本技術(shù)屬于晶圓加工設(shè)備，具體涉及一種晶圓切割設(shè)備用刀片清洗裝置。

背景技術(shù)：

1、在對晶圓材料進行切割時，因晶圓材料的精密度要求，需要時刻保證切割刀片的清潔，否晶圓材料會出現(xiàn)切割不均、切割損傷，即需要實時的對切割刀片進行清洗。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，僅通過一個噴水嘴，在刀片的上方或側(cè)面進行噴水清洗，清洗范圍較小、清洗不完全，較小的切割碎片足以對晶圓材料造成不可使用的損傷。因此，亟需設(shè)計出一種能夠?qū)Φ毒哌M行徹底清洗的清洗裝置。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的對晶圓材料切割刀片清洗范圍小、清洗不完全的缺陷，提供了一種多位置清洗，且可使用不同尺寸刀片清洗的晶圓切割設(shè)備用刀片清洗裝置。

2、本實用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：

3、一種晶圓切割設(shè)備用刀片清洗裝置，包括：固定在切割設(shè)備切割端的安裝架、通過第一調(diào)節(jié)組件安裝在所述安裝架上用于對刀片進行側(cè)面清洗的側(cè)噴水機構(gòu)、安裝在所述安裝架上用于對刀片進行前側(cè)清洗的前噴水機構(gòu)；其中，

4、所述前噴水機構(gòu)包括：

5、安裝在安裝架上的噴水塊；

6、第一噴水孔，設(shè)置在所述噴水塊上，用于對刀片的前上方進行清洗；

7、若干第二噴水孔，設(shè)置在所述噴水塊上，且正對切割位，對刀片進行清洗。

8、進一步地，所述側(cè)噴水機構(gòu)包括：

9、連接塊；

10、平行安裝在所述連接塊上的兩個噴水管；

11、多個側(cè)面噴水孔，開設(shè)在所述噴水管上；兩個噴水管分別位于刀片的兩側(cè)，多個所述側(cè)面噴水孔噴水用于清洗切割位處的刀片兩側(cè)。

12、進一步地，所述第一調(diào)節(jié)組件包括固定安裝在安裝架上的噴水固定塊、安裝在所述噴水固定塊上的第一調(diào)節(jié)螺絲；所述連接塊通過第一調(diào)節(jié)螺絲沿所述噴水固定塊上下滑動。

13、進一步地，所述噴水管上等間距開設(shè)有三個側(cè)面噴水孔，均朝向刀片的側(cè)面。

14、進一步地，所述側(cè)面噴水孔為朝向所述刀片側(cè)面開設(shè)的呈100°扇形狀開孔。

15、進一步地，沿所述噴水塊朝向刀片的端面上等間距水平開設(shè)有5個所述第二噴水孔。

16、進一步地，還包括用于檢測刀片損傷的刀片檢測組件，所述刀片檢測組件包括固定安裝在所述安裝架上的檢測固定塊和通過第二調(diào)節(jié)組件滑動安裝在所述檢測固定塊上的傳感器。

17、進一步地，所述第二調(diào)節(jié)組件包括與所述檢測固定塊的傾斜面滑動連接的螺絲調(diào)節(jié)座、固定安裝在所述螺絲調(diào)節(jié)座內(nèi)側(cè)壁上的導(dǎo)向軌道、與所述導(dǎo)向軌道滑動設(shè)置的傳感器安裝座、安裝在所述螺絲調(diào)節(jié)座上的第二調(diào)節(jié)螺絲以及安裝在所述檢測固定塊上用于壓緊所述螺絲調(diào)節(jié)座的壓緊機構(gòu)；

18、所述傳感器安裝在所述傳感器安裝座上，旋擰所述第二調(diào)節(jié)螺絲帶動所述傳感器安裝座沿導(dǎo)向軌道進行位置的調(diào)節(jié)。

19、進一步地，所述壓緊機構(gòu)包括設(shè)置在所述螺絲調(diào)節(jié)座外側(cè)壁上的卡接臺、通過彈簧壓設(shè)在所述卡接臺上的壓緊塊。

20、更進一步地，還包括安裝在所述安裝架上的噴氣組件，所述噴氣組件包括固定安裝在所述安裝架上的噴氣塊和安裝在所述噴氣塊上的l型噴氣管，所述噴氣管的噴氣方向朝向刀片。

21、本實用新型的一種晶圓切割設(shè)備用刀片清洗裝置的有益效果是：本實用新型通過設(shè)置在刀片前方和側(cè)面上的前噴水機構(gòu)、側(cè)噴水機構(gòu)對刀片進行側(cè)面和前面的清洗，保證本實用新型的清洗裝置對刀片清洗的完全性，同時通過第一調(diào)節(jié)組件進行側(cè)噴水機構(gòu)相對于安裝架的位置調(diào)節(jié)，從而實現(xiàn)對于不同尺寸刀片的清洗。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓切割設(shè)備用刀片清洗裝置，其特征在于，包括：固定在切割設(shè)備切割端的安裝架(1)、通過第一調(diào)節(jié)組件(4)安裝在所述安裝架(1)上用于對刀片(7)進行側(cè)面清洗的側(cè)噴水機構(gòu)(2)、安裝在所述安裝架(1)上用于對刀片(7)進行前側(cè)清洗的前噴水機構(gòu)(3)；其中，

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓切割設(shè)備用刀片清洗裝置，其特征在于，所述側(cè)噴水機構(gòu)(2)包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓切割設(shè)備用刀片清洗裝置，其特征在于，所述第一調(diào)節(jié)組件(4)包括固定安裝在安裝架(1)上的噴水固定塊(41)、安裝在所述噴水固定塊(41)上的第一調(diào)節(jié)螺絲(42)；所述連接塊(21)通過第一調(diào)節(jié)螺絲(42)沿所述噴水固定塊(41)上下滑動。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓切割設(shè)備用刀片清洗裝置，其特征在于，所述噴水管(22)上等間距開設(shè)有三個側(cè)面噴水孔(23)，均朝向刀片(7)的側(cè)面。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種晶圓切割設(shè)備用刀片清洗裝置，其特征在于，所述側(cè)面噴水孔(23)為朝向所述刀片(7)側(cè)面開設(shè)的呈100°扇形狀開孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓切割設(shè)備用刀片清洗裝置，其特征在于：沿所述噴水塊(31)朝向刀片(7)的端面上等間距水平開設(shè)有5個所述第二噴水孔(33)。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓切割設(shè)備用刀片清洗裝置，其特征在于：還包括用于檢測刀片(7)損傷的刀片檢測組件(5)，所述刀片檢測組件(5)包括固定安裝在所述安裝架(1)上的檢測固定塊(51)和通過第二調(diào)節(jié)組件(52)滑動安裝在所述檢測固定塊(51)上的傳感器。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種晶圓切割設(shè)備用刀片清洗裝置，其特征在于：所述第二調(diào)節(jié)組件(52)包括與所述檢測固定塊(51)的傾斜面滑動連接的螺絲調(diào)節(jié)座(521)、固定安裝在所述螺絲調(diào)節(jié)座(521)內(nèi)側(cè)壁上的導(dǎo)向軌道(522)、與所述導(dǎo)向軌道(522)滑動設(shè)置的傳感器安裝座(523)、安裝在所述螺絲調(diào)節(jié)座(521)上的第二調(diào)節(jié)螺絲(525)以及安裝在所述檢測固定塊(51)上用于壓緊所述螺絲調(diào)節(jié)座(521)的壓緊機構(gòu)(524)；

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種晶圓切割設(shè)備用刀片清洗裝置，其特征在于，所述壓緊機構(gòu)(524)包括設(shè)置在所述螺絲調(diào)節(jié)座(521)外側(cè)壁上的卡接臺(5241)、通過彈簧(5242)壓設(shè)在所述卡接臺(5241)上的壓緊塊(5243)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-9任一項所述的一種晶圓切割設(shè)備用刀片清洗裝置，其特征在于，還包括安裝在所述安裝架(1)上的噴氣組件(6)，所述噴氣組件(6)包括固定安裝在所述安裝架(1)上的噴氣塊(61)和安裝在所述噴氣塊(61)上的l型噴氣管(62)，所述噴氣管的噴氣方向朝向刀片。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于晶圓加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓切割設(shè)備用刀片清洗裝置。本技術(shù)包括：固定在切割設(shè)備切割端的安裝架、通過第一調(diào)節(jié)組件安裝在安裝架上用于對刀片進行側(cè)面清洗的側(cè)噴水機構(gòu)、安裝在安裝架上用于對刀片進行前側(cè)清洗的前噴水機構(gòu)；其中，前噴水機構(gòu)包括：安裝在安裝架上的噴水塊；第一噴水孔，設(shè)置在噴水塊上，用于對刀片的前上方進行清洗；若干第二噴水孔，設(shè)置在噴水塊上，且正對切割位，對刀片進行清洗。本技術(shù)通過設(shè)置在刀片前方和側(cè)面上的前噴水機構(gòu)、側(cè)噴水機構(gòu)對刀片進行側(cè)面和前面的清洗，保證對刀片清洗的完全性，同時通過第一調(diào)節(jié)組件進行側(cè)噴水機構(gòu)位置調(diào)節(jié)，從而實現(xiàn)對于不同尺寸刀片的清洗。

技術(shù)研發(fā)人員：莫文亮,姚偉
受保護的技術(shù)使用者：江蘇優(yōu)柯半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240204
技術(shù)公布日：2024/11/26