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      一種藍寶石異形孔的加工方法

      文檔序號:1904329閱讀:204來源:國知局
      一種藍寶石異形孔的加工方法
      【專利摘要】本發(fā)明公開了一種藍寶石異形孔的加工方法,先用無水乙醇清洗藍寶石工件坯料表面;再用無水乙醇清洗墊板鋁片表面;再將墊板鋁片加熱,再將墊板鋁片與藍寶石工件坯料自然散熱,冷卻至室溫;然后將墊板鋁片固定在開孔工作臺上;再室溫下混合混懸液;再將開孔模頭固定在開孔機機頭上;再啟動循環(huán)泵,再開孔模頭在開孔機機頭重力作用下自動完成開孔過程;然后將藍寶石工件坯料與墊板鋁片分離,并自然冷卻至室溫,所述方法開孔效率高,開孔過程中晶體不容易開裂,開孔表面精高度,且開孔加工過程操作簡單,設(shè)備成本低。
      【專利說明】一種藍寶石異形孔的加工方法
      【技術(shù)領(lǐng)域】
      [0001]本發(fā)明涉及藍寶石晶體的開孔加工方法,特別涉及一種藍寶石異形孔的加工方法,屬于晶體加工【技術(shù)領(lǐng)域】。
      【背景技術(shù)】
      [0002]藍寶石晶體作為一種重要的技術(shù)晶體,已被廣泛地應(yīng)用于科學(xué)技術(shù)、國防、民用工業(yè)和電子技術(shù)等許多領(lǐng)域。藍寶石晶體是由三個氧原子和兩個鋁原子以共價鍵形式結(jié)合而成,其晶體結(jié)構(gòu)為六方晶格結(jié)構(gòu)。藍寶石晶體的硬度很高,為莫氏硬度9級,僅次于最硬的金剛石。它具有很好的透光性、熱傳導(dǎo)性和電氣絕緣性,力學(xué)機械性能好,并且具有耐磨和抗風(fēng)蝕的特點。藍寶石晶體的熔點為2050°C,沸點為3500°C,最高工作溫度可達1900°C。由于藍寶石晶體具有硬度高、耐磨損、耐高溫和耐酸堿腐蝕等特點,且具有優(yōu)良的光學(xué)性能,因而廣泛應(yīng)用于微電子領(lǐng)域的襯底基片以及各種光學(xué)檢測儀器和可視儀表窗口界面。目前藍寶石晶體(片)開孔主要采用激光打孔,其缺陷如下:首先激光打孔可加工厚度范圍小,可加工厚度< 0.60_;另一方面激光打孔的設(shè)備通常很昂貴,使得設(shè)備投資大;而且激光打孔開孔過程中晶體(片)容易開裂。

      【發(fā)明內(nèi)容】

      [0003]本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷,提供一種藍寶石異形孔的加工方法,所述方法具有開孔效率高,可加工厚度范圍大,開孔形狀不受限制,可根據(jù)實際需要開出各種形狀的孔,且開孔表面精高度,開孔加工過程操作簡單等優(yōu)點。
      [0004]本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn)的。
      [0005]一種藍寶石異形孔的加工方法,所述方法步驟如下:(I)用無水乙醇清洗藍寶石工件坯料表面;(2)用無水乙醇清洗墊板鋁片表面;(3)將墊板鋁片加熱至150 - 180°C,用高溫黏貼蠟將藍寶石工件坯料固定在墊板鋁片上;(4)將墊板鋁片與藍寶石工件坯料自然散熱,冷卻至室溫;(5)將墊板鋁片固定在開孔工作臺上;(6)室溫下將碳化硼與水按1:
      1.5的質(zhì)量比進行混合形成混懸液;(7)將開孔模頭固定在開孔機機頭上;(8)啟動循環(huán)泵,將碳化硼混懸液出口對準開孔部位,啟動超聲波發(fā)生器,調(diào)節(jié)超聲波功率至100 - 200W,頻率30 — 35kHz ;(9)開孔模頭在開孔機機頭重力作用下自動完成開孔過程;(10)取下藍寶石工件坯料和墊板鋁片,將藍寶石工件坯料和墊板鋁片加熱至150 - 180°C,然后將藍寶石工件坯料與墊板鋁片分離,并自然冷卻至室溫。
      [0006]上述的一種藍寶石異形孔的加工方法,其中,所述碳化硼的目數(shù)為240目。
      [0007]上述的一種藍寶石異形孔的加工方法,其中,所述高溫黏貼蠟的型號為WX-02,購買于東莞市崧柏研磨材料有限公司。
      [0008]本發(fā)明一種藍寶石異形孔的加工方法,所述方法采用將藍寶石工件坯料固定在墊板鋁片上,再將墊板鋁片固定在開孔工作臺上,然后通過在開孔機上使用不同的開孔模頭來開出各種形狀的孔,所述方法開孔效率高,可達0.2 - 0.5mm/min ;可加工厚度范圍大,可加工厚度< 70mm;且開孔形狀不受限制,只需通過更換不同形狀的模頭即可開出所需形狀的孔,開孔過程中晶體不容易開裂,開孔表面精高度,表面粗糙度Ra < 1.2 μ m,且開孔加工過程操作簡單,設(shè)備成本低。
      【具體實施方式】
      [0009]以下通過具體實施例對本發(fā)明的【具體實施方式】作進一步詳細的說明。
      [0010]實施例1
      一種藍寶石異形孔的加工方法,所述方法步驟如下:首先用無水乙醇清洗藍寶石工件坯料表面,再用無水乙醇清洗墊板鋁片表面,將墊板鋁片加熱至150°C,用WX-02型高溫黏貼蠟將藍寶石工件坯料固定在墊板鋁片上,將墊板鋁片與藍寶石工件坯料自然散熱,冷卻至室溫,將墊板鋁片固定在開孔工作臺上,室溫下將240目的碳化硼與水按1: 1.5的質(zhì)量比進行混合形成混懸液,將開孔模頭固定在開孔機機頭上,啟動循環(huán)泵,將碳化硼混懸液出口對準開孔部位,啟動超聲波發(fā)生器,調(diào)節(jié)超聲波功率至lOOw,頻率30kHz,開孔模頭在開孔機機頭重力作用下自動完成開孔過程,取下藍寶石工件坯料和墊板鋁片,將藍寶石工件坯料和墊板鋁片加熱至150°C,然后將藍寶石工件坯料與墊板鋁片分離,并自然冷卻至室溫。
      [0011]實施例2
      一種藍寶石異形孔的加工方法,所述方法步驟如下:首先用無水乙醇清洗藍寶石工件坯料表面,再用無水乙醇清洗墊板鋁片表面,將墊板鋁片加熱至160°C,用WX-02型高溫黏貼蠟將藍寶石工件坯料固定在墊板鋁片上,將墊板鋁片與藍寶石工件坯料自然散熱,冷卻至室溫,將墊板鋁片固定在開孔工作臺上,室溫下將240目的碳化硼與水按1: 1.5的質(zhì)量比進行混合形成混懸液,將開孔模頭固定在開孔機機頭上,啟動循環(huán)泵,將碳化硼混懸液出口對準開孔部位,啟動超聲波發(fā)生器,調(diào)節(jié)超聲波功率至150w,頻率32kHz,開孔模頭在開孔機機頭重力作用下自動完成開孔過程,取下藍寶石工件坯料和墊板鋁片,將藍寶石工件坯料和墊板鋁片加熱至160°C,然后將藍寶石工件還料與墊板鋁片分離,并自然冷卻至室溫。
      [0012]實施例3
      一種藍寶石異形孔的加工方法,所述方法步驟如下:首先用無水乙醇清洗藍寶石工件坯料表面,再用無水乙醇清洗墊板鋁片表面,將墊板鋁片加熱至170°C,用WX-02型高溫黏貼蠟將藍寶石工件坯料固定在墊板鋁片上,將墊板鋁片與藍寶石工件坯料自然散熱,冷卻至室溫,將墊板鋁片固定在開孔工作臺上,室溫下將240目的碳化硼與水按1: 1.5的質(zhì)量比進行混合形成混懸液,將開孔模頭固定在開孔機機頭上,啟動循環(huán)泵,將碳化硼混懸液出口對準開孔部位,啟動超聲波發(fā)生器,調(diào)節(jié)超聲波功率至180w,頻率35kHz,開孔模頭在開孔機機頭重力作用下自動完成開孔過程,取下藍寶石工件坯料和墊板鋁片,將藍寶石工件坯料和墊板鋁片加熱至170°C,然后將藍寶石工件坯料與墊板鋁片分離,并自然冷卻至室溫。
      [0013]實施例4
      一種藍寶石異形孔的加工方法,所述方法步驟如下:首先用無水乙醇清洗藍寶石工件坯料表面,再用無水乙醇清洗墊板鋁片表面,將墊板鋁片加熱至180°C,用WX-02型高溫黏貼蠟將藍寶石工件坯料固定在墊板鋁片上,將墊板鋁片與藍寶石工件坯料自然散熱,冷卻至室溫,將墊板鋁片固定在開孔工作臺上,室溫下將240目的碳化硼與水按1: 1.5的質(zhì)量比進行混合形成混懸液,將開孔模頭固定在開孔機機頭上,啟動循環(huán)泵,將碳化硼混懸液出口對準開孔部位,啟動超聲波發(fā)生器,調(diào)節(jié)超聲波功率至200w,頻率30kHz,開孔模頭在開孔機機頭重力作用下自動完成開孔過程,取下藍寶石工件坯料和墊板鋁片,將藍寶石工件坯料和墊板鋁片加熱至180°C,然后將藍寶石工件坯料與墊板鋁片分離,并自然冷卻至室溫。
      [0014]采用本發(fā)明所述方法開孔形狀不受限制,可根據(jù)實際需要開出各種不同形狀的孔;且開孔效率高,可達0.2 - 0.5mm/min ;可加工厚度范圍大,可加工厚度≤70mm ;開孔表面精高度,表面粗糙度Ra < 1.2 μ m。
      [0015]這里本發(fā)明的描述和應(yīng)用是說明性的,并非想將本發(fā)明的范圍限制在上述實施例中,因此,本發(fā)明不受 本實施例的限制,任何采用等效替換取得的技術(shù)方案均在本發(fā)明保護的范圍內(nèi)。
      【權(quán)利要求】
      1.一種藍寶石異形孔的加工方法,其特征在于,所述方法步驟如下: (I)用無水乙醇清洗藍寶石工件坯料表面;(2)用無水乙醇清洗墊板鋁片表面;(3)將墊板鋁片加熱至150 - 180°C,用高溫黏貼蠟將藍寶石工件坯料固定在墊板鋁片上;(4)將墊板鋁片與藍寶石工件坯料自然散熱,冷卻至室溫;(5)將墊板鋁片固定在開孔工作臺上;(6)室溫下將碳化硼與水按1: 1.5的質(zhì)量比進行混合形成混懸液;(7)將開孔模頭固定在開孔機機頭上;(8)啟動循環(huán)泵,將碳化硼混懸液出口對準開孔部位,啟動超聲波發(fā)生器,調(diào)節(jié)超聲波功率至100 - 200w,頻率30 - 35kHz ;(9)開孔模頭在開孔機機頭重力作用下自動完成開孔過程;(10)取下藍寶石工件坯料和墊板鋁片,將藍寶石工件坯料和墊板鋁片加熱至150 - 180°C,然后將藍寶石工件坯料與墊板鋁片分離,并自然冷卻至室溫。
      2.如權(quán)利要求1所述的一種藍寶石異形孔的加工方法,其特征在于,所述碳化硼的目數(shù)為240目ο
      3.如權(quán)利要求1所述的一種藍寶石異形孔的加工方法,其特征在于,所述高溫黏貼蠟的型號為WX-02,購買于東莞市崧柏研磨材料有限公司。
      【文檔編號】B28D5/00GK103934908SQ201410185778
      【公開日】2014年7月23日 申請日期:2014年5月5日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月5日
      【發(fā)明者】秦光臨, 王祿寶 申請人:江蘇吉星新材料有限公司
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