專利名稱：硅片線切割機的升降機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種硅片線切割機，具體的說是一種用于切割晶體硅片的線切割 機的升降機構(gòu)。
技術(shù)背景隨著世界可再生、清潔、無污染的新能源戰(zhàn)略蓬勃興起，太陽能光伏電池發(fā)電項目 發(fā)展迅猛。晶體硅無論是用于電子產(chǎn)業(yè)還是光伏產(chǎn)業(yè)，其終端產(chǎn)品應(yīng)用和計價均是以面積 為單位，即其產(chǎn)品使用形態(tài)是薄片狀。因此，切片精度和質(zhì)量是關(guān)鍵。目前，國內(nèi)主要廠商 使用的線切割機存在許多不盡如人意之處，如該機切割線切割晶體硅棒、錠的升降機構(gòu)，是 以固定晶體硅棒、錠的裝置作為動件，隨著切割的進行其力臂伸出機體的長度不斷變化，在 無任何強制性防護措施下，機器運轉(zhuǎn)產(chǎn)生的震動，會使切割偏差隨之亦發(fā)生不斷變化，這勢 必會影響設(shè)備的切割精度和切片質(zhì)量。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種硅片線切割機的升降機構(gòu)，能平穩(wěn)升 降，提高切割精度和切片質(zhì)量。本實用新型為解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是硅片線切割機的升降機 構(gòu)，主要由固定框架、導(dǎo)軌和液壓缸組成，兩個固定框架相對設(shè)置，并通過連接桿連接為一 個整體，每個固定框架上均垂直設(shè)有導(dǎo)軌槽，每個導(dǎo)軌槽與一個導(dǎo)軌對應(yīng)，導(dǎo)軌槽的凹陷部 與對應(yīng)的導(dǎo)軌的凸出部形狀相吻合，液壓缸上的活塞與框架下部連接。所述的液壓缸也可以用氣壓缸代替。所述的導(dǎo)軌槽，其橫斷面為V形、燕尾形、矩形或圓弧形。本實用新型的有益效果是本技術(shù)方案中，升降機構(gòu)帶動線切割總成平穩(wěn)升降，切 割線對晶體硅棒、錠切割時，切割機構(gòu)是動件，切割前、后其升降軌跡，完全受固定框架兩側(cè) 的導(dǎo)軌控制，不因支撐切割機構(gòu)的力臂(對技術(shù)方案而言是活塞)長短變化而出現(xiàn)切割偏 差，提高了切割精度和切片質(zhì)量，可以保證制造誤差不大于2 μ m，在其作用下，切出的硅片 表面薄厚誤差僅為正負5 μ m。切片工作開始后，升降機構(gòu)的下降和線切割總成的切割線對 晶體硅棒、錠的切入壓力，是利用升降機構(gòu)和固定于其上的切割總成等自身的重力而實現(xiàn) 的，從而降低了能耗。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實用新型的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。圖中標記1、線切割總成，2、導(dǎo)軌，3、固定框架，4、導(dǎo)軌槽，5、液壓缸，6、活塞，7、連
接桿，8、機座。
具體實施方式
如圖所示，硅片線切割機的升降機構(gòu)，主要由固定框架3、導(dǎo)軌2和液壓缸5組成，兩個固定框架3相對設(shè)置在線切割總成1左右兩側(cè)，并通過連接桿7連接為一個整體。每 個固定框架3上均垂直設(shè)有導(dǎo)軌槽4，每個導(dǎo)軌槽4與一個導(dǎo)軌2對應(yīng)，導(dǎo)軌槽4的凹陷部 與對應(yīng)的導(dǎo)軌2的凸出部形狀相吻合。固定框架3用于固定線切割總成1，兩個固定框架3通過四根連接桿7連接為一個 整體。在每個固定框架3的外側(cè)端面上可以設(shè)置兩個導(dǎo)軌槽4，設(shè)置位置為固定框架3的兩 端。四個與導(dǎo)軌槽4配合的導(dǎo)軌2設(shè)置在線切割機的機座8上，將固定框架3和線切割總 成1夾在中間。液壓缸5上的活塞6與固定框架3下部連接，通過液壓系統(tǒng)提供的動力，活 塞6可以將整個機構(gòu)，包括線切割總成1升起，下降時打開液壓系統(tǒng)的旁路閥卸壓，在切割 進程中利用升降機構(gòu)自身的重力下降。所述的液壓缸5也可以由氣壓缸代替。所述的導(dǎo)軌槽4，其橫斷面為V形、燕尾形、矩形或圓弧形。每個導(dǎo)軌的形狀分別與 相應(yīng)的導(dǎo)軌槽匹配。
權(quán)利要求硅片線切割機的升降機構(gòu)，主要由固定框架(3)、導(dǎo)軌(2)和液壓缸(5)組成，其特征在于兩個固定框架(3)相對設(shè)置，并通過連接桿(7)連接為一個整體，每個固定框架(3)上均垂直設(shè)有導(dǎo)軌槽(4)，每個導(dǎo)軌槽(4)與一個導(dǎo)軌(2)對應(yīng)，液壓缸(5)上的活塞(6)與固定框架(3)下部連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片線切割機的升降機構(gòu)，其特征在于每個固定框架(3) 的端面上設(shè)有兩個導(dǎo)軌槽(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片線切割機的升降機構(gòu)，其特征在于所述的導(dǎo)軌槽(4)，其橫斷面為V形、燕尾形、矩形或圓弧形。
專利摘要硅片線切割機的升降機構(gòu)，主要由固定框架、導(dǎo)軌和液壓缸組成，兩個固定框架相對設(shè)置，并通過連接桿連接為一個整體，每個固定框架上均垂直設(shè)有導(dǎo)軌槽，每個導(dǎo)軌槽與一個導(dǎo)軌對應(yīng)，液壓缸上的活塞與框架下部連接。升降機構(gòu)帶動線切割總成平穩(wěn)升降，提高了切割精度和切片質(zhì)量；利用升降機構(gòu)和線切割總成自身的重力下降實現(xiàn)切割線對晶體硅棒、錠的切入壓力，從而降低了能耗。
文檔編號B28D1/22GK201566055SQ20092029838
公開日2010年9月1日 申請日期2009年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月29日
發(fā)明者尚春祥 申請人:尚春祥