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      可將空氣與純水隔離的儲(chǔ)水裝置的制作方法

      文檔序號(hào):2218340閱讀:437來源:國知局
      專利名稱:可將空氣與純水隔離的儲(chǔ)水裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本實(shí)用新型涉及一種儲(chǔ)水裝置,尤其涉及一種可將空氣與純水隔離的儲(chǔ)水裝置。
      背景技術(shù)
      純水在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域中應(yīng)用很廣,一般在水經(jīng)純化處理而成純水后,純水會(huì)被儲(chǔ)存于儲(chǔ)水筒中,以隨時(shí)供生產(chǎn)機(jī)臺(tái)使用。
      請(qǐng)參閱圖5所示,為一現(xiàn)有的純水儲(chǔ)水筒60,該純水儲(chǔ)水筒60接設(shè)有一進(jìn)水管61與一出水管62,純水可經(jīng)由進(jìn)水管61流入純水儲(chǔ)水筒60儲(chǔ)存,而由出水管62流出純水儲(chǔ)水筒60供使用。
      為使純水儲(chǔ)水筒60的純水能順利流出筒體,純水儲(chǔ)水筒60尚需與外界空氣連通,以使空氣進(jìn)入其中,以調(diào)節(jié)純水的進(jìn)出。然而,由于空氣中含有二氧化碳,二氧化碳會(huì)溶解于純水而產(chǎn)生碳酸根(HCO3-),造成純水的酸堿值改變,而影響純水的導(dǎo)電度,會(huì)對(duì)后續(xù)的生產(chǎn)制程產(chǎn)生影響,并影響水處理裝置中的樹脂。
      因此,現(xiàn)有的純水儲(chǔ)水筒60會(huì)另接設(shè)有一進(jìn)氣管63與一出氣管64,進(jìn)氣管63供在純水儲(chǔ)水筒60中注入氮?dú)狻睳2〕,使氮?dú)饪山?jīng)由進(jìn)氣管63流入純水儲(chǔ)水筒60中,再通過出氣管64流出純水儲(chǔ)水筒60外,以調(diào)節(jié)純水儲(chǔ)水筒60中純水的流出與流入。
      然而,氮?dú)怆m然可以避免上述二氧化碳對(duì)純水造成的影響,但是,氮?dú)獗旧硇杞?jīng)一定的純化制造程序,因此,使用使氮?dú)鈨?chǔ)存純水的成本提高,造成生產(chǎn)成本的增加。
      實(shí)用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有純水儲(chǔ)水筒存在的上述缺點(diǎn),本實(shí)用新型提供一種可將空氣與純水隔離的儲(chǔ)水裝置,其可有效地將空氣與純水在純水儲(chǔ)水筒中隔離,以避免氮?dú)獾氖褂靡约凹兯釅A值的變化,節(jié)省成本。
      本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種可將空氣與純水隔離的儲(chǔ)水裝置,包括一儲(chǔ)水筒,具有一內(nèi)空間;其特征在于,一設(shè)于所述內(nèi)空間中的隔膜裝置,該隔膜裝置中將所述內(nèi)空間隔離成一儲(chǔ)氣空間與一儲(chǔ)水空間;一連通于所述儲(chǔ)水空間用以將純水抽入所述儲(chǔ)水空間中的進(jìn)水泵;一連通于所述儲(chǔ)水空間用以將純水抽出所述儲(chǔ)水空間中的出水泵;一連通于所述儲(chǔ)氣空間并使空氣進(jìn)出所述儲(chǔ)氣空間,以調(diào)節(jié)儲(chǔ)水空間容積變化的空氣進(jìn)出口裝置。
      前述的可將空氣與純水隔離的儲(chǔ)水裝置,其特征在于所述隔膜裝置為一撓性薄膜,該撓性薄膜是設(shè)在所述儲(chǔ)水筒的內(nèi)空間的邊壁上。
      前述的可將空氣與純水隔離的儲(chǔ)水裝置,其特征在于所述隔膜裝置為一球狀撓性氣囊,該撓性氣囊是設(shè)于所述儲(chǔ)水筒的內(nèi)空間中,并具有一連通于所述空氣進(jìn)出口裝置的開口端。
      前述的可將空氣與純水隔離的儲(chǔ)水裝置,其特征在于所述隔膜裝置為一長管狀的撓性氣囊,該撓性氣囊內(nèi)空間中,具有兩分別連通于所述空氣進(jìn)出口裝置的開口端。
      本實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)本實(shí)用新型的隔膜裝置可有效地隔離儲(chǔ)水筒內(nèi)空間中的純水與空氣,因此,可直接使空氣進(jìn)出儲(chǔ)氣空間中,以調(diào)節(jié)儲(chǔ)水空間容積的變化,以利純水進(jìn)出儲(chǔ)水筒,不必像現(xiàn)有的純水儲(chǔ)水筒需使用氮?dú)?,?jié)省純水的儲(chǔ)存成本。
      同時(shí),由于空氣與純水是被薄膜裝置所隔離,因此純水不會(huì)與二氧化碳直接接觸,純水不會(huì)產(chǎn)生碳酸根,不會(huì)對(duì)后端的樹脂處理裝置產(chǎn)生影響,也可節(jié)省后端水處理的成本。
      以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明。


      圖1是本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的使用狀態(tài)系統(tǒng)方框圖。
      圖2是本實(shí)用新型第一較佳實(shí)施例的剖面結(jié)構(gòu)圖。
      圖3是本實(shí)用新型第二較佳實(shí)施例的剖面結(jié)構(gòu)圖。
      圖4是本實(shí)用新型第三較佳實(shí)施例的剖面結(jié)構(gòu)圖。
      圖5是現(xiàn)有的純水儲(chǔ)水裝置的平面示意圖。
      圖中標(biāo)號(hào)說明10 儲(chǔ)水筒101 儲(chǔ)氣空間102 儲(chǔ)水空間103 空氣進(jìn)出口裝置104 進(jìn)水管 106 出水管11 進(jìn)水泵12 出水泵13 隔膜裝置 131 撓性薄膜132、132’撓性氣囊20 前處理裝置21 逆滲透處理裝置22 樹脂處理裝置60 純水儲(chǔ)水筒61 進(jìn)水管62 出水管63 進(jìn)氣管64 出氣管具體實(shí)施方式
      請(qǐng)參閱
      圖1與圖2所示,為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的可將空氣與純水隔離的儲(chǔ)水裝置是可與一純水處理裝置一起使用,該純水處理裝置具有一前處理裝置20、一逆滲透處理裝置21與一樹脂處理裝置22,而本實(shí)用新型的儲(chǔ)水裝置則包含有一儲(chǔ)水筒10、一進(jìn)水泵11、一出水泵12與一隔膜裝置13。
      上述進(jìn)水泵11是將水抽入前處理裝置20,經(jīng)前處理裝置20處理后流入逆滲透處理裝置21進(jìn)行純化,再儲(chǔ)存于儲(chǔ)水筒10中。使用時(shí),可用出水泵12將純水由儲(chǔ)水筒10抽出,經(jīng)樹脂處理裝置22處理后,即可送至機(jī)臺(tái)端供使用。
      儲(chǔ)水筒10中具有一內(nèi)空間,隔膜裝置13是設(shè)于儲(chǔ)水筒10中并將內(nèi)空間隔離成一儲(chǔ)氣空間101與一儲(chǔ)水空間102,隔膜裝置13的第一較佳實(shí)施例為一撓性薄膜131,該撓性薄膜131為不透水與不透氣的材質(zhì)制成,并設(shè)于儲(chǔ)水筒10的內(nèi)空間中的邊壁上,撓性薄膜131與儲(chǔ)水筒10內(nèi)空間的邊壁間施以密封,以將內(nèi)空間隔離成儲(chǔ)氣空間101與儲(chǔ)水空間102。
      儲(chǔ)水筒10另設(shè)有一連通于儲(chǔ)氣空間101的空氣進(jìn)出口裝置103、一連通于儲(chǔ)水空間102的進(jìn)水管104以及一連通于儲(chǔ)水空間102的出水管106。空氣進(jìn)出口裝置103是用以調(diào)節(jié)進(jìn)出儲(chǔ)氣空間101的空氣。進(jìn)水管104是依序連通于逆滲透處理裝置21、前處理裝置20與進(jìn)水泵11,以使進(jìn)水泵11抽水經(jīng)逆滲透處理裝置21與前處理裝置20處理后,經(jīng)進(jìn)水管104流入儲(chǔ)水空間102儲(chǔ)存。
      當(dāng)水流入儲(chǔ)水空間102,撓性薄膜131產(chǎn)生變形使儲(chǔ)水空間102的容積改變,同時(shí),儲(chǔ)氣空間101中的空氣被壓縮,使儲(chǔ)氣空間101中的空氣經(jīng)由連通的空氣進(jìn)出口裝置103流出儲(chǔ)氣空間101,達(dá)到儲(chǔ)水筒10儲(chǔ)水的目的。
      當(dāng)欲使用純水時(shí),出水泵12將水抽出儲(chǔ)水空間102,經(jīng)樹脂處理裝置22處理后,即可供機(jī)臺(tái)使用。同時(shí),當(dāng)純水從儲(chǔ)水空間102抽出時(shí),儲(chǔ)水空間102的容積變小,使撓性薄膜131產(chǎn)生變形,空氣經(jīng)由連通的空氣進(jìn)出口裝置103流入儲(chǔ)氣空間101中,達(dá)到調(diào)節(jié)儲(chǔ)水筒10純水出水的目的。
      請(qǐng)參閱圖3所示,前述隔膜裝置13的第二較佳實(shí)施例可為一撓性氣囊132,撓性氣囊132為不透水與不透氣材質(zhì)制成的球狀物,并設(shè)于儲(chǔ)水筒10的內(nèi)空間中,其開口連接于空氣進(jìn)出口裝置103,以將儲(chǔ)水筒10的內(nèi)空間隔離成該儲(chǔ)氣空間101與該儲(chǔ)水空間102。
      如此,可借助進(jìn)水泵11與出水泵12的作用,使撓性氣囊132體積膨脹或縮小,改變儲(chǔ)水空間102的容積,達(dá)到調(diào)節(jié)儲(chǔ)水筒10的儲(chǔ)水空間102中,純水進(jìn)出水的目的。
      請(qǐng)參閱圖4所示,為使用另一撓性氣囊132’的較佳實(shí)施例,撓性氣囊132’為不透水與不透氣材質(zhì)制成的長管狀物,并具有兩開口端,撓性氣囊132’是設(shè)于儲(chǔ)水筒10的內(nèi)空間中,以將儲(chǔ)水筒10的內(nèi)空間隔離成儲(chǔ)氣空間101與儲(chǔ)水空間102,其兩開口端分別連通于空氣進(jìn)出口裝置103。
      如此,可借助進(jìn)水泵11與出水泵12的作用,使撓性氣囊132’可產(chǎn)生體積上的膨脹或縮小,改變儲(chǔ)水空間102的容積,達(dá)到調(diào)節(jié)儲(chǔ)水筒10的儲(chǔ)水空間102中,純水進(jìn)出水的目的。
      以上所述,僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已,并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制,凡是依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾,均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
      權(quán)利要求1.一種可將空氣與純水隔離的儲(chǔ)水裝置,包括一儲(chǔ)水筒,具有一內(nèi)空間;其特征在于,一設(shè)于所述內(nèi)空間中的隔膜裝置,該隔膜裝置中將所述內(nèi)空間隔離成一儲(chǔ)氣空間與一儲(chǔ)水空間;一連通于所述儲(chǔ)水空間用以將純水抽入所述儲(chǔ)水空間中的進(jìn)水泵;一連通于所述儲(chǔ)水空間用以將純水抽出所述儲(chǔ)水空間中的出水泵;一連通于所述儲(chǔ)氣空間并使空氣進(jìn)出所述儲(chǔ)氣空間,以調(diào)節(jié)儲(chǔ)水空間容積變化的空氣進(jìn)出口裝置。
      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可將空氣與純水隔離的儲(chǔ)水裝置,其特征在于所述隔膜裝置為一撓性薄膜,該撓性薄膜是設(shè)在所述儲(chǔ)水筒的內(nèi)空間的邊壁上。
      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可將空氣與純水隔離的儲(chǔ)水裝置,其特征在于所述隔膜裝置為一球狀撓性氣囊,該撓性氣囊是設(shè)于所述儲(chǔ)水筒的內(nèi)空間中,并具有一連通于所述空氣進(jìn)出口裝置的開口端。
      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的可將空氣與純水隔離的儲(chǔ)水裝置,其特征在于所述隔膜裝置為一長管狀的撓性氣囊,該撓性氣囊內(nèi)空間中,具有兩分別連通于所述空氣進(jìn)出口裝置的開口端。
      專利摘要一種可將空氣與純水隔離的儲(chǔ)水裝置,其包含有一儲(chǔ)水筒,儲(chǔ)水筒具有一內(nèi)空間,其中設(shè)有一隔膜裝置,隔膜裝置可為一不透水與不透氣的撓性薄膜或?yàn)橐磺驙罨蜷L管狀的撓性氣囊,以將內(nèi)空間隔離成一儲(chǔ)氣空間與一儲(chǔ)水空間,儲(chǔ)水空間連通設(shè)有一用以將純水抽入儲(chǔ)水空間的進(jìn)水泵以及一用以將純水抽出儲(chǔ)水空間的出水泵,儲(chǔ)氣空間連通設(shè)有一供空氣進(jìn)出儲(chǔ)氣空間,以調(diào)節(jié)儲(chǔ)水空間容積變化的空氣進(jìn)出口裝置,借此,隔膜裝置可有效地將純水與空氣隔離,不必使用氮?dú)饧纯墒辜兯粫?huì)產(chǎn)生碳酸根而影響其它水處理裝置,節(jié)省成本。
      文檔編號(hào)E03B11/06GK2697160SQ20042000538
      公開日2005年5月4日 申請(qǐng)日期2004年3月23日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月23日
      發(fā)明者楊基政 申請(qǐng)人:亞斯??萍脊煞萦邢薰?br>
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