專利名稱：輸送裝置及真空裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及輸送例如基板等輸送物的輸送裝置，特別涉及適合于半導體制造裝置等具備多個處理腔室的真空裝置的輸送裝置。
背景技術：
在半導體制造等的領域中，以往使用圖19及圖20所示那樣的基板輸送裝置201。該基板輸送裝置201具有驅動部202、連結在該驅動部202上、由多個臂構成的臂部203、和連結在該臂部203的前端上的末端執(zhí)行器204，構成為，用末端執(zhí)行器204的上表面支承基板W的背面，在多個處理腔室(未圖示)間進行基板W的交接。
末端執(zhí)行器204 —般用陶瓷或不銹鋼等制作。因而，如果使臂部203以高速伸縮動作或旋繞動作，則末端執(zhí)行器204也以高速動作，所以通過對基板W施加的加速度的影響，基板W在末端執(zhí)行器204上滑動，有不能將基板W輸送到正確的位置的問題。除此以外，在以往技術中，有基板W在末端執(zhí)行器204上滑動時產(chǎn)生的灰塵將基板W的表面污染的問題。所以，如圖20所示，還提出了在末端執(zhí)行器204的上表面上設置多個保持部205、在基板W背面的規(guī)定部位接觸的方案。該保持部205 —般由橡膠或彈性體等樹脂類彈性材料形成，所以抑制基板W的背面的滑動，作為防滑墊發(fā)揮功能。由此，在末端執(zhí)行器204的上表面上將基板W不滑動而以穩(wěn)定的輸送姿勢保持(例如參照專利文獻I)。這里，由彈性體等樹脂類彈性材料形成的保持部205雖然在基板W及周圍的氣體環(huán)境溫度較低(例如200°C以下)的情況下能夠高效率地抑制基板W的滑動，但在該溫度較高(例如300 500°C)的情況下，有因保持部205受熱的變質或變形而不能抑制基板W的滑動的問題。另一方面，在該溫度比較低(例如200°C以下)的情況下，也有基板W以保持部205的粘附力粘貼、不能從末端執(zhí)行器204使基板W適當?shù)仉x開的情況。例如，在向處理腔室內的臺交接基板W時，有基板W不從保持部205離開而破裂的問題、及不能將基板W輸送到正確的位置的問題。進而，由于在原理上通過保持部205與基板W間的摩擦力抑制基板W的滑動，所以如果在基板W上作用超過由兩者的物質決定的最大靜摩擦力那樣的加速度，則基板W在末端執(zhí)行器204上滑動。因而，有不能超過保持部205與基板W間的最大靜摩擦力而使輸送裝置201的動作速度增大的問題。專利文獻I :特開2002 - 353291號公報。

發(fā)明內容
本發(fā)明是為了解決這樣的以往的技術的課題而做出的，其目的是在輸送物及周圍的氣體環(huán)境溫度比較低的環(huán)境下、以及在該溫度較高的環(huán)境下都可靠地保持輸送物而實現(xiàn)高速輸送。此外，本發(fā)明的另一目的是提供一種盡量減少輸送物的輸送時的灰塵的技術。為了達到上述目的而做出的本發(fā)明，是一種輸送裝置，具備伸縮自如的連桿機構，具有被傳遞來自驅動源的動力的多個臂；載置部，經(jīng)由驅動連桿部連結在上述連桿機構的動作前端部上，用來載置輸送物；在上述載置部的基板輸送方向下游側的部位上，設有隨著上述連桿機構的驅動連桿部的動作、與該輸送物的側部抵接而將該輸送物向朝向上述連桿機構的方向施力的下游側施力機構；構成為，通過上述下游側施力機構進行的施力，將該輸送物從基板輸送方向的兩側夾持保持。在本發(fā)明中，在上述載置部的基板輸送方向上游側的部位上設有隨著上述連桿機構的驅動連桿部的動作、與該輸送物的側部抵接而將該輸送物向該基板輸送方向下游側施力的上游側施力機構的情況下也是有效的。
在本發(fā)明中，在上述下游側施力機構中設有凸輪方式的驅動部、在上述下游側施力機構中設有由該凸輪方式的驅動部驅動的凸輪方式的下游側施力部的情況下也是有效的。在本發(fā)明中，在上述下游側施力機構中設有凸輪方式的驅動部、在上述下游側施力機構中設有與該連桿方式的驅動部卡合而被驅動的連桿方式的下游側施力部的情況下也是有效的。在本發(fā)明中，在上述下游側施力部設有兩個、配置為使設在各下游側施力部中的把持部相對于通過第I及第2驅動軸的旋轉中心軸線、沿基板輸送方向延伸的直線成線對稱的情況下也是有效的。在本發(fā)明中，在上述上游側施力機構具備凸輪驅動面，設在上述連桿機構的驅動連桿部上；和從動機構部，具有抵接在該凸輪驅動面上而能夠從動的從動輥，具有對應于該從動輥的移動而被沿著基板輸送方向導引移動的施力部的情況下也是有效的。在本發(fā)明中，在上述上游側施力機構具有設在上述連桿機構的驅動連桿部上、旋轉方向是相反方向的一對相鄰的連桿部件、在該一對相鄰連桿部件上架設設置有由帶狀的一體的彈性部件構成的帶狀施力單元的情況下也是有效的。在本發(fā)明中，在上述上游側施力機構具備設在上述連桿機構的驅動連桿部上的驅動支承部、和受該驅動支承部驅動的從動機構部、上述從動機構部具備從動部，具有能夠與上述驅動支承部卡合滑動的長槽狀滑動部；施力部,連結在該從動部上,對應于該從動部的長槽狀滑動部內的上述驅動支承部的移動而被沿著基板輸送方向導引移動的情況下也是有效的。在本發(fā)明中，在上述上游側施力機構在上述驅動連桿部上設有極性不同的多個驅動用磁鐵、并且在上述從動機構部上設有單一的極性的從動用磁鐵、構成為根據(jù)上述驅動連桿部與上述從動機構部的相對的位置關系、上述多個驅動用磁鐵分別與上述從動用磁鐵接近或離開的情況下也是有效的。此外，本發(fā)明是一種輸送裝置，具備伸縮自如的連桿機構，具有被傳遞來自驅動源的動力的多個臂；載置部，經(jīng)由驅動連桿部連結在上述連桿機構的動作前端部上，用來載置輸送物；上游側施力機構，設在上述載置部的基板輸送方向上游側的部位上，隨著上述連桿機構的驅動連桿部的動作，與該輸送物的側部抵接而將該輸送物向該基板輸送方向下游側施力；下游側施力機構，設在上述載置部的基板輸送方向下游側的部位上，隨著上述連桿機構的驅動連桿部的動作，與該輸送物的側部抵接，將該輸送物向朝向位于該基板輸送方向上游側的上述連桿機構的方向施力；上述上游側施力機構具備凸輪驅動面，分別在設于上述連桿機構的驅動連桿部上的一對相鄰的連桿部件上設置；和從動機構部，具有分別抵接在該一對凸輪驅動面上而能夠從動的一對從動輥、和對應于該一對從動輥的移動而在上述基板輸送方向上直線地移動的施力部；設定上述從動機構部的施力部的移動距離，以使得在上述連桿機構伸長的狀態(tài)下上述從動機構部的施力部不抵接在該輸送物的側部上、并且在上述連桿機構收縮的狀態(tài)下該從動機構部的施力部抵接在該輸送物的側部上；構成為，通過上述上游側施力機構及上述下游側施力 機構進行的施力，將該輸送物從基板輸送方向的兩側夾持保持。在本發(fā)明中，在以下的情況下也是有效的上述下游側施力機構具備設置為對應于上述上游側施力機構的從動機構部的移動而在上述基板輸送方向上移動的一對驅動部件、分別設在該一對驅動部件的上述基板輸送方向下游側的端部上的凸輪驅動面、和具有分別抵接在上述一對驅動部件的凸輪驅動面上而能夠從動的把持部的從動卡止部件；上述從動卡止部件構成為，使其隨著上述一對驅動部件的向該基板輸送方向下游側的移動、上述把持部分別向該基板輸送方向上游側旋轉移動而起立；并且，設定上述從動卡止部件的施力部的移動距離，以使得在上述連桿機構伸長的狀態(tài)下上述從動卡止部件的把持部不抵接在該輸送物的側部上、并且在上述連桿機構收縮的狀態(tài)下上述從動卡止部件的把持部抵接在該輸送物的側部上。此外，本發(fā)明是一種真空裝置，具有真空槽、和上述任一個輸送裝置，構成為，上述輸送裝置的載置部相對于上述真空槽內進行運入及運出。在本發(fā)明中，在載置部的基板輸送方向下游側的部位上設有隨著連桿機構的驅動連桿部的動作、與該輸送物的側部抵接而將該輸送物向朝向上述連桿機構的方向施力的下游側施力機構，通過下游側施力機構進行的施力，將該輸送物從基板輸送方向的兩側夾持而機械地保持，所以能夠抑制載置部上表面上的輸送物的滑動(在原理上沒有滑動)而實現(xiàn)輸送物的高速輸送。此外，通過包括施力單元、將全部的部件用金屬制作，不僅是輸送物及周圍的氣體環(huán)境溫度比較低的環(huán)境下，在輸送時的溫度較高(例如300 500°C)的情況下也沒有熱變質及變形而抑制輸送物的滑動。進而，由于在把持輸送物的部分上沒有滑動的部分，所以能夠降低將輸送物污染的灰塵的發(fā)生。另一方面，在本發(fā)明中，在載置部的基板輸送方向上游側的部位上設有隨著連桿機構的驅動連桿部的動作而與輸送物的側部抵接、將輸送物向基板輸送方向施力的上游側施力機構的情況下，由于能夠將輸送物從基板輸送方向的兩側同時把持，所以能夠提供不發(fā)生輸送物的滑動、也不發(fā)生灰塵的輸送裝置。此外，在本發(fā)明中，在下游側施力機構中設有凸輪方式的驅動部、和由該凸輪方式的驅動部驅動的凸輪方式的下游側施力部的情況下，由于能夠將凸輪機構的滑動部配置在作為輸送物的基板的下側，所以能夠防止由例如在滑動部中發(fā)生的灰塵造成的基板表面的污染。
進而，此外在本發(fā)明中，在下游側施力機構中設有連桿方式的驅動部、和與該連桿方式的驅動部卡合而被驅動的連桿方式的下游側施力部的情況下，由于能夠將連桿機構的滑動部配置在相對于作為輸送物的基板離開的位置上，所以能夠防止由例如在滑動部中發(fā)生的灰塵造成的基板表面的污染。進而，此外在本發(fā)明中，在設有兩個下游側施力部、配置為、使設在各下游側施力部中的把持部相對于通過第I及第2驅動軸的旋轉中心軸線、沿基板輸送方向延伸的直線成線對稱的情況下，能夠通過兩個把持部平衡良好地將基板施力而保持(把持)。進而，此外在本發(fā)明中，在上游側施力機構具備凸輪驅動面，設在連桿機構的驅動連桿部上；和從動機構部，具有抵接在該凸輪驅動面上而能夠從動的從動輥，具有對應于該從動輥的移動而被沿著基板輸送方向導引移動的施力部的情況下，由于通過凸輪和輥傳遞動力，所以能夠以簡單的結構提供小型的輸送裝置，并且由于在把持輸送物的部分中沒有滑動的部分，所以能夠降低將輸送物污染的灰塵的發(fā)生。
在本發(fā)明中，在上游側施力機構具有設在上述連桿機構的驅動連桿部上、旋轉方向是相反方向的一對相鄰的連桿部件、在該一對相鄰連桿部件上架設設置有由帶狀的一體的彈性部件構成的帶狀施力單元的情況下，由于在把持輸送物的附近沒有滑動的部分，所以能夠盡量降低將輸送物污染的灰塵的發(fā)生。在本發(fā)明中，在上游側施力機構具備設在連桿機構的驅動連桿部上的驅動支承部、和由該驅動支承部驅動的從動機構部、從動機構部具備具有能夠與驅動支承部卡合滑動的長槽狀滑動部的從動部、和連結在該從動部上、對應于該從動部的長槽狀滑動部內的上述驅動支承部的移動而被沿著基板輸送方向導引移動的施力部的情況下，由于通過滑動機構傳遞動力，所以能夠以簡單的結構提供小型的輸送裝置，并且在把持輸送物的部分中沒有滑動的部分，所以能夠降低將輸送物污染的灰塵的發(fā)生。在本發(fā)明中，在上游側施力機構在驅動連桿部上設有極性不同的多個驅動用磁鐵、并且在從動機構部中設有單一的極性的從動用磁鐵、構成為、通過驅動連桿部與從動機構部的相對的位置關系而多個驅動用磁鐵分別與從動用磁鐵接近或離開的情況下，由于能夠將從驅動連桿部對從動機構部的驅動力以非接觸傳遞，所以能夠降低將輸送物污染的灰塵的發(fā)生。


圖I是示意地表示有關本發(fā)明的輸送裝置的概要的結構的俯視圖。圖2 (a)是表示本發(fā)明的上游側施力機構的從動機構部的例子的結構圖，圖2 (b)是表示該上游側施力機構的整體的結構圖。圖3 (a)、圖3 (b)是詳細地說明該上游側施力機構的動作原理及結構的圖。圖4是表示該下游側施力機構及上游側施力機構的俯視圖。圖5 Ca)是表示該下游側施力機構的主要部的俯視圖，圖5 (b)是表示該下游側施力機構的主要部的部分剖視圖。圖6 Ca)是表示該下游側施力機構的主要部的俯視圖，圖6 (b)是表示該下游側施力機構的主要部的部分剖視圖。圖7 (a) 圖7 (c)是表示本例的輸送裝置的動作的說明圖。
圖8是表示本發(fā)明的另一例的上游側施力機構及下游側施力機構的俯視圖。圖9 (a)、圖9 (b)是表示該下游側施力機構的主要部的俯視圖。圖10是表示本發(fā)明的上游側施力機構的另一例的圖。圖11是表示上游側施力機構的另一例的主要部的部分截面?zhèn)纫晥D。圖12是表示上游側施力機構的再另一例的主要部的結構圖。圖13是表示上游側施力機構的再另一例的主要部的結構圖。圖14 (a)、圖14 (b)是表示上游側施力機構的再另一例的主要部的結構及動作的圖。圖15 (a)是表示本發(fā)明的上游側施力機構的再另一例的整體的結構圖，圖15 (b)是圖15 Ca)的A — A線剖視圖。圖16是詳細地說明該例的動作原理及結構的圖。圖17 (a)、圖17 (b)是表示本發(fā)明的上游側施力機構的再另一例的結構及動作的圖。圖18 (a)、圖18 (b)是表示本發(fā)明的上游側施力機構的再另一例的結構及動作的圖。圖19是表示有關以往技術的輸送裝置的概略結構圖。圖20是表示有關以往技術的輸送裝置的主要部概略結構圖。附圖標記說明
IL第I左臂、IR第I右臂、2L第2左臂、2R第2右臂、3L第3左臂(驅動連桿部)、3R第3右臂(驅動連桿部)、4動力傳遞機構、5載置部、6從動機構部、6a施力部、7下游側施力機構、8A輸送室、8B處理室、9上游側施力機構、10基板(輸送物)、20連桿機構、31L、31R凸輪驅動面、50輸送裝置、730把持部。
具體實施例方式以下，參照附圖詳細地說明本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式。圖I是示意地表示有關本發(fā)明的輸送裝置的概要的結構的俯視圖。如圖I所示，本發(fā)明的輸送裝置50例如是在真空處理槽內進行作為輸送物的基板10的輸送的所謂蛙腿方式的結構，具有用來驅動以下說明的連桿機構20的在鉛直方向上以同心狀配設的第I及第2驅動軸11、12。這些各驅動軸11、12構成為，被從獨立的第I及第2驅動源Ml、M2分別傳遞順時針方向或逆時針方向的旋轉動力。在第I驅動軸11上固定著第I左臂IL的一個端部(基端部)，在第2驅動軸12上固定著第I右臂IR的一個端部(基端部)。第I左臂IL的另一個端部(前端部)上，以支軸21L為中心在水平方向上旋轉自如地安裝著第2左臂2L的一個端部(基端部)。
、
在第I右臂IR的另一個端部(前端部)上，以支軸21R為中心在水平方向上旋轉自如地安裝著第2右臂2R的一個端部(基端部)。在本實施方式中，這些第I左臂IL及第I右臂IR形成為直線狀，構成為，使其具有相同的支點間距離。
第2左臂2L形成為直線狀，在其另一個端部(前端部)上，通過固定螺紋件22L固定著第3左臂3L的一個端部(基端部)。第2右臂2R形成為直線狀，在其另一個端部(前端部)上，通過固定螺紋件22R固定著第3右臂3R的一個端部(基端部)。這里，第3左臂3L、第3右臂3R是構成驅動連桿部的部件，形成為大致“ < ”字狀，各自的彎曲部分的凸部朝向連桿外方側而配置。此外，第3左臂3L的另一個端部(前端部)以設在后述的動力傳遞機構4的表面上的支軸23L為中心在水平方向上旋轉自如地安裝。另一方面，第3右臂3R的另一個端部(前端部)以設在后述的動力傳遞機構4的例
如表面?zhèn)鹊闹лS23R為中心在水平方向上旋轉自如地安裝。在本實施方式中，構成為，從第2左臂2L的支軸21L到第3左臂3L的支軸23L的支點間距離與從第2右臂2R的支軸21R到第3右臂3R的支軸23R的支點間距離具有相同的距離。此外，動力傳遞機構4在例如矩形薄型箱形狀的殼體內具有相互嚙合的一對齒輪(未圖示)。這些齒輪具有相同的齒數(shù)，各自的旋轉軸固定在上述支軸23L、23R上，由此，構成為，向反方向以相同速度旋轉，以作為姿勢控制機構發(fā)揮作用。這些支軸23L、23R在相對于基板的輸送方向正交的方向上接近配置。在本發(fā)明的情況下，雖然沒有特別限定，但從平衡良好地保持輸送物的觀點看，優(yōu)選的是構成為，在通過第I及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線、相對于基板輸送方向(箭頭P方向)正交的位置上配置支軸23L、23R。在動力傳遞機構4的基板輸送方向下游側,設有作為所謂末端執(zhí)行器的載置部5。該載置部5具有隔開規(guī)定的間隔設置的支承部件5L、5R。另一方面,在本發(fā)明中，在支承部件5L、5R的基板輸送方向下游側的端部上設有用來把持基板10的下游側施力機構7。該下游側施力機構7如后述那樣構成為，隨著構成連桿機構20的第3左臂3L及第3右臂3R的動作，在載置部5的基板輸送方向下游側的部位上分別與基板10的側部抵接，將基板10向朝向連桿機構20的方向(基板輸送方向上游側)施力(用附圖標記fl、f2表示)。進而，在本發(fā)明中，在載置部5的基板輸送方向上游側的部位上設有上游側施力機構9。該上游側施力機構9如以下說明那樣構成為，隨著連桿機構20的第3左臂3L及第3右臂3R的動作，與基板10的側部抵接，將基板10向基板輸送方向施力(用附圖標記F表不)。圖2 (a)是表示本發(fā)明的上游側施力機構的從動機構部的例子的結構圖，圖2 (b)是表示該上游側施力機構的整體的結構圖，圖3 (a)、圖3 (b)是詳細地說明上游側施力機構的動作原理及結構的圖。另外，在圖2 (a)、圖2 (b)及圖3 (a)、圖3 (b)中，如后述的圖4所示，在從動機構部6的主體部60上安裝固定著下游側施力機構7的基部71，但這里為了方便而省略關于下游側施力機構7的說明。如圖2 (b)所示，在本例中，第3左臂3L和第3右臂3R的前端部分別形成為半圓形狀，在各前端部的基板輸送方向下游側的部分上設有圓弧狀的凸輪驅動面31L、31R。并且，具有這些第3左臂3L及第3右臂3R的凸輪驅動面31L、31R和圖2 Ca)所示的從動機構部6而構成上游側施力機構9。這里，第3左臂3L和第3右臂3R的凸輪驅動面31L、31R通過將第3左臂3L和第3右臂3R的例如上表面?zhèn)确謩e切缺為階梯狀，形成為關于基板輸送方向下游側方向為凸的圓弧狀。并且，在本例中，第3左臂3L和第3右臂3R的各凸輪驅動面31L、31R構成為，使各前端部側的變位量(支軸23L與內側抵接面3ILl間的距離、支軸23R與內側抵接面3IRl間的距離)Π比各基端部側的變位量(支軸23L與外側抵接面31L0間的距離、支軸23R與 外側抵接面31R0間的距離)r0小(rl〈rO)。另外，在本例中，第3左臂3L和第3右臂3R的各凸輪驅動面31L、31R形成為，使其相對于通過第I及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線、沿基板輸送方向延伸的直線成線對稱。另一方面，本例的從動機構部6優(yōu)選的是由不銹鋼等金屬部件構成，具有直線棒狀的主體部60。在從動機構部6的主體部60的一端部上，安裝著例如梯形形狀的支承部件61，在該支承部件61的梯形底邊的兩端部上，分別設有例如具有相同的直徑的正圓形的從動輥62L、62R。這里，從動輥62L、62R例如配置為，使其相對于主體部60延伸的方向的直線成線對稱，構成為，使其以相對于包括該主體部60的平面正交的方向的支軸63L、63R為中心旋轉。在從動機構部6的主體部60的另一端部上，安裝著例如凸狀(這里是銷形狀)的施力部6a。該施力部6a的前端部也可以實施用來防止灰塵的發(fā)生的由例如PTFE (聚四氟乙烯樹脂)等耐熱性的樹脂材料構成的涂層。此外，在從動機構部6的主體部60的中腹部與上述支承部件61之間，在該主體部60的周圍安裝著壓縮螺旋彈簧64。該壓縮螺旋彈簧64的前端部分固定在支承部件61上。并且，在本例中，如圖2 (b)所示，構成為，通過在使從動機構部6的從動輥62L、62R分別抵接在第3左臂3L和第3右臂3R的凸輪驅動面31L、31R上的狀態(tài)下用例如設在載置部5的表面上的導引部件65導引，從動機構部6的主體部60通過第I及第2驅動軸
11、12的旋轉中心軸線在基板輸送方向上直線移動。在此情況下，安裝在從動機構部6的主體部60上的壓縮螺旋彈簧64的施力部6a側的前端部分抵接卡止在導引部件65上，通過其彈性力將從動機構部6的從動輥62L、62R對第3左臂3L和第3右臂3R的凸輪驅動面31L、31R推壓。接著，使用圖3 (a)、圖3 (b)詳細地說明上游側施力機構的動作原理及結構。在本例中，設定為，在連桿機構20伸長的狀態(tài)下，如圖3 (a)所示，使第3左臂3L的安裝面30L與第3右臂3R的安裝面30R所成的角度例如比180度大。另一方面，設定為，在連桿機構20收縮的狀態(tài)下，如圖3 (b)所示，使第3左臂3L的安裝面30L與第3右臂3R的安裝面30R所成的角度例如比180度小。在這樣的結構中，設定從動機構部6的長度(這里，是從施力部6a的前端部到從動輥62L、62R的凸輪驅動面31L、31R的內側抵接面31L1、31R1的距離)，以使在連桿機構20伸長的狀態(tài)下，如圖3 Ca)所不,從動機構部6的基板輸送方向下游側的施力部6a不與應輸送的基板10的側部接觸，并且設定第3左臂3L及第3右臂3R的安裝面30L、30R的角度、上述凸輪驅動面31L、31R的變位量rl，決定從動輥62L、62R的各內側抵接面31L1、31R1與基板10的側部的距離，將其設為距離D。另一方面，在連桿機構20收縮的狀態(tài)下，如圖3 (b)所示，第3左臂3L的安裝面30L與第3右臂3R的安裝面30R所成的角度比180度小，從動機構部6的從動輥62L、62R沿著第3左臂3L及第3右臂3R的凸輪驅動面31L、31R分別向外側抵接面31L0、31R0側移動，由此，第3左臂3L和第3右臂3R的支軸23L、23R與各凸輪驅動面31L、31R間的距離變大(r0>rl)o
在此情況下，在本例中，將從動機構部6的從動輥62L、62R與各凸輪驅動面31L、3IR的接觸部分和各支軸23L、23R連結的直線的相對于基板輸送方向的角度，連桿機構20收縮的狀態(tài)比連桿機構20伸長的狀態(tài)小(θ 0< Θ 1)，所以隨著第3左臂3L及第3右臂3R的向收縮方向的旋轉，從動機構部6向基板輸送方向下游側移動,從動棍62L、62R的接觸端部與應輸送的基板10的側部的距離變小(r0_cos Θ 0>rl-cos θ 1，即，d〈D)。結果,從動機構部6的基板輸送方向下游側的部分(施力部6a)與應輸送的基板10的側部接觸，對基板10的側部作用向基板輸送方向的力F。在本例中，在上述動作時，壓縮螺旋彈簧64的輸送方向下游側的部分抵接在導引部件65上而被壓縮，所以通過壓縮螺旋彈簧64的彈性力，將從動機構部6的從動輥62L、62R推壓緊貼在第3左臂3L和第3右臂3R的各凸輪驅動面31L、31R上，由此，從動機構部6沿著導引部件65可靠地以高精度向基板輸送方向下游側移動。圖4是表示本例的下游側施力機構及上游側施力機構的俯視圖，圖5 Ca)是表示該下游側施力機構的主要部的俯視圖，圖5 (b)是表示該下游側施力機構的主要部的部分剖視圖，圖6 (a)是表示該下游側施力機構的主要部的俯視圖，圖6 (b)是表示該下游側施力機構的主要部的部分剖視圖。如圖4所示，在本例中，在載置部5的基板輸送方向下游側的部位上設有具有左下游側施力部70L及右下游側施力部70R的下游側施力機構7。這里，下游側施力機構7具有安裝固定在上述從動機構部6的主體部60上的、沿與基板輸送方向(箭頭P方向)正交的方向延伸的直線棒狀的基部71。該基部71具有與載置部5的支承部件5L、5R的間隔大致相等的長度，在左支承部件5L上，安裝固定著沿基板輸送方向延伸的直線棒狀的左驅動部件71L，在右支承部件5R上，安裝固定著沿基板輸送方向延伸的直線棒狀的左驅動部件71R。在本例的情況下，這些左驅動部件7IL及右驅動部件7 IR分別沿著支承部件5L、5R配置在各自的下側。此外，左驅動部件7IL及右驅動部件7IR配置為，使其相對于通過上述第I及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線、沿基板輸送方向延伸的直線成線對稱。并且，在載置部5的左右的支承部件5L、5R的前端部分上，設有左下游側施力部70L、右下游側施力部70R。在本例中，由上述基部71、左驅動部件71L及右驅動部件71R構成驅動機構，構成為，隨著連桿機構20的動作而分別驅動左下游側施力部70L及右下游側施力部70R。這里，左下游側施力部70L和右下游側施力部70R構成為，使其通過相同的機構動作，配置為，使其相對于通過第I及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線、沿基板輸送方向延伸的直線成線對稱。以下，使用圖4、圖5 (a)、圖5 (b)及圖6 (a)、圖6 (b)，適當以右下游側施力部70R為例說明本發(fā)明的下游側施力機構的結構及動作。如圖5 (a)、圖5 (b)所示，本例的右下游側施力部70R具有安裝在支承部件5 R的下部處的例如箱狀的保持部51。在該保持部51的底部51a上，朝向水平方向支承著上述右驅動部件71R。并且，在設在保持部51的兩側的側壁部51b上，可旋轉地支承著沿相對于基板輸送方向為直角方向延伸并且朝向水平方向的支軸72R。在該支軸72R上，安裝固定著構成右下游側施力部70R的右夾緊卡止部件73R。該右夾緊卡止部件73R形成為大致“L”字狀，由向鉛直上方延伸的把持部730、和相對于支軸72R向基板輸送方向下游側延伸的凸輪從動部731構成。這里，右夾緊卡止部件73R的把持部730構成為，使其前端部分從設在支承部件5R上的開口部74R向上方突出。并且，形成為，使長度即支點間距離比凸輪從動部731長，構成為，使其前端部分從設在支承部件5R上的開口部74R向上方突出。在本例中，如圖5 (b)所示，在右夾緊卡止部件73R的把持部730的基板輸送方向下游側的部分上，安裝著作為彈性部件的例如拉伸螺旋彈簧75的一端部，進而，該拉伸螺旋彈簧75的另一端部安裝在設在支承部件5R上的基板輸送方向下游側的位置上的安裝部件76上。并且，如圖5 (b)所示，拉伸螺旋彈簧75構成為，將右夾緊卡止部件73R的把持部730向基板輸送方向下游側拉伸。此外，在右夾緊卡止部件73R的把持部730上，設有相對于基板輸送方向以規(guī)定的角度(例如向應輸送的基板10的內側為45°左右)傾斜的例如平面形狀的把持面732。另外，在右夾緊卡止部件73R的把持面732上，也可以實施用來防止灰塵的發(fā)生的由例如PTFE等耐熱性的樹脂材料構成的涂層。另一方面，右夾緊卡止部件73R的凸輪從動部731相對于支軸72R稍稍朝向下方形成，構成為，使支軸72R的正下方的部分和凸輪從動部731的下表面734對驅動部件71R的上表面710 (及以下說明的凸輪驅動面711)接觸。并且，凸輪從動部731的前端部的形狀形成為R形狀。在本例的情況下，該凸輪驅動面711形成為凹部狀，形成為相對于右夾緊卡止部件73R的凸輪從動部731的下表面734嵌合的凹曲面形狀。另外，在右夾緊卡止部件73R的凸輪從動部731與驅動部件71R的上表面710接觸的部分上，也可以實施用來防止灰塵的發(fā)生的由例如PTFE等耐熱性的樹脂材料構成的涂層。
另一方面，左下游側施力部70L是與上述右下游側施力部70R相同的結構，如圖4所示，具有配置為相對于沿基板輸送方向延伸的直線成線對稱的支軸72L、左夾緊卡止部件73L、開口部74L，在左夾緊卡止部件73L上，設有把持部730、凸輪從動部731及把持面732。此外，驅動部件7IL具有與上述驅動部件7IR相同的結構，雖然沒有圖示，但在其上表面上，形成有對左夾緊卡止部件73L的凸輪從動部731的下表面734嵌合的凹曲面形狀的凸輪驅動面711。接著，使用圖4、圖5 (a)、圖5 (b)及圖6 (a)、圖6 (b)，詳細地說明下游側施力機構的動作原理及結構。在本例的情況下，設定從動機構部6的長度，以使得在連桿機構20伸長的狀態(tài)下，如上述那樣從動機構部6的基板輸送方向下游側的施力部6a不與應輸送的基板10的側部接觸。 在此狀態(tài)下，固定在從動機構部6的主體部60上的基部71位于基板輸送方向上游側的規(guī)定位置上，由此，左驅動部件71L及右驅動部件71R也位于基板輸送方向上游側的規(guī)定位置上。所以，在這樣的位置關系中，例如，如圖5 (a)、圖5 (b)所示，設定右驅動部件71R的長度、右夾緊卡止部件73R的凸輪從動部731的長度、右驅動部件71R的凸輪驅動面711的長度、位置及形狀，以使設在右驅動部件71R上的凸輪驅動面711的底部分和右夾緊卡止部件73R的凸輪從動部731為關于基板輸送方向重疊的位置。在此狀態(tài)下，右夾緊卡止部件73R的把持部730被拉伸螺旋彈簧向基板輸送方向拉伸，所以右夾緊卡止部件73R的把持部730以支軸72R為中心向倒向基板輸送方向的方向旋轉，由此，將右夾緊卡止部件73R的凸輪從動部731推壓在右驅動部件71R的凸輪驅動面711的底部分上，右夾緊卡止部件73R的凸輪從動部731抵接在右驅動部件71R的凸輪驅動面711的底部分上而成為靜止狀態(tài)。并且，如圖5 Ca)所示，在此狀態(tài)下設定支軸72R的位置、右夾緊卡止部件73R的把持部730的長度及形狀、以及把持面732的位置及形狀，以使得右夾緊卡止部件73R的把持面732相對于基板10的緣部離開。另一方面，如果從該狀態(tài)起使第3左臂3L及第3右臂3R向使連桿機構20收縮的方向旋轉，則與從動機構部6的主體部60 —起，基部71和左驅動部件71L及右驅動部件71R向基板輸送方向(箭頭P方向)移動。由此，如圖6 (a)、圖6 (b)所示，通過右夾緊卡止部件73R的凸輪從動部731從右驅動部件71R的凸輪驅動面711脫出、凸輪從動部731的下表面734抵接在驅動部件71R的上表面710上，右夾緊卡止部件73R的把持部730以支軸72R為中心向與基板輸送方向相反方向、即起立的方向旋轉。并且，在本例中，設定上述支軸72R的位置、右夾緊卡止部件73R的把持部730的長度及形狀、以及把持面732的位置及形狀，以使得在如圖4所示那樣連桿機構20收縮的狀態(tài)下，如圖6 Ca)所示那樣右夾緊卡止部件73R的把持面732抵接在被從動機構部6的施力部6a向基板輸送方向施力而移動的基板10的緣部。在此情況下，關于左下游側施力部70L也與右下游側施力部70R同樣，相對于驅動部件71的凸輪驅動面711設定支軸72L的位置、左夾緊卡止部件73L的把持部730的長度及形狀、以及把持面732的位置及形狀，以使左夾緊卡止部件73L的把持面732與基板10的緣部抵接。在本發(fā)明的情況下，雖然沒有特別限定，但優(yōu)選的是進行設定，以使左夾緊卡止部件73L的把持部730及右夾緊卡止部件73R的把持部730的移動距離(行程)相對于左驅動部件71L及右驅動部件71R的移動距離、即從動機構部6的移動距離較小。根據(jù)具有這樣的結構的本例，則在連桿機構20收縮的狀態(tài)下，如圖4所示，從從動機構部6的施力部6a作用基板輸送方向的力F，在從左下游側施力部70L的左夾緊卡止部件73L及右下游側施力部70R的右夾緊卡止部件73R朝向連桿機構20的方向上作用向基板10內方的力fl、f2，由此，對于該基板10，關于基板輸送方向從上游側及下游側作用推壓力，在載置部5上可靠地保持(把持)基板10。在該連桿機構20的收縮狀態(tài)下，通過使第I左臂IL及第I右臂IR向相同的方向旋轉，能夠在保持著基板10的狀態(tài)下進行旋繞動作。 另外，從動機構部6的施力部6a、和左夾緊卡止部件73L的把持面732及右夾緊卡止部件73R的把持面732接觸在基板10的緣部上的時機既可以與連桿機構20完全收縮的狀態(tài)同時，也可以是連桿機構20完全收縮之前(眼看就要的時候)，可以根據(jù)采用本發(fā)明的輸送裝置及真空裝置的大小及配置結構而適當變更。但是，從精度良好地把持基板10的觀點看，優(yōu)選的是構成為，在從動機構部6的施力部6a接觸在基板10的緣部上之后、左夾緊卡止部件73L的把持面732及右夾緊卡止部件73R的把持面732接觸在基板10的緣部上。特別是，在本例中，左下游側施力部70L (左夾緊卡止部件73L的把持面732)及右下游側施力部70R (右夾緊卡止部件73R的把持面732)配置為，使其相對于通過第I及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線、沿基板輸送方向延伸的直線成線對稱，所以能夠平衡良好地將基板10施力而保持(把持)。進而，在本例中，通過設定為、使左夾緊卡止部件73L的把持部730及右夾緊卡止部件73R的把持部730的移動距離相對于從動機構部6的向基板輸送方向的移動距離較小，能夠相對于從動機構部6的施力部6a進行的向基板10的施力的時機以規(guī)定的范圍設定左夾緊卡止部件73L的把持面732及右夾緊卡止部件73R的把持面732的時機及時間，由此能夠精度良好地把持基板10。圖7 (a) 圖7 (c)是表示本例的輸送裝置的動作的說明圖。這里，以將基板10從輸送室8A向處理室SB內運入的情況為例進行說明。另外，輸送室8A及處理室8B連接在未圖示的真空排氣系統(tǒng)上。此外，在輸送室8A與處理室8B間連接著未圖示的閘閥，在該閘閥打開后進行運入、運出動作。首先，如圖7 (a)所示，在如上述那樣使連桿機構20收縮而保持著基板10的狀態(tài)下，將載置部5的前端部朝向處理室SB偵U。在此狀態(tài)下，如上所述，從從動機構部6的施力部6a作用基板輸送方向的力，并且通過來自從動機構部6的動力，經(jīng)由基部71、左驅動部件71L及右驅動部件7IR在從左下游側施力部70L的左夾緊卡止部件73L及右下游側施力部70R的右夾緊卡止部件73R朝向連桿機構20的方向上作用力，所以將基板10把持在載置部5上。通過從該狀態(tài)使第I左臂IL向順時針方向旋轉、并且使第I右臂IR向逆時針方向旋轉，開始連桿機構20的伸長動作，如圖7 (b)所示，基板10朝向處理室8B直線前進。進而，通過繼續(xù)連桿機構20的伸長動作，如圖7 (c)所示，將基板10運入到處理室8B內。在此狀態(tài)下，如上所述，從動機構部6的施力部6a與基板10的側部、以及左下游側施力部70L的左夾緊卡止部件73L及右下游側施力部70R的右夾緊卡止部件73R與基板10的側部為不接觸的狀態(tài)，所以通過用設在處理室SB中的未圖示的升降機構支承基板10使其上升，能夠使基板10從輸送裝置50的載置部5脫離。
另外，將從動機構部6的施力部6a與基板10的側部、以及左下游側施力部70L的左夾緊卡止部件73L及右下游側施力部70R的右夾緊卡止部件73R與基板10的側部的接觸解除的時機既可以是與連桿機構20完全伸長的狀態(tài)同時，也可以是連桿機構20完全伸長之前(眼看就要的時候)，可以根據(jù)采用本發(fā)明的輸送裝置及真空裝置的大小及配置結構而適當變更。然后，通過使第I左臂IL向逆時針方向旋轉、并使第I右臂IR向順時針方向旋轉而進行連桿機構20的收縮動作，能夠使載置部5向輸送室8A內返回。如以上所述，在本例中，在載置部5的左右的支承部件5L、5R的前端部分上設置具有左下游側施力部70L、右下游側施力部70R的下游側施力機構7，并且在連桿機構20的動作前端部上設置通過凸輪機構動作的上游側施力機構9，通過左夾緊卡止部件73L及右夾緊卡止部件73R和從動機構部6的施力部6a將基板10從基板輸送方向的兩側夾著而機械地保持，所以能夠抑制載置部5上表面上的基板10的滑動(在同時把持的情況下在原理上沒有滑動)，能夠實現(xiàn)基板10的高速輸送。此外，通過包括左下游側施力部70L、右下游側施力部70R及從動機構部6、將全部的部件用金屬制作，不僅在輸送物及周圍的氣體環(huán)境溫度比較低的環(huán)境下、在輸送時的溫度較高(例如300 500°C)的情況下也沒有熱變質及變形而能夠抑制基板10的滑動。進而，左夾緊卡止部件73L、右夾緊卡止部件73R及從動機構部6的施力部6a是凸狀的部件，在把持基板10的部分中沒有滑動部，并且?guī)缀鯖]有基板10的滑動，所以能夠降低污染基板10的灰塵的發(fā)生。進而，此外根據(jù)本實施方式，由于凸輪機構的滑動部配置在基板10的下側，所以能夠防止由在該滑動部發(fā)生的灰塵造成的基板10表面的污染。圖8及圖9 (a)、圖9 (b)是表不本發(fā)明的另一例的圖，圖8是表不上游側施力機構及下游側施力機構的俯視圖，圖9 (a)、圖9 (b)是表示該下游側施力機構的主要部的俯視圖。以下，對于與上述例子對應的部分賦予相同的附圖標記而省略其詳細的說明。如圖8所示，在本例的下游側施力機構8中，在載置部5的支承部件5L、5R的前端部分上，分別設有由連桿方式的施力機構構成的后述的下游側施力部81L、81R。此外，具有用來驅動這些下游側施力部81L、81R的驅動部件80。該驅動部件80由大致“ 口 ”字狀的部件構成，由直線棒狀的基部80a、和在基部80a的兩端部上在與基部80a正交的方向上分別延伸的直線棒狀的左驅動部80L、右驅動部80R構成。在本例的情況下，驅動部件80配置為，使基部80a與基板輸送方向正交，構成為，使從動機構部6的主體部60將該基部80a貫通。并且，由此配置構成為，使從動機構部6的主體部60和驅動部件80能夠相對地向基板輸送方向及其相反方向移動。此外，設定驅動部件80的基部80a的長度，以使其比載置部5的支承部件5L、5R的間距長，由此，在將驅動部件80安裝在輸送裝置50上的情況下，左驅動部80L、右驅動部80R分別配置在支承部件5L、5R的外側。這里，驅動部件80的左驅動部80L、右驅動部80R配置為，使其相對于通過第I及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線、沿基板輸送方向延伸的直線成線對稱。驅動部件80構成為，使其經(jīng)由以下說明的動力傳遞機構82從連桿機構20的第3右臂3R受力。該動力傳遞機構82具有直線棒狀的主體部82a，該主體部82a的一個端部被朝向與上述驅動部件80的基部80a正交的方向安裝固定。 在該動力傳遞機構82的主體部82a的另一端部上，在水平面內旋轉自如地支承著正圓形的從動輥82b。另一方面，在第3右臂3R上，與圖4所示的例子的情況相比、從第3右臂3R的前端部朝向后端部長度較長地形成有凸輪驅動面31R。并且，構成為，在從動機構部6的右側相鄰配置動力傳遞機構82，在使該從動輥82b抵接在凸輪驅動面31R上的狀態(tài)下，受例如設在載置部5的表面上的導引部件82c導弓I，由此，動力傳遞機構82的主體部82a向基板輸送方向或其相反方向直線移動。進而，在本例中，采用如下的結構在動力傳遞機構82的主體部82a的基板輸送方向側的端部附近固定著安裝部件82d，在該安裝部件82d上安裝棒狀的固定銷82e，再將該固定銷82e的一端部安裝固定到驅動部件80的基部80a上，并且將固定銷82e的另一個端部分例如固定到導引部件82c上，由此，使動力傳遞機構82的主體部82a和驅動部件80的基部80a不旋轉。另一方面，在驅動部件80的左驅動部80L的前端部上，可以支軸83L為中心在水平面內旋轉地支承著后述的左連桿部件84L的一端部，此外，在驅動部件80的右驅動部80R的前端部上，可以支軸83R為中心在水平面內旋轉地支承著后述的右連桿部件84R的一端部。此外，在主體部82a上安裝著例如螺旋彈簧82f，螺旋彈簧82f的一個端部固定在主體部82a上，并且另一個端部抵接在導引部件82c上。通過該螺旋彈簧82f的力，成為在主體部82a上向基板輸送方向作用有力的狀態(tài)，所以當連桿機構20處于伸長狀態(tài)時，由后述的把持部86L、86R進行的基板10的把持被解除。這些左連桿部件84L及右連桿部件84R都由大致“L”字狀的相同形狀的部件構成，在不受驅動部件80的左驅動部80L或右驅動部80R支承的一側的前端部上設有例如R形狀的把持部86L、86R，以使其在與主體部分正交的方向上延伸。進而，左連桿部件84L及右連桿部件84R的各自的中腹部可以設在載置部5的各支承部件5L、5R的前端部上的支軸85L、85R為中心在水平面內旋轉地被支承。這里，左連桿部件84L及右連桿部件84R的各自的把持部86L、86R被朝向與基板輸送方向相反方向配置。并且，通過這樣的結構，左下游側施力部8IL及右下游側施力部8IR的把持部86L、86R配置為，使其相對于通過上述第I及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線、沿基板輸送方向延伸的直線成線對稱。另外，在把持部86L、86R的與基板10的緣部接觸的部分上，也可以實施用來防止灰塵的發(fā)生的由例如PTFE等耐熱性的樹脂材料構成的涂層。接著，使用圖8及圖9 (a)、圖9 (b)，詳細地說明本例的動作原理及結構。另外，在本例的情況下，左下游側施力部81L和右下游側施力部81R構成為，使其通過相同的機構動作，以下，適當以右下游側施力部81R為例說明本發(fā)明的連桿方式的下游側施力部的結構及動作。在本例中，與圖4所示的例子同樣，設定從動機構部6的長度，以使得在連桿機構20伸長的狀態(tài)下、從動機構部6的基板輸送方向下游側的施力部6a不與應輸送的基板10的側部接觸。并且，構成為，在連桿機構20收縮的狀態(tài)下，從動機構部6移動到基板輸送方向下 游側，從動機構部6的施力部6a與應輸送的基板10的側部接觸。本例的動力傳遞機構82構成為,使其與上述從動機構部6 —起向相同方向移動。S卩，分別設定第3右臂的第3凸輪驅動面31R的形狀、動力傳遞機構82的從動輥82b、主體部82a的長度、驅動部件80的基部80a及右驅動部80R的長度、右連桿部件84R(把持部86R)的長度、支軸83R、85R的位置，以使得在連桿機構20伸長的狀態(tài)下，例如關于右連桿部件84R如在圖9 Ca)中表示那樣，把持部86R不接觸在基部10的緣部上。分別設定驅動部件80的基部80a及左驅動部80L的長度、左連桿部件84L (把持部86L)的長度、支軸83L、85L的位置，以使關于左連桿部件84L，把持部86L也不接觸在基部10的緣部上。另外，在本發(fā)明中，雖然沒有特別限定，但例如關于右連桿部件84R如在圖9 (a)中表示那樣，優(yōu)選的是構成為，使把持部86R的與基板10的接觸部分與支承部件5R的支軸85R的間距Pl比支承部件5R的支軸85R與右驅動部80R的支軸83R的間距P2小。另一方面，關于左連桿部件84L，也雖然沒有圖示、但同樣優(yōu)選的是構成為，使把持部86L的與基板10的接觸部分與支承部件5L的支軸85L的間距比支承部件5L的支軸85L與右驅動部80L的支軸83L的間距小。通過這樣的結構，可以進行設定，以使左連桿部件84L的把持部86L及右連桿部件84R的把持部86R的移動距離相對于從動機構部6的向基板輸送方向的移動距離較小。在本例中，如果使第3左臂3L及第3右臂3R從連桿機構20伸長的狀態(tài)向使連桿機構20收縮的方向旋轉,貝U從動機構部6的主體部60向基板輸送方向移動,并且來自第3右臂3R的凸輪驅動面31R的力經(jīng)由動力傳遞機構82被傳遞給驅動部件80的基部80a，由此，驅動部件80向基板輸送方向(箭頭P方向)移動。結果，左連桿部件84L、右連桿部件84R以支軸85L、85R為中心旋轉，以使把持部86L、86R向與基板輸送方向相反方向移動(參照圖9 (b))。所以，在本例中，分別設定上述第3右臂的第3凸輪驅動面31R的形狀、動力傳遞機構82的從動輥82b、主體部82a的長度、驅動部件80的基部80a以及左驅動部80L及右驅動部80R的長度、左連桿部件84L及右連桿部件84 (把持部86L、86R)的長度、支軸83L、85L、83R、85R的位置，以使得在連桿機構20收縮的狀態(tài)下，左連桿部件84L的把持部86L及右連桿部件84R的把持部86R對受從動機構部6的施力部6a向基板輸送方向施力而移動的基板10的緣部抵接。根據(jù)具有這樣的結構的本例，在連桿機構20收縮的狀態(tài)下，如圖8所示，從從動機構部6的施力部6a作用基板輸送方向的力F，并且通過來自動力傳遞機構82的主體部82a的動力，經(jīng)由驅動部件80，以從左下游側施力部81L的左連桿部件84L及右下游側施力部81R的右連桿部件84R朝向連桿機構20的方向作用向基板10內方的力f3、f4，由此，對于該基板10，關于基板輸送方向從上游及下游側作用推壓力，在載置部5上可靠地保持(把持)基板10。另外，從動機構部6的施力部6a和左連桿部件84L的把持部86L及右連桿部件84R的把持部86R接觸在基板10上的時機既可以是與連桿機構20完全收縮的狀態(tài)同時，也可以是連桿機構20完全收縮之前(眼看就要的時候)，可以根據(jù)采用本發(fā)明的輸送裝置及真空裝置的大小及配置結構而適當變更。但是，從精度良好地把持基板10的觀點看，優(yōu)選的是構成為，在從動機構部6的施 力部6a接觸在基板10的緣部上之后，左連桿部件84L的把持部86L及右連桿部件84R的把持部86R接觸在基板10的緣部上。進而，在本例中，左下游側施力部81L的把持部86L及右下游側施力部81R的把持部86R配置為，使其相對于通過第I及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線、沿基板輸送方向延伸的直線成線對稱，所以能夠通過左連桿部件84L的把持部86L及右連桿部件84R的把持部86R平衡良好地將基板10施力而保持(把持)。進而，此外在本例中，通過進行設定、以使左連桿部件84L的把持部86L及右連桿部件84R的把持部86R的移動距離相對于從動機構部6的向基板輸送方向的移動距離較小，能夠相對于從動機構部6的施力部6a進行的向基板10的施力的時機以規(guī)定的范圍設定左連桿部件84L的把持部86L及右連桿部件84R的把持部86R的時機及時間，由此能夠精度良好地把持基板10。除此以外，根據(jù)本例，由于連桿機構的滑動部配置在相對于基板10離開的位置上，所以能夠防止由在該滑動部發(fā)生的灰塵造成的基板10表面的污染。關于其他結構及作用效果，與上述例子是相同的，所以省略其詳細的說明。圖10 圖13是表示本發(fā)明的上游側施力機構的另一例的圖，以下，對于與上述例子對應的部分賦予共通的附圖標記而省略其詳細的說明。另外，在圖10 圖13所示的例子中，在從動機構部6的主體部60上安裝固定著例如圖4所示的下游側施力機構7的基部70，但這里為了方便而省略上下游側施力機構7的說明。圖10是表示在上游側施力機構的從動機構部中具有用來使該施力部的施力減力的減力部件的例子的圖。如圖10所示，在本例中，構成為，使從動機構部6的施力部6a的支承部66沿著主體部60延伸的方向移動，在這些主體部60的前端部與施力部6a之間的支承部66的周圍，安裝著壓縮螺旋彈簧(減力部件)67。并且，構成為，在施力部6a的前端部上作用有向主體部60方向的力的情況下施力部6a克服壓縮螺旋彈簧67的彈性力而向主體部60方向移動。根據(jù)具有這樣的結構的本例，由于在保持(把持)基板10時能夠調整對基板10的作用力，所以有對應于各種輸送物及裝置結構而設計的自由度變大、通用性變高的優(yōu)點。
圖11是表示上游側施力機構的另一例的主要部的部分截面?zhèn)纫晥D，構成為，使第3左臂3L和第3右臂3R位于動力傳遞機構4的下方。如圖11所示，在本例中，在第3左臂3L和第3右臂3R的前端部上配設上述結構的從動機構部6，構成為，使其主體部60沿著基板輸送方向直線前進移動。在從動機構部6的主體部60的前端部上安裝著減力部件6b。該減力部件6b通過由例如不銹鋼等金屬構成的板狀的彈性材料構成，從主體部60的前端部朝向上方配設。并且，在減力部件6b的前端部上設有例如凹部形狀的施力部6c，該施力部6c經(jīng)由設在載置部5上的孔部5a突出到載置部5上，構成為，隨著從動機構部6的移動，施力部6c的凹面部分相對于基板10的側部抵接或離開。根據(jù)具有這樣的結構的本例，與上述例子同樣，在保持(把持)基板10時能夠調整對基板10的作用力。 除此以外，根據(jù)本例，例如可以作為美國專利6，364，599B1的圖22或圖23所示的減小上側的末端執(zhí)行器與下側的末端執(zhí)行器的上下間隔的臂機構的下側臂的晶片施力機構使用。另外，作為該臂機構的上側臂的晶片施力機構，可以使用上述圖2 (a)、圖2 (b)及圖3 (a)、圖3 (b)的結構。圖12是表示上游側施力機構的再另一例的主要部的結構圖，表示具有用來使從動機構部的施力部的作用力減力的減力部件的例子。如圖12所示，本例是圖10所示的例子的變形例，在從動機構部6的主體部60的前端部上，固定著例如沿與主體部60延伸的方向正交的方向延伸的直線棒狀的安裝部件67，在該安裝部件67的兩端部上，安裝著例如由不銹鋼等金屬構成的帶狀環(huán)狀的兩個減力施力部6d、6e,以使其從安裝部件67向基板輸送方向下游側突出。這里，兩個減力施力部6d、6e形成為相同的大小及形狀，配置為，使其相對于通過第I及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線、沿基板輸送方向延伸的直線成線對稱。根據(jù)具有這樣的結構的本例，除了與圖10所示的例子同樣在保持(把持)基板10時能夠調整對基板10的作用力以外，還通過相對于基板輸送方向線對稱地配置的兩個減力施力部6d、6e將基板10施力，所以有能夠平衡良好地保持(把持)基板10的優(yōu)點。另外，在本例中，如圖11所示的例子那樣，也可以構成為，使第3左臂3L、第3右臂3R及從動機構部6位于動力傳遞機構4的下方。在此情況下，與圖11所示的例子同樣，優(yōu)選的是，在載置部5上設置孔部(未圖示)，經(jīng)由該孔部使安裝部件68及減力施力部6d、6e位于載置部5的上方，構成為，使減力施力部6d、6e相對于基板10的側部抵接或離開。根據(jù)這樣的本例，例如有可以作為美國專利6，364，599B1的圖22或圖23所示的減小上側的末端執(zhí)行器與下側的末端執(zhí)行器的上下間隔的臂機構的下側臂的晶片施力機構使用的優(yōu)點。另外，作為該臂機構的上側臂的晶片施力機構，可以使用上述圖12的結構本身。圖13是表示上游側施力機構的再另一例的主要部的結構圖。在上述圖2 (b)所示的例子中，第3左臂3L和第3右臂3R的各凸輪驅動面31L、31R構成為，使其各前端部側的變位量rl比各基端部側的變位量r0小(rl〈rO)。但是，在例如具有多個圖7 (a) 圖7 (C)所示那樣的處理室8B的輸送裝置中，根據(jù)處理室8B的內部結構，基板10的交接位置并不一定相同，從驅動軸11、12的中心軸到各處理室SB的交接位置的距離不同。這里，在到交接位置的距離、即交接距離較短的情況下，交接基板10時的基板10的邊緣與施力部6a的間隔變小，考慮有可能施力部6a碰到基板10的邊緣而發(fā)生灰塵發(fā)生或基板偏移的問題。作為避免該問題的方法，例如，如圖13所示，也可以將第3左臂3L和第3右臂3R的各凸輪驅動面31L、31R的前端部側的形狀如由圖中斜線部分表示那樣形成為遍及規(guī)定的角度而變位量為一定的形狀、即例如與各凸輪驅動面31L、31R的前端部側的變位量rl相同的半徑的圓弧形狀。
如果做成這樣的結構，則當從動輥62L、62R在由圖中斜線表示的半徑rl的范圍中接觸在各凸輪驅動面31L、31R上時，從動機構部6的主體部60不在基板輸送方向上進行直線運動，所以在交接距離較短的情況下及較長的情況下，都能夠將交接基板10時的基板10的邊緣與施力部6a保持為不會相互接觸的間隔，能夠避免灰塵發(fā)生及基板偏移的問題。圖14 (a)、圖14 (b)是表示上游側施力機構的再另一例的結構圖。以下，對于與上述例子對應的部分賦予共通的附圖標記而省略其詳細的說明。另外，在本例中，在第3右臂3R上形成有上述凸輪驅動面31R，在載置部5上安裝有例如圖8所示那樣的下游側施力機構8，但這里為了方便而省略關于上下游側施力機構8的說明。如圖14 (a)、圖14 (b)所示，在本例中，作為上游側施力機構9A，在第3左臂3L的載置部5側的安裝面30L、和第3右臂3R的載置部5側的安裝面30R上，架設安裝著由一連串的彈性體構成的上游側施力部件6A。該上游側施力部件6A優(yōu)選的是由例如不銹鋼等金屬材料構成，各自的端部通過例如螺紋件等固定在第3左臂3L及第3右臂3R上。并且，由此，設定其長度，以使其成為從第3左臂3L的載置部5側的安裝面30L和第3右臂3R的載置部5側的安裝面30R向基板輸送方向下游側為凸部形狀。進而，在本發(fā)明的情況下，從防止真空中的灰塵的發(fā)生的觀點看，優(yōu)選的是選擇上游側施力部件6A的材料、此外決定上游側施力部件6A的形狀及配置，以使上游側施力部件6A不接觸在動力傳遞機構4的表面及載置部5的表面上。從這樣的觀點看，更優(yōu)選的是，作為上游側施力部件6A的形狀而形成為規(guī)定寬度的帶狀(皮帶狀)。此外，上游側施力部件6A的安裝位置是從載置部5的表面向上方離開的位置，優(yōu)選的是設定為，使上游側施力部件6A的基板輸送方向下游側的部分可靠地接觸在基板10的側部上。使用圖14 (a)、圖14 (b)，詳細地說明本發(fā)明的動作原理及結構。如圖14 (a)、圖14 (b)所示，在本例中，構成為，在連桿機構20伸長的狀態(tài)及收縮的狀態(tài)下、第3左臂3L的安裝面30L和第3右臂3R的安裝面30R分別為相對于基板輸送方向傾斜的狀態(tài)。這里，進行設定，以使得在連桿機構20伸長的狀態(tài)下，如圖14 (a)所示，第3左臂3L的安裝面30L與第3右臂3R的安裝面30R所成的角度例如比180度大。
此外，本發(fā)明的情況下，雖然沒有特別限定，但將第3左臂3L的安裝面30L和第3右臂3R的安裝面30R的上游側施力部件6A的固定部310L、310R間的距離設為例如比第3左臂3L及第3右臂3R的前端部側的支軸23L、23R間的距離大的距離D。另一方面，設定為，使得在連桿機構20收縮的狀態(tài)下，如圖14 (b)所示，第3左臂3L的安裝面30L與第3右臂3R的安裝面30R所成的角度例如比180度小。在這樣的結構中，在連桿機構20伸長的狀態(tài)下，如圖14 (a)所示，對于架設在第3左臂3L及第3右臂3R間的上游側施力部件6A的兩端部附近，分別作用向內側方向卷入的力(力矩)T。結果，上游側施力部件6A成為以與正圓相比在基板輸送方向上壓扁的形狀靜止的狀態(tài)。并且，在此狀態(tài)下，設定上游側施力部件6A的形狀、大小、材質，并且設定第3左臂3L及第3右臂3R的安裝面30L、30R的角度、上游側施力部件6A的固定位置(固定部310L、310R間距離)，以使上游側施力部件6A的基板輸送方向下游側的施力部6a不與應輸送的基板10的側部接觸。 另一方面，在連桿機構20收縮的狀態(tài)下，如圖14 (b)所示，第3左臂3L的安裝面30L和第3右臂3R的安裝面30R的上游側施力部件6A的固定部310L、310R間的距離d與連桿機構20伸長的狀態(tài)相比較小(D>d)，并且，第3左臂3L的安裝面30L與第3右臂3R的安裝面30R所成的角度比180度小，所以對于架設在第3左臂3L及第3右臂3R間的上游偵M力部件6A的兩端部附近，分別作用向基板輸送方向下游側推出的力(力矩)t。結果，上游側施力部件6A的基板輸送方向下游側的部分(施力部6a)與應輸送的基板10的側部接觸，能夠對基板10的側部作用向基板輸送方向的力F。在以上所述的本例中，通過使上游側施力部件6A為帶狀的部件，在把持基板10的附近不再有滑動部，所以能夠將污染基板10的灰塵的發(fā)生降低到極限。關于其他結構及作用效果，與上述例子是相同的，所以省略其詳細的說明。圖15 (a)是表示本發(fā)明的上游側施力機構的再另一例的整體的結構圖，圖15 (b)是圖15 (a)的A — A線剖視圖。以下，對于與上述例子對應的部分賦予共通的附圖標記而省略其詳細的說明。另外，在本例中，在從動機構部6的主體部160上安裝固定著例如圖4所示的下游側施力機構7的基部70，但這里為了方便而省略關于上下游側施力機構7的說明。如圖15 Ca)所示，在本例中，第3左臂3L和第3右臂3R的前端部分別形成為半圓形狀，在第3左臂3L及第3右臂3R的表側面130LU30R上分別設有凸狀的驅動支承部131LU31R (以下單稱作“驅動凸部”)，由這些驅動凸部131LU31R和從動機構部6B構成基于滑動機構的上游側施力機構9B。在本例中，驅動凸部131L、131R優(yōu)選的是由不銹鋼等金屬材料構成，設在從第3左臂3L的支軸23L和第3右臂3R的支軸23R離開規(guī)定的距離的位置上。在此情況下，驅動凸部131L、131R配置在比第3左臂3L及第3右臂3R的支軸23L、23R靠基板輸送方向下游側。另外，在本例中，第3左臂3L和第3右臂3R的各驅動凸部131L、131R設置為，使其相對于通過第I及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線、沿基板輸送方向延伸的直線成線對稱。
本例的驅動凸部131LU31R是與后述的從動部61的長孔62卡合的部件，具有相同的結構。如圖15 (b)所示，各驅動凸部131L、131R具有以立設在第3左臂3L及第3右臂3R的表側面130L、130R上的支軸132L、132R為中心在水平方向上轉動自如地被支承的圓筒狀的旋轉軸133LU33R。在各旋轉軸133L、133R的上部，設有比各旋轉軸133L、133R直徑大一些的例如圓板狀的支承部134L、134R。另一方面，本例的從動機構部6B優(yōu)選的是由不銹鋼等金屬部件構成，具有直線棒狀的主體部160。在從動機構部6B的主體部160的一端部上，安裝有例如沿相對于主體部160正交 的方向延伸的長方形平板狀的從動部161。在該從動部161上，例如在其寬度方向的中央?yún)^(qū)域中，形成有沿著從動部161的長度方向以直線狀延伸的長孔162。如圖15 (b)所示，從動部161的長孔162設定為，使其寬度比上述驅動凸部131L、131R的旋轉軸133L、133R的直徑大一些、并且比支承部134L、134R的直徑小。此外，從動部161的長孔162的長度設定為，使其比隨著第3左臂3L和第3右臂3R的旋轉而移動的驅動凸部131LU31R間的最大距離長。通過這樣的結構，如果使第3左臂3L和第3右臂3R旋轉，則各驅動凸部131L、131R的驅動軸133L、133R—邊在從動部161的長孔162內卡合滑動一邊推壓其基板輸送方向上游或下游側的開口緣部。在從動機構部6B的主體部160的另一端部上，安裝著凸狀(例如銷形狀)的施力部6a。該施力部6a的前端部也可以實施用來防止灰塵的發(fā)生的由例如PTFE等耐熱性的樹脂材料構成的涂層。在本例中，如圖15 (b)所示，構成為，通過在使第3左臂3L和第3右臂3R的各驅動凸部131L、131R卡合在從動機構部6B的從動部161的長孔162中的狀態(tài)下受例如設在載置部5的表側面上的導引部件163導引，從動機構部6B的主體部160向基板輸送方向或其相反方向直線移動。接著，使用圖16 (a)、圖16 (b)，詳細地說明本例的動作原理及結構。以下，考慮使第3左臂3L的支軸23L與驅動凸部131L的支軸132L之間的距離、以及第3右臂3R的支軸23R與驅動凸部131R的支軸132R之間的距離分別為r的情況。在本例中，設定為，使得在連桿機構20伸長的狀態(tài)下，如圖16 (a)所示，第3左臂3L及第3右臂3R的前端部所成的角度例如比180度大。在此狀態(tài)下，決定從動部161的長孔162的大小、各驅動凸部131L、131R的位置，以使卡合在從動機構部6B的從動部161的長孔162中的第3左臂3L和第3右臂3R的各驅動凸部131LU31R在該長孔162內位于兩端部。并且，設定從動機構部6B的基準長度(這里，是從施力部6a的前端部到驅動凸部131L、131R的支軸132L、132R的距離)，以使從動機構部6B的基板輸送方向下游側的施力部6a不與應輸送的基板10的側部接觸。在本例中，構成為，例如使各驅動凸部131L、131R比第3左臂3L及第3右臂3R的支軸23L、23R在相對于基板輸送方向正交的方向上位于外方側(相對于基板輸送方向的角度 θ I)。另一方面，設定為，使得在連桿機構20收縮的狀態(tài)下，如圖16 (b)所示，第3左臂3L及第3右臂3R的前端部所成的角度例如比180度小。在此狀態(tài)下，驅動凸部131L、131R分別以第3左臂3L或第3右臂3R的支軸23L、23R為中心向相互接近的方向旋轉移動。這里，設定上述各部件的大小、形狀、位置，以使相對于基板輸送方向的角度Θ0比連桿機構20伸長的狀態(tài)下的相對于基板輸送方向的角度Θ I在絕對值上較小，例如各驅動凸部131L、131R位于比第3左臂3L及第3右臂3R的支軸23L、23R靠基板輸送方向的垂直方向的內方側。在這樣的結構中，如果向第3左臂3L及第3右臂3R的收縮方向旋轉，則各驅動凸部131LU31R向基板輸送方向下游側移動，推壓從動部161的長孔162的開口緣部，從動機構部6B向基板輸送方向下游側移動,施力部6a與應輸送的基板10的側部的距離變小Cr ■ cos Θ 0>r ■ cos θ 1，即，d〈D)。結果，從動機構部6B的基板輸送方向下游側的部分(施力部6a的前端部)與應輸送的基板10的側部接觸，能夠對基板10的側部作用向基板輸送方向的力F。圖17 (a)、圖17 (b)是表示本發(fā)明的上游側施力機構的再另一例的結構及動作的圖，圖17 (a)是表示連桿機構20伸長的狀態(tài)的圖，圖17 (b)是表示連桿機構20收縮的狀態(tài)的圖。另外，在本例中，在構成上游側施力機構9C的從動機構部6C的主體部60上安裝固定著例如圖4所示的下游側施力機構7的基部70，但這里為了方便而省略上下游側施力機構7的說明。如圖17 (a)、圖17 (b)所示，本例的上游側施力機構9C是圖15 (a)、圖15 (b)的變形例，在從動部161A上，僅在從動部161A的對應于第3右臂3R側的區(qū)域中設有長孔162A。該從動部161A以設在第3左臂3L的表側面130L上的支軸35為中心在水平方向上轉動自如地被支承。在本例中，構成為，支軸35設在與上述驅動凸部13IL相同的位置上，由此，從動部161A以一個端部(左側的端部)為中心轉動。從動部161A的長孔162A形成為，使其沿著從動部161A的長度方向以直線狀延伸，構成為，使其與設在第3右臂3R上的驅動凸部131R (旋轉軸133R)卡合。此外，本例的從動部161A與從動機構部6C的主體部160分離。并且，在從動部16IA的基板輸送方向下游側的部位上,設有沿相對于基板輸送方向正交的方向延伸、具有規(guī)定的大小的驅動抵接部161a。另一方面，在從動機構部6C的主體部160的與施力部6a相反側的端部上，設有與上述從動部161A的驅動抵接部161a抵接的從動抵接部160a。此外，在從動機構部6C的主體部160的與施力部6a相反側的端部上設有支承部160b，在該支承部160b與上述導引部件163之間，在該主體部160的周圍安裝著壓縮螺旋彈簧166。在這樣的結構中，如果從圖17(a)所示的伸長狀態(tài)起使第3左臂3L及第3右臂3R向收縮方向旋轉，則從動部161A以支軸35為中心向順時針方向旋轉，并且驅動凸部131R向逆時針方向旋轉，由此，從動部161A向基板輸送方向下游側移動。并且，通過從動部161A的驅動抵接部161a抵接在從動機構部6C的主體部160的從動抵接部160a上、將其向基板輸送方向下游側施力，從動機構部6C克服壓縮螺旋彈簧166的彈性力而向基板輸送方向下游側移動。結果，從動機構部6C的基板輸送方向下游側的施力部6a與應輸送的基板10的側部接觸，能夠對基板10的側部作用向基板輸送方向的力F。根據(jù)具有這樣的結構的本例，由于能夠以適當?shù)牧⒃O在從動機構部6C的施力部6a上的從動抵接部160a推壓在從動部161A的驅動抵接部161a上而緊貼，所以能夠使從動機構部6C例如沿著導引部件163可靠地以高精度向基板輸送方向下游側移動。除此以外，根據(jù)本例，由于從動部161A與主體部160分離，所以有能夠僅在施力部6a與基板10的側部接觸的部分的附近使主體部160滑動、能夠降低因導引部件163與主體 部160的滑動帶來的灰塵的發(fā)生的優(yōu)點。圖18 (a)、圖18 (b)是表示本發(fā)明的上游側施力機構的再另一例的結構及動作的圖，以下，對于與上述例子對應的部分賦予共通的附圖標記，省略其詳細的說明。另外，在本例中，在構成上游側施力機構9D的從動機構部6的主體部60上安裝固定著例如圖4所示的下游側施力機構7的基部70，但這里為了方便而省略上下游側施力機構7的說明。如圖18 (a)、圖18 (b)所示，在本例中，第3左臂3L和第3右臂3R的前端部分分別形成為半徑r的半圓形狀，在第3左臂3L和第3右臂3R的最前端部上，分別設有配置為使該端部側的面例如為N極的、例如由永久磁鐵構成的第I驅動用磁鐵36L、36R。此外，在第3左臂3L和第3右臂3R上，在其前端部分、基板輸送方向下游側的部位上，分別設有配置為使其表面例如為S極的、例如由永久磁鐵構成的第2驅動用磁鐵37L、37R。在本例中，第I驅動用磁鐵36L、36R和第2驅動用磁鐵37L、37R配置為，使其相對于通過上述第I及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線、沿基板輸送方向延伸的直線分別成線對稱。另一方面，在從動機構部6D的主體部160上，在與設有施力部6a的一側的相反側的端部上設有例如具有比主體部160寬幅的卡止部167a的支承部件167，在該支承部件的前端部上，設有配置為使該端部側的面(側面及底面)例如為S極的、例如由永久磁鐵構成的從動用磁鐵169。此外，在從動機構部6D的主體部160的中腹部與上述支承部件167之間，在該主體部160的周圍安裝著壓縮螺旋彈簧166。該壓縮螺旋彈簧166的前端部分固定在支承部件167的卡止部167a上。接著，使用圖18 (a)、圖18 (b)，詳細地說明本例的上游側施力機構的動作原理及結構。在本例中，設定為，使得在連桿機構20伸長的狀態(tài)下，如圖18 (a)所示，第3左臂3L與第3右臂3R所成的角度例如比180度大。另一方面，設定為，使得在連桿機構20收縮的狀態(tài)下，如圖18 (b)所示，第3左臂3L與第3右臂3R所成的角度例如比180度小。
進而，設定為，使得根據(jù)第3左臂3L和第3右臂3R與從動機構部6D的相對的位置關系、第I及第2驅動用磁鐵361^、361 、371^、371 與從動用磁鐵169的位置關系(接近或離開)變化。即，設定從動機構部6D的主體部160及支承部件167的長度、第3左臂3L和第3右臂3R的形狀、第I驅動用磁鐵36L、36R的配置位置，以使得在連桿機構20伸長的狀態(tài)下，如圖18 (a)所不,從動機構部6D的基板輸送方向下游側的施力部6a不與應輸送的基板10的側部接觸、并且從動用磁鐵169相對于上述第I驅動用磁鐵36L、36R接近。另一方面，設定第2驅動用磁鐵37L、37R的配置位置，以使得在連桿機構20收縮的狀態(tài)下，如圖18 (b)所示，設在第3左臂3L及第3右臂3R上的第2驅動用磁鐵37L、37R與從動機構部6D的從動用磁鐵分別對置。
在這樣的本例中，在連桿機構20伸長的狀態(tài)下，如圖18 Ca)所示，從動機構部6D的S極的從動用磁鐵169相對于第3左臂3L及第3右臂3R的N極的第I驅動用磁鐵36L、36R接近，所以通過各自的磁力，從動用磁鐵169與第I驅動用磁鐵36L、36R相吸弓丨，由此，從動機構部6D被向基板輸送方向上游側拉伸，從動機構部6D的施力部6a成為不與應輸送的基板10的側部接觸的狀態(tài)而靜止。另一方面，在連桿機構20收縮的狀態(tài)下，如圖18 (b)所示，由于第3左臂3L及第3右臂3R的S極的第2驅動用磁鐵37L、37R與從動機構部6D的S極的從動用磁鐵169分別對置，所以通過各自的磁力，從動用磁鐵169與第2驅動用磁鐵37L、37R相排斥，由此，從動機構部6D被向基板輸送方向下游側施力，結果,從動機構部6D的基板輸送方向下游側的施力部6a與應輸送的基板10的側部接觸，對于基板10的側部作用向基板輸送方向的力F。根據(jù)具有這樣的結構的本例，由于能夠將從第3左臂3L及第3右臂3R對從動機構部6D的驅動力以非接觸傳遞，所以能夠降低將輸送物污染的灰塵的發(fā)生。另外，本發(fā)明并不限定于上述實施方式，能夠進行各種變更。例如，在圖2 (a)、圖2 (b)所示的例子中，將相鄰的兩個凸輪驅動面31L、31R與對應于它們的兩個從動輥62L、62R組合而構成上游側施力機構9的凸輪機構，但本發(fā)明并不限定于此，也可以將一個凸輪驅動面與對應于它的一個從動輥組合而構成上游側施力機構9的凸輪機構，此外，也可以將三個以上的凸輪驅動面與對應于它們的三個以上的從動輥組合而構成上游側施力機構9的凸輪機構。但是，從平衡良好地保持(把持)基板10的觀點看，如上述實施方式那樣將相鄰的兩個凸輪驅動面31L、31R與對應于它們的兩個從動輥62L、62R組合而構成上游側施力機構9的凸輪機構是優(yōu)選的。另外，關于上游側施力機構9的凸輪機構，可以根據(jù)采用本發(fā)明的輸送裝置而適當?shù)刈兏馆嗱寗用娴男螤睢膭虞伒拇笮〉?。進而，也可以構成為，在平行連桿臂機構那樣的分別相對平行移動的多個相鄰連桿部上形成凸輪驅動面，使上游側施力機構9沿著該凸輪驅動面移動，通過上述動作保持輸送物。另一方面，關于下游側施力機構，在圖4所示的例子中，對于左下游側施力部70L、右下游側施力部70R，將左驅動部件71L及右驅動部件71R (特別是各把持面732)配置為，使其相對于通過第I及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線、沿基板輸送方向延伸的直線成線對稱，但本發(fā)明并不限定于此，只要能夠對基板10向朝向連桿機構20的方向施力，也可以配置為，使其相對于該直線為非對稱。此外，在圖4所示的例子中，設置兩個凸輪方式的下游側施力部(左下游側施力部70L、右下游側施力部)，但根據(jù)基板10的形狀及大小、此外裝置結構等，也可以將凸輪式施力部設置一個或三個以上。 另一方面，在圖8所示的例子中，將左下游側施力部8IL的把持部86L、右下游側施力部81R的把持部86R配置為，使其相對于通過第I及第2驅動軸11、12的旋轉中心軸線、沿基板輸送方向延伸的直線成線對稱，但本發(fā)明并不限定于此，只要能夠對基板10向朝向連桿機構20的方向施力，也可以配置為，使其相對于該直線為非對稱。此外，在圖8所示的例子中，將連桿方式的下游側施力部設置兩個(左下游側施力部81L、右下游側施力部81R)，但也可以根據(jù)基板10的形狀及大小、此外裝置結構等而將連桿式施力部設置一個或三個以上。進而，此外在上述實施方式中，對設有具有可移動的施力部的上游側施力機構的情況進行了說明，但本發(fā)明也可以代替上游側施力機構而在載置部上設置I或兩個以上的卡止部、通過該卡止部和下游側施力機構將輸送物從基板輸送方向的兩側夾持而機械地保持。但是，從更可靠地保持輸送物、在把持時盡可能不使輸送物在載置部上移動而防止灰塵的發(fā)生的觀點看，優(yōu)選的是構成為，通過上述那樣的上游側施力機構及下游側施力機構夾持保持輸送物。除此以外，本發(fā)明不僅是例如Si晶片等圓板形狀的基板，能夠在例如玻璃基板等矩形形狀的基板、或橢圓形狀、多邊形形狀等的各種基板的輸送中使用。權利要求
1.一種輸送裝置，其特征在于， 具備 伸縮自如的連桿機構，具有被傳遞來自驅動源的動力的多個臂； 載置部，經(jīng)由驅動連桿部連結在上述連桿機構的動作前端部上，用來載置輸送物； 在上述載置部的基板輸送方向下游側的部位上，設有隨著上述連桿機構的驅動連桿部的動作、與該輸送物的側部抵接而將該輸送物向朝向上述連桿機構的方向施力的下游側施力機構； 構成為，通過上述下游側施力機構進行的施力，將該輸送物從基板輸送方向的兩側夾持保持。
2.如權利要求I所述的輸送裝置，其特征在于，在上述載置部的基板輸送方向上游側的部位上，設有隨著上述連桿機構的驅動連桿部的動作、與該輸送物的側部抵接而將該輸送物向該基板輸送方向下游側施力的上游側施力機構。
3.如權利要求I所述的輸送裝置，其特征在于，在上述下游側施力機構中，設有凸輪方式的驅動部、和由該凸輪方式的驅動部驅動的凸輪方式的下游側施力部。
4.如權利要求I所述的輸送裝置，其特征在于，在上述下游側施力機構中，設有連桿方式的驅動部、和與該連桿方式的驅動部卡合而被驅動的連桿方式的下游側施力部。
5.如權利要求3或4所述的輸送裝置，其特征在于，上述下游側施力部設有兩個，配置為，使設在各下游側施力部中的把持部相對于通過第I及第2驅動軸的旋轉中心軸線、沿基板輸送方向延伸的直線成線對稱。
6.如權利要求2所述的輸送裝置，其特征在于，上述上游側施力機構具備凸輪驅動面，設在上述連桿機構的驅動連桿部上；和從動機構部，具有抵接在該凸輪驅動面上而能夠從動的從動輥，具有對應于該從動輥的移動而被沿著基板輸送方向導引移動的施力部。
7.如權利要求2所述的輸送裝置，其特征在于，上述上游側施力機構具有設在上述連桿機構的驅動連桿部上、旋轉方向是相反方向的一對相鄰的連桿部件，在該一對相鄰連桿部件上架設設置有由帶狀的一體的彈性部件構成的帶狀施力單元。
8.如權利要求2所述的輸送裝置，其特征在于， 上述上游側施力機構具備設在上述連桿機構的驅動連桿部上的驅動支承部、和受該驅動支承部驅動的從動機構部； 上述從動機構部具備從動部，具有能夠與上述驅動支承部卡合滑動的長槽狀滑動部；施力部，連結在該從動部上，對應于該從動部的長槽狀滑動部內的上述驅動支承部的移動而被沿著基板輸送方向導引移動。
9.如權利要求2所述的輸送裝置，其特征在于， 上述上游側施力機構在上述驅動連桿部上設有極性不同的多個驅動用磁鐵； 并且，在上述從動機構部上設有單一的極性的從動用磁鐵； 構成為，根據(jù)上述驅動連桿部與上述從動機構部的相對的位置關系，上述多個驅動用磁鐵分別與上述從動用磁鐵接近或離開。
10.一種輸送裝置，其特征在于， 具備 伸縮自如的連桿機構，具有被傳遞來自驅動源的動力的多個臂；載置部，經(jīng)由驅動連桿部連結在上述連桿機構的動作前端部上，用來載置輸送物； 上游側施力機構，設在上述載置部的基板輸送方向上游側的部位上，隨著上述連桿機構的驅動連桿部的動作，與該輸送物的側部抵接而將該輸送物向該基板輸送方向下游側施力； 下游側施力機構，設在上述載置部的基板輸送方向下游側的部位上，隨著上述連桿機構的驅動連桿部的動作，與該輸送物的側部抵接，將該輸送物向朝向位于該基板輸送方向上游側的上述連桿機構的方向施力； 上述上游側施力機構具備凸輪驅動面，分別在設于上述連桿機構的驅動連桿部上的一對相鄰的連桿部件上設置；和從動機構部，具有分別抵接在該一對凸輪驅動面上而能夠從動的一對從動棍、和對應于該一對從動棍的移動而在上述基板輸送方向上直線地移動的施力部； 設定上述從動機構部的施力部的移動距離，以使得在上述連桿機構伸長的狀態(tài)下上述從動機構部的施力部不抵接在該輸送物的側部上、并且在上述連桿機構收縮的狀態(tài)下該從動機構部的施力部抵接在該輸送物的側部上； 構成為，通過上述上游側施力機構及上述下游側施力機構進行的施力，將該輸送物從基板輸送方向的兩側夾持保持。
11.如權利要求10所述的輸送裝置，其特征在于， 上述下游側施力機構具備設置為對應于上述上游側施力機構的從動機構部的移動而在上述基板輸送方向上移動的一對驅動部件、分別設在該一對驅動部件的上述基板輸送方向下游側的端部上的凸輪驅動面、和具有分別抵接在上述一對驅動部件的凸輪驅動面上而能夠從動的把持部的從動卡止部件； 上述從動卡止部件構成為，使其隨著上述一對驅動部件的向該基板輸送方向下游側的移動、上述把持部分別從傾斜的狀態(tài)向該基板輸送方向上游側旋轉移動而起立； 并且，設定上述從動卡止部件的把持部的移動距離，以使得在上述連桿機構伸長的狀態(tài)下上述從動卡止部件的把持部不抵接在該輸送物的側部上、并且在上述連桿機構收縮的狀態(tài)下上述從動卡止部件的把持部抵接在該輸送物的側部上。
12.—種真空裝置，其特征在于， 具備 真空槽； 輸送裝置，具備具有被傳遞來自驅動源的動力的多個臂的伸縮自如的連桿機構、和經(jīng)由驅動連桿部連結在上述連桿機構的動作前端部上、用來載置輸送物的載置部，在上述載置部的基板輸送方向下游側的部位上，設有隨著上述連桿機構的驅動連桿部的動作而與該輸送物的側部抵接、將該輸送物向朝向上述連桿機構的方向施力的下游側施力機構，構成為，通過上述下游側施力機構進行的施力，將該輸送物從基板輸送方向的兩側夾持保持；構成為，上述輸送裝置的載置部相對于上述真空槽內進行運入及運出。
全文摘要
本發(fā)明提供一種在輸送物及周圍的氣體環(huán)境溫度比較低的環(huán)境下及該溫度較高的環(huán)境下都可靠地保持輸送物而實現(xiàn)高速輸送、并且能夠盡量減少輸送物的輸送時的灰塵的技術。本發(fā)明的輸送裝置(50)具備具有被傳遞來自驅動源的動力的多個臂的伸縮自如的連桿機構(20)、和經(jīng)由第3左臂(3L)、第3右臂(3R)連結在連桿機構(20)的動作前端部上、用來載置基板(10)的載置部(5)。在載置部(5)的基板輸送方向下游側的部位上，設有隨著連桿機構(20)的動作而與基板(10)的側部抵接、將基板(10)向朝向連桿機構(20)的方向施力的下游側施力機構(7)，在載置部(5)的基板輸送方向上游側的部位上，設有隨著連桿機構(20)的動作、與基板(10)的側部抵接而將基板(10)向基板輸送方向施力的上游側施力機構(9)。
文檔編號B25J15/00GK102725110SQ201080052339
公開日2012年10月10日 申請日期2010年11月1日 優(yōu)先權日2009年11月20日
發(fā)明者南展史 申請人:株式會社愛發(fā)科