專(zhuān)利名稱(chēng)：刻劃頭用集塵器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及被安裝于刻劃頭使用的刻劃頭用集塵器。
背景技術(shù)：
以往，在分?jǐn)嗖ＡЩ宓却嘈圆牧匣宓膱?chǎng)合通過(guò)以刻劃頭進(jìn)行刻劃，其后以折斷裝置進(jìn)行分?jǐn)鄟?lái)使脆性材料基板斷開(kāi)。在此于以刻劃裝置進(jìn)行刻劃時(shí)會(huì)于脆性材料基板產(chǎn)生微小玻璃粉末(以下稱(chēng)為玻璃屑)。于專(zhuān)利文獻(xiàn)1有提案沿刻劃線刻劃，將于分?jǐn)鄷r(shí)產(chǎn)生的玻璃屑除去的玻璃屑除去裝置。此玻璃屑除去裝置設(shè)置空氣供給手段、將吹送的空氣從其中央吸引的吸引部以將于脆性材料基板上殘留的玻璃屑除去。專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)2008-94690號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
[發(fā)明欲解決的課題]顯示于專(zhuān)利文獻(xiàn)1的玻璃屑除去裝置雖在以刻劃裝置形成刻劃線后，或以折斷裝置將基板分?jǐn)嗪?，將于基板上殘存的玻璃屑除去，但于刻劃步驟后玻璃屑除去的步驟變?yōu)楸匾?，有作業(yè)步驟增加的問(wèn)題。本發(fā)明著眼于此種以往的問(wèn)題點(diǎn)而被完成，以可將刻劃脆性材料基板時(shí)產(chǎn)生的玻璃屑與刻劃同時(shí)去除為目的。[解決課題的技術(shù)手段]為了解決此課題，本發(fā)明的刻劃頭用集塵器具備于中央具有貫通孔且由該貫通孔的周?chē)膰姵隹讎姵隹諝馇矣沙蚯笆鲐炌妆辉O(shè)置的吸氣孔吸空氣的嘴；連結(jié)于前述嘴的噴出孔并壓送空氣的泵；連結(jié)于前述嘴的吸氣孔并于吸引空氣時(shí)將包含于吸引的空氣的粉塵分離的集塵器。在此，前述嘴可具有嘴座；將前述嘴座安裝于刻劃頭以使刻劃刀輪從前述貫通孔露出的安裝部；前述嘴座具有于前述貫通孔的周?chē)纬蔀榄h(huán)狀的環(huán)狀槽；連結(jié)于前述環(huán)狀槽并往前述貫通孔的中央噴出空氣的多個(gè)噴出孔；朝前述貫通孔被形成且吸引由前述噴出孔噴出的空氣的吸氣孔。在此，前述嘴座的噴出孔可從前述環(huán)狀槽往貫通孔的中心的刻劃用刀輪被形成的至少3個(gè)噴出孔。在此，前述集塵器可是氣旋集塵器。[發(fā)明的效果]利用具有此種特征的本發(fā)明，通過(guò)先將嘴安裝于刻劃頭，于刻劃時(shí)空氣被由噴出孔往貫通孔的中央噴出，可將產(chǎn)生的玻璃屑卷上。且可將包含被卷上的玻璃屑的空氣由貫通孔吸出并集塵。因此即使在進(jìn)行刻劃的場(chǎng)合于脆性材料基板上亦不會(huì)有玻璃屑?xì)埓妗?br>

圖1為本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的刻劃用集塵器的嘴的立體圖；圖2為本實(shí)施形態(tài)的嘴的組裝構(gòu)成圖；圖3(a) (e)為本實(shí)施形態(tài)的嘴的后視圖、俯視圖、前視圖、仰視圖、側(cè)面圖；圖4(a)、(b)、(c)、(d)分別為本實(shí)施形態(tài)的嘴的A-A線剖面圖、B-B線剖面圖、C-C 線剖面圖、D-D線剖面圖；圖5(a)、(b)、(C)分別為構(gòu)成本實(shí)施形態(tài)的嘴的嘴座的俯視圖、側(cè)面圖、仰視圖；圖6 (a)為本實(shí)施形態(tài)的嘴座的E-E線剖面圖，圖6 (b)為F-F線剖面圖；圖7為本實(shí)施形態(tài)的嘴座的組裝構(gòu)成圖；圖8為本實(shí)施形態(tài)的外罩的背面圖；圖9為刻劃頭的立體圖；圖10為顯示已將本實(shí)施形態(tài)的嘴安裝于刻劃頭的狀態(tài)的立體圖；圖11顯示嘴、氣旋集塵器、泵的連接狀態(tài)的圖。主要元件符號(hào)說(shuō)明10 嘴20 嘴座21下部構(gòu)件21a環(huán)狀槽2lb、2Ic 鼓風(fēng)槽2Id噴出孔22上部構(gòu)件22a切除部22b 槽22c切除部22d圓筒形槽23貫通孔30 外罩31b環(huán)狀切除部31c、31d 段部40安裝部42貫通孔43a、43b 螺絲槽50刻劃保持具55保持具構(gòu)件56刀輪保持具70氣旋集塵器71、72、82 管80 泵
具體實(shí)施例方式圖1為顯示用于本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)的刻劃頭用集塵器的嘴的構(gòu)成立體圖。嘴10 于刻劃頭的側(cè)方被以螺絲固定并使用，在以刻劃頭刻劃脆性材料基板時(shí)，對(duì)脆性材料基板的刻劃線吹送清凈的空氣并吸引玻璃屑。其次針對(duì)此嘴詳細(xì)說(shuō)明。嘴10如于圖2顯示組裝構(gòu)成圖般于嘴座20將外罩30 與安裝部40 —體化而構(gòu)成。圖3(a) (e)為本實(shí)施形態(tài)的嘴的后視圖、俯視圖、前視圖、 仰視圖、側(cè)面圖，圖4(a)、(b)、(c)、(d)分別為本實(shí)施形態(tài)的嘴的A-A線剖面圖、B-B線剖面圖、C-C線剖面圖、D-D線剖面圖。嘴座20是平板狀的構(gòu)件且于中央設(shè)有貫通孔，具有往貫通孔噴出空氣的多個(gè)噴出孔與吸引包含玻璃屑的空氣的吸氣孔。外罩30于中央部形成有切除部的平板狀的構(gòu)件。安裝部40連結(jié)嘴座20、外罩30并將嘴10固定于刻劃頭的側(cè)方。其次針對(duì)各區(qū)塊進(jìn)一步說(shuō)明。首先，圖5(a)、(b)、(c)為嘴座20的俯視圖、側(cè)面圖、仰視圖。圖6 (a)為E-E線剖面圖，圖6(b)為F-F線剖面圖，圖7為顯示嘴座20的制造過(guò)程的立體圖。嘴座20如于圖7(a)、(b)顯示的立體圖般，將下部構(gòu)件21、上部構(gòu)件22貼合。下部構(gòu)件21為平板狀的構(gòu)件，其上面具有環(huán)狀的槽21a、由槽21a的對(duì)稱(chēng)的2點(diǎn)連接于側(cè)方的鼓風(fēng)槽21b、21c。于環(huán)狀槽21a如圖5(c)、圖6(a)所示形成為多個(gè)噴出孔21d往下面的中央部往斜下方向連通。上部構(gòu)件22是圖5 (c)、圖7 (a)所示，于下面具有L字狀的切除部22a，且比下部構(gòu)件21厚且稍大的平板狀的構(gòu)件。于上部構(gòu)件22的形成有L字狀切除部22a的區(qū)域的上面于環(huán)狀的槽21a的上部形成有徑比槽21a大且大致1/2環(huán)狀的槽22b與將其中央的側(cè)壁切除的切除部22c。此外，于上部構(gòu)件22形成由側(cè)方往長(zhǎng)度方向的圓筒形槽22d。于圓筒形槽22d如圖3 (d)所示，于槽22d的最內(nèi)側(cè)的部分與接近開(kāi)口部的部分從下方形成有開(kāi)口 22e、22f。于圓筒形槽22d的開(kāi)口部分形成有螺絲槽。通過(guò)將此下部構(gòu)件21組合并貼于上部構(gòu)件22的L字狀的切除部22a，成為于圖7(b)顯示的構(gòu)件。另外，由此構(gòu)件的上部往環(huán)狀的槽21a的內(nèi)側(cè)同軸地切削加工環(huán)狀且開(kāi)口面積如圖4(b)所示往下方變窄的錐狀的貫通孔23。通過(guò)此可形成于圖2顯示的嘴座20。如上述被形成的嘴座20是圓筒形槽22d通過(guò)開(kāi)口 2&、22f連通于下部構(gòu)件21的鼓風(fēng)槽21b、21c及環(huán)狀槽21a，進(jìn)而連通于多個(gè)噴出孔 21d。其次此嘴座20如圖1、圖2所示，一體安裝于外罩30。外罩30覆蓋上部構(gòu)件22 的半環(huán)狀的槽22b的上部的平板狀的構(gòu)件。此外，如圖2所示，于外罩30以沿嘴座20的貫通孔23的內(nèi)周面的形態(tài)形成有環(huán)狀的切除部31b。另外，對(duì)此切除部31b如于圖8顯示背面圖般形成有沿切除部31b的深處的一對(duì)段部31c、31d。通過(guò)此段部31c、31d，在將外罩30 安裝于嘴座20的上部面時(shí)貫通孔23與半環(huán)狀的槽22b連通。其次，安裝部40如圖2所示于一方的側(cè)面形成有相當(dāng)于嘴座20與外罩30的厚度的切除部41的長(zhǎng)方體的構(gòu)件。安裝部40于中央具有連通于嘴座20的上部構(gòu)件22的切除部22c的貫通孔42。貫通孔42如圖3(b)所示，由外側(cè)形成有螺絲槽。此外，于安裝部40 的上部形成有為了將嘴10安裝于刻劃頭的一對(duì)螺絲槽43a、43b。如上述被形成的嘴10如圖3(d)所示，從圓筒形槽22d經(jīng)鼓風(fēng)槽21b、21c連通于環(huán)狀的槽21a，再?gòu)牟?1a往下方連通至朝向環(huán)狀的中心的噴出孔21d，噴出孔21d成為吹送空氣的噴出孔。此外，由沿外罩30的深處的段部31c、31d連通至上部構(gòu)件22的切除部22c，再連通至安裝部40的貫通孔42，被以此段部31c、31d與上部構(gòu)件22形成的開(kāi)口成為從環(huán)狀切除部31b的側(cè)方吸引空氣的吸引孔。其次針對(duì)如上述被形成的嘴10的往刻劃頭的安裝說(shuō)明。圖9為安裝于刻劃裝置的刻劃頭的立體圖，圖10為顯示已將嘴10安裝于刻劃頭的狀態(tài)的立體圖?？虅濐^50于安裝板51上設(shè)有伺服馬達(dá)52、圓筒凸輪53，凸輪從動(dòng)件M接觸圓筒凸輪53，刻劃頭50的下部的保持具構(gòu)件陽(yáng)通過(guò)圓筒凸輪53的旋轉(zhuǎn)而被保持為可上下動(dòng)。于保持具構(gòu)件55的下端設(shè)有刀輪保持具56。此實(shí)施形態(tài)的嘴10由此保持具構(gòu)件55的側(cè)方通過(guò)螺栓被安裝于螺絲槽43a、43b。此時(shí)嘴10被安裝為刀輪的前端由于圖3(d)顯示的環(huán)狀的貫通孔23往下方露出。在將嘴10固定后，如圖10、圖11所示于安裝部40的貫通孔42經(jīng)肘單元61及管 71連結(jié)氣旋集塵器70。于氣旋集塵器70再經(jīng)管72連接泵80。此外，嘴座20的螺絲槽22d 經(jīng)肘單元62及管81連結(jié)于泵80的排氣口。其次針對(duì)本實(shí)施形態(tài)的集塵單元的動(dòng)作例說(shuō)明。于使刻劃裝置動(dòng)作時(shí)使刻劃頭50 的伺服馬達(dá)52動(dòng)作，將刻劃頭50設(shè)定于既定的高度。之后于刻劃時(shí)使氣旋集塵器70及泵 80動(dòng)作，使往箭頭方向回流以將空氣送入嘴10。如此空氣便會(huì)經(jīng)嘴10的圓筒形槽22d通過(guò)鼓風(fēng)槽21b、21c及環(huán)狀的槽21a，從噴出孔21d往貫通孔23的中央部的刀輪被噴出。因此，可將刻劃時(shí)的玻璃屑以此空氣流卷上。進(jìn)而泵80的吸引力使已噴出的空氣通過(guò)貫通孔 23的吸引孔、槽22b被吸引，經(jīng)肘單元61往氣旋集塵器70回流。此時(shí)玻璃屑亦與空氣一起被導(dǎo)向氣旋集塵器70。因此，可將刻劃所產(chǎn)生的玻璃屑從刻劃裝置的平臺(tái)上排除。以氣旋集塵器70系可將玻璃屑與空氣分離。另外，在此實(shí)施形態(tài)雖連結(jié)氣旋集塵器與泵以進(jìn)行吸引與壓送，但本發(fā)明的刻劃頭用集塵器使用分別獨(dú)立的泵進(jìn)行空氣的吸引與壓送亦可。此外，嘴只要是由刻劃頭的周?chē)鷩姵稣呒纯桑辽儆?個(gè)噴出孔噴出空氣較理想。且只要是從周?chē)砩系目諝饧纯桑?并非受限于本實(shí)施形態(tài)的構(gòu)造者。[產(chǎn)業(yè)上的可利用性]本發(fā)明用于刻劃脆性材料基板的刻劃單元，于刻劃的際可阻止玻璃屑的飛散，可有效地適用于刻劃單元。
權(quán)利要求
1.一種刻劃頭用集塵器，其特征在于于中央具有貫通孔、從該貫通孔周?chē)膰姵隹讎姵隹諝?，且由朝向前述貫通孔設(shè)置的吸氣孔吸取空氣的嘴；連結(jié)于前述嘴的噴出孔、壓送空氣的泵；連結(jié)于前述嘴的吸氣孔、于吸引空氣時(shí)將吸引的空氣中所含的粉塵分離的集塵器。
2.如權(quán)利要求1所述的刻劃頭用集塵器，其特征在于，前述嘴具有 嘴座；將前述嘴座安裝于刻劃頭以使刻劃刀輪從前述貫通孔露出的安裝部； 前述嘴座具有于前述貫通孔的周?chē)纬蔀榄h(huán)狀的環(huán)狀槽；連結(jié)于前述環(huán)狀槽、往前述貫通孔中央噴出空氣的多個(gè)噴出孔；朝前述貫通孔形成、吸引由前述噴出孔噴出的空氣的吸氣孔。
3.如權(quán)利要求2所述的刻劃頭用集塵器，其特征在于，前述嘴座的噴出孔從前述環(huán)狀槽往貫通孔中心的刻劃用刀輪形成的至少3個(gè)噴出孔。
4.如權(quán)利要求1所述的刻劃頭用集塵器，其特征在于，前述集塵器為氣旋集塵器。
全文摘要
本發(fā)明可將刻劃脆性材料基板時(shí)產(chǎn)生的玻璃屑完全去除。安裝使空氣往刻劃頭的刀輪的周?chē)鷩姵銮椅龂姵龅目諝獾淖?0。嘴10設(shè)置往貫通孔23的中央被設(shè)置的多個(gè)空氣的噴出孔、從貫通孔吸引空氣的吸氣孔，于空氣的噴出孔連結(jié)壓送空氣的泵，于吸氣孔連結(jié)集塵器。如此于刻劃時(shí)可從泵噴出空氣，以噴出的刻劃后的具有玻璃屑的空氣卷上并以集塵器集塵，分離玻璃屑。
文檔編號(hào)C03B33/02GK102211860SQ201110056848
公開(kāi)日2011年10月12日 申請(qǐng)日期2011年3月7日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月9日
發(fā)明者岡島康智, 池田健一郎 申請(qǐng)人:三星鉆石工業(yè)股份有限公司