文。
權(quán)利要求
1.一種處理石英管內(nèi)表面的方法，該方法包括以下步驟加熱該石英管使其達(dá)到1800℃或更高的溫度，同時(shí)向該石英管的內(nèi)部供入含氯的氣體，由此用氯來(lái)處理該石英管的內(nèi)表面。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理石英管內(nèi)表面的方法，其中使用電阻爐或感應(yīng)電爐作為熱源來(lái)加熱所述石英管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理石英管內(nèi)表面的方法，其中在所述石英管的內(nèi)部被控制為正壓的狀態(tài)下加熱所述石英管。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的處理石英管內(nèi)表面的方法，其中在進(jìn)行預(yù)處理步驟之后再實(shí)施所述的處理內(nèi)表面的步驟，在該預(yù)處理步驟中，在低于1800℃的溫度下加熱所述石英管，同時(shí)向所述石英管的內(nèi)部供入含氯的氣體。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的處理石英管內(nèi)表面的方法，其中所述的含氯的氣體是氯氣。
6.一種光纖預(yù)制件的制造方法，該方法包括以下步驟通過(guò)加熱石英管使其達(dá)到1800℃或更高的溫度、同時(shí)向該石英管的內(nèi)部供入含氯的氣體，由此處理該石英管的內(nèi)表面；以及將所述石英管加工成棒。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光纖預(yù)制件的制造方法，其中所述的含氯的氣體是氯氣。
8.一種光纖制造方法，該方法包括對(duì)采用權(quán)利要求6或7所述的光纖預(yù)制件制造方法所制備的光纖預(yù)制件進(jìn)行拉絲的步驟。
全文摘要
本發(fā)明提供了石英管內(nèi)表面的處理方法、光纖預(yù)制件的制造方法和光纖制造方法，其中使全球變暖的氣體的排放量少于使用傳統(tǒng)方法時(shí)的情況。石英管內(nèi)表面的處理方法包括以下步驟對(duì)石英管進(jìn)行加熱，使得溫度達(dá)到1800℃或更高，同時(shí)向石英管的內(nèi)部供入含氯的氣體，從而用氯來(lái)處理石英管的內(nèi)表面。光纖預(yù)制件的制造方法還包括將所述石英管加工成棒的步驟。光纖的制造方法包括對(duì)采用光纖預(yù)制件制造方法所制備的光纖預(yù)制件進(jìn)行拉絲的步驟。
文檔編號(hào)C03B37/012GK1923737SQ20061012774
公開(kāi)日2007年3月7日 申請(qǐng)日期2006年9月1日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月1日
發(fā)明者樽稔樹(shù), 佐佐木隆, 平野正晃 申請(qǐng)人:住友電氣工業(yè)株式會(huì)社