專利名稱：：陶瓷及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及用于各種電子部件中的陶瓷及其制造方法。以往，陶瓷按下述方法制造。首先，將陶瓷的原料粉末用有機(jī)粘結(jié)劑粘結(jié)成型，接著焙燒該模制品得到陶瓷。然而，如上制得的陶瓷，在其上述的焙燒過程中模制品多少總會產(chǎn)生收縮，而很難得到具高精度的形狀和尺寸的陶瓷。因此，在上述焙燒之后，為使上述陶瓷具有所需形狀和尺寸，就有必要對該陶瓷進(jìn)行切削或研磨等加工，處理。但是，因經(jīng)焙燒的陶瓷非常堅(jiān)硬，作上述切削或研磨加工就會使成本增加。于是，有人公開了一種具高精度的形狀和尺寸的陶瓷，該陶瓷基本上消除了焙燒中產(chǎn)生的收縮，而無須進(jìn)行如上所述的切削加工處理(參照特開平1-317157號公報(bào))。上述陶瓷用反應(yīng)燒結(jié)法制造。例如，混合絕緣性和熱傳導(dǎo)性材料的氧化鋁粉末和金屬鈦粉末，接著，將該混合物置于金屬模中成型，然后，從金屬模中取出該模制品，在氮?dú)夥罩斜簾频?。該陶瓷的結(jié)構(gòu)特征為，所述陶瓷系在焙燒過程中，將生成自上述金屬鈦粉末的氮化鈦粘結(jié)上述氧化鋁粉末而成的反應(yīng)燒結(jié)體。該現(xiàn)有的陶瓷因上述金屬Ti粉末和氮?dú)夥磻?yīng)而產(chǎn)生膨脹，所以可將焙燒中產(chǎn)生的模制品的收縮抑止在極小程度;又因該陶瓷系用低電介質(zhì)材料的氮化鈦粘結(jié)的，故可獲得介電系數(shù)較低的氧化鋁質(zhì)陶瓷。然而，該根據(jù)已有技術(shù)得到的陶瓷，須使與金屬粒子反應(yīng)的反應(yīng)性氣體通過模制品中的氣孔由外部供給至模制品內(nèi)部，結(jié)果，為使在陶瓷中生成約15-20%的大量氣孔，損壞了機(jī)械強(qiáng)度及無機(jī)功能性材料的粒子所具有的特性，這是反應(yīng)燒結(jié)法所特有的問題。另外，還有這樣的問題由于是在氮?dú)夥罩羞M(jìn)行焙燒，對氮濃度進(jìn)行控制及焙燒溫度升高，則從降低制造成本的觀點(diǎn)來說，都是不利的。通常人們知道，在陶瓷中，焙燒后的氣孔率越低，則越能發(fā)揮陶瓷本來的功能。即，當(dāng)陶瓷為由氧化鋁構(gòu)成的場合，其導(dǎo)熱系數(shù)變好;當(dāng)陶瓷為磁性材料時(shí)，其磁飽和性能改善;當(dāng)陶瓷為電介質(zhì)材料時(shí)，其介電常數(shù)增大。不過，氣孔率在15-20%尚不能說充分?，F(xiàn)有技術(shù)中，正是利用這一點(diǎn)，使金屬粉末在氮?dú)夥罩蟹磻?yīng)燒結(jié)，作成氮化金屬，以制取導(dǎo)熱系數(shù)大的導(dǎo)熱體。但是，此時(shí)，從成本上來說，這種方法是不利的。本發(fā)明解決了上述課題。本發(fā)明的目的在于提供一種高尺寸精度的陶瓷及其制造方法，該陶瓷可最大限度地發(fā)揮無機(jī)功能性材料的粒子的特性，賦予反應(yīng)生成物的功能;同時(shí)，可將燒成中的成型體(坯件)的收縮抑止在極小的范圍，并將氣孔率抑止在更小的程度。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明涉及一種陶瓷，該陶瓷由無機(jī)功能性材料的粒子和復(fù)合氧化物粒子構(gòu)成。該復(fù)合氧化物粒子系由至少二種以上的金屬粒子組成的混合物或含有至少一種以上的金屬粒子的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)產(chǎn)生膨脹的同時(shí)，發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而形成的。又，本發(fā)明的陶瓷的制造方法由;將無機(jī)功能性材料粉末與由至少二種以上的金屬粒子組成的混合物，或者與含有至少一種以上的金屬粒子組成的混合物，或者與含有至少一種以上的金屬粒子的無機(jī)化合物粒子的混合粉末混合的第一工序;將在上述第一工序所得的混合物成形的第二工序，及焙燒在上述第二工序所得的成型體(坯件)的第三工序組成。根據(jù)上述步驟所得到的陶瓷，其由焙燒產(chǎn)生的尺寸變化率小，具有高精度的形狀和尺寸，且在具充分的機(jī)械強(qiáng)度和作為無機(jī)功能性材料粒子的特性之外，還具有作為復(fù)合氧化物的各種特性。究其原因，即因?yàn)樵诒簾?，金屬粒子與從外部供給的氧作化學(xué)反應(yīng)而形成氧化物，該氧化物在逐漸填埋了成形體(坯件)中的空隙的同時(shí)，與無機(jī)化合物進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)，邊形成一種復(fù)合氧化物，邊填埋外部氧通過的氣孔，從而顯著減少氣孔率。圖1為顯示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中的平板狀陶瓷的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的放大圖，圖2所示為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中的平板狀陶瓷在焙燒前的內(nèi)部結(jié)構(gòu)放大圖。實(shí)施發(fā)明的最佳形態(tài)實(shí)施例1以下，參照附圖，說明本發(fā)明的實(shí)施例。圖1所示為作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的平板狀陶瓷的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的放大圖。該陶瓷由無機(jī)功能性材料粒子1和位于該些無數(shù)的無機(jī)功能性材料粒子1之間的復(fù)合氧化物粒子2構(gòu)成。如圖2所示，由將含有至少一種以上的金屬粒子的無機(jī)化合物粒子的混合物2a混合于無機(jī)功能性材料粉末1a時(shí)，燒成，如圖1所示地，在無機(jī)功能性材料粒子1之間形成復(fù)合氧化物粒子2。圖中，3表示氣孔。又，本發(fā)明的陶瓷的制造方法具有如下的三個(gè)工序。為形成復(fù)合氧化物2，如圖2所示，將形成復(fù)合氧化物所需的至少由二種以上的金屬粒子組成的混合物，或含有至少一種以上的金屬粒子的無機(jī)化合物的粒子的混合物2a混合于無機(jī)功能性材料粉末1a中的第一工序;使在該第一工序中所得的混合物成形的第二工序;及使在該第二工序中所得的成型品在升溫過程中發(fā)生氧化反應(yīng)及化學(xué)反應(yīng)，同時(shí)進(jìn)行焙燒的第三工序。另外，根據(jù)成型品的形狀，也可在第二工序中，使用擠出成型、壓縮成型等已知的一般成型方法，形成?；邸Ｔ诒緦?shí)施例中，一個(gè)很大的特征在第一工序中，為制造無機(jī)功能性材料粒子2，使至少由二種以上的金屬粒子組成的混合物或使含有至少一種金屬粒子的無機(jī)化合物粒子的混合物2a處于圖2所示位置，并焙燒。即，這樣的話，金屬粒子因第三工序中的焙燒而與外部霧圍中的氧結(jié)合并膨脹，無機(jī)功能性材料粒子1之間難以發(fā)生收縮。另外由于，該氧化的金屬粒子在與無機(jī)化合物粒子作化學(xué)反應(yīng)而膨脹的同時(shí)，形成復(fù)合氧化物，不僅在無機(jī)功能性材料粒子1之間難以發(fā)生收縮，且堵塞氧氣通過的氣孔，使氣孔率減至更小。這里所用的金屬粒子是可因氧化反應(yīng)而導(dǎo)致體積膨脹的材料，特別理想的是Al，Si，Ti，Mn，F(xiàn)e，Co，Ni，Cn，Mo，W，Cr，Zn。另外，這里所用的無機(jī)化合物粒子為與氧化的金屬粒子起化學(xué)反應(yīng)后，可形成復(fù)合氧化物而作體積膨脹的粒子，特別理想的是LiO2，B2O3，MgO，MgCO3，Al2O3，SiO2，SiO，CaO，CaCO3，TiO，Ti2O3，TiO2，V2O3，V2O4，V2O5，MnO，MnO2，F(xiàn)eO，F(xiàn)e2O3，F(xiàn)e3O4，CoO，Co3O4，NiO，NiO2，CuO，Cu2O，ZnO，SrO，SrCO3，NbO，NbO2，Nb2O5，BaO，BaO2，Ta2O5，GeO2，Ga2O3，Y2O3，Ag2O。由選擇二種以上的上述金屬粒子和上述無機(jī)化合物粒子，可使無機(jī)功能性材料具有復(fù)合氧化物的功能特性。例如，選擇Al和Si生成復(fù)合氧化物，即可賦予無機(jī)功能性材料以Si2Al6O13富鋁紅柱石所具有的低介電常數(shù)的特性。另外，也有在該復(fù)合氧化物與無機(jī)功能性材料粉末1a燒結(jié)的同時(shí)，如圖1所示，無機(jī)功能性材料粒子1之間發(fā)生燒結(jié)的情況。然而，如圖2所示，因至少由二種以上的金屬粒子組成的混合物，或含有至少一種以上的金屬粒子的無機(jī)化合物粒子的混合物2a處在無機(jī)功能性材料粒子1之間的大空隙中，就整體而言，無機(jī)功能性材料粒子1和復(fù)合氧化物2發(fā)生燒結(jié)，由此而防止了收縮的產(chǎn)生。另外，既便無機(jī)功能性材料粉末與至少由二種以上的金屬粒子組成的混合物，或與含有至少一種以上的金屬粒子的無機(jī)化合物粒子粉末的混合物互相起化學(xué)反應(yīng)后，形成一部分多種的復(fù)合氧化物，也不會對本發(fā)明的陶瓷特性產(chǎn)生大影響。下面，就具體的實(shí)施例作一說明。本發(fā)明的實(shí)施例1中的陶瓷由作為無機(jī)功能性材料粒子1的氧化鋁粒子，和作為復(fù)合氧化物的粒子2、位于這些氧化鋁粒子間的Mg2Al4SiO10系假藍(lán)寶石復(fù)合氧化物粒子構(gòu)成，該陶瓷系將Al粒子和Si粒子、MgO粒子的混合粉末混合于氧化鋁粉末中燒成，由此在氧化鋁粒子間形成Mg2Al4SiO10系假藍(lán)寶石的復(fù)合氧化物粒2(試樣1)。又，本發(fā)明的實(shí)施例1中的陶瓷的制造方法，具有以下工序如圖2所示，在作為無機(jī)功能性材料粉末1a的氧化鋁粉末中混合為形成復(fù)合氧化物2所需的由至少二種以上的金屬粒子組成的混合物或者含有至少一種以上的金屬粒子的無機(jī)化合物粒子的混合物2a的第一工序，混合比例為在對每100重量份的氧化鋁粉末中混合30重量份的作為混合物2a的Al粒子和Si粒子、MgO粒子的混合粉末;對在上述第一工序中所得的混合物加入丁縮醛樹脂、甲乙酮及乙酸正丁酯后混勻，形成料漿，由刮涂法用該料漿制成平板狀的生片的第二工序;使該生片在加熱條件下發(fā)生氧化反應(yīng)及化學(xué)反應(yīng)，并同時(shí)在電爐中、1600℃下對其進(jìn)行焙燒的第三工序。比較在上述實(shí)施例中將Si粒子用SiO2取代所得的陶瓷(試樣2)，將MgO粒子用MgCO3粒子取代所得的陶瓷(試樣3)及僅將Al粒子用作混合于氧化鋁粉末的無機(jī)化合物粒子而得到的陶瓷(比較樣品1)的各特性，比較結(jié)果示于表1。表1從表1可見，試樣1、2、3及比較樣品的尺寸變化率皆極小。然而，在比較樣品1中，因其中僅僅Al粒子被氧化，未形成復(fù)合氧化物，所以該樣品氣孔率大，導(dǎo)熱系數(shù)小。根據(jù)本發(fā)明，由形成Al粒子的氧化物，再形成Mg2Al4SiO10系假藍(lán)寶石復(fù)合氧化物，即可由此減小氣孔率，得到如試樣1、2、3那樣的尺寸變化率極小、具足夠的機(jī)械強(qiáng)度、又具優(yōu)異的導(dǎo)熱系數(shù)的陶瓷。試樣4-20號為根據(jù)本實(shí)施例1將各種無機(jī)化合物粒子的混合物加于氧化鋁粉末而得到的陶瓷，其各特性示于表2。表2">無機(jī)化合物中摻合的粒子(重量％)復(fù)合氧化物尺寸變化率(％)氣孔率(％)機(jī)械強(qiáng)度(kgf/cm2)試樣4Al(77.7)B2O3(22.3)B4Al18O330.092520試樣5Al(69.7)B2O(32.1)B4All2O190.1102400試樣6Al(18.8)Bi2O3(81.2)Bi2Al4O90.0102390試樣7Al(65.8)CaO(34.2)CaAl4O70.082610試樣8Al(54.9)Cu(54.1)CuAl2O40.1112350試樣9Al(47.8)Co(52.2)CoAl2O40.192420試樣10Al(49.2)Fe(50.8)FeAl2O40.0102350試樣11Al(34.1)GeO2(65.9)GeAl2O50.1102520試樣12Al(90.0)LiO2(10.0)LiAl5O80.192440試樣13Al(49.6)Mn(50.4)MnAl2O40.092300試樣14Al(11.1)Mo(88.9)Al2(MoO4)0.082310試樣15Al(16.9)Nb2O3(83.1)NbAlO40.1112320試樣16Al(65.8)Si(34.2)Al2SiO50.092540試樣17Al(34.3)SrO(12.7)Sr3Al2O60.082330試樣18Al(10.9)Ta2O5(89.1)TaAlO40.0122300試樣19Al(53.0)Ti(47.0)TiAl2O50.092450試樣20Al(8.9)W(91.1)Al2(WO4)30.182320</table></tables>由表2可見，根據(jù)本發(fā)明，盡管在各種材料系中，與上述實(shí)施例同樣，其尺寸變化率極小，但仍能得到其氣孔率較根據(jù)已往的反應(yīng)燒結(jié)法所得的陶瓷(比較樣品1)小的、具充分的機(jī)械強(qiáng)度的陶瓷。實(shí)施例2以下，就本發(fā)明的第二實(shí)施例作一說明。實(shí)施例2中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1的大致相同而在此省略。為形成MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物，將Al粒子和MgO粒子以57.3∶42.7的重量比混合，混合后的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(100重量份)氧化鋁粉末以30重量份混合，1600℃下燒成，得陶瓷(試樣21)。該試樣的包括導(dǎo)熱系數(shù)的各性能示于表3。表3這里，比較樣品1為僅將Al粒子用作混合于氧化鋁粉末的無機(jī)化合物粒子的混合物的陶瓷。從表3可見，試樣21和比較樣品1的尺寸變化率雖皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，仍可如試樣21，由減小氣孔率得到具優(yōu)異的導(dǎo)熱系數(shù)的氧化鋁質(zhì)的陶瓷。實(shí)施例3以下，就本發(fā)明的第3實(shí)施例作一說明。實(shí)施例3中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1的大致相同而在此省略。為形成Si2Al6O13系富鋁紅柱石(莫來石)復(fù)合氧化物，將Al粒子和Si粒子以74.2∶25.8的重量比混合，混合后得到的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量份)氧化鋁粉末以30重量份混合，在1600℃下燒成，得陶瓷(試樣22)。其包括介電系數(shù)及熱傳導(dǎo)率(導(dǎo)熱系數(shù))的各性能示于表4。表4這里，比較樣品2、比較樣品3分別為僅將Si粒子或Ti粒子用作混合于氧化鋁粉末中的無機(jī)化合物粒子的混合物的陶瓷。從表4可見，試樣22、比較樣品1、比較樣品2、比較樣品3的尺寸變化率雖然都極小，但根據(jù)本發(fā)明，仍可如試樣22那樣，由減小氣孔率形成低電介材料的Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物，得到具優(yōu)異的熱傳導(dǎo)率的氧化鋁質(zhì)的陶瓷，該陶瓷比形成了金屬粒子單體的氧化物的比較樣品來，其介電系數(shù)更低。實(shí)施例4以下，就本發(fā)明的第4實(shí)施例作一說明。實(shí)施例4中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1的大致相同而在此省略。為形成Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物，將MgO粒子和Al粒子、Si粒子以24.5∶32.8∶42.7的重量比混合，混合后的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(100重量份)氧化鋁粉末以30重量份混合，1430℃下燒成得陶瓷(試樣23)。該試樣的包括熱膨脹系數(shù)和熱傳導(dǎo)率的各性能值示于表5。表5從表5可見，試樣23和比較樣品1的尺寸變化率雖皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，仍可如試樣23由減小氣孔率，形成熱膨脹系數(shù)較小的材料Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物，得到熱膨脹較小的、具優(yōu)異的熱傳導(dǎo)性能的氧化鋁質(zhì)陶瓷。實(shí)施例5以下就本發(fā)明的第5實(shí)施例作一說明。實(shí)施例5中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1的大致相同而在此省略。為形成MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物，將Al粒子和MgO粒子以57.3∶42.7的重量的混合，混合后的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(100重量份)Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粉末以30重量份混合，1600℃下燒成得陶瓷(試樣24)。其包括熱傳導(dǎo)率的各性能值示于表6。表6這里，比較樣品4為僅將Al粒子用作混合于Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粉末的無機(jī)化合物粒子的混合物的陶瓷。從表6可見，試樣24和比較樣品4的尺寸變化率雖皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，仍可如試樣24，由減少氣孔率得到具優(yōu)異的熱傳導(dǎo)性能的富鋁紅柱石的陶瓷。實(shí)施例6以下，就本發(fā)明的第6實(shí)施例作一說明。實(shí)施例6中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1的大致相同而在此省略。為形成Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物，將Al粒子和Si粒子以74.2∶25.8的重量比混合，混合后得到的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量份)Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粉末以30重量份混合，在1600℃下燒成，得陶瓷(試樣25)。其包括介電系數(shù)及熱傳導(dǎo)率的各性能示于表7。表7<>從表7可見，試樣25和比較樣品4的尺寸變化率雖皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，仍可如試樣25，由減小氣孔率得到具較優(yōu)異的熱傳導(dǎo)性能的、介電系數(shù)較小的富鋁紅柱石質(zhì)的陶瓷。實(shí)施例7以下，就本發(fā)明的第7實(shí)施例作一說明。實(shí)施例7中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1的大致相同而在此省略。為形成Mg2Si5Al4O18系尖晶石復(fù)合氧化物，將MgO粒子、Al粒子和Si粒子以24.5∶32.8∶42.7的重量比混合，混合后得到的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物，將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量份)Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粉末以40重量份混合，在1430℃下燒成，得到陶瓷(試樣26)。其包括熱膨脹系數(shù)和熱傳導(dǎo)率在內(nèi)的各性能示于表8。表8從表8可見，試樣26、比較樣品4的尺寸變化率雖皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，仍可如試樣26，由減小氣孔率形成低熱膨脹系數(shù)的材料Mg2Si5Al4O13系堇青石復(fù)合氧化物，得到熱傳導(dǎo)率較小的、熱膨脹的富鋁紅柱石質(zhì)的陶瓷。實(shí)施例8以下，就本發(fā)明的第8實(shí)施例作一說明。實(shí)施例8中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1的大致相同而在此省略。為形成Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物，將MgO粒子、Al粒子及Si粒子以24.5∶32.8∶42.7的質(zhì)量比混合，混合后的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物，將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量份)Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物粉末以30重量份混合，1430℃下燒成得陶瓷(試樣27)。其包括介電系數(shù)及熱膨脹系數(shù)的各性能值示于表9。表9這里，比較樣品5為僅將Al粒子用作混合于Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物粉末的無機(jī)化合物粒子的混合物的陶瓷。從表9可見，試樣27和比較樣品5的尺寸變化率雖皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，仍可如試樣27、由減小氣孔率得到具優(yōu)異的熱傳導(dǎo)性能的低介電系數(shù)的堇青石質(zhì)的陶瓷。實(shí)施例9以下，就本發(fā)明的第4實(shí)施例作一說明。實(shí)施例4中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1的大致相同而在此省略。為形成MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物，和獲得高精度的尺寸，將Al粒子、MgO粒子及Ta2O5粒子按56.2∶41.9∶1.9的重量比混合，混合后的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量份)氧化鋁粒子以30重量份混合，在1600℃下燒成，得陶瓷(試樣28)。其包括尺寸離散度在內(nèi)的各種特性示于表10。表10從表10可見，雖然試樣28和比較樣品1的尺寸變化率皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，仍可如試樣26，由減小氣孔率而提高傳導(dǎo)性能，由添加Ta2O5減少尺寸離散性，獲得具有高精度尺寸的氧化鋁質(zhì)的陶瓷。實(shí)施例10以下，就本發(fā)明的第10實(shí)施例作一說明。實(shí)施例10中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1的大致相同而在此省略。為形成Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物，將Al粒子、Si粒子及Ta2O5粒子以72.6∶25.8∶2.1的重量比混合，混合后得到的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量份)Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粉末以30重量份混合，在1600℃下燒成，得陶瓷(試樣29)。其包括尺寸離散度在內(nèi)的各性能值示于表11。表11>從表11可見，雖然試樣29、比較樣品2的尺寸變化率皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，但可如試樣29，由減小氣孔率形成低電介材料的Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物，將介電系數(shù)降至較小;又由添加Ta2O5粒子，減小尺寸離散性，獲得具高精度尺寸的氧化鋁質(zhì)陶瓷。實(shí)施例11以下，就本發(fā)明的第11實(shí)施例作一說明。實(shí)施例11中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1的大致相同而在此省略。為形成MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物，將Al粒子、MgO粒子及Ta2O5粒子以56.2∶41.9∶1.9的重量比混合，混合后的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量份)Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粉末以30重量份混合，在1600℃下燒成，得陶瓷(試樣30)。其包括尺寸離散度在內(nèi)的各性能值示于表12。表12從表12可見，試樣30和比較樣品4的尺寸變化率雖皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，仍可如試樣30，由減小氣孔率提高導(dǎo)熱性能;由添加Ta2O5減低尺寸離散性，獲得具有高精度尺寸的莫來石質(zhì)陶瓷。實(shí)施例12以下，就本發(fā)明的第12實(shí)施例作一說明。實(shí)施例12中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例的大致相同而在此省略。為形成Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物，將Al粒子、Si粒子及Ta2O5粒子以72.6∶25.3∶2.1的重量后混合，混合后得到的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量份)Si2Al16O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粉末以30重量份混合，在1600℃下燒成，得陶瓷(試樣31)。其包括尺寸離散度在內(nèi)的各性能值于于表13。表13從表13可見，試樣31和比較樣品4的尺寸變化率雖皆極小，但，根據(jù)本發(fā)明，仍可如試樣31，由減小氣孔率提高導(dǎo)熱性，由添加Ta2O5減少尺寸離散性，獲得如試樣31的具有高精度尺寸的莫來石質(zhì)陶瓷。實(shí)施例13以下就本發(fā)明的第13實(shí)施例作一說明。實(shí)施例13中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1的大致相同而在此省略。為了形成MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物和獲得高精度的尺寸，將Al粒子、MgO粒子及GeO2粒子按56.7∶42.4∶0.9的重量比混合，混合后的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(100重量份)氧化鋁粒子以30重量份混合，1600℃下燒成得陶瓷(試樣32)。其包括尺寸離散度及抗折強(qiáng)度在內(nèi)的各性能值示于表14。又，將GeO2粒取代為Ga2O3、Y2O3、Ag2O(粒子)后所得的陶瓷(試樣33、34、35)的各性能值示于表14中。表14從表14可見，試樣32、33、34、35及比較樣品1的尺寸變化率雖然皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，仍可如試樣32、33、34及35那樣，由減小氣孔率提高導(dǎo)熱性能，由添加GeO2、Ga2O3、Y2O3、Ag2O中的至少一種減小尺寸離散性，得到具有高精度尺寸，又具較大抗折強(qiáng)度的氧化鋁質(zhì)陶瓷。實(shí)施例14以下，就本發(fā)明的第14實(shí)施例作一說明。實(shí)施例14中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1的大致相同而在此省略。為形成Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物，和獲得高精度的尺寸，將Al粒子、Si粒子及GeO2粒子按73.1∶25.8∶1.1的重量比混合，混合后所得的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量份)氧化鋁粉末以30重量份混合，在1600℃下燒成，得陶瓷(試樣36)。其包括尺寸離散度和抗折強(qiáng)度在內(nèi)的各性能值示于表15。又，將GeO2粒子取代為Ga2O3、Y2O3、Ag2O(粒子)，所得的陶瓷(試樣37、38、39)的各性能值也示于表15。表15<從表15可見，試樣36、37、38、39及比較樣品2的尺寸變化率雖皆較小，但根據(jù)本發(fā)明，可由減小氣孔率，形成作為低電介材料的Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物，減小介電系數(shù)至相對較低;由添加GeO2、Ga2O3、Y2O3及Ag2O中的至少一種，減小尺寸離散性，得到具有高精度尺寸，又具有較大抗折強(qiáng)度的氧化鋁質(zhì)陶瓷。實(shí)施例15下面，就本發(fā)明的第15實(shí)施例作一說明。實(shí)施例15中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1中的大致相同而在此省略。為形成MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物，和獲得高精度的尺寸，將Al粒子、MgO粒子及GeO2粒子按56.7∶42.4∶0.9的重量比混合，混合后得到的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量份)Si2Al6O13系莫來石復(fù)合氧化物粉末以30重量份混合，在1600℃下燒成，得陶瓷(試樣40)。其包括尺寸離散度和抗折強(qiáng)度在內(nèi)的各性能值示于表16。又，將GeO2粒子取代為Ga2O3、Y2O3、Ag2O(粒子)，所得的陶瓷(試樣41、42、43)的各性能值也示于表16。表16<>從表16可見，試樣40、41、42、43及比較樣品4的尺寸變化率雖皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，可由減小氣孔率提高導(dǎo)熱性能，由添加GeO2、Ga2O3、Y2O3及Ag2O中的至少一種，減小尺寸離散性，得到具有高精度尺寸、又具有較大抗折強(qiáng)度的莫來石質(zhì)陶瓷。實(shí)施例16下面，就本發(fā)明的第16實(shí)施例作一說明。實(shí)施例16中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1中的大致相同而在此省略。為形成Si2Al6O3系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物，和獲得高精度的尺寸，將Al粒子、Si粒子及GeO2粒子按73.1∶25.8∶1.1的重量比混合，混合后所得的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量)Si2Al6O13系莫來石復(fù)合氧化物粉末以30重量份混合，在1600℃下燒成，得陶瓷(試樣44)。其包括尺寸離散度和抗折強(qiáng)度在內(nèi)的各性能值示于表17。又，將GeO2粒子取代為Ga2O3、Y2O3、Ag2O(粒子)，所得的陶瓷(試樣45、46、47)的各性能值也示于表17。表17從表17可見，試樣44、45、46、47及比較樣品4的尺寸變化率雖皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，可如試樣44、45、46、47那樣的，由減小氣孔率提高導(dǎo)熱性能;由添加GeO2、Ga2O3、Y2O3及Ag2O中的至少一種，減小尺寸離散性，得到具有高精度尺寸、又具有較大抗折強(qiáng)度的莫來石質(zhì)陶瓷。實(shí)施例17下面，就本發(fā)明的第17實(shí)施例作一說明。實(shí)施例17中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1中的大致相同而在此省略。為形成MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物，將Al粒子、MgO粒子及用于抑止在焙燒中發(fā)生的Al向表面湧出的Fe粒子按56.6∶42.0∶1.5的重量比混合，混合后所得的粉狀物用作無機(jī)物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量份)氧化鋁粉末以30重量份混合，在1600℃下燒成，得陶瓷(試樣48)。其包括表面光潔度在內(nèi)的各性能值示于表18。又，將Fe粒子取代為Cr、Ni、Cu、Zn、Ti(粒子)，所得的陶瓷(試樣49-53)的各性能值也示于表18。表18從表18可見，試樣48-53、及比較樣品的尺寸變化率雖皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，可如試樣48-53那樣，由減小氣孔率獲得較優(yōu)異的導(dǎo)熱性能;由添加Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ti中的至少一種，可得到表面性能良好的、氧化鋁質(zhì)的陶瓷。實(shí)施例18下面，就本發(fā)明的第18實(shí)施例作一說明。實(shí)施例18中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1中的大致相同而在此省略。為形成Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物，將Al粒子、Si粒子及用于抑止在焙燒中鋁向表面湧出的Fe粒子按72.8∶25.1∶2.1的重量比混合，混合后所得的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量份)氧化鋁粉末以30重量份混合，在1600℃下燒成，得陶瓷(試樣54)。其包括表面光潔度在內(nèi)的各性能值示于表19。又，將Fe粒子取代為Cr、Ni、Cu、Zn、Ti后所得的陶瓷(試樣55～59)的各性能值也示于表19。表19從表19可見，試樣54-59、比較樣品2和比較樣品3的尺寸變化率雖皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，可如試樣54-59那樣，由減小氣孔率，形成作為低電介質(zhì)材料的Si2Al6O3系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物，比較樣品來為更小，更由添加Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ti中的至少一種以上，得到表面性能良好的氧化鋁的陶瓷。實(shí)施例19下面，就本發(fā)明的第19實(shí)施例作一說明。實(shí)施例19中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1中的大致相同而在此省略。為形成Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物，將MgO粒子、Al粒子、Si粒子及用于抑止在焙燒中鋁向表面湧出的Fe粒子按24.3∶32.6∶42.4∶0.7的重量比混合，混合后所得的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量份)氧化鋁粉末以30重量份混合，在1430℃下燒成，得陶瓷(試樣60)。其包括表面光潔度在內(nèi)的各性能值示于表20。又，將Fe粒子取代為Cr、Ni、Cu、Zn、Ti的陶瓷(試樣61～65)的各性能值也示于表20。表20從表20可見，試樣60-65、比較樣品1的尺寸變化北雖皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，可如試樣60-65那樣，由減小氣孔率形成作為低熱膨脹系數(shù)材料的Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物，使熱膨脹系數(shù)減小，再由添加Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ti中的至少一種以上，得到表面性能良好的氧化鋁質(zhì)的陶瓷實(shí)施例20下面，就本發(fā)明的第20實(shí)施例作一說明。實(shí)施例20中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1中的大致相同而在此省略。為形成MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物，將Al粒子、MgO粒子及用于抑止在焙燒中鋁向表面湧出的Fe粒子按56.5∶42.0∶1.5的重量比混合，混合后所得的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量份)Si2Al6O13系莫來石復(fù)合氧化物粉末以30重量份混合，在1600℃下燒成，得陶瓷(試樣66)。其包括表面光潔度在內(nèi)的各性能值示于表21。又，將Fe粒子取代為Cr、Ni、Cu、Zn、Ti的陶瓷(試樣67-71)，的各性能值也示于表21。表21<>從表21可見，試樣66-71、比較樣品4的尺寸變化率雖皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，可如試樣66-71那樣，由減小氣孔率獲得優(yōu)異的導(dǎo)熱性能;再由添加Fe、Cr、Cu、Zn、Ti中的至少一種以上，得到表面性能良好的莫來石質(zhì)的陶瓷。實(shí)施例21下面，就本發(fā)明的第21實(shí)施例作一說明。實(shí)施例21中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1中的大致相同而在此省略。為形成Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物，將Al粒子、Si粒子及用于抑止在焙燒中鋁向表面湧出的Fe粒子按72.8∶25.1∶2.1的重量比混合，混合后所得的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量份)Si2Al6O13系莫來石復(fù)合氧化物粉末以30重量份混合，在1600℃下燒成，得陶瓷(試樣72)。其包括表面光潔度在內(nèi)的各性能值示于表22。又，將Fe粒子取代為Cr、Ni、Cu、Zn、Ti的陶瓷(試樣73-77)的各性能值也示于表22。表22從表22可見，試樣72-77、比較樣品4的尺寸變化率雖皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，可如試樣72-77那樣，由減小氣孔率獲得較優(yōu)異的導(dǎo)熱性能;再由添加Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ti中的至少一種以上，得到表面性能良好的莫來石質(zhì)的陶瓷。實(shí)施例22下面，就本發(fā)明的第22實(shí)施例作一說明。實(shí)施例22中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1中的大致相同而在此省略。為形成Mg2Si5Al4O18堇青石復(fù)合氧化物，將MgO粒子、Al粒子、Si粒子及用于抑止在焙燒中鋁向表面湧出的Fe粒子按24.3∶32.6∶42.4∶0.7的重量比混合，混合后所得的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量份)Si2Al6O13系莫來石復(fù)合氧化物粉末以40重量份混合，在1430℃下燒成，得陶瓷(試樣78)。其包括表面光潔度在內(nèi)的各性能值示于表23。又，將Fe粒子取代為Cr、Ni、Cu、Zn、Ti的陶瓷(試樣19-83)的各性能值也示于表23。表23從表23可見，試樣79-83、比較樣品4的尺寸變化率雖皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，可如試樣78-83那樣，由減小氣孔率形成作為低熱膨脹系數(shù)材料的Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物，再由添加Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ti中的至少一種以上，得到表面性能良好的莫來石質(zhì)的陶瓷。實(shí)施例23下面，就本發(fā)明的第23實(shí)施例作一說明。實(shí)施例23中所用的陶瓷及其制造方法的組成因與實(shí)施例1中的大致相同而在此省略。為形成Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物，將MgO粒子、Al粒子、Si粒子及用于抑止在焙燒中鋁向表面湧出的Fe粒子按24.3∶32.6∶42.2∶0.7的重量比混合，混合后所得的粉狀物用作無機(jī)化合物粒子的混合物。將該無機(jī)化合物粒子的混合物對(每100重量份)Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物粉末以30重量份混合，在1430℃下燒成，得陶瓷(試樣84)。其包括表面光潔度在內(nèi)的各性能值示于表24。又，將Fe粒子取代為Cr、Ni、Cu、Zn、Ti的陶瓷(試樣85-89)的各性能值也示于表24。表24添加的金屬粒子尺寸變化率(％)氣孔率(％)介電系數(shù)導(dǎo)熱系數(shù)(W/m·k)平均表面光潔度(μm)試樣84Fe0.095.11.90.36試樣85Cr0.1105.02.00.37試樣86Ni0.1104.91.90.36試樣87Cu0.095.01.80.35試樣88Zn0.0105.02.00.35試樣89Ti0.095.12.00.34比較品5-0.0167.30.70.51</table></tables>從表24可見，試樣84-89、比較樣品5的尺寸變化率雖皆極小，但根據(jù)本發(fā)明，可如試樣84-89那樣，由減小氣孔率獲得較優(yōu)異的導(dǎo)熱性能，由添加Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ti中的至少一種以上得到表面性能良好的堇青石質(zhì)的陶瓷。另外，在實(shí)施例1至實(shí)施例16中，尺寸變化率、氣孔率、導(dǎo)熱系數(shù)、熱膨脹系數(shù)、介電系數(shù)按如下的方法測定，并算出。尺寸變化率由測定焙燒前的生片和燒成后的平板狀陶瓷的尺寸，算出其比值。負(fù)的符號表示收縮。氣孔率由從外部尺寸算得的表觀體積和從氦氣干式密度汁得到的、除去開孔部分的體積之比算出。導(dǎo)熱系數(shù)由激光閃耀(快速加熱)法在室溫下測得。熱膨脹系數(shù)從熱機(jī)械測定裝置測得的0℃-100℃的膨脹而算出。介電系數(shù)由在平板狀陶瓷的二面涂敷電極，從LCR儀側(cè)得的1MHg時(shí)的介電容量算出。機(jī)械強(qiáng)度根據(jù)從三點(diǎn)支撐法所得的最大斷裂抗折強(qiáng)度算出。尺寸離散度系在相同條件下對同一尺寸的30張生片進(jìn)行焙燒，分別求其焙燒后的尺寸變化率，根據(jù)該些尺寸變化率的最大值和最小值之差求得尺寸離散度。工業(yè)上的利用可能性如上所述，根據(jù)本發(fā)明，由至少二種以上的金屬粒子組成的混合物、或含有至少一種以上的金屬粒子的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)，所述金屬粒子和供自外界的氧作化學(xué)反應(yīng)而形成的氧化物漸漸填埋成型體(坯件)的空隙，進(jìn)一步地，所述氧化物與無機(jī)化合物起化學(xué)反應(yīng)形成復(fù)合氧化物，同時(shí)，該復(fù)合氧化物填塞外部氧通過的氣孔。該復(fù)合氧化物粒子和無機(jī)功能性材料粒子組成陶瓷。從而提供了一種制造成本可以較低的陶瓷及其制造方法，該陶瓷可以發(fā)揮出無機(jī)功能性材料粒子的功能，同時(shí)又可將焙燒中成型體產(chǎn)生的收縮率抑止在極小，減小氣孔率;另外，所述陶瓷生坯可在大氣中焙燒，且燒成后具有高精度的形狀和尺寸。在本發(fā)明的附圖中，1表示無機(jī)功能性材料粒子，1a表示無機(jī)功能性材料粉末，2表示復(fù)合氧化物粒子，2a為含金屬粒子的無機(jī)化合物粒子的混合物，3為氣孔。權(quán)利要求1.一種陶瓷，由無機(jī)功能性材料粒子和復(fù)合氧化物和粒子構(gòu)成，所述復(fù)合氧化物粒子系由至少二種以上的金屬粒子組成的混合物或含有一種以上的金屬粒子的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)發(fā)生膨脹并同時(shí)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)而形成。2.如權(quán)利要求1所述的陶瓷，其特征在于，其中，所述金屬粒子由Al、Si、Ti、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Mo、W、Cr、Zn中的一種以上組成。3.如權(quán)利要求1所述的陶瓷，其特征在于，其中，所述無機(jī)化合物粒子由LiO2、B2O3、MgO、MgCO3、Al2O3、SiO2、SiO、CaO、CaCO3、TiO、Ti2O3、TiO2、V2O3、V2O4、V2O5、MnO、MnO2、FeO、Fe2O3、Fe3O4、CoO、Co3O4、NiO、NiO2、CuO、Cu2O、ZnO、SrO、SrCO3、NbO、NbO2、Nb2O5、BaO、BaO2、Ta2O5、GeO2、Ga2O3、Y2O3、Ag2O中的一種以上組成。4.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以氧化鋁粒子和MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物粒子系由含有Si粒子和Al粒子中的至少一種以上的無機(jī)化合物粒子混合物在焙燒時(shí)，發(fā)生膨脹，并同時(shí)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)而形成。5.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以氧化鋁粒子和Si4Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述Si2Al6O13系富鋁紅柱和復(fù)合氧化物粒子系由含有Si粒子石Al粒子中的至少一種以上的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)，發(fā)生膨脹，并同時(shí)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)而形成。6.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以氧化鋁粒子和Mg2Si5Al4O18堇青石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物粒子系由含有Si粒子和Al粒子中的至少一種以上的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)，發(fā)生膨脹，并同時(shí)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)而形成。7.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子和MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物粒子系由含有Si粒子和Al粒子中的至少一種以上的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)，發(fā)生膨脹，并同時(shí)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)而形成。8.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子和另一Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述另一Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子系由含有Si粒子和Al粒子中的至少一種以上的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)，發(fā)生膨脹，并同時(shí)起化學(xué)反應(yīng)而形成。9.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子和Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物粒子系由含有Si粒子和Al粒子中的至少一種以上的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)，發(fā)生膨脹，并同時(shí)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)而形成。10.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物粒子和另一Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述另一Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物粒子系由含有Si粒子和Al粒子中的至少一種以上的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)，發(fā)生膨脹，并同時(shí)起化學(xué)反應(yīng)而形成。11.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以氧化鋁粒子及MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物粒子系由含Si粒子和Al粒子中的至少一種以上和至少含Ta2O5的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)，發(fā)生膨脹，并同時(shí)起化學(xué)反應(yīng)而形成。12.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以氧化鋁粒子、及Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子系由含Si粒子和Al粒子中的至少一種以上和至少含Ta2O5的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)發(fā)生膨脹，并同時(shí)起化學(xué)反應(yīng)而形成。13.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子、及MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物粒子系由含Si粒子和Al粒子中的至少一種以上和至少含Ta2O5的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)發(fā)生膨脹并同時(shí)起化學(xué)反應(yīng)而形成。14.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子、及另一Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述另一Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子系由含Si粒子和Al粒子中的至少一種以上和至少含Ta2O5的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)發(fā)生膨脹，并同時(shí)起化學(xué)反應(yīng)而形成。15.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以氧化鋁粒子、及MgAl2O4系尖晶石氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物粒子系由含Si粒子和Al粒子中的至少一種以上和含有GeO2、Ga2O3、Y2O3、Ag2O中的至少一種以上的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)發(fā)生膨脹，并同時(shí)起化學(xué)反應(yīng)而形成。16.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以氧化鋁粒子及Si2Al6O13系富鋁紅柱石氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子系由含Si粒子和Al粒子中的至少一種以上和含有GeO2、Ga2O3、Y2O3、Ag2O中的至少一種以上的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)發(fā)生膨脹，并同時(shí)起化學(xué)反應(yīng)而形成。17.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子及MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物粒子系由含Si粒子和Al粒子中的至少一種以上和含有GeO2、Ga2O3、Y2O3、Ag2O中的至少一種以上的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)發(fā)生膨脹，并同時(shí)起化學(xué)反應(yīng)而形成。18.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子及另一Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分所述另一Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子系由含Si粒子和Al粒子中的至少一種以上和含有GeO2、Ga2O3、Y2O3、Ag2O中的至少一種以上的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)發(fā)生膨脹，并同時(shí)起化學(xué)反應(yīng)而形成。19.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以氧化鋁粒子和MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物粒子系由含有Al粒子和含有Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ti粒子中的至少一種的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)發(fā)生膨脹，并同時(shí)起化學(xué)反應(yīng)而形成。20.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以氧化鋁粒子和Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子系由含有Al粒子和含有Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ti粒子中的至少一種的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)發(fā)生膨脹，并同時(shí)起化學(xué)反應(yīng)而形成。21.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以氧化鋁粒子和Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物粒子系由含有Al粒子和含有Fe、Cr、Ni、Ca、Zn、Ti粒子中的至少一種的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)發(fā)生膨脹，并同時(shí)起化學(xué)反應(yīng)而形成。22.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子和MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述MgAl2O4系尖晶石復(fù)合氧化物粒子系由含有Al粒子和含有Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ti粒子中的至少一種的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)發(fā)生膨脹，并同時(shí)起化學(xué)反應(yīng)而形成。23.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子和另一Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述另一Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子系由含有Al粒子和含有Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ti粒子中的至少一種的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)發(fā)生膨脹并同時(shí)起化學(xué)反應(yīng)而形成。24.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以Si2Al6O13系富鋁紅柱石復(fù)合氧化物粒子和Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述另一Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物粒子系由含有Al粒子和含有Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ti粒子中的至少一種的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)發(fā)生膨脹，并同時(shí)起化學(xué)反應(yīng)而形成。25.一種陶瓷，其特征在于，所述陶瓷以Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物粒子和另一Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物粒子為主要構(gòu)成成分，所述另一Mg2Si5Al4O18系堇青石復(fù)合氧化物粒子系由含有Al粒子和含有Fe、Cr、Ni、Cu、Zn、Ti粒子中的至少一種的無機(jī)化合物粒子的混合物在焙燒時(shí)發(fā)生膨脹，并同時(shí)起化學(xué)反應(yīng)而形成。26.一種陶瓷的制造方法，其特征在于，所述方法由以下的混合無機(jī)功能性材料的粉末和至少是無機(jī)化合物粒子的混合粉末的第一工序;將在上述第一工序中所得的混合物成型的第二工序;及對在上述第二工序中所得的成型坯(品)進(jìn)行焙燒的第三工序組成。全文摘要本發(fā)明涉及一種陶瓷及其制造方法。本發(fā)明提供了一種燒成后的尺寸變化率小、具有高精度的形狀和尺寸、且可充分發(fā)揮無機(jī)功能性材料粒子特性的陶瓷。所述陶瓷由無機(jī)功能性材料粒子1和復(fù)合氧化物粒子2組成。所述復(fù)合氧化物堵塞在無機(jī)功能性材料粒子之間，焙燒時(shí)，和與其外周接觸的所述無機(jī)功能性材料粒子1起燒結(jié)反應(yīng)，由氧化的金屬粒子和無機(jī)化合物形成。文檔編號C04B35/117GK1109036SQ9510062公開日1995年9月27日申請日期1995年1月26日優(yōu)先權(quán)日1994年2月14日發(fā)明者犬敦,原田真二,御堂勇治,東條正,富岡聰志申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會社