專利名稱：基板運送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種在裝置之間運送基板的運送裝置。
背景技術(shù)：
在專利文獻1中，公開了一種運送裝置14，其用一對負載臂26(在背景技術(shù)及發(fā)明的問題的部分中，賦予了專利文獻1中示出的參考標記)保持LCD用基板S的下面，把以水平狀態(tài)保持在臂26上的基板S吸附于在臂26的上面開口并與負壓裝置連接的孔38，運入、運出于檢查裝置10。運送裝置40在基座32上沿X方向可移動地架裝有X載物臺31，在X載物臺31上可驅(qū)動旋轉(zhuǎn)地架裝有旋轉(zhuǎn)體30，在旋轉(zhuǎn)體30上可升降地架裝著的支撐板28上可沿Y方向移動地支撐著固定有一對臂26的連接部件39。檢查裝置10能沿互成直角的X、Y方向直線移動，使在可繞垂直的θ軸轉(zhuǎn)動的基板放置臺44上放置的基板S的電極墊與探針接觸而進行電檢查。容納基板S的箱C沿著X工作臺31的移動方向放置。運送裝置40把基板S放置在一對臂26上，在箱C和檢查裝置的基板放置臺44之間運送基板S。
專利文獻1為特開平8-264619號公報(第5、6頁，圖3、4)。
專利文獻1所述的運送裝置中，由于是把LCD用基板S放置在一對臂26上進行運送，所以可把基板S的撓曲量抑制得較小，但由于不改變中心位置就不能改變一對臂26的間隔，所以當根據(jù)大小不同的基板S調(diào)整臂26的間隔時，一對臂26之間的中心位置就發(fā)生變化，因該中心位置偏移而必須修正運送裝置的位置。
另外，由于通過使連接部件39沿Y方向移動，使一對臂26在臂26向檢查裝置10突出的保持位置、和臂26從檢查裝置10后退的后退位置之間進退移動，故存在著裝置大型化的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了消除以前的不合適處而提出的，其目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、可以小型化的運送裝置，其可以不改變中心位置而調(diào)整保持基板的一對保持臂的間隔，能使一對保持臂在保持基板的保持位置和從保持位置大致旋轉(zhuǎn)90度的退避位置之間轉(zhuǎn)動。
為了解決上述課題，本發(fā)明的第一方面是一種基板運送裝置，通過一對保持臂保持基板的下面，在水平狀態(tài)下運送基板，其中包括一對臂支撐體，其分別可旋轉(zhuǎn)地支撐著所述一對保持臂，在運送方向上可移動地架裝在底座上；旋轉(zhuǎn)裝置，其使所述一對保持臂在各保持臂在與所述運送方向成大致直角的水平方向上突出而保持所述基板的保持位置和從所述保持位置旋轉(zhuǎn)大致90度的退避位置之間旋轉(zhuǎn)；臂支撐體接離裝置，其使各臂支撐體在所述運送方向上向互為相反的方向連動地移動相等距離；運送移動裝置，其使一對臂支撐體在所述運送方向上一體移動。
本發(fā)明的第二方面是在發(fā)明的第一方面中，在所述底座上設(shè)置有在所述運送方向上延伸的導軌，在該導軌上可滑動地架裝有所述一對臂支撐體，在所述一對臂支撐體之間，在所述導軌上可滑動地架裝有滑動件，通過所述臂支撐體接離裝置連接所述滑動件和各臂支撐體，所述運送移動裝置通過使所述滑動件在運送方向上移動，使所述一對臂支撐體通過所述臂支撐體接離裝置而在運送方向上移動。
本發(fā)明的第三方面的結(jié)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)裝置，將各保持臂在水平面內(nèi)可圍繞垂直軸線旋轉(zhuǎn)地支撐在各臂支撐體上，具有轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置，其使各保持臂在各保持臂與運送方向大致為直角并在水平方向上突出而保持基板的保持位置、和各保持臂向相互相反的方向打開直到與運送方向平行的退避位置之間通過馬氏間歇機構(gòu)旋轉(zhuǎn)。
本發(fā)明的第四方面的結(jié)構(gòu)是在第一至第三方面的任一方面中，在所述各保持臂的上面開口有多個與負壓裝置連接而吸附基板的吸附部件，設(shè)置有對應(yīng)于基板的大小而開閉各吸附部件的開關(guān)閥。
在如上述那樣構(gòu)成的發(fā)明的第一方面中，由于可以使支撐保持臂的臂支撐體通過臂支撐體接離裝置而向互相相反的方向連動地移動相等距離，故通過調(diào)整到適當間隔的一對保持臂能夠以下面兩處部位保持基板而將撓曲量抑制得較小。另外，當運送的基板改變時，不改變中心位置就可以對應(yīng)于基板的大小調(diào)整一對保持臂的間隔，不必改變運出、運入基板的裝置的運入位置和運出位置，可以很容易地進行生產(chǎn)安排的變更。另外，可以提供一種結(jié)構(gòu)簡單、能小型化的運送裝置，能使一對保持臂在保持臂與運送方向成大致直角并在水平方向上突出而保持基板的保持位置和從該保持位置旋轉(zhuǎn)大致90度的退避位置之間旋轉(zhuǎn)。
在如上述那樣構(gòu)成的發(fā)明的第二方面中，在底座上沿運送方向延伸的導軌上架裝有一對臂支撐體，把通過臂支撐體接離裝置而在兩側(cè)連接在各臂支撐體上的滑動件架裝在導軌上，通過運送移動裝置使滑動件移動，沿運送方向移動一對臂支撐體，運送保持在保持臂上的基板。這樣，由于把一對臂支撐體和配置在臂支撐體之間的滑動件可滑動地架裝在同一導軌上，可以使裝置作得簡單、小型化，并能降低成本。
在如上述那樣構(gòu)成的發(fā)明的第三方面中，由于在各臂支撐體上可繞垂直軸線旋轉(zhuǎn)地支撐各保持臂，通過馬氏間歇機構(gòu)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動各保持臂，所以能使一對保持臂在各保持臂與運送方向成大致直角并在水平方向上突出而保持基板的保持位置和向互為相反的方向打開直到與運送方向平行的退避位置之間降低啟動時及停止時的沖擊，能以高速旋轉(zhuǎn)。
在如上述那樣構(gòu)成的發(fā)明的第四方面中，基板通過連接負壓裝置并在各保持臂的上面開口的多個吸附部件吸附下面，可以確實地保持一對保持臂。在運送小的基板時，由于通過開閉閥關(guān)閉不與基板相對的吸附部件，故可以防止空氣從不面對基板的吸附部件流入而降低負壓。


圖1是表示裝有本實施方式的基板運送裝置的液晶顯示裝置的生產(chǎn)線的視圖；圖2是從上方觀察基板運送裝置的主要部分的平面圖；圖3是沿圖2的A-A線的視圖；圖4是沿圖2的B-B線的視圖；圖5是剖開保持臂的吸附墊部分的放大剖視圖。
具體實施例方式
下面根據(jù)

本發(fā)明的基板運送裝置。在圖1中，1是在液晶顯示板(以下稱為基板)上安裝芯片或薄膜而生產(chǎn)液晶顯示裝置的生產(chǎn)線，其是由清洗基板P的端子的清洗裝置2、把各向異性導電膜(ACF)貼附在基板P上的ACF貼附裝置3、裝載印刷芯片或電路的膜(FPC)的裝載裝置4和按壓所裝載的芯片或FPC而壓接在基板P上的壓接裝置5構(gòu)成，為了把基板從清洗裝置2順次運送到壓接裝置5，跨過鄰接的裝置而配置基板運送裝置6。各裝置2至5在基座7上分別架裝有載物臺8，各載物臺8沿互成直角的X、Y、Z方向直線移動，同時可以繞垂直軸θ旋轉(zhuǎn)而進行分度。以水平狀態(tài)從基板運送裝置6運入到載物臺8上的基板P被在載物臺8上面開口并與負壓裝置連通的吸附孔的負壓吸引而被吸附在載物臺8上。在各裝置2至5的載物臺8的上方分別裝有作業(yè)部，對被載物臺8吸附而被分度于規(guī)定位置的基板P進行端子的清洗、ACF的貼附等各種作業(yè)。
如圖1、圖3所示，在裝置2至5的前方正面?zhèn)龋暹\送裝置6的底座10跨過鄰接的兩臺裝置而在X方向上延伸，通過支撐架11而固定在地面上。在底座10的上面，沿X方向固定有導軌12，在滑動件13的下面固定的滑動卡合部13a可滑動地與導軌12卡合。在滑動件13的后方端面上垂下的支撐部13b上，使滑動件13沿X方向運送移動的線性電動機14的一對線性電動機磁鐵線圈14a被沿X軸方向水平固定，在底座10的下面，線性電動機14的一對線性電動機磁鐵14b使磁極面分別與各線性電動機磁鐵線圈14a相對而沿X方向水平固定。
如圖2、圖4所示，在導軌12上，在滑動件13的兩側(cè)可滑動地架裝有一對臂支撐體15、16，沿X方向延伸的齒條17、18相互面對而固定在臂支撐體15、16上。齒條17、18與小齒輪19嚙合，小齒輪19可圍繞垂直軸轉(zhuǎn)動地被支撐在滑動件13上。當對應(yīng)于基板P的大小而調(diào)整臂支撐體15、16的間隔時，設(shè)置在滑動件13上的卡緊裝置20進行鎖緊動作，齒條17、18分別向著小齒輪19被鎖緊，限制臂支撐體15、16的相對移動。為了表示臂支撐體15、16的間隔，標尺21沿X方向延伸而固定在后側(cè)的臂支撐體15上，指針22向著標尺21而安裝在滑動件13上。
這樣，由安裝在滑動件13和各臂支撐體15、16之間的小齒輪19、齒條17、18、卡緊裝置20等構(gòu)成使臂支撐體15、16在作為運送方向的X方向上向相互相反的方向連動地移動相等距離的臂支撐體接離裝置50。而由線性電動機14、滑動件13、小齒輪19、齒條17、18和卡緊裝置20等構(gòu)成使一對臂支撐體15、16沿運送方向一體移動的運送移動裝置51，運送移動裝置51通過用線性電動機14使滑動件13沿運送方向移動，使一對臂支撐體15、16通過臂支撐體接離裝置50而沿運送方向移動。
在臂支撐體15、16上垂直固定有旋轉(zhuǎn)中心軸23、24，保持臂25、26可旋轉(zhuǎn)地支撐在各旋轉(zhuǎn)中心軸23、24上，而在與X方向大致成直角并向水平方向突出而保持基板P的保持位置和向相互相反的方向打開、直到與X方向平行的退避位置之間旋轉(zhuǎn)。從支撐在保持臂25、26的旋轉(zhuǎn)中心軸23、24上的基端部起，相對保持臂25、26成直角而水平突設(shè)有從動桿部25a、26a，當保持臂25、26位于保持位置時，從動桿部25a、26a就向著外側(cè)而向互為相反的方向突出，在從動桿部25a、26a的下面，從端面向基端部設(shè)置的長槽25b、26b沿X方向延伸。驅(qū)動臂29、30可圍繞垂直軸轉(zhuǎn)動地支撐在比旋轉(zhuǎn)中心軸23、24更靠前方而垂直固定于臂支撐體15、16上的支撐軸27、28上，當保持臂25、26及驅(qū)動臂29、30和X軸成直角而向后方突出時，與長槽25b、26b的開口端部嵌合的輥子31、32可轉(zhuǎn)動自由地支撐在驅(qū)動臂29、30的前端。在驅(qū)動臂29、30的前端部形成的扇形齒輪33、34與沿X方向固定在可動體35、36上的齒條37、38嚙合，可動體35、36沿X方向可滑動地架裝在臂支撐體15、16上，并通過氣缸39、40而沿X方向往復運動。
由驅(qū)動臂29、30、輥子31、32、長槽25b、26b、從動桿部25a、26a等構(gòu)成馬氏間歇機構(gòu)(ゼネバ機槽)52。由氣缸39、40、齒條37、38、扇形齒輪33、34、支撐軸27、28、馬氏間歇機構(gòu)52等構(gòu)成使一對保持臂25、26在保持位置和退避位置之間通過馬氏間歇機構(gòu)52而旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置53。而使一對保持臂25、26在保持臂25、26向與運送方向成大致直角的水平方向突出而保持基板P的保持位置和從保持位置旋轉(zhuǎn)大約90度的退避位置之間旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)裝置54是將各保持臂25、26在水平面內(nèi)可圍繞垂直軸旋轉(zhuǎn)地支撐在各臂支撐體15、16上，具有轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置53，其使各保持臂25、26通過馬氏間歇機構(gòu)52而在各保持臂與運送方向成大致直角并在水平方向突出而保持基板P的保持位置和各保持臂沿互為相反方向打開直到與運送方向平行的退避位置之間旋轉(zhuǎn)。
另外，旋轉(zhuǎn)裝置54在保持臂25、26的基端部與旋轉(zhuǎn)中心軸23、24同心形成齒輪，可以使該齒輪與支撐在支撐軸27、28上的齒輪嚙合連接，或者也可以使在保持臂25、26的基端部形成的齒輪通過利用氣缸進行往復運動的齒條而直接轉(zhuǎn)動。
如圖5所示，在一對保持臂25、26上，在上面開口而設(shè)置多個吸附墊41(吸附部件)，各吸附墊41通過穿設(shè)于保持臂25、26上的共用通道42與負壓裝置43連接。在連通共用通道42和各吸附墊41的各分支路44中分別設(shè)有開閉閥45。開閉閥45的閥體46可轉(zhuǎn)動地支撐在保持臂25、26上，而與分支路44交叉，閥體46的操作部46a從保持臂25、26的外側(cè)面向側(cè)方突出。當使操作部46a轉(zhuǎn)動，在閥體46的與分支路44交叉的部分沿直徑方向貫通穿設(shè)的閥孔46b和分支路44成連通狀態(tài)時，開閉閥45被打開，向吸附墊41供給負壓，當成為不連通狀態(tài)時，開閉閥45被關(guān)閉，吸附墊41與負壓裝置43被切斷。
下面，以把基板P從端子清洗裝置2運出、而運入到ACF貼附裝置3中的情況為例說明本實施方式的動作?；暹\送裝置6的滑動件13及在滑動件13上通過齒條17、18、小齒輪19而連接的臂支撐體15、16通過線性電動機14而移動到與清洗裝置2的運出位置相對的位置上。此時，保持臂25、26位于沿互為相反的方向打開直到與X方向平行的退避位置。當端子的清洗結(jié)束后，清洗裝置2的載物臺8沿Z方向上升到吸附在載物臺8上的基板P與保持臂25、26上面不干涉的上升位置，接著，沿X、Y方向移動，被分度到運出位置。
當載物臺8停到運出位置后，通過氣缸39、40使固定在可動體35、36上的齒條37、38前進，通過與齒條37、38嚙合的扇形齒輪33、34而使驅(qū)動臂29、30轉(zhuǎn)動，通過輥子31、32和長槽25b、26b的卡合，保持臂25、26支撐在旋轉(zhuǎn)中心軸23、24上，在與X方向大致成直角的保持位置上旋轉(zhuǎn)。由于驅(qū)動臂29、30的轉(zhuǎn)動，通過構(gòu)成馬氏間歇機構(gòu)52的輥子31、32和長槽25b、26b的卡合而傳遞給保持臂25、26，故可以減低啟動時和停止時的沖擊而使保持臂25、26以高速旋轉(zhuǎn)。當保持臂25、26旋轉(zhuǎn)到保持位置時，載物臺8沿Z方向下降到交接基板P的高度的位置，并暫時停止在該高度位置上。之后在保持臂25、26上面開口的吸附墊41與負壓裝置43連通，基板P被吸附在保持臂25、26上。當向保持臂25、26的吸附結(jié)束時，在載物臺8的上面開口的吸附孔就與大氣連通，基板P被松開。這時，由于基板P通過調(diào)整到適當間隔的一對保持臂25、26而以下面的兩處部位被保持，故可以將基板P的撓曲量抑制得很小。另外，由于不與基板P相對的吸附墊41通過開閉閥45而關(guān)閉分支路44，從而預先封閉了與負壓裝置43的連通，故不會由于從不與基板P相對的吸附墊41產(chǎn)生空氣泄漏而導致負壓下降。當松開基板時，清洗裝置2的載物臺8就沿Z方向下降到與保持臂25、26的下面不干涉的下降位置后，待機到基板P從清洗裝置2的運出位置運出完成。
滑動件13及在滑動件13上通過齒條17、18、小齒輪19而連接的臂支撐體15、16通過線性電動機14而被移動到與ACF貼附裝置3的運入位置相對的位置。ACF貼附裝置3的載物臺8在沿Z方向下降到下降位置的狀態(tài)下沿X、Y方向移動，在運入位置停止。在確認滑動件13及臂支撐體15、16在運入位置停止后，載物臺8沿Z方向上升到基板P交接高度位置，在該高度位置上暫時停止。而在載物臺8上面開口的吸附孔與負壓裝置連通，基板P被吸附保持在載物臺8上，在保持臂25、26上面開口的吸附墊41與大氣連通，基板P從保持臂25、26被解放。在運入位置的基板P的交接作業(yè)結(jié)束后，ACF貼附裝置3的載物臺8從基板P交接高度位置沿Z方向上升到在保持臂25、26上面開口的吸附墊41和基板P的下面不干涉的位置。之后，通過氣缸39、40而使齒條37、38后退，通過齒條37、38、扇形齒輪33、34而使驅(qū)動臂29、30反轉(zhuǎn)，通過輥子31、32和長槽25b、26b的卡合而使保持臂25、26旋轉(zhuǎn)到在互為相反的方向上打開直到與X方向平行的退避位置。
當保持臂25、26旋轉(zhuǎn)到退避位置時，ACF貼附裝置3的載物臺8被移動到動作位置，滑動件13及在滑動件13上借助齒條17、18、小齒輪19而連接的臂支撐體15、16通過線性電動機14被移動到與清洗裝置2的運出位置相對的位置，待機到清洗裝置2的動作完成為止。這時，由于一對保持臂25、26旋轉(zhuǎn)到沿相互相反方向打開而直到與X方向平行的退避位置，故與清洗裝置2的載物臺8不發(fā)生干涉。由此，不必為避免與保持臂25、26的干涉而加長清洗裝置2等的載物臺8的Y方向的行程，可以使各裝置2到5小型化。
在運送基板P的大小改變的情況下，卡緊裝置20松開而解除齒條17、18的向著小齒輪19鎖緊，使臂支撐體15、16中的一個移動，對應(yīng)于基板P的長度而適當調(diào)整一對保持臂25、26的間隔，使撓曲量變小。這時，由于齒條17、18通過小齒輪19而連動，臂支撐體15、16在運送方向上向互為相反的方向移動相等距離，一對保持臂25、26之間的中心位置不變，故當基板P的大小改變時，不必改變各裝置2到5的運入位置、運出位置，容易變更生產(chǎn)安排。當保持臂25、26的間隔調(diào)整完成后，就能鎖緊卡緊裝置20，使齒條17、18向著小齒輪19鎖緊，限制臂支撐體15、16的相對移動。
上述實施方式中，在臂支撐體接離裝置50中使支撐在滑動件13上的小齒輪19和固定在臂支撐體15、16上的齒條17、18嚙合，連接滑動件13和臂支撐體15、16，但也可以把滑動件13和臂支撐體15、16通過連桿機構(gòu)連接，使臂支撐體15、16在運送方向上沿相互相反的方向連動移動相等距離。
另外，上述實施方式中，各保持臂圍繞垂線可旋轉(zhuǎn)地支撐在各臂支撐體上，但也可以把各保持臂圍繞著沿X方向延伸的水平軸線可旋轉(zhuǎn)地支撐在各臂支撐體上，使一對保持臂在各保持臂與運送方向成大致直角并在水平方向上突出的保持位置和各保持臂向下方旋轉(zhuǎn)到與Y方向平行的退避位置之間旋轉(zhuǎn)。
上述實施方式中，雖是對運送液晶板的情況進行了說明，但在場致發(fā)光板、等離子顯示板等的運送中也可以使用。
權(quán)利要求
1.一種基板運送裝置，通過一對保持臂保持基板的下面，在水平狀態(tài)下運送基板，其特征在于，包括一對臂支撐體，其分別可旋轉(zhuǎn)地支撐著所述一對保持臂，在運送方向上可移動地架裝在底座上；旋轉(zhuǎn)裝置，其使所述一對保持臂在各保持臂在與所述運送方向成大致直角的水平方向上突出而保持所述基板的保持位置和從所述保持位置旋轉(zhuǎn)大致90度的退避位置之間旋轉(zhuǎn)；臂支撐體接離裝置，其使各臂支撐體在所述運送方向上向互為相反的方向連動地移動相等距離；運送移動裝置，其使一對臂支撐體在所述運送方向上一體移動。
2.如權(quán)利要求1所述的基板運送裝置，其特征在于，在所述底座上設(shè)置有在所述運送方向上延伸的導軌，在該導軌上可滑動地架裝有所述一對臂支撐體，在所述一對臂支撐體之間，在所述導軌上可滑動地架裝有滑動件，通過所述臂支撐體接離裝置連接所述滑動件和各臂支撐體，所述運送移動裝置通過使所述滑動件在運送方向上移動，使所述一對臂支撐體通過所述臂支撐體接離裝置而在運送方向上移動。
3.如權(quán)利要求1或2所述的基板運送裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)裝置，將各保持臂在水平面內(nèi)可圍繞垂直軸線旋轉(zhuǎn)地支撐在各臂支撐體上，具有轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置，其使各保持臂在各保持臂與運送方向大致為直角并在水平方向上突出而保持基板的保持位置、和各保持臂向相互相反的方向打開直到與運送方向平行的退避位置之間通過馬氏間歇機構(gòu)旋轉(zhuǎn)。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項所述的基板運送裝置，其特征在于，在所述各保持臂的上面開口有多個與負壓裝置連接而吸附基板的吸附部件，設(shè)置有對應(yīng)于基板的大小而開閉各吸附部件的開關(guān)閥。
全文摘要
本發(fā)明提供一種結(jié)構(gòu)簡單、可以小型化的運送裝置，其不改變中心位置而可以調(diào)整保持基板的一對保持臂的間隔，使一對保持臂在保持基板的保持位置和從保持位置旋轉(zhuǎn)大致90度的退避位置之間可以旋轉(zhuǎn)。一對保持臂分別被可旋轉(zhuǎn)地支撐于在運送方向上可移動地架裝在底座上的一對臂支撐體上，在各保持臂在與運送方向大致為直角的水平方向上突出而保持基板的保持位置和從保持位置旋轉(zhuǎn)大致90度的退避位置之間通過旋轉(zhuǎn)裝置使其旋轉(zhuǎn)。通過臂支撐體接離裝置使各臂支撐體在運送方向上向互為相反的方向連動地移動相等距離。通過運送移動裝置使保持基板的一對臂支撐體在運送方向上一體移動。
文檔編號B25J9/02GK1654289SQ200410104560
公開日2005年8月17日 申請日期2004年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2004年2月9日
發(fā)明者磯貝武義, 龜谷泰范 申請人:富士機械制造株式會社