一種雙頭搖擺式藍(lán)寶石晶圓開方機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及藍(lán)寶石專用切割設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種雙頭搖擺式藍(lán)寶石晶圓開方機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]藍(lán)寶石單晶體的莫氏硬度為9，其硬度僅次于金剛石，所以長(zhǎng)期以來多是用鍍有金剛石顆粒的圓盤鋸片來進(jìn)行切割。為了得到較好的表面質(zhì)量，藍(lán)寶石單晶體也采用鍍有金剛石顆粒的內(nèi)圓式刀片和線鋸來切割。同時(shí)圓盤鋸片的厚度最薄的也在Imm以上，加工時(shí)藍(lán)寶石單晶體材料浪費(fèi)嚴(yán)重。而金剛石線鋸的鋸縫僅為0.2-0.4_，所以采用金剛石線鋸能夠減少原材料浪費(fèi)。
[0003]在用藍(lán)寶石晶圓制作方形晶體塊時(shí)，需要使用開方機(jī)對(duì)其進(jìn)行開方處理，現(xiàn)有技術(shù)所公開的開方機(jī)存在以下缺陷:
[0004]1、因?yàn)樗{(lán)寶石單晶體的硬度高，即使使用金剛石線來對(duì)其進(jìn)行切割，切割效率也還是很低下，特別是在金剛石線所切割的工件截面較大時(shí)，工件單位面積上所受到的壓力小，切割效率尤為低下，而目前現(xiàn)有技術(shù)所公開的開方機(jī)為不搖擺方式。
[0005]2、現(xiàn)有技術(shù)所公開的開方機(jī)是采用分為上下二層十字交叉的線網(wǎng)布置，二層的線網(wǎng)之間的間隔一般在50mm左右，下層的線網(wǎng)先接觸到工件進(jìn)行切割，而上層的線網(wǎng)處于空轉(zhuǎn)狀態(tài)，同理，當(dāng)下層的線網(wǎng)切穿工件后，上層的線網(wǎng)還在切割，而下層的線網(wǎng)處于空轉(zhuǎn)狀態(tài)，由于藍(lán)寶石切割較慢，大大浪費(fèi)了切割時(shí)間。
[0006]3、切割機(jī)頭布線不方便，無法布置很小的線網(wǎng)間隔，一般金剛石線之間的間隔均在50mm以上,無法開方切割小于50mm以下的方塊。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種雙頭搖擺式藍(lán)寶石晶圓開方機(jī)，以達(dá)到提升開方的切割效率，減少金剛石線在切割過程中的斷線現(xiàn)象，并使切割機(jī)頭布線更為方便的目的。
[0008]為達(dá)到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下:
[0009]一種雙頭搖擺式藍(lán)寶石晶圓開方機(jī)，包括機(jī)架，還包括放線機(jī)構(gòu)、收線機(jī)構(gòu)、相互成90度或180度夾角設(shè)置的兩個(gè)切割機(jī)頭、切割機(jī)頭升降機(jī)構(gòu)和回轉(zhuǎn)工作臺(tái)。
[0010]所述放線機(jī)構(gòu)和所述收線機(jī)構(gòu)分別位于所述機(jī)架的兩端。
[0011]兩個(gè)所述切割機(jī)頭位于所述機(jī)架的中部。
[0012]所述回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的回轉(zhuǎn)角度為90度或180度或270度或360度，所述回轉(zhuǎn)工作臺(tái)包括第一工作臺(tái)和第二工作臺(tái)，所述第一工作臺(tái)和所述第二工作臺(tái)分別位于兩個(gè)所述切割機(jī)頭下方。
[0013]所述切割機(jī)頭包括與所述切割機(jī)頭升降機(jī)構(gòu)連接的滑板，還包括搖擺機(jī)架，所述搖擺機(jī)架上設(shè)有圓弧線軌和位于所述圓弧線軌圓心處的擺動(dòng)軸，所述搖擺機(jī)架通過所述圓弧線軌和所述擺動(dòng)軸與所述滑板連接，所述滑板上同軸設(shè)置有伺服電機(jī)、第一減速器和齒輪，所述搖擺機(jī)架上還設(shè)有與所述齒輪的齒紋相嚙合的弧形齒條。
[0014]所述搖擺機(jī)架下部關(guān)于所述擺動(dòng)軸對(duì)稱設(shè)有兩組切割組件，所述搖擺機(jī)架上部設(shè)有繞線組件。
[0015]優(yōu)選的，所述切割組件包括切割滾輪和滾輪驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述切割滾輪和所述滾輪驅(qū)動(dòng)電機(jī)之間通過帶輪和皮帶傳動(dòng)。
[0016]優(yōu)選的，所述繞線組件包括兩組分別設(shè)置在兩個(gè)所述切割組件上方的平行導(dǎo)輪組，所述平行導(dǎo)輪組的軸線與所述切割滾輪的軸線平行。
[0017]優(yōu)選的，所述切割機(jī)頭升降機(jī)構(gòu)包括從上至下依次設(shè)置的升降電機(jī)、第二減速器和絲桿。
[0018]優(yōu)選的，兩個(gè)所述切割機(jī)頭之間設(shè)置有過渡導(dǎo)輪組和張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)?？刂苾蓚€(gè)切割機(jī)頭之間出線端和進(jìn)線端的張力，保證兩個(gè)切割機(jī)頭的切割效率相同，同時(shí)有效的降低了斷線機(jī)率。
[0019]通過上述技術(shù)方案，本發(fā)明提供的一種雙頭搖擺式藍(lán)寶石晶圓開方機(jī)的切割機(jī)頭在切割過程中可以小幅搖擺，在擺動(dòng)過程中金剛石線所切割的工件截面相對(duì)于固定不動(dòng)時(shí)大大的減小，從而提高了單位面積的下壓力，提升了切割效率；采用了切割機(jī)頭在上工件在下的切割方式，方便工件裝夾，加工時(shí)金剛石線從上往下進(jìn)給；切割機(jī)頭采用敞開式布線，布線方便，且切割機(jī)頭布線可以布置很小的線網(wǎng)間隔，金剛石線之間的最小間隔可以達(dá)到25mm，可以開方切割最小為25X25mm的方塊；兩邊的線網(wǎng)同時(shí)接觸到工件實(shí)施切割，無空轉(zhuǎn)等待時(shí)間，縮短了切割時(shí)間。
【附圖說明】
[0020]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹。
[0021]圖1為本發(fā)明實(shí)施例所公開的一種雙頭搖擺式藍(lán)寶石晶圓開方機(jī)的整機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2為本發(fā)明切割機(jī)頭的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖3為滑板與搖擺機(jī)架連接處的局部爆炸示意圖；
[0024]圖4為本發(fā)明切割組件的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0025]圖中數(shù)字所表示的相應(yīng)部件名稱:
[0026]1、機(jī)架2、放線機(jī)構(gòu)3、收線機(jī)構(gòu)4、切割機(jī)頭升降機(jī)構(gòu)4-1、升降電機(jī)4-2、第二減速器4-3、絲桿5、回轉(zhuǎn)工作臺(tái)5-1、第一工作臺(tái)5-2、第二工作臺(tái)6、切割機(jī)頭6_1、滑板6_2、搖擺機(jī)架6-3、圓弧線軌6-4、擺動(dòng)軸6-5、伺服電機(jī)6-6、第一減速器6_7、齒輪6_8、弧形齒條6-9、切割組件6-9-1、切割滾輪6-9-2、滾輪驅(qū)動(dòng)電機(jī)6_10、繞線組件7、過渡導(dǎo)輪組8、張力調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
【具體實(shí)施方式】
[0027]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。
[0028]實(shí)施例1
[0029]根據(jù)圖1，本發(fā)明提供了一種雙頭搖擺式藍(lán)寶石晶圓開方機(jī)，包括機(jī)架(1)，還包括放線機(jī)構(gòu)(2)、收線機(jī)構(gòu)(3)、相互成90度夾角設(shè)置的兩個(gè)切割機(jī)頭(6)、切割機(jī)頭升降機(jī)構(gòu)(4)和回轉(zhuǎn)工作臺(tái)(5)。
[0030]放線機(jī)構(gòu)和收線機(jī)構(gòu)分別位于機(jī)架的左右兩端。
[0031 ] 兩個(gè)切割機(jī)頭位于機(jī)架的中部。
[0032]回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的回轉(zhuǎn)角度為90度或180度或270度或360度，回轉(zhuǎn)工作臺(tái)包括第一工作臺(tái)(5-1)和第二工作臺(tái)(5-2)，第一工作臺(tái)和第二工作臺(tái)分別位于兩個(gè)切割機(jī)頭下方。
[0033]切割機(jī)頭的切割中心位于回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的圓盤分度頭圓心所在的圓