專利名稱：Scara型臂的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在輸送工件(稱作"輸送對(duì)象物")的輸送系統(tǒng)等中 使用、通過多關(guān)節(jié)的臂使工件在同一水平面內(nèi)直線移動(dòng)而進(jìn)行移載的 SCARA型臂。
背景技術(shù)：
在制造半導(dǎo)體基板或液晶顯示板的工廠中，由于對(duì)作為其坯料的 平板狀坯料(半導(dǎo)體晶片或玻璃板)在不同的位置上實(shí)施多工序的處 理，所以必須有將收容該平板狀坯料的托盤等的作為輸送對(duì)象物的工 件在清潔室內(nèi)輸送的輸送系統(tǒng)。在該輸送系統(tǒng)中，使用通過多關(guān)節(jié)的 臂使工件在同一水平面內(nèi)直線移動(dòng)的SCARA (具有選擇柔順性的裝 配機(jī)器人手臂Selective Compliance Assembly Robot Arm )型臂。
這樣在清潔室內(nèi)使用多關(guān)節(jié)的臂型的SCARA型臂(是移載工件 的移載裝置之一)是因?yàn)槲廴緹o塵室的微粒的產(chǎn)生較少。
圖15是表示這樣的SCARA型臂，即作為本發(fā)明的背景技術(shù)的 SCARA型臂的一例的圖，圖15 (a)是其俯視圖，圖15 (b)是其縱 剖視圖。該SCARA型臂記載在專利文獻(xiàn)1中。
該SCARA型臂100具有一個(gè)基臺(tái)101;分別旋轉(zhuǎn)自如地安裝在 該基臺(tái)101上的一對(duì)基端側(cè)臂102、 102';可旋轉(zhuǎn)地安裝在該一對(duì)基 端側(cè)臂102、 102，的各自的前端上的一對(duì)前端側(cè)臂103、 103，；和分 別旋轉(zhuǎn)自如地設(shè)置在該一對(duì)前端側(cè)臂103、 103'的前端側(cè)的一對(duì)移載 臂105、 105，。
另外，將上述分別旋轉(zhuǎn)自如地連結(jié)的基臺(tái)101、基端側(cè)臂102、102'和前端側(cè)臂103、 103'稱作自由臂(無標(biāo)號(hào))。
在該自由臂中，在基臺(tái)101上設(shè)有分別獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)一對(duì)基端 側(cè)臂102、 102'的基端側(cè)的減速馬達(dá)106、 106'。
此外，在基端側(cè)臂102、 102'、前端側(cè)臂103、 103'的內(nèi)部中，在 該基端側(cè)的固定側(cè)和前端側(cè)的旋轉(zhuǎn)側(cè)設(shè)有齒數(shù)2: 1的同步滑輪，并 設(shè)有將它們通過同步帶連結(jié)的差動(dòng)聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)102a、 102a'、 103a、 103a，。
該差動(dòng)聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)102a、 102a'、 103a、 103a'如果對(duì)例如基端側(cè)臂 102進(jìn)行考慮，則若該基端側(cè)臂102在減速馬達(dá)106的作用下順時(shí)針 旋轉(zhuǎn)10度，則通過差動(dòng)聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)102a作用使前端側(cè)臂103逆時(shí)針旋 轉(zhuǎn)10度，結(jié)果，確保在移載臂105、 105'的前端維持著相同的朝向的 狀態(tài)下進(jìn)行前進(jìn)后退的、所謂的SCARA型臂的基本動(dòng)作。
該SCARA型臂100內(nèi)置這樣的差動(dòng)聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)102a、102a'、103a、 103a，，使分別具備移載臂105、 105，的自由臂(未圖示)獨(dú)立地鏡 像動(dòng)作，能夠?qū)⒐ぜ?未圖示)從一個(gè)移載臂105向另一個(gè)移載臂 105，交接，提高作業(yè)效率。
另一方面，作為工件的平板狀坯料(半導(dǎo)體晶片或玻璃板)近年 來越來越大型化，重量也在增加，也要求能夠與其對(duì)應(yīng)的SCARA型 臂。
但是，在構(gòu)成該SCARA型臂IOO的單體的自由臂中，如果想要 增加可移載重量，則自由臂整體大型化，隨之，移載臂105、 105'的 移載面也變高，在移載時(shí)不能利用的最低地上高度變高，無效空間 (Dead Space)的增加成為問題。
此外，'為了更穩(wěn)定地移載更大型化(占用更大的面積)的工件， 優(yōu)選有兩處應(yīng)該支撐工件的支點(diǎn)軸。
因此，提出了將SCARA型臂IOO的每個(gè)自由臂的分別的移載臂 105、 105'做成共用化的移載臂、鏡像同步驅(qū)動(dòng)每個(gè)的自由臂那樣的 雙聯(lián)直接連結(jié)型的自由臂。
但是，在該雙聯(lián)直接連結(jié)型的自由臂中，在各自的臂內(nèi)需要上述 的差動(dòng)聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，成為機(jī)構(gòu)上復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，還需要組裝工時(shí)，希望能 簡(jiǎn)潔化。
此外，在差動(dòng)聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)中，需要適時(shí)進(jìn)行同步帶的張緊調(diào)節(jié)，但 由于自由臂的前端側(cè)通過移載臂旋轉(zhuǎn)自如地直接連結(jié)，所以如果迸行 一個(gè)自由臂的張緊調(diào)節(jié)，則其會(huì)給移載臂的方向性帶來影響，所以另 一個(gè)自由臂的張緊調(diào)節(jié)也需要對(duì)抗地進(jìn)行，張緊調(diào)節(jié)非常困難，維護(hù) 性較差。
此外，為了能夠進(jìn)行張緊調(diào)節(jié)，需要使自由臂的各自的臂能夠開 閉，不能將各自的臂做成閉合截面的免維護(hù)的結(jié)構(gòu)。
進(jìn)而，通過各自的同步旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)和差動(dòng)聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)的稍稍的偏移， 雖然在實(shí)用上是沒有障礙的程序，但有移載臂晃動(dòng)的現(xiàn)象，也要求進(jìn) 行其改善。
專利文獻(xiàn)1日本專利第2739413號(hào)公報(bào)(圖1)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問題而做出的，目的是提供一種將在中心 線對(duì)象上設(shè)有的自由臂的前端連結(jié)的結(jié)構(gòu)、各自的臂的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且維 護(hù)性較好、并且平滑且可靠地實(shí)現(xiàn)中心線方向的直線移動(dòng)的SCARA 型臂。
技術(shù)方案1所述的SCARA型臂的特征在于，具備 一對(duì)自由臂， 分別由兩條臂構(gòu)成；基臺(tái)，用來將上述一對(duì)自由臂的基端側(cè)臂分別以 上述基端側(cè)臂的基端為中心轉(zhuǎn)動(dòng)自如地安裝；移載臂，用來將上述一 對(duì)自由臂的前端側(cè)臂分別以上述前端側(cè)臂的前端上固定的連接軸為 中心轉(zhuǎn)動(dòng)自如地安裝；以及同步機(jī)構(gòu)，使那些前端側(cè)臂的轉(zhuǎn)動(dòng)同步。
技術(shù)方案2所述的SCARA型臂從屬于技術(shù)方案1，其特征在于， 上述同步機(jī)構(gòu)具備一對(duì)相互嚙合的齒輪、和使上述一對(duì)齒輪的每個(gè)與
一對(duì)連結(jié)軸的每個(gè)同步旋轉(zhuǎn)的同步旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。
技術(shù)方案3所述的SCARA型臂從屬于技術(shù)方案1 ，其特征在于， 上述一對(duì)自由臂中的至少任一個(gè)自由臂具備對(duì)基端側(cè)臂的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng) 方向進(jìn)行限制以使前端側(cè)臂向規(guī)定的方向旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)。
技術(shù)方案4所述的SCARA型臂從屬于技術(shù)方案3，其特征在于， 上述旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)具備固定在上述基臺(tái)的固定側(cè)外周上的基臺(tái) 側(cè)鏈輪、固定在上述前端側(cè)臂的基端側(cè)旋轉(zhuǎn)軸上并從該前端側(cè)臂突出 的前端側(cè)鏈輪、和將這兩個(gè)鏈輪連結(jié)的鏈。
根據(jù)技術(shù)方案1所述的SCARA型臂，由于將分別由兩條臂構(gòu)成 的一對(duì)自由臂的基端轉(zhuǎn)動(dòng)自如地安裝在基臺(tái)上，具備將上述一對(duì)自由 臂的前端側(cè)相互轉(zhuǎn)動(dòng)自如地連結(jié)的移載臂，將固定在連結(jié)于該移載臂 上的上述自由臂的前端側(cè)上的連結(jié)軸相互間通過同步機(jī)構(gòu)連結(jié)，所以 在移載臂的兩端上作用有相等的力，移載臂在一對(duì)自由臂的對(duì)稱中心 線方向上平滑且可靠地直線移動(dòng)。
根據(jù)技術(shù)方案2所述的SCARA型臂，除了技術(shù)方案1的效果以 外，由于上述同步機(jī)構(gòu)具備一對(duì)相互嚙合的齒輪、和使上述一對(duì)齒輪 的每個(gè)與一對(duì)連結(jié)軸的每個(gè)同步旋轉(zhuǎn)的同步旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，所以能夠 將同步機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)單地構(gòu)成，此外，與不使用同步旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、而僅銅 鼓哦相互嚙合的齒輪機(jī)構(gòu)構(gòu)成同步機(jī)構(gòu)的情況相比，能夠減小相互嚙 合的齒輪。
根據(jù)技術(shù)方案3所述的SCARA型臂，除了技術(shù)方案1的效果以 外，由于上述一對(duì)自由臂中的至少任一個(gè)自由臂具備對(duì)基端側(cè)臂的旋 轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)方向進(jìn)行限制以使前端側(cè)臂向規(guī)定的方向旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)方向限 制機(jī)構(gòu)，所以即使成為例如中立狀態(tài)，前端側(cè)臂在再轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)也會(huì)向應(yīng) 該運(yùn)動(dòng)的方向轉(zhuǎn)動(dòng)，整體上能夠無障礙地進(jìn)行移載臂的直線移動(dòng)。
根據(jù)技術(shù)方案4所述的SCARA型臂，除了技術(shù)方案3的效果以 外，由于上述旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)具備固定在上述基臺(tái)的固定側(cè)外周上
的基臺(tái)側(cè)鏈輪、固定在上述前端側(cè)臂的基端側(cè)旋轉(zhuǎn)軸上并從該前端側(cè) 臂突出的前端側(cè)鏈輪、和將這兩個(gè)鏈輪連結(jié)的鏈，所以旋轉(zhuǎn)方向限制 機(jī)構(gòu)能夠通過不需要?jiǎng)恿υ吹暮?jiǎn)單的結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)。


圖1 (a)是表示本發(fā)明的SCARA型臂的一例的正視圖，圖1 (b)
是圖1 (a)的側(cè)視圖。
圖2是表示圖1的SCARA型臂具備的同步機(jī)構(gòu)的俯視圖。 圖3是表示包含在圖2的同步機(jī)構(gòu)中的張緊機(jī)構(gòu)的圖，圖3 (a)
是其俯視圖，圖3 (b)是圖3 (a)的左側(cè)視圖，圖3 (c)是圖3 (a)
的下側(cè)視圖。
圖4 (a)、圖4 (b)是圖2的同步機(jī)構(gòu)的動(dòng)作說明圖。 圖5是表示圖1的SCARA型臂具備的旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)的圖，
圖5 (a)是其俯視圖，圖5 (b)是圖5 (a)的張緊部的縱剖視圖。 圖6 (a)是圖5的旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)的動(dòng)作說明圖，圖6 (b)
是圖6(a)的側(cè)視圖，圖6(c)是表示從圖6(a)的狀態(tài)正常地SCARA
型臂動(dòng)作的狀態(tài)的圖。
圖7是依次表示圖1的SCARA型臂的動(dòng)作方式的圖。
圖8是依次表示圖1的SCARA型臂的動(dòng)作方式的圖。
圖9是依次表示圖1的SCARA型臂的動(dòng)作方式的圖。
圖10是依次表示圖1的SCARA型臂的動(dòng)作方式的圖。
圖11是依次表示圖1的SCARA型臂的動(dòng)作方式的圖。
圖12是依次表示圖1的SCARA型臂的動(dòng)作方式的圖。
圖13是依次表示圖1的SCARA型臂的動(dòng)作方式的圖。
圖14是表示具備圖1的SCARA型臂的輸送系統(tǒng)的一例的外觀
立體圖。
圖15是表示作為本發(fā)明的背景技術(shù)的SCARA型臂的圖，圖15
(a)是其俯視圖，圖15 (b)是其縱剖視圖。
具體實(shí)施例方式
以下，利用附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式(實(shí)施例)進(jìn)行說明。
圖1 (a)是表示本發(fā)明的SCARA型臂的一例的正視圖，圖1 (b) 是圖1 (a)的側(cè)視圖。
該SCARA型臂30是在制造例如半導(dǎo)體基板或液晶顯示板等的 工廠中、為了對(duì)其平板狀坯料(半導(dǎo)體晶片或玻璃板)在清潔室內(nèi)實(shí) 施各種加工處理、將各收容有一片該平板狀坯料的托盤作為輸送對(duì)象 物即工件W、在一個(gè)或多級(jí)層疊的狀態(tài)下移載時(shí)使用的裝置。
另外，這里，作為適合使用SCARA型臂的例子，示出了在清潔 室內(nèi)輸送收容有平板狀坯料的托盤的情況，但本發(fā)明的SCARA型臂 并不限于此， 一般能夠在將輸送對(duì)象直線移載到同一平面上的其他位 置上的情況下使用。
本發(fā)明的SCARA型臂30，將由兩條臂(基端側(cè)臂2、前端側(cè)臂 3)構(gòu)成的一對(duì)自由臂4的基端側(cè)臂2的基端側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)自如地安裝在基 臺(tái)1上，具備將一對(duì)自由臂4的前端側(cè)臂3的前端側(cè)相互轉(zhuǎn)動(dòng)自如地 連結(jié)的移載臂5，并且，具備使基臺(tái)1沿移載方向滑動(dòng)的滑動(dòng)部20。
一對(duì)基臺(tái)1分別中心線對(duì)稱地同步旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)一對(duì)基端側(cè)臂2，由 此，移載臂5在該對(duì)稱中心線方向(該方向也是移載工件W的方向， 所以也稱作"移載方向")上直線移動(dòng)。
該SCARA型臂30的特征是，為了平滑且可靠地實(shí)現(xiàn)該直線移 動(dòng)，在圖中的移載臂5內(nèi)具備將連結(jié)在該移載臂5上的自由臂4的前 端側(cè)、即固定在前端側(cè)臂3的前端側(cè)上的連結(jié)軸(參照?qǐng)D2)相互之 間連結(jié)的同步機(jī)構(gòu)(參照?qǐng)D2)，對(duì)于該同步機(jī)構(gòu)，利用圖2 圖4詳 細(xì)地進(jìn)行說明。
上述的所謂的對(duì)稱中心線，是指在連結(jié)基臺(tái)1的軸中心的線的中
點(diǎn)上、與連結(jié)該軸中心的線正交的線，圖1 (b)是在該對(duì)稱中心線處將SCARA型臂30縱剖的縱剖視圖。將上述的各一對(duì)的基臺(tái)1、基端側(cè)臂2、前端側(cè)臂3 (將它們合稱 作"自由臂4")、移載臂5—起稱作臂移載部10。這里，首先對(duì)內(nèi)置 上述同步機(jī)構(gòu)的SCARA型臂30的基本結(jié)構(gòu)和作用效果進(jìn)行說明。SCARA型臂30除了上述的各部以外，還具備使臂移載部10整 體沿上述對(duì)稱中心線方向滑動(dòng)的滑動(dòng)部20。承載了臂移載部10的滑動(dòng)部20被載置在旋轉(zhuǎn)部40之上，臂移 載部10與滑動(dòng)部20能夠旋轉(zhuǎn)。該旋轉(zhuǎn)部40被載置在該圖中概念性地用雙點(diǎn)劃線表示的升降臺(tái) 50之上，臂移載部10和滑動(dòng)部20 (即SCARA型臂30)、以及旋轉(zhuǎn) 部40能夠升降。臂移載部10的移載臂5具有構(gòu)成移載面的上表面5a;臂的下 表面5b;作為臂的基端的基端部5d;以及在維持移載面5a的同時(shí)從 基端部5d向移載方向的前側(cè)伸出的一對(duì)承接臂5e。其特征是，該移載臂5的下表面5b比旋轉(zhuǎn)自如地支撐該移載臂5 的前端側(cè)臂3的上表面3a靠下方。即，移載臂5設(shè)計(jì)為，使其相對(duì) 于前端側(cè)臂3在上下方向上發(fā)生干涉。更具體地講，這樣在與前端側(cè)臂3側(cè)干涉的方向上獲得移載臂5 的高度的結(jié)果是，移載臂5的上表面(移載面5a)處于與自由臂4 的前端側(cè)臂3的上表面3a大致相同的上下位置、或者稍靠上方的位 置。即，能夠盡量使SCARA型臂30的移載面的高度變低。另一方面，如果這樣的移載臂5與自由臂4的前端側(cè)臂3成為上 下干涉的位置關(guān)系，則根據(jù)自由臂4的旋轉(zhuǎn)相位，會(huì)成為移載臂5與 前端側(cè)臂3的上下重疊(力7'》)的部分發(fā)生碰撞的事態(tài)。所以，在該SCARA型臂30中，在移載臂5的根部分、即與前 端側(cè)臂3碰撞的部分上，設(shè)有圖1 (a)所示那樣的、從移載臂5和
前端側(cè)臂3的相互間的連結(jié)部向反連結(jié)方向使臂部分沿傾斜方向避 讓的避讓部5c。圖1 (a)表示使臂移載部IO相對(duì)于移載方向后退最多的狀態(tài)， 可知通過移載臂5的避讓部5c，移載臂5與前端側(cè)臂3雖然接近， 但成為相互不會(huì)抵接的狀態(tài)，避免了碰撞。這樣，該臂移載部10達(dá)到了整體的高剛性化，能夠移載更大型 的工件W，同時(shí)防止了該移載面5a變高，另一方面，移載行程實(shí)質(zhì) 上確保了足夠的行程。此外，該SCARA型臂30的特征還有，在臂移載部10的下方， 具備載置該臂移載部IO整體、并使其沿移載方向直線移動(dòng)的滑動(dòng)部 20。艮口，為了達(dá)到作為目標(biāo)的移載距離，利用滑動(dòng)部20的移載和臂 移載部10的移載兩者，將臂移載部10設(shè)置在上方，特別是只有其移 載臂5位于作為移載對(duì)象的工件W的上方，處于下方的滑動(dòng)部20不 位于工件W的上方或附近。艮P,根據(jù)該移載裝置30，對(duì)于移載物的上方或附近，通過微粒產(chǎn) 生較少的臂移載部IO移動(dòng)，在移載物的下方及遠(yuǎn)離的位置處，通過 滑動(dòng)部20移動(dòng)，能夠在減輕臂移載部10的負(fù)擔(dān)的同時(shí)，整體上達(dá)到 作為目標(biāo)的移載距離，能夠?qū)?yīng)工件W的大型化，并且能夠減少微 粒的影響。另外，根據(jù)移載行程的長(zhǎng)度，也有不需要滑動(dòng)部20的情況，在 此情況下，臂移載部10為原本的SCARA型臂。圖2是表示圖1的SCARA型臂具備的同步機(jī)構(gòu)的俯視圖，圖3 是表示包含在圖2的同步機(jī)構(gòu)中的張緊機(jī)構(gòu)的圖，圖3 (a)是其俯 視圖，圖3 (b)是圖3 (a)的左側(cè)視圖，圖3 (c)是圖3 (a)的下 側(cè)視圖，圖4(a)、圖4 (b)是圖2的差動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)作說明圖。另外， 對(duì)于在此之前己經(jīng)說明的部分賦予相同的標(biāo)號(hào)而省略重復(fù)說明。圖2表示從后側(cè)觀察圖1 (a)的移載臂5的基端部5d的情況， 在該基端部5d的后側(cè)部分上，設(shè)置有構(gòu)成本發(fā)明的同步機(jī)構(gòu)6的齒 輪7和同步旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)8。齒輪7是由相同模數(shù)、相同齒數(shù)的一對(duì)直齒輪7a、 7b構(gòu)成的齒 輪組，做成總是相互嚙合的狀態(tài)。同步旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)8具有同步旋轉(zhuǎn)地分別固定在一對(duì)前端側(cè)臂 3的前端側(cè)連結(jié)軸3c上的一對(duì)臂側(cè)鏈輪8a;同步旋轉(zhuǎn)地分別固定在 一對(duì)直齒輪7a、 7b上的一對(duì)齒輪側(cè)鏈輪8b;和將臂側(cè)鏈輪8a與齒 輪側(cè)鏈輪8b分別連結(jié)的一對(duì)鏈8c。此外，同步旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)8對(duì)于將臂側(cè)鏈輪8a與齒輪側(cè)鏈輪8b 連結(jié)的一對(duì)鏈8c，具備為了分別獨(dú)立地施加適度的張緊而使用的張 緊關(guān)聯(lián)部件(張緊機(jī)構(gòu)8T) 8d、 8e、 8f、 8g、 8h、 8i、 8j及8k。固定有同步旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)8的臂側(cè)鏈輪8a的前端側(cè)臂3的前端 側(cè)連結(jié)軸3c是將前端側(cè)臂3的前端側(cè)與移載臂5旋轉(zhuǎn)自如地連結(jié)的 部件，該連結(jié)軸3c自身是固定在前端側(cè)臂3的前端側(cè)而不旋轉(zhuǎn)的部 件，設(shè)在移載臂5側(cè)的軸承(無標(biāo)號(hào))旋轉(zhuǎn)自如地支撐該連結(jié)軸3c， 實(shí)現(xiàn)了上述兩者的旋轉(zhuǎn)自如的連結(jié)。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)的同步機(jī)構(gòu)6，如圖4 (a)所示，如果基端側(cè)臂 2被旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，則前端側(cè)臂3產(chǎn)生要使移載臂5運(yùn)動(dòng)的力F2，如圖2 所示，起因于該力F2的轉(zhuǎn)矩T2作用在前端側(cè)臂3的前端側(cè)連結(jié)軸 3c上，該轉(zhuǎn)矩T2經(jīng)由同步旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)8作用在一對(duì)齒輪7a、 7b 之間，這里，在一對(duì)的前端側(cè)臂3的前端上產(chǎn)生的轉(zhuǎn)矩T2相互成為 同方向的對(duì)抗?fàn)顟B(tài)。因此，即使在一個(gè)自由臂4的前端側(cè)產(chǎn)生的轉(zhuǎn)矩T2有差異，其 差異也對(duì)抗作用，以相互使對(duì)方側(cè)向相同方向旋轉(zhuǎn)，所以結(jié)果是兩者 相等，由此，從兩端的連結(jié)軸3c受到相等的轉(zhuǎn)矩T2的移載臂5在左 右相等的轉(zhuǎn)矩T2的合力的作用下，不會(huì)晃動(dòng)，平滑且可靠地在連結(jié)
軸3C的對(duì)稱中心線上直線移動(dòng)。此外，通過具備該同步機(jī)構(gòu)6，對(duì)于分別一對(duì)的自由臂4，僅通 過由基臺(tái)1同步鏡像驅(qū)動(dòng)基端側(cè)臂2，該驅(qū)動(dòng)力被傳遞給前端側(cè)臂3 和移載臂5，并平滑且可靠地使該移載臂5在中心線方向上直線移動(dòng)， 所以不需要在背景技術(shù)中需要的內(nèi)置在各個(gè)臂中的差動(dòng)聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)。艮口，根據(jù)具備這樣的同步機(jī)構(gòu)6的SCARA型臂30,雖然是將一 對(duì)設(shè)置在中心線對(duì)象上的自由臂4的前端連結(jié)的結(jié)構(gòu)，但各個(gè)臂的結(jié) 構(gòu)簡(jiǎn)單且維護(hù)性變好，并且能夠平滑且可靠地實(shí)現(xiàn)中心線方向的直線 移動(dòng)。另外，在構(gòu)成具備差動(dòng)聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)的背景技術(shù)的SCARA型臂100 的自由臂中，由于包括差動(dòng)聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所以產(chǎn)生用來維持基于該張緊 調(diào)節(jié)的移載臂的方向性的困難性，但在本發(fā)明中，由于臂自身不具有 差動(dòng)聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所以也沒有起因于此的困難性。但是，在具備上述同步機(jī)構(gòu)6的情況下，即使在具備例如差動(dòng)聯(lián) 動(dòng)機(jī)構(gòu)、需要進(jìn)行其張緊調(diào)節(jié)的情況下，由于通過同步機(jī)構(gòu)6的對(duì)抗 作用維持著移載臂的方向性，所以張緊調(diào)節(jié)也變得容易。為了適當(dāng)?shù)匕l(fā)揮上述那樣的同步機(jī)構(gòu)6的功能，在保持其功能的 同時(shí)、適當(dāng)?shù)乇３滞叫D(zhuǎn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)8的鏈的張緊是很重要的。這里， 對(duì)于構(gòu)成其張緊機(jī)構(gòu)8T的張緊關(guān)聯(lián)部件進(jìn)行說明。張緊關(guān)聯(lián)部件(張緊機(jī)構(gòu)8T)如圖2、圖3所示，具有以下構(gòu)件: 由進(jìn)行張緊調(diào)節(jié)的兩種張緊調(diào)節(jié)軸8d和8f;支撐被張緊調(diào)節(jié)的各軸 的兩種張緊板8e和8g;設(shè)在張緊板8g上，以同步旋轉(zhuǎn)狀態(tài)軸支撐 齒輪7a及7b和齒輪側(cè)鏈輪8b的同步軸8i和8j;在同步軸8i和8j 的中間點(diǎn)可轉(zhuǎn)動(dòng)地軸支撐兩種張緊板8e和8g的中心軸8k;軸支撐 同步軸8i和8j的反張緊板8g側(cè)的表側(cè)板8h;以及可轉(zhuǎn)動(dòng)地軸支撐 張緊板8e的轉(zhuǎn)動(dòng)軸8m。張緊調(diào)節(jié)軸8d和8f在兩端分別具有自由接頭，是將該自由接頭
之間可調(diào)節(jié)間隙地用調(diào)節(jié)用螺栓連結(jié)而成的，通過使該調(diào)節(jié)用螺栓部 分轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠使自由接頭之間的距離變長(zhǎng)或變短。張緊調(diào)節(jié)軸8d的一端固定在外部的不動(dòng)點(diǎn)上，另一端固定在張 緊板8e上，能夠調(diào)節(jié)張緊板8e以轉(zhuǎn)動(dòng)軸8m為中心轉(zhuǎn)動(dòng)的量。張緊調(diào)節(jié)軸8f的一端固定在張緊板8e上，另一端固定在張緊板 8g上，調(diào)節(jié)這些張緊板8e和8g相互間的以中心軸8k為中心的旋轉(zhuǎn) 相位角度。另外，.中心軸8k的位置為軸支撐臂側(cè)鏈輪8a的連結(jié)軸3c間的 中點(diǎn)附近。設(shè)在張緊板8g上的同步軸8i和8j旋轉(zhuǎn)支撐齒輪7a和7b，以使 其總是嚙合。在這些齒輪7a和7b的每個(gè)上分別獨(dú)立地同步旋轉(zhuǎn)的齒 輪側(cè)鏈輪8b是比齒輪7a和7b更小的節(jié)圓直徑，不會(huì)給齒輪7a和 7b的平滑的嚙合帶來障礙。在這樣的結(jié)構(gòu)中，根據(jù)該張緊機(jī)構(gòu)8T，如果調(diào)節(jié)張緊調(diào)節(jié)軸8d， 則張緊板8g上的中心軸8k以轉(zhuǎn)動(dòng)軸8m為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，中心軸8k在 圖2中上下移動(dòng)，隨之，上下的鏈8c的張緊分別被相反地調(diào)節(jié)。艮卩，如果中心軸8k向上移動(dòng)，則上方的鏈8c被放松、下方的鏈 8c被拉緊。如果中心軸8k向下移動(dòng)，則上方的鏈8c被拉緊、下方 的鏈8c被放松。另一方面，如果調(diào)節(jié)張緊調(diào)節(jié)軸8f，則同步軸8i和8j以中心軸 8k為中心轉(zhuǎn)動(dòng)，所以每個(gè)齒輪側(cè)鏈輪8b作用，以使得如果是順時(shí)針 則將上下的鏈8c同時(shí)拉緊，如果是逆時(shí)針則將上下的鏈8c同時(shí)放松。這樣，根據(jù)該張緊機(jī)構(gòu)8T，能夠在維持齒輪7的嚙合狀態(tài)的同 時(shí)、適當(dāng)?shù)乇３滞叫D(zhuǎn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)8的每個(gè)鏈8c的張緊。此外，由圖2可知，用來調(diào)節(jié)張緊調(diào)節(jié)軸8d、 8f的調(diào)節(jié)用螺栓 部分為由移載臂5的基端部5d的構(gòu)造部的框體D形成的空間部分， 能夠進(jìn)行從移載臂5的上方(圖2的相反面)的調(diào)節(jié)，作業(yè)性較好。 另外，作為同步機(jī)構(gòu)的主要部分的相互嚙合的齒輪只要是沒有相 互的相位偏差、互相影響以使兩者間的轉(zhuǎn)矩為同方向的結(jié)構(gòu)就可以， 并不限于齒輪的組合。此外，同步旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)在這里例示了鏈輪與鏈的組合的結(jié)構(gòu)， 但并不限于此，也可以是收容在基端部5d內(nèi)的偶數(shù)個(gè)的齒輪組或者 同步滑輪、帶的組合等，也可以是將花鍵軸與軸正交旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)組 合的結(jié)構(gòu)等，但需要能夠可靠地、無偏離地傳動(dòng)旋轉(zhuǎn)相位的結(jié)構(gòu)。利用圖4，對(duì)具備內(nèi)置有同步機(jī)構(gòu)6的移載臂5的臂移載部10的動(dòng)作進(jìn)行再確認(rèn)。如圖4 (a)所示，各個(gè)基臺(tái)1通過轉(zhuǎn)矩T1同步鏡像旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)基 端側(cè)臂2。該轉(zhuǎn)矩Tl在基端側(cè)臂2的前端側(cè)成為要使前端惻向圖示 方向運(yùn)動(dòng)的力F1。該力Fl經(jīng)由前端側(cè)臂3，成為要使移載臂5的兩端分別向圖示 方向運(yùn)動(dòng)的力F2。這里，如上所述，由于在移載臂5中內(nèi)置有同步機(jī)構(gòu)6，所以該 力F2作為齒輪7a、 7b間的同方向的轉(zhuǎn)矩T2受到對(duì)抗作用，即使有 因某種原因此分別不同的情況，也成為相等的轉(zhuǎn)矩T2。結(jié)果，移載臂5的兩端的力F2也成為相等的力，其合力F22成 為基臺(tái)1間的對(duì)稱中心線方向的合力F22，使移載臂5不晃動(dòng)而平滑 且可靠地沿該中心線方向直線移動(dòng)，成為圖4 (b)的狀態(tài)。另外，作為同步機(jī)構(gòu)6的構(gòu)成要素，本來僅通過由嚙合的兩個(gè)齒 輪組構(gòu)成的齒輪7就足夠，但如果想要僅通過一組齒輪使以一定間隔 設(shè)置的旋轉(zhuǎn)軸3c間嚙合，則齒輪的外徑變大，會(huì)從移載臂5的基端 部5d較大地露出，所以?shī)A裝這里例示的同步旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)8。圖5是表示圖1的SCARA型臂具備的旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)的圖， 圖5 (a)是其俯視圖，圖5 (b)是圖5 (a)的張緊部的縱剖視圖， 圖6 (a)是圖5的旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)的動(dòng)作說明圖，圖6 (b)是圖
6 (a)的側(cè)視圖，圖6 (c)是表示從圖6 (a)的狀態(tài)正常地SCARA 型臂動(dòng)作的狀態(tài)的圖。具備同步機(jī)構(gòu)6的臂移載部10如上所述，使移載臂5沿對(duì)稱中 心線方向平滑且可靠地直線移動(dòng)，但如圖6 (a)所示，在成為基端 側(cè)臂2、前端側(cè)臂3、移載臂5的長(zhǎng)度方向以一直線狀排列的狀態(tài)
(在每個(gè)標(biāo)號(hào)中添加"
"來表示)的情況下發(fā)生不良狀況。艮口，從該狀態(tài)[O]開始，基端側(cè)臂2被基臺(tái)l鏡像旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，以使 移載臂5前進(jìn)(向圖的上方向)，在要成為狀態(tài)[l]的情況下，由于前 端側(cè)臂3完全是中立狀態(tài)，所以對(duì)于作用在基端側(cè)臂2上的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng) 力，不能限制前端側(cè)臂3要運(yùn)動(dòng)出的方向?yàn)閳D示的狀態(tài)[1A]、還是為 狀態(tài)[1B]。因此，在這樣的情況下，為了使前端側(cè)臂3要運(yùn)動(dòng)的方向與基端 側(cè)臂2的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)方向?qū)?yīng)地限制為想要的方向(狀態(tài)[1B])而設(shè)置 旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)13，以下對(duì)該旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)13進(jìn)行說明。如圖5所示，旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)13固定在基臺(tái)1的固定側(cè)，且 具備不旋轉(zhuǎn)的基臺(tái)側(cè)鏈輪13a;固定在可轉(zhuǎn)動(dòng)地連結(jié)在基端側(cè)臂2 的前端側(cè)上的前端側(cè)臂3的基端側(cè)旋轉(zhuǎn)軸3b上以使其同步旋轉(zhuǎn)的前 端側(cè)鏈輪13b;和架設(shè)在這些基臺(tái)側(cè)鏈輪13a和前端側(cè)鏈輪13b上的 鏈13c。相對(duì)于基臺(tái)側(cè)鏈輪13a的齒數(shù)，前端側(cè)鏈輪13b的齒數(shù)為2: 1。 前端側(cè)臂3的基端側(cè)旋轉(zhuǎn)軸3b如圖6 (b)中概念性地表示，貫通基端側(cè)臂2而突出，在該旋轉(zhuǎn)軸3b的突出部分上固定有前端側(cè)鏈輪13b。基臺(tái)側(cè)鏈輪13a也以露出到基臺(tái)1的外部的形式設(shè)置。由此，旋 轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)13不是收容在基端側(cè)臂2的封閉部分中，而是設(shè)在 基端側(cè)臂2的外部下方，以將其基臺(tái)側(cè)與前端側(cè)連接。這里，對(duì)該旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)13的作用進(jìn)行說明。假設(shè)從圖5
的狀態(tài)開始，基端側(cè)臂2在來自基臺(tái)1的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)力的作用下，如圖示那樣向方向U稍稍轉(zhuǎn)動(dòng)。于是，基端側(cè)臂2的前端側(cè)的旋轉(zhuǎn)軸3b 從狀態(tài)[O]成為狀態(tài)[l]。但是，旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)13的鏈13c由于架設(shè)在不旋轉(zhuǎn)的基臺(tái) 側(cè)鏈輪13a上，所以自身不運(yùn)動(dòng)。由此，該鏈13c上的一點(diǎn)X關(guān)于狀 態(tài)[l]的旋轉(zhuǎn)軸3b[l]也要保持相同的位置。因此，固定在該旋轉(zhuǎn)軸3b上的鏈輪13b向圖示的方向u旋轉(zhuǎn)旋 轉(zhuǎn)軸3b從狀態(tài)
成為狀態(tài)[1]的量。艮口，根據(jù)旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)13，能夠進(jìn)行限制，以使前端側(cè)臂3 向與基臺(tái)1使基端側(cè)臂2轉(zhuǎn)動(dòng)的方向相反方向轉(zhuǎn)動(dòng)。此外，此時(shí)如果 使前端側(cè)鏈輪13b的齒數(shù)相對(duì)于基臺(tái)側(cè)鏈輪13a的齒數(shù)為2: 1，則 能夠使基端側(cè)臂2的轉(zhuǎn)動(dòng)角度與前端側(cè)臂3的轉(zhuǎn)動(dòng)角度相等。另外，該旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)13由于使用鏈13c，所以需要施加適 當(dāng)?shù)膹埦o，'為此，具備由張緊鏈輪14a、可轉(zhuǎn)動(dòng)且可軸位置滑動(dòng)地支 撐該張緊鏈輪14a的滑動(dòng)軸板14b、和使滑動(dòng)軸板14b滑動(dòng)的滑動(dòng)軸 14c構(gòu)成的張緊部14。本發(fā)明的臂移載部10由于具備上述那樣的旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu) 13，所以例如在圖6 (a)那樣的中立狀態(tài)下停止而再旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的情 況下，也如該圖所示，前端側(cè)臂3不會(huì)成為狀態(tài)[1A]而成為圖6 (c) 所示那樣的正確的狀態(tài)[1B]，能夠確保正確的動(dòng)作。此外，由于旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)13設(shè)在基端側(cè)臂2的外部，所以 張緊調(diào)節(jié)等的維護(hù)較容易。另外，即使進(jìn)行張緊調(diào)節(jié)，也如上述那樣不會(huì)通過同步機(jī)構(gòu)6的 對(duì)抗作用給移載臂5的方向性帶來影響，所以在這一點(diǎn)上也是有利 的。該旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)13在結(jié)構(gòu)上與背景技術(shù)所示那樣的差動(dòng)聯(lián) 動(dòng)機(jī)構(gòu)相同。但是，相對(duì)于差動(dòng)聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)具有動(dòng)力傳遞的功能，該動(dòng) 力傳遞的功能用來將分別連結(jié)的下段的臂相對(duì)于原來的臂向相反方 向強(qiáng)制地旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)在只要是僅用來在從 中立狀態(tài)開始的運(yùn)動(dòng)最初將前端側(cè)臂的移動(dòng)方向向希望的方向?qū)б?然后不成為原本的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的障礙的結(jié)構(gòu)就可以這一點(diǎn)上不同。因此，.在旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)13中使用的鏈和鏈輪等與在差動(dòng)聯(lián) 動(dòng)機(jī)構(gòu)中使用的部件相比，容量很小就足夠了，也可以是會(huì)發(fā)生滑動(dòng) 的帶旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)等。當(dāng)然，代替鏈與鏈輪的組合，也可以是同步帶 與滑輪的組合、或者是其他的同步旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。此外，如上所述，旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)由于是進(jìn)行運(yùn)動(dòng)開始的方向確定的機(jī)構(gòu)，所以也可以是例如對(duì)基端側(cè)臂2施力以使前端側(cè)臂3總 是向希望的方向旋轉(zhuǎn)的小容量的電動(dòng)馬達(dá)等。另外，旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)13如果設(shè)置在一對(duì)自由臂4中的任一 個(gè)上，則另一個(gè)自由臂4的前端側(cè)臂3的旋轉(zhuǎn)方向也受同步機(jī)構(gòu)6限 制，所以是足夠的，但也可以設(shè)置在兩個(gè)自由臂4上。接著，利用圖7到圖13，對(duì)內(nèi)置有上述的同步機(jī)構(gòu)6、旋轉(zhuǎn)方向 限制機(jī)構(gòu)13的SCARA型臂30的具體的動(dòng)作方式進(jìn)行說明。在圖1的狀態(tài)下，SCARA型臂30的移載方向與載置有該SCARA 型臂30的升降臺(tái)50的長(zhǎng)度方向一致。這里，如果通過旋轉(zhuǎn)部40使 滑動(dòng)部20與SCARA型臂30逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)90度，則成為圖7的狀態(tài)。要載置要移載的工件W的載置場(chǎng)所如通過圖14在后面所述的那 樣，設(shè)在沿著升降臺(tái)50的長(zhǎng)度方向的行駛路徑的兩側(cè)， 一旦被載置 在SCARA型臂30上，則從該圖7的狀態(tài)開始處于待機(jī)狀態(tài)的工件 W (圖1)的移載動(dòng)作。在圖7到圖8中，僅SCARA型臂30的滑動(dòng)部20動(dòng)作，臂移載 部10不動(dòng)作。即，在維持臂移載部10的自由臂4的退后最多狀態(tài)(待 機(jī)狀態(tài))的同時(shí)，臂移載部10整體滑動(dòng)，成為圖8的狀態(tài)。在此期間的移載移動(dòng)中，臂移載部10是載置有工件W的負(fù)載的 狀態(tài)，但為后退最多的待機(jī)狀態(tài)，即通過該工件W的載重而作用在 滑動(dòng)部20上的力矩為最小的狀態(tài)，如上所述，能夠降低作用在滑動(dòng)部20的軸承上的運(yùn)動(dòng)負(fù)荷載重，能夠使軸承耐用。接著，在圖8到圖12中，只有臂移載部10動(dòng)作，其前端側(cè)的移 載臂5在承載著工件W的狀態(tài)下依次前進(jìn)。另外，在此期間，由于 滑動(dòng)部20靜止，所以給予承載在移載臂5上的工件W的載重的力矩 的影響也是靜止的，不是運(yùn)動(dòng)負(fù)荷，所以其影響較小。這里，在圖12中，基端側(cè)臂2及前端側(cè)臂3與移載方向所成的 角度為180度(或者兩者為平行狀態(tài))，自由臂4成為完全伸展的狀 態(tài)，在此狀態(tài)下，升降臺(tái)50下降，SCARA型臂30將工件W載置到 目的的載置場(chǎng)所。在將工件W卸下后，SCARA型臂30成為空載的狀態(tài)，在此情 況下，臂移載部10與滑動(dòng)部20同時(shí)動(dòng)作，使移載臂5高速地后退。 即，在空載、在移載臂5上沒有負(fù)荷時(shí)，使移載臂5更快地移動(dòng)，能 夠縮短動(dòng)作時(shí)間。圖13是表示該中途過程的圖，如果移載臂5后退到最后退位置， 則成為圖7的狀態(tài)。但是，在此情況下是沒有工件W的狀態(tài)。另外，'圖11、圖12所示的標(biāo)號(hào)ZW表示要載置工件W的工件載 置區(qū)域ZW，標(biāo)號(hào)ZS表示為了輸送工件W而使用的輸送區(qū)域ZS， 將這些工件載置區(qū)域ZW和輸送區(qū)域ZS的邊界用粗線的雙點(diǎn)劃線的 邊界線BZ表示。這里，如上所述，在本發(fā)明的SCARA型臂30中，微粒產(chǎn)生的 可能性較高的滑動(dòng)部20處于比邊界線BZ向輸送區(qū)域ZS側(cè)較大地后 退的位置，能夠盡量減少微粒對(duì)處于工件載置區(qū)域ZW中的工件W 的影響。另一方面，向工件載置區(qū)域ZW侵入的臂移載部10是多關(guān)節(jié)臂 構(gòu)造，沒有微粒的產(chǎn)生，能夠盡量抑制處于該部分上的工件W的污染。除此以外，SCARA型臂30的整體的移載距離為將臂移載部10 的移載距離與滑動(dòng)部20的移載距離合計(jì)后的距離，整體上能夠?qū)崿F(xiàn) 更長(zhǎng)的移載距離。這樣，根據(jù)本發(fā)明的SCARA型臂30，雖然是重復(fù)說明，但在避 免微粒的產(chǎn)生的問題的同時(shí)、能夠進(jìn)行對(duì)應(yīng)于大型化的工件的移載。在這樣的發(fā)揮SCARA型臂30的基本功能的過程中，同步機(jī)構(gòu)6 與旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)13起到確保平滑且可靠的移載臂5的中心線方 向的直線移動(dòng)的作用。圖14是表示具備圖1的SCARA型臂的輸送系統(tǒng)的一例的外觀 立體圖。該圖14所示的輸送系統(tǒng)80除了具備內(nèi)置有同步機(jī)構(gòu)6、具有旋 轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)13的臂移載部10和滑動(dòng)部20的SCARA型臂30、 旋轉(zhuǎn)部40、和升降臺(tái)50以外，還具備使該升降臺(tái)50升降的升降裝 置60、和設(shè)置該升降裝置60的行駛臺(tái)車70。在行駛臺(tái)車70的上方，在行駛方向的前后端上立設(shè)有一對(duì)升降 裝置60，在其內(nèi)部中設(shè)有升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示)，由此使架設(shè)在一 對(duì)升降裝置60之間而設(shè)置的升降臺(tái)50升降。上部框架61將一對(duì)升降裝置60的頂部分連結(jié)，構(gòu)成由行駛臺(tái)車 70、 一對(duì)升降裝置60、上部框架61構(gòu)成的牢固的構(gòu)造體。行駛臺(tái)車70具備設(shè)在行駛臺(tái)車框架67的四角上的車輪61，使升 降裝置60、升降臺(tái)50、 SCARA型臂30沿著行駛路徑62直線移動(dòng)。被載置在SCARA型臂30的移動(dòng)臂5上的工件，在SCARA型臂 30的臂移載部10的作用下前進(jìn)后退(箭頭Pl )，在滑動(dòng)部20的作用 下前進(jìn)后退(箭頭P2)，在旋轉(zhuǎn)部40的作用下旋轉(zhuǎn)(箭頭P3)。此外，工件在被載置在SCARA型臂30上的狀態(tài)下，在承載該 SCARA型臂30的升降臺(tái)50的作用下上下升降(箭頭P4)，此外，
工件通過承載使升降臺(tái)50升降的升降裝置60的行駛臺(tái)車70的行駛， 而以直線狀移動(dòng)(箭頭P5)。SCARA型臂30在其待機(jī)位置上，在承載著工件的狀態(tài)下，可以 在升降臺(tái)50上從圖中的移載臂5的前端的朝向旋轉(zhuǎn)到180度相反朝 向。因此，根據(jù)該輸送系統(tǒng)80，能夠?qū)⒐ぜ钠湫旭偮窂?2的兩側(cè) 的不同位置的不同高度的A地點(diǎn)輸送到B地點(diǎn)，在此情況下，本發(fā) 明的SCARA型臂30通過內(nèi)置有同步機(jī)構(gòu)6、具備旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu) 13的臂移載部10，各個(gè)臂的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單而維護(hù)性變好，并且平滑且可 靠地實(shí)現(xiàn)中心線方向的直線移動(dòng)，其效果也遍及到輸送系統(tǒng)80的整 體。以上，在實(shí)施方式中詳細(xì)地說明了本發(fā)明的具體例，但這些不過 是例示，并不限定權(quán)利要求書。在權(quán)利要求書中記載的技術(shù)、即本專 利申請(qǐng)發(fā)明的技術(shù)范圍中，如在各處適當(dāng)記載的那樣，包括將以上例 示的實(shí)施方式進(jìn)行各種變形、變更后的實(shí)施方式、或者它們的組合。工業(yè)實(shí)用性本發(fā)明的SCARA型臂是將在中心線對(duì)象上設(shè)有一對(duì)的自由臂的 前端連結(jié)的結(jié)構(gòu)，能夠在要求各個(gè)臂的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單而維護(hù)性良好、并且 平滑且可靠地實(shí)現(xiàn)中心線方向的直線移動(dòng)的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域中應(yīng)用。
權(quán)利要求
1、一種SCARA型臂，其特征在于，具備一對(duì)自由臂，分別由兩條臂構(gòu)成；基臺(tái)，用來將上述一對(duì)自由臂的基端側(cè)臂分別以上述基端側(cè)臂的基端為中心轉(zhuǎn)動(dòng)自如地安裝；移載臂，用來將上述一對(duì)自由臂的前端側(cè)臂分別以上述前端側(cè)臂的前端上固定的連接軸為中心轉(zhuǎn)動(dòng)自如地安裝；以及同步機(jī)構(gòu)，使那些前端側(cè)臂的轉(zhuǎn)動(dòng)同步。
2、 如權(quán)利要求1所述的SCARA型臂，其特征在于，上述同步 機(jī)構(gòu)具備一對(duì)相互嚙合的齒輪、和使上述一對(duì)齒輪的每個(gè)與一對(duì)連結(jié) 軸的每個(gè)同步旋轉(zhuǎn)的同步旋轉(zhuǎn)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。
3、 如權(quán)利要求1所述的SCARA型臂，其特征在于，上述一對(duì) 自由臂中的至少任一個(gè)自由臂具備旋轉(zhuǎn)方向限制機(jī)構(gòu)，該旋轉(zhuǎn)方向限 制機(jī)構(gòu)對(duì)基端側(cè)臂的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)方向進(jìn)行限制，以使前端側(cè)臂向規(guī)定的 方向旋轉(zhuǎn)。
4、 如權(quán)利要求3所述的SCARA型臂，其特征在于，上述旋轉(zhuǎn) 方向限制機(jī)構(gòu)具備固定在上述基臺(tái)的固定側(cè)外周的基臺(tái)側(cè)鏈輪、固定 在上述前端側(cè)臂的基端側(cè)旋轉(zhuǎn)軸并從該前端側(cè)臂突出的前端側(cè)鏈輪、 和將這兩個(gè)鏈輪連結(jié)的鏈。
全文摘要
本發(fā)明提供一種將在中心線對(duì)象上設(shè)有一對(duì)的自由臂的前端連結(jié)的結(jié)構(gòu)、每個(gè)的臂的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單且維護(hù)性較好、并且平滑且可靠地實(shí)現(xiàn)中心線方向的直線移動(dòng)的SCARA型臂。一種移載裝置(30)，分別將由基端側(cè)臂(2)和前端側(cè)臂(3)構(gòu)成的一對(duì)自由臂(4)的基端側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)自如地安裝在基臺(tái)(1)上，具備將一對(duì)前端側(cè)臂(3)的前端側(cè)相互轉(zhuǎn)動(dòng)自如地連結(jié)的移載臂(5)，將固定在連結(jié)于該移載臂(5)上的前端側(cè)臂(3)的前端側(cè)上的連結(jié)軸(3c)(參照?qǐng)D2)相互間通過同步機(jī)構(gòu)(6)(參照?qǐng)D2)連結(jié)。
文檔編號(hào)B25J18/00GK101148044SQ200710153128
公開日2008年3月26日 申請(qǐng)日期2007年9月21日 優(yōu)先權(quán)日2006年9月21日
發(fā)明者石川和廣 申請(qǐng)人:村田機(jī)械株式會(huì)社