專利名稱：夾持裝置、輸送裝置、處理裝置和電子設(shè)備的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及夾持裝置、輸送裝置、處理裝置和電子設(shè)備的制造方法。
背景技術(shù)：
半導(dǎo)體裝置或平板顯示器等電子設(shè)備的制造過程中，在多個(gè)被處理物(例如晶片或玻璃基板等)被收納于專用容器或盒等收納部中的狀態(tài)下，進(jìn)行輸送或供給等。在使用這種收納部的制造過程中，取出收納在收納部中的未處理的被處理物并對其進(jìn)行處理，并且將處理后的被處理物再次收納到收納部中。作為能夠有效地對這種被處理物進(jìn)行交接(取出或收納等)的裝置，公知的是一種在上下方向上具有多個(gè)臂的輸送裝置(例如參照專利文獻(xiàn)1 日本專利公開公報(bào)特開2008-178924號)。在這種輸送裝置中，臂共用升降部以使多個(gè)臂同時(shí)升降。因此，當(dāng)在多個(gè)交接位置上交接被處理物時(shí)，不能利用多個(gè)臂同時(shí)交接被處理物，需要一個(gè)一個(gè)地交接被處理物。在這種情況下，如果多個(gè)臂分別設(shè)置升降部，則在多個(gè)交接位置上可以同時(shí)交接被處理物。但是，在臂上設(shè)置有夾持被處理物的夾持裝置，如果與其獨(dú)立地設(shè)置被另外驅(qū)動(dòng)的升降部，則導(dǎo)致機(jī)構(gòu)復(fù)雜化且使重量變大。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述問題，本發(fā)明的目的在于提供可以使機(jī)構(gòu)簡單化、輕量化的夾持裝置、輸送裝置、處理裝置和電子設(shè)備的制造方法。本發(fā)明的夾持裝置使夾持板進(jìn)行開閉動(dòng)作來夾持被處理物的周向邊緣。此外，夾持裝置具有夾持部，所述夾持部包括第一夾持板，具有與所述周向邊緣抵接的第一夾持件；以及第二夾持板，具有與所述周向邊緣抵接的第二夾持件，并且所述夾持部使所述第一夾持板和所述第二夾持板中的至少一個(gè)移動(dòng)，以使所述第一夾持件和所述第二夾持件彼此接近或離開。此外，夾持裝置還包括升降部，使所述夾持部升降；以及動(dòng)作控制部，控制由所述夾持部進(jìn)行的開閉動(dòng)作和由所述升降部進(jìn)行的升降動(dòng)作。所述動(dòng)作控制部以機(jī)械方式依次控制第一升降動(dòng)作、所述開閉動(dòng)作和第二升降動(dòng)作，所述第二升降動(dòng)作與所述第一升降動(dòng)作的升降方向相同。此外，本發(fā)明的輸送裝置包括上述夾持裝置；以及移動(dòng)部，使所述夾持裝置的位
置變化。此外，本發(fā)明的處理裝置包括輸送裝置，所述輸送裝置包括上述夾持裝置；以及移動(dòng)部，使所述夾持裝置的位置變化；收納部，以層疊方式收納多個(gè)被處理物；以及處理部，對所述被處理物進(jìn)行處理。此外，本發(fā)明的電子設(shè)備的制造方法包括如下工序利用上述夾持裝置從收納部中取出未處理的被處理物；對從所述收納部中取出的所述未處理的被處理物進(jìn)行處理；以及利用所述夾持裝置將進(jìn)行所述處理后的被處理物收納在所述收納部中。按照本發(fā)明，由于利用共用的驅(qū)動(dòng)部，來進(jìn)行被處理物的夾持/放開動(dòng)作和被處理物的升降動(dòng)作，所以可以實(shí)現(xiàn)機(jī)構(gòu)的簡單化、輕量化。此外，由于能夠以機(jī)械方式控制夾持/放開動(dòng)作和升降動(dòng)作的順序，所以不會(huì)產(chǎn)生不必要的時(shí)間延遲，并且可以高速且精確地進(jìn)行動(dòng)作。因此，可以縮短交接被處理物所需要的時(shí)間，從而可以提高生產(chǎn)性。


圖1是用于舉例說明本實(shí)施方式的夾持裝置的示意性立體圖。圖2是用于舉例說明本實(shí)施方式的夾持裝置的示意性分解圖。圖3A 圖3E是用于舉例說明比較例的交接方式的示意圖。圖4A 圖4D是用于對夾持裝置的作用進(jìn)行舉例說明的示意圖。圖5A 圖5D是用于對夾持裝置的作用進(jìn)行舉例說明的示意圖。圖6A 圖6D是用于對夾持裝置的作用進(jìn)行舉例說明的示意圖。圖7是用于舉例說明本實(shí)施方式的輸送裝置的示意性立體圖。圖8A 圖8C是用于舉例說明本實(shí)施方式的輸送裝置中被處理物的交接方式的示意圖。圖9是用于對本實(shí)施方式的處理裝置進(jìn)行舉例說明的示意圖。圖10是用于舉例說明本實(shí)施方式的處理裝置中被處理物的交接方式的示意圖。 圖IOA表示承載部的最上層一側(cè)的交接，圖IOB表示承載部的中層的交接，圖IOC表示承載部的最下層一側(cè)的交接。
具體實(shí)施例方式下面參照附圖，對實(shí)施方式進(jìn)行舉例說明。另外，在各附圖中，相同的結(jié)構(gòu)要素采用相同的附圖標(biāo)記，適當(dāng)?shù)厥÷粤嗽敿?xì)說明。圖1是用于舉例說明本實(shí)施方式的夾持裝置的示意性立體圖。圖2是用于舉例說明本實(shí)施方式的夾持裝置的示意性分解圖。圖3是用于舉例說明比較例的交接方式的示意圖。另外，圖1、圖2中的箭頭X、Y、Z表示相互垂直的三個(gè)方向，例如，X、Y表示水平方向，Z表示鉛垂方向。首先，舉例說明比較例的交接方式。圖3作為一個(gè)例子表示了一系列的處理作業(yè)的中途階段。例如表示一系列的處理作業(yè)中所進(jìn)行的承載部55(參照圖8)中的被處理物W的交接方式。這種情況下，在承載部55的上部承載有處理后的被處理物W，在承載部55的下部承載有未處理的被處理物W。此外，輸送裝置在處理部和承載部55之間輸送被處理物W，在該輸送裝置上設(shè)置有臂101、102。另外，臂101設(shè)置在臂102的上方，具有用于夾持被處理物W的未圖示的夾
持裝置。此外，臂101、102共同使用設(shè)置在輸送裝置上的未圖示的升降部，使臂101、102同時(shí)升降。臂101、102通過輸送裝置被定位于承載部55的前方，開始交接被處理物W。首先，如圖3A所示，利用未圖示的升降部，對夾持有處理后的被處理物W的臂101的高度方向的位置進(jìn)行定位。此時(shí)，處理后的被處理物W的下表面位置被定位于比承載部 55的用于保持該被處理物W的保持部90的上表面位置稍高的位置上。這樣，通過使臂101暫時(shí)停止并定位于保持部90上方的規(guī)定位置上，當(dāng)將被處理物W放置到保持部90上時(shí)，可以減少被處理物W和保持部90接觸時(shí)的沖擊。因此，當(dāng)將被處理物W放置到保持部90上時(shí)，可以抑制被處理物W跳動(dòng)或位置偏移。接著，如圖:3B所示，使臂101向承載部55的方向移動(dòng)。插入到承載部55內(nèi)部的被處理物W的下表面位置被定位于比保持部90的上表面位置稍高的位置上。然后，放開對被處理物W的夾持，通過未圖示的升降部使臂101下降，將處理后的被處理物W放置到保持部90上。此時(shí)，臂101繼續(xù)下降，被定位于放置有處理后的被處理物W的保持部90和在下方與其相鄰的保持部90之間的位置上。接著，如圖3C所示，使臂101向離開承載部55的方向移動(dòng)。接著，如圖3D所示，為了將未處理的被處理物W從承載部55中取出，對臂102的高度方向的位置進(jìn)行定位。此時(shí)，臂102被定位在如下位置上使放置在承載部55中的未處理的被處理物W的下表面和臂102之間具有微小的間隙。這樣，通過使臂102暫時(shí)停止并定位于保持部90下方的規(guī)定位置上，當(dāng)由臂102 保持被處理物W時(shí)，可以減少被處理物W和臂102接觸時(shí)的沖擊。因此，當(dāng)由臂102保持被處理物W時(shí)，可以抑制被處理物W跳動(dòng)或位置偏移。然后，使臂102向承載部55的方向移動(dòng)。插入到承載部55內(nèi)部的臂102被定位于未處理的被處理物W的下方。此后，通過未圖示的升降部使臂102上升，將未處理的被處理物W承載在臂102上。此時(shí)，臂102繼續(xù)上升，被定位于放置有接收到的未處理的被處理物W的保持部90和在上方與其相鄰的保持部90之間的位置上。承載在臂102上的未處理的被處理物W被未圖示的夾持裝置夾持。接著，如圖3E所示，使臂102向離開承載部55的方向移動(dòng)。由此，對處理后的被處理物W和未處理的被處理物W進(jìn)行交接。另外，也能夠以相同的動(dòng)作交接處理部中的處理后的被處理物W和未處理的被處理物W。這樣，臂101、102共同使用設(shè)置在輸送裝置上的未圖示的升降部，使臂101、102同時(shí)升降。因此，當(dāng)在兩個(gè)保持部90中交接被處理物W時(shí)，如圖3舉例說明的那樣，需要一個(gè)一個(gè)地交接被處理物W。在這種情況下，如果每個(gè)臂101、102都設(shè)置升降部，則可以在兩個(gè)保持部90中同時(shí)交接被處理物W。但是，在臂101、102上需要設(shè)置夾持被處理物W的夾持裝置，如果與其獨(dú)立地設(shè)置被另外驅(qū)動(dòng)的升降部，則導(dǎo)致機(jī)構(gòu)復(fù)雜化且使重量變大。接著，返回到圖1、圖2，對本實(shí)施方式的夾持裝置進(jìn)行舉例說明。如圖1、圖2所示，在夾持裝置1上設(shè)置有夾持部27、升降部觀、動(dòng)作控制部14和驅(qū)動(dòng)部20。在夾持部27上設(shè)置有夾持板M (第二夾持板)和夾持板沈(第一夾持板)，用于夾持被處理物W。夾持板沈向X方向延伸，在其一個(gè)端部上設(shè)置有夾持件2 (第一夾持件)，該夾持件2 用于與被處理物W的周向邊緣抵接。此外，在夾持板沈的上表面上可以承載被處理物W。在夾持板沈的另一個(gè)端部上設(shè)置有安裝板四。安裝板四向Y方向延伸，在其一個(gè)端部上設(shè)置有彈簧支柱22a。在安裝板四上安裝后面敘述的齒條18a和導(dǎo)向塊19a。在隔著夾持板沈?qū)ΨQ的位置上設(shè)置兩個(gè)夾持板24。夾持板M向X方向延伸，分別在各夾持板M的一個(gè)端部上設(shè)置有夾持件2 (第二夾持件)，該夾持件2 用于與被處理物W的周向邊緣抵接。在夾持板M的另一個(gè)端部上設(shè)置有安裝板23。安裝板23向Y方向延伸。在安裝板23上安裝后面敘述的齒條18b和導(dǎo)向塊19b。另外，雖然舉例說明了使三個(gè)夾持件(兩個(gè)夾持件2 和夾持件25b)與被處理物W的周向邊緣抵接的情況，但是夾持件為兩個(gè)以上即可。然而，如果使用三個(gè)以上的夾持件，則可以穩(wěn)定地夾持被處理物W。設(shè)置在彈簧22的一個(gè)端部上的掛鉤鉤住彈簧支柱22a，設(shè)置在其另一個(gè)端部上的掛鉤鉤住后面敘述的彈簧支柱22b。夾持板沈的前端設(shè)置在比夾持板M的前端更向X方向突出的位置上，夾持件2 的位置也處于比夾持件25a的位置更向X方向突出的位置上。被處理物W被承載在夾持板 26的上表面上，可以通過使夾持件25a、25b與被處理物W的周向邊緣抵接，并且由彈簧22 施加作用力來夾持被處理物W。開閉同步部18在開閉動(dòng)作中使夾持板沈的移動(dòng)方向和夾持板M的移動(dòng)方向彼此相反。在開閉同步部18上設(shè)置有齒條18a、齒條18b ；以及小齒輪18c，與齒條18a、齒條18b卡合。小齒輪18c轉(zhuǎn)動(dòng)自如地安裝在未圖示的軸上，該軸直立設(shè)置在后面敘述的底板16的上表面上。如上所述，由于在安裝板四上安裝齒條18a，并且在安裝板23上安裝齒條18b，所以如果使夾持板沈和夾持板對中的一個(gè)移動(dòng)，則可以使它們中的另一個(gè)向相反的方向移動(dòng)。因此，可以對承載在夾持部27上的被處理物W進(jìn)行夾持或放開。另外，雖然舉例說明了所謂的齒條齒輪(rack and pinion)機(jī)構(gòu)作為開閉同步部 18，但并不限定于此?？梢赃m當(dāng)?shù)夭捎媚軌蛞詸C(jī)械方式同步地夾持或放開被處理物W的機(jī)構(gòu)。例如，也可以采用連桿機(jī)構(gòu)等。另外，在本實(shí)施方式中，雖然舉例說明了在開閉動(dòng)作中使夾持板M和夾持板沈向彼此相反的方向動(dòng)作的機(jī)構(gòu)，但是也可以不必使夾持板M和夾持板沈都移動(dòng)。S卩，也可以使夾持板M和夾持板26中的一個(gè)動(dòng)作，來夾持或放開被處理物W。這種情況下，在僅使夾持板M動(dòng)作的情況下，將夾持板沈固定在底板16上即可。 由此，可以省略伴隨夾持板沈的移動(dòng)而移動(dòng)的導(dǎo)向塊19a。此外，由于不需要使夾持板M 和夾持板26同步移動(dòng)，所以可以省略開閉同步部18，從而可以使結(jié)構(gòu)變得簡單。此外，在僅使夾持板沈動(dòng)作的情況下，不將夾持板M和安裝板23連接在一起而將夾持板M固定在底板16上即可。在這種情況下，通過使安裝板23移動(dòng)，開閉同步部18 起作用，僅使夾持板26進(jìn)行開閉動(dòng)作。在這種情況下，雖然不能省略安裝板23和開閉同步部18，但是由于可以使夾持板M和底板16 —體化，所以可以使結(jié)構(gòu)變得簡單。這樣，通過采用使夾持板M或夾持板沈成為能夠向彼此接近或離開的方向相對移動(dòng)的夾持部，也可以夾持或放開被處理物W。在升降部28上設(shè)置有底板16。在底板16的上表面上設(shè)置有一組導(dǎo)軌19，上述一組導(dǎo)軌19相互平行且向X方向延伸。在導(dǎo)軌19上分別設(shè)置有導(dǎo)向塊19a、19b，該導(dǎo)向塊 19a、19b在導(dǎo)軌19上滑動(dòng)。因此，可以通過安裝在導(dǎo)向塊19a上的安裝板四，使夾持板沈沿X方向移動(dòng)。此外，可以通過安裝在導(dǎo)向塊19b上的安裝板23，使夾持板M沿X方向移動(dòng)。在導(dǎo)軌19的外側(cè)、且在底板16的X方向的中央附近設(shè)置有一組軸承21。后面敘述的軸75插入到軸承21的孔部21a內(nèi)，可以使升降部28沿軸75升降。因此，升降部28可以使安裝在升降部28上的夾持部27升降。在底板16的Y方向的側(cè)面上設(shè)置有凸輪從動(dòng)件17。分別在底板16的每個(gè)側(cè)面沿 X方向設(shè)置有兩個(gè)凸輪從動(dòng)件17。在底板16的上表面上直立設(shè)置有彈簧支柱22b，彈簧22的掛鉤鉤住彈簧支柱 22b。在動(dòng)作控制部14上設(shè)置有一組凸輪13。凸輪13向X方向延伸。凸輪13的主表面與Y方向垂直，在凸輪13的主表面上設(shè)置有貫通凸輪13的凸輪孔13a。凸輪孔13a包括第一傾斜部13al、水平部13a2和第二傾斜部13a3，并且凸輪孔13a與凸輪從動(dòng)件17卡合(參照圖4)。因此，可以按照凸輪孔13a的形狀，使升降部觀以規(guī)定的時(shí)機(jī)升降。在本實(shí)施方式中，使用四個(gè)凸輪從動(dòng)件17和兩個(gè)軸承21。因此，可以使升降部觀在保持與Z軸垂直的狀態(tài)(與XY面平行的狀態(tài))下進(jìn)行升降移動(dòng)。此外，在本實(shí)施方式中具有彼此相對設(shè)置的一組凸輪，在凸輪上設(shè)置有兩個(gè)凸輪孔。并且，由于設(shè)置在一組凸輪上的全部凸輪孔具有相似的形狀，所以可以使升降部觀穩(wěn)定地進(jìn)行升降移動(dòng)。但是，凸輪從動(dòng)件17、軸承21的數(shù)量并不限定于此。通過采用導(dǎo)向機(jī)構(gòu)或連桿機(jī)構(gòu)等，可以將凸輪從動(dòng)件17和軸承21的數(shù)量減少到例如一個(gè)或兩個(gè)。在凸輪13的端部附近分別安裝有安裝板15b、15c。安裝板1 安裝在后面敘述的導(dǎo)向塊8上，安裝板15c安裝在后面敘述的導(dǎo)向塊7上。因此，通過安裝在導(dǎo)向塊8上的安裝板1 和安裝在導(dǎo)向塊7上的安裝板15c，可以使動(dòng)作控制部14沿X方向移動(dòng)。在凸輪13的設(shè)置有安裝板15c —側(cè)的端部附近、且在凸輪13彼此之間設(shè)置有連接板15，該連接板15連接各凸輪13。在連接板15上設(shè)置有凸起部15a，在凸起部1 上設(shè)置有孔15al，該孔15al用于插入后面敘述的螺母部4。在安裝板15c上設(shè)置有彈簧支柱11a。設(shè)置在彈簧12的一個(gè)端部上的掛鉤鉤住彈簧支柱11a，設(shè)置在另一個(gè)端部上的掛鉤鉤住后面敘述的彈簧支柱lib。在驅(qū)動(dòng)部20上設(shè)置有底板40。在底板40的上表面上設(shè)置有一組導(dǎo)軌71，上述一組導(dǎo)軌71彼此平行且向X方向延伸。分別在導(dǎo)軌71上設(shè)置有導(dǎo)向塊7、8、9，該導(dǎo)向塊7、 8、9在導(dǎo)軌71上滑動(dòng)。在底板40的一個(gè)端部上設(shè)置有托架40a，在托架40a上安裝有電動(dòng)機(jī)2。電動(dòng)機(jī) 2例如可以是伺服電動(dòng)機(jī)、脈沖電動(dòng)機(jī)等控制電動(dòng)機(jī)等。在電動(dòng)機(jī)2的轉(zhuǎn)動(dòng)軸上通過聯(lián)接器72安裝有螺紋軸3。在螺紋軸3的兩端附近設(shè)置有軸承73、74，上述軸承73、74將螺紋軸3支撐成轉(zhuǎn)動(dòng)自如。螺母部4與螺紋軸3螺紋連接。螺母部4插入到設(shè)置在凸起部1 上的孔15al內(nèi)，設(shè)置在螺母部4端部上的凸緣部如安裝在凸起部1 上。因此，可以將電動(dòng)機(jī)2的轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成直線運(yùn)動(dòng)，并將該直線運(yùn)動(dòng)傳遞給動(dòng)作控制部14。另外，將在后面敘述由電動(dòng)機(jī)2的轉(zhuǎn)動(dòng)所帶動(dòng)的各部分的動(dòng)作。在導(dǎo)軌71的內(nèi)側(cè)、且在底板40的X方向的中央附近直立設(shè)置有一組軸75。如上所述，軸75插入到軸承21的孔部21a內(nèi)。在導(dǎo)向塊9上設(shè)置有開閉板10。在開閉板10的一端上設(shè)置有突出部IOa(第一突出部)，朝向上方突出；以及突出部IOb (第二突出部)，朝向底板40的外側(cè)突出。突出部 IOa與安裝板23的端面抵接。突出部IOb與卡止部40b抵接，卡止部40b直立設(shè)置在底板 40的上表面上。在開閉板10的上表面上直立設(shè)置有彈簧支柱11b，彈簧12的掛鉤鉤住彈簧支柱lib。因此，在突出部IOb沒有被卡止部40b卡止的情況下，利用彈簧12的作用力， 使開閉板10、動(dòng)作控制部14 一體移動(dòng)。在突出部IOb被卡止部40b卡止的情況下，開閉板 10停止移動(dòng)。另一方面，動(dòng)作控制部14克服彈簧12的作用力而繼續(xù)移動(dòng)。因此，可以進(jìn)行后面敘述的夾持部27的開閉動(dòng)作、夾持部27的升降動(dòng)作(Z方向的移動(dòng))。接著，對本實(shí)施方式的夾持裝置1的作用進(jìn)行舉例說明。圖4 圖6是用于對夾持裝置1的作用進(jìn)行舉例說明的示意圖。如圖4A、圖5A和圖6A所示，當(dāng)動(dòng)作控制部14(凸輪13)位于突出端(與電動(dòng)機(jī)2 所處一側(cè)相反的一側(cè))時(shí)，凸輪從動(dòng)件17位于上升端位置，即，夾持部27位于上升端位置。 此時(shí)，利用彈簧22的作用力，將夾持板沈向電動(dòng)機(jī)2 —側(cè)牽引。因此，由于利用開閉同步部18的作用使夾持板M突出，所以夾持部27成為夾持被處理物W的狀態(tài)(閉合狀態(tài))。另外，如圖5A所示，突出部IOa和安裝板23之間以及突出部IOb和卡止部40b之間具有間隙。接著，如果利用電動(dòng)機(jī)2使動(dòng)作控制部14向電動(dòng)機(jī)2 —側(cè)移動(dòng)，則凸輪13也向相同的方向移動(dòng)。因此，如圖4B、圖5B和圖6B所示，凸輪從動(dòng)件17沿凸輪孔13a的第一傾斜部13al下降，即，夾持部27下降。由此，可以在保持夾持被處理物W的狀態(tài)(閉合狀態(tài)) 下，使夾持部27下降。接著，如圖4C、圖5C和圖6C所示，如果利用電動(dòng)機(jī)2使動(dòng)作控制部14繼續(xù)向電動(dòng)機(jī)2 —側(cè)移動(dòng)，則凸輪從動(dòng)件17沿凸輪孔13a的水平部13a2移動(dòng)。當(dāng)凸輪從動(dòng)件17進(jìn)入到凸輪孔13a的水平部13a2內(nèi)時(shí)，突出部IOa和安裝板23抵接。因此，當(dāng)凸輪從動(dòng)件17 沿凸輪孔13a的水平部13a2移動(dòng)時(shí)，安裝板23被突出部IOa推動(dòng)，將夾持板M向電動(dòng)機(jī) 2 一側(cè)牽引。此時(shí)，由于利用開閉同步部18的作用使夾持板沈突出，所以夾持部27成為放開被處理物W的狀態(tài)(打開狀態(tài))。此外，當(dāng)凸輪從動(dòng)件17移動(dòng)到凸輪孔13a的水平部 13a2的端部時(shí)，突出部IOb和卡止部40b抵接。因此，通過使突出部IOb和卡止部40b抵接，由于安裝板23停止移動(dòng)，所以上述放開被處理物W的動(dòng)作停止。由此，可以在將夾持部27的Z方向位置保持為固定的狀態(tài)下，成為放開被處理物 W的狀態(tài)(打開狀態(tài))。這種情況下，在為了僅使夾持板M動(dòng)作而將夾持板沈固定在底板16上的結(jié)構(gòu)中，夾持板26不移動(dòng)，僅夾持板M移動(dòng)，從而成為放開被處理物W的狀態(tài)。另一方面，在為了僅使夾持板沈動(dòng)作而將夾持板M固定在底板16上的結(jié)構(gòu)中， 夾持板M不移動(dòng)，僅夾持板26移動(dòng)，從而成為放開被處理物W的狀態(tài)。另外，在這種情況下，安裝板23、開閉同步部18進(jìn)行與上述說明相同的動(dòng)作，夾持板沈成為離開被處理物W 的狀態(tài)。接著，如圖4D、圖5D和圖6D所示，如果利用電動(dòng)機(jī)2使動(dòng)作控制部14繼續(xù)向電動(dòng)機(jī)2 —側(cè)移動(dòng)，則凸輪從動(dòng)件17沿凸輪孔13a的第二傾斜部13a3下降，即，夾持部27下降。因此，可以在保持放開被處理物W的狀態(tài)(打開狀態(tài))下，使夾持部27下降。按照上述方式，可以進(jìn)行夾持部27的開閉動(dòng)作、夾持部27的升降動(dòng)作(Z方向的移動(dòng))。另外，如果利用電動(dòng)機(jī)2使動(dòng)作控制部14向與電動(dòng)機(jī)2 —側(cè)相反的一側(cè)移動(dòng)，則可以按照與所述順序相反的順序，來進(jìn)行夾持部27的開閉動(dòng)作、夾持部27的升降動(dòng)作(Z 方向的移動(dòng))。S卩，動(dòng)作控制部14能夠以機(jī)械方式依次控制第一傾斜部13al中的第一升降動(dòng)作、 水平部13a2中的開閉動(dòng)作、以及第二傾斜部13a3中的第二升降動(dòng)作，所述第二升降動(dòng)作使夾持部27向與第一升降動(dòng)作相同的方向升降。也就是說，動(dòng)作控制部14使夾持部27進(jìn)行升降動(dòng)作，并且使升降動(dòng)作和開閉動(dòng)作的時(shí)機(jī)相配合。此外，動(dòng)作控制部14具有凸輪13，利用該凸輪13以機(jī)械方式依次控制第一升降動(dòng)作、開閉動(dòng)作、第二升降動(dòng)作。在這種情況下，當(dāng)?shù)谝簧祫?dòng)作和第二升降動(dòng)作為上升動(dòng)作時(shí)，開閉動(dòng)作可以是使夾持件2 和夾持件25b與被處理物W的周向邊緣抵接的動(dòng)作(夾持動(dòng)作)。此外，當(dāng)?shù)谝簧祫?dòng)作和第二升降動(dòng)作為下降動(dòng)作時(shí)，開閉動(dòng)作可以是使夾持件 25a和夾持件2 離開被處理物W的周向邊緣的動(dòng)作(放開動(dòng)作)。另外，升降部觀的升降方向并不限定于Z軸方向，可以在使設(shè)置于夾持部27上的夾持板26的上表面(承載被處理物W的表面)相對于XY面傾斜的狀態(tài)下，使夾持部27升降。也就是說，只要使第一升降動(dòng)作和第二升降動(dòng)作為相同方向，則升降部觀的升降方向可以是任意方向。按照本實(shí)施方式，可以利用共用的驅(qū)動(dòng)部，來進(jìn)行被處理物W的夾持/放開動(dòng)作和被處理物W的升降動(dòng)作。因此，可以實(shí)現(xiàn)夾持裝置的機(jī)構(gòu)簡單化、輕量化。此外，如圖3舉例說明的那樣，如果利用不同的驅(qū)動(dòng)部來進(jìn)行夾持/放開動(dòng)作和升降動(dòng)作，則需要在確認(rèn)對方的動(dòng)作后的基礎(chǔ)上再進(jìn)行動(dòng)作。即，需要進(jìn)行聯(lián)鎖動(dòng)作。因此， 產(chǎn)生時(shí)間延遲，導(dǎo)致交接被處理物W所需要的時(shí)間變長。而按照本實(shí)施方式，由于能夠以機(jī)械方式控制夾持/放開動(dòng)作和升降動(dòng)作的順序，所以不會(huì)產(chǎn)生不必要的時(shí)間延遲。此外，可以高速且精確地進(jìn)行動(dòng)作。因此，可以縮短交接被處理物W所需要的時(shí)間，從而可以提高生產(chǎn)性。接著，對本實(shí)施方式的輸送裝置進(jìn)行舉例說明。本實(shí)施方式的輸送裝置可以具有所述夾持裝置1。例如，輸送裝置可以包括夾持裝置1 ；以及移動(dòng)部，使夾持裝置1的位置變化。圖7是用于舉例說明本實(shí)施方式的輸送裝置的示意性立體圖。圖7中舉例說明的輸送裝置50包括夾持裝置1 ；以及作為移動(dòng)部的所謂雙臂型的水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人。如圖7所示，在輸送裝置50上設(shè)置有夾持裝置1和水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人51。此外，在水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人51上設(shè)置有支承部52、臂53和臂M。臂53、臂M設(shè)置在可動(dòng)部52a的上表面上，該可動(dòng)部5 設(shè)置在支承部52的上端。臂53包括第一臂53a，設(shè)置在可動(dòng)部5 的上表面上；以及第二臂53b，被軸支承在第一臂53a上。臂討包括第一臂Ma，設(shè)置在可動(dòng)部5 的上表面上；以及第二臂Mb，被軸支承在第一臂5 上。在支承部52上設(shè)置有未圖示的升降驅(qū)動(dòng)部，使可動(dòng)部5 沿箭頭A方向升降；以及未圖示的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)部，使可動(dòng)部5 沿箭頭B方向轉(zhuǎn)動(dòng)。此外，在支承部52上還設(shè)置有未圖示的伸縮驅(qū)動(dòng)部，使臂53進(jìn)行伸縮動(dòng)作；以及未圖示的伸縮驅(qū)動(dòng)部，使臂M進(jìn)行伸縮動(dòng)作。并且，在第二臂53b的前端部和第二臂Mb的前端部上，分別設(shè)置有夾持裝置1。此外，通過呈二形的構(gòu)件56連接第二臂5 和夾持裝置1。因此，在第二臂5 和夾持裝置1之間形成有空間。該空間的縱橫尺寸為當(dāng)臂M伸縮時(shí)，能夠使設(shè)置在第二臂 54b上的夾持裝置1通過。另外，由于水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人51可以采用現(xiàn)有技術(shù)，所以省略了詳細(xì)說明。設(shè)置在臂53、臂M上的兩個(gè)夾持裝置1的間隔可以調(diào)整為當(dāng)各夾持裝置1夾持或放開被處理物W時(shí)(當(dāng)處于圖4、5、6的各B、C中的凸輪從動(dòng)件的位置時(shí))，是保持部90 的間隔距離的整數(shù)倍。通過以這種方式調(diào)整兩個(gè)夾持裝置1的間隔，可以同時(shí)進(jìn)行如下動(dòng)作夾持有被處理物W的夾持裝置1將被處理物W放置到保持部90上、以及沒有夾持被處理物W的夾持裝置1從保持部90接收被處理物W。另外，關(guān)于保持部90中的放置、接收將在后面進(jìn)行敘述。接著，對本實(shí)施方式的輸送裝置50的作用進(jìn)行舉例說明。在此，作為一個(gè)例子，對本實(shí)施方式的輸送裝置50中被處理物W的交接進(jìn)行舉例說明。圖8是用于舉例說明本實(shí)施方式的輸送裝置中被處理物的交接方式的示意圖。另外，圖8作為一個(gè)例子表示了一系列的處理作業(yè)的中途階段。例如表示在一系列的處理作業(yè)過程中所進(jìn)行的承載部55 (參照圖8)中的被處理物W的交接方式。這種情況下，在承載部55的上部承載有處理后的被處理物W，在承載部55的下部承載有未處理的被處理物W。此外，圖中省略了所述水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人51的臂53、臂M等。首先，如圖8A所示，臂53、臂M利用水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人51被定位于承載部55的前方，開始被處理物W的交接。此時(shí)，在位于上方的夾持裝置1(相當(dāng)于第一夾持裝置的一個(gè)例子)的夾持板對、 夾持板26上承載并夾持有處理后的被處理物W，在位于下方的夾持裝置1(相當(dāng)于第二夾持裝置的一個(gè)例子)的夾持板對、夾持板沈上沒有承載被處理物W。此外，當(dāng)利用所述第一升降動(dòng)作下降時(shí)，被夾持在位于上方的夾持裝置1上的被處理物W的下表面位置被定位于比保持部90的上表面位置稍高的位置上。當(dāng)利用所述第二升降動(dòng)作上升時(shí)，位于下方的夾持裝置1的夾持板M、夾持板沈的上表面位置被定位于能夠?qū)⒈３植?0保持的未處理的被處理物W稍稍抬起的位置上。接著，如圖8B所示，使臂53、臂M伸縮，將被夾持在位于上方的夾持裝置1上的處理后的被處理物W和位于下方的夾持裝置1的夾持板M、夾持板沈插入到承載部55的內(nèi)部。并且，使位于上方的夾持裝置1動(dòng)作，將處理后的被處理物W放置到保持部90上。此外，使位于下方的夾持裝置1動(dòng)作，從保持部90接收未處理的被處理物W。當(dāng)進(jìn)行這種動(dòng)作時(shí)，例如可以使位于上方的夾持裝置1的第一升降動(dòng)作和第二升降動(dòng)作為下降動(dòng)作，并且使位于下方的夾持裝置1的第一升降動(dòng)作和第二升降動(dòng)作為上升動(dòng)作。也就是說，可以使位于上方的夾持裝置1的升降動(dòng)作和位于其下方的夾持裝置1的升降動(dòng)作朝向彼此相反的方向。另外，也可以使各夾持裝置1的升降動(dòng)作朝向與上述方向相反的方向，使位于上方的夾持裝置1從保持部90接收未處理的被處理物W，使位于下方的夾持裝置1將處理后的被處理物W放置到保持部90上。如果同時(shí)且朝向相反方向進(jìn)行上下的夾持裝置1的各升降動(dòng)作，則可以同時(shí)進(jìn)行被處理物W的取放(放置和接收)。因此，通過臂的一次伸縮升降動(dòng)作，就可以進(jìn)行被處理物W的同時(shí)更換，相對于進(jìn)行圖3所示的輸送動(dòng)作的比較例，可以將被處理物W的更換動(dòng)作時(shí)間大體縮短1/2。另外，由于夾持裝置1的作用與如上所述的內(nèi)容相同，所以省略了詳細(xì)說明。接著，如圖8C所示，使臂53、臂M伸縮，使位于上方的夾持裝置1的夾持板M、夾持板沈和位于下方的夾持裝置1所夾持的未處理的被處理物W向離開承載部55的方向移動(dòng)。由于設(shè)置在臂M上的夾持裝置1在伸縮時(shí)穿過由所述構(gòu)件56形成的空間，所以不會(huì)干擾設(shè)置在臂53上的夾持裝置1。由此，對處理后的被處理物W、未處理的被處理物W進(jìn)行交接。另外，也能夠以同樣的動(dòng)作對后面敘述的收納部61、處理部6 65d中的處理后的被處理物W和未處理的被處理物W進(jìn)行交接。另外，雖然作為移動(dòng)部舉例說明了具有雙臂型的水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人51的情況，但并不限定于此?？梢赃m當(dāng)?shù)剡x擇能夠使夾持裝置1的位置變化的裝置。例如，可以是所謂的垂直多關(guān)節(jié)機(jī)器人、直角坐標(biāo)機(jī)器人和單軸機(jī)器人等。按照本實(shí)施方式，夾持裝置可以夾持和放開被處理物W，并且也可以進(jìn)行交接時(shí)的升降動(dòng)作。因此，可以在多個(gè)交接位置上同時(shí)交接被處理物W。此外，由于能夠以機(jī)械方式控制夾持/放開動(dòng)作、升降動(dòng)作的順序，所以不會(huì)產(chǎn)生不必要的時(shí)間延遲。此外，可以高速且精確地進(jìn)行動(dòng)作。此外，由于可以實(shí)現(xiàn)夾持裝置的機(jī)構(gòu)簡單化、輕量化，所以可以減輕移動(dòng)部的負(fù)載，實(shí)現(xiàn)動(dòng)作的高速化等。因此，可以縮短交接被處理物W所需要的時(shí)間，從而可以提高生產(chǎn)性。接著，對本實(shí)施方式的處理裝置進(jìn)行舉例說明。本實(shí)施方式的處理裝置可以具有輸送裝置50，該輸送裝置50包括所述夾持裝置 1 ；以及移動(dòng)部，使夾持裝置1的位置變化。處理裝置例如可以包括輸送裝置50 ；收納部，以層疊方式收納多個(gè)被處理物W ； 以及處理部，對被處理物W進(jìn)行處理。圖9是用于對本實(shí)施方式的處理裝置進(jìn)行舉例說明的示意圖。如圖9所示，在處理裝置60上設(shè)置有收納部61、輸送裝置50a、輸送裝置50b、承載部55、移動(dòng)部62和處理部6 65d等。收納部61能夠以層疊方式收納多個(gè)被處理物W。例如，收納部61可以是被稱為前開式晶圓盒(FOUP =Front Opening Unified Pod)的能夠收納多個(gè)晶片的密封容器。輸送裝置50a、輸送裝置50b可以與所述輸送裝置50相同。承載部55例如能夠如圖7中舉例說明的那樣，以層疊方式承載多個(gè)被處理物W。在這種情況下，輸送裝置50b可以與所述輸送裝置50相同，利用夾持裝置1進(jìn)行圖8所示的動(dòng)作。輸送裝置50a在收納部61和承載部55之間轉(zhuǎn)移被處理物W。在這種情況下，也可以使輸送裝置50a能夠夾持輸送多個(gè)被處理物W，來減少轉(zhuǎn)移次數(shù)。此外，也可以使輸送裝置50b在收納部61和處理部6 65d之間轉(zhuǎn)移被處理物W。另外，并不是必須具有承載部55，可以根據(jù)收納部61、輸送裝置50a、輸送裝置50b 和處理部6 65d的布局等來適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行設(shè)置。圖10是用于舉例說明本實(shí)施方式的處理裝置中被處理物的交接方式的示意圖。另外，以下有時(shí)也將處理后的被處理物Wl和未處理的被處理物W2只表示為被處理物W。另外，圖IOA表示承載部55的最上層一側(cè)的交接，圖IOB表示承載部55的中層的交接，圖IOC表示承載部55的最下層一側(cè)的交接。圖IOA 圖IOC中舉例說明的內(nèi)容是表示并行進(jìn)行由輸送裝置50a轉(zhuǎn)移被處理物 W和由輸送裝置50b轉(zhuǎn)移被處理物W時(shí)的轉(zhuǎn)移動(dòng)作。如上所述，輸送裝置50a在收納部61和承載部55之間轉(zhuǎn)移被處理物W，輸送裝置 50b在處理部6 6 和承載部55之間轉(zhuǎn)移被處理物W。承載部55具有多個(gè)保持部90，該保持部90保持被處理物W。此外，承載部55具有開口 55a、55b，輸送裝置50a和輸送裝置50b可以分別進(jìn)入上述開口 55a、55b。此外，在輸送裝置50a上設(shè)置有多個(gè)夾持裝置201，以便能夠同時(shí)轉(zhuǎn)移多個(gè)被處理物W。此外，在輸送裝置50b上設(shè)置有上下兩個(gè)夾持裝置1。輸送裝置50a從承載部55的最上層數(shù)第N+1層的保持部90開始收納未處理的被處理物W2。在此，如圖10所示，N可以是設(shè)置在間隔A之間的保持部90的數(shù)量。此外，間隔A可以是當(dāng)輸送裝置50b中位于上側(cè)的夾持裝置1和位于下側(cè)的夾持裝置1分別夾持或放開被處理物W時(shí)、在高度方向上的夾持板MJ6之間的間隔。例如，在圖10所示情況下， N是2，從最上層數(shù)第三層的保持部90開始收納未處理的被處理物W2。在此，如果在比第N+1層靠上的位置上收納有未處理的被處理物W2，則直到該部分空出為止，不能利用輸送裝置50b收納處理后的被處理物Wl。因此，通過從第N+1層開始收納未處理的被處理物W2，縮短了輸送裝置50b的等待時(shí)間。S卩，不需要等待最上層側(cè)的保持部90空出、就可以從最上層一側(cè)開始收納處理后的被處理物W1，從而縮短了輸送裝置50b的等待時(shí)間。移動(dòng)部62用于在配置成一列的多個(gè)收納部61中由輸送裝置50a交接被處理物W。 即，移動(dòng)部62用于使輸送裝置50a移動(dòng)并將其定位于規(guī)定的收納部61的前方。移動(dòng)部62 例如可以是所謂的單軸機(jī)器人等。并不是必須具有移動(dòng)部62，可以根據(jù)收納部61的數(shù)量和布局等來適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行設(shè)置。處理部6 65d可以適當(dāng)?shù)剡x擇對被處理物W進(jìn)行各種處理的裝置。例如，在被處理物W為晶片或玻璃基板等的情況下，可以例舉的是濺射裝置或CVD(Chemical Vapor Deposition 化學(xué)氣相沉積)裝置等各種成膜裝置、氧化裝置、散熱裝置或離子注入裝置等各種摻雜裝置、退火裝置、抗蝕劑涂布裝置或抗蝕劑剝離裝置等各種抗蝕劑處理裝置、曝光裝置、濕蝕刻裝置或干蝕刻裝置等各種蝕刻處理裝置、濕式清洗裝置或干式清洗裝置等各種清洗裝置、CMP (Chemical Mechanical Polishing 化學(xué)機(jī)械拋光)裝置等。但是，并不限定于這些裝置，可以根據(jù)被處理物W的處理來適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行變更。另外，由于上述各種裝置可以采用現(xiàn)有技術(shù)，所以省略了詳細(xì)說明。在本實(shí)施方式的處理裝置60中，利用面對收納部61設(shè)置的輸送裝置50a交接收納部61、承載部55中的被處理物W。在這種情況下，利用移動(dòng)部62使輸送裝置50a移動(dòng)并將其定位于規(guī)定的收納部61的前方。此外，利用面對處理部6 65d設(shè)置的輸送裝置 50b交接處理部6 65d、承載部55中的被處理物W。另外，由于通過輸送裝置50a、輸送裝置50b交接被處理物W與所述輸送裝置50的情況相同，所以省略了說明。按照本實(shí)施方式，由于能夠以機(jī)械方式控制夾持/放開動(dòng)作、升降動(dòng)作的順序，所以不會(huì)產(chǎn)生不必要的時(shí)間延遲。此外，可以高速且精確地進(jìn)行動(dòng)作。此外，由于可以實(shí)現(xiàn)夾持裝置的機(jī)構(gòu)簡單化、輕量化，所以可以減輕輸送裝置的負(fù)載，從而可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)作的高速化等。因此，可以縮短交接被處理物W所需要的時(shí)間，從而可以提高生產(chǎn)性。接著，對本實(shí)施方式的電子設(shè)備的制造方法進(jìn)行舉例說明。在本實(shí)施方式的電子設(shè)備的制造方法中，采用本實(shí)施方式的夾持裝置來交接被處理物W。S卩，本實(shí)施方式的電子設(shè)備的制造方法可以包括如下工序利用本實(shí)施方式的夾持裝置從收納部中取出未處理的被處理物；對從收納部中取出的未處理的被處理物進(jìn)行處理；以及利用夾持裝置將進(jìn)行處理后的被處理物收納到收納部中。在這種情況下，也能夠以如下方式進(jìn)行收納將進(jìn)行處理后的被處理物送回到原來的位置、即取出收納部中的未處理的被處理物的位置。即，也可以使從收納部中取出未處理的被處理物的工序中的取出位置，與將處理后的被處理物收納到收納部中的工序中的收納位置相同。按照本實(shí)施方式，由于能夠以機(jī)械方式控制夾持/放開動(dòng)作、升降動(dòng)作的順序，所以不會(huì)產(chǎn)生不必要的時(shí)間延遲。此外，可以高速且精確地進(jìn)行動(dòng)作。此外，由于可以實(shí)現(xiàn)夾持裝置的機(jī)構(gòu)簡單化、輕量化，所以可以減輕輸送裝置的負(fù)載，從而可以實(shí)現(xiàn)動(dòng)作的高速化等。因此，可以縮短交接被處理物W所需要的時(shí)間，從而可以提高生產(chǎn)性。以上對實(shí)施方式進(jìn)行了舉例說明。但是，本發(fā)明并不限定于這些記載內(nèi)容。本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對所述實(shí)施方式適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行設(shè)計(jì)變更，只要具有本發(fā)明的特征，就包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。例如，設(shè)置在夾持裝置1、輸送裝置50和處理裝置60等上的各要素的形狀、尺寸、 配置、數(shù)量等都是舉例說明，并不限定于此，可以適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行變更。此外，在夾持裝置1中，雖然舉例說明了采用螺紋軸3和螺母部4的情況，但是也可以采用帶和滑輪等，來將電動(dòng)機(jī)2的轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成直線運(yùn)動(dòng)。即，只要能夠使動(dòng)作控制部14進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)即可。
此外，處理裝置60中的收納部、輸送裝置、承載部、移動(dòng)部和處理部等的數(shù)量、布局等都是舉例說明，并不限定于此，可以適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行變更。此外，可以對所述各實(shí)施方式所具有的各要素進(jìn)行組合，將它們進(jìn)行組合后只要含有本發(fā)明的特征，就包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種夾持裝置，使夾持板進(jìn)行開閉動(dòng)作來夾持被處理物的周向邊緣，所述夾持裝置的特征在于包括夾持部，所述夾持部包括第一夾持板，具有與所述周向邊緣抵接的第一夾持件；以及第二夾持板，具有與所述周向邊緣抵接的第二夾持件，并且所述夾持部使所述第一夾持板和所述第二夾持板中的至少一個(gè)移動(dòng)，以使所述第一夾持件和所述第二夾持件彼此接近或尚開；升降部，使所述夾持部升降；以及動(dòng)作控制部，控制由所述夾持部進(jìn)行的開閉動(dòng)作和由所述升降部進(jìn)行的升降動(dòng)作， 所述動(dòng)作控制部以機(jī)械方式依次控制第一升降動(dòng)作、所述開閉動(dòng)作和第二升降動(dòng)作， 所述第二升降動(dòng)作與所述第一升降動(dòng)作的升降方向相同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持裝置，其特征在于，所述夾持部還包括開閉同步部，所述開閉同步部使所述第一夾持板的移動(dòng)方向和所述第二夾持板的移動(dòng)方向彼此相反。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持裝置，其特征在于，所述動(dòng)作控制部具有凸輪，利用所述凸輪以機(jī)械方式依次控制所述第一升降動(dòng)作、所述開閉動(dòng)作和所述第二升降動(dòng)作。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的夾持裝置，其特征在于，當(dāng)所述第一升降動(dòng)作和所述第二升降動(dòng)作為上升動(dòng)作時(shí)，所述開閉動(dòng)作為使所述第一夾持件和所述第二夾持件與所述被處理物的周向邊緣抵接的動(dòng)作。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的夾持裝置，其特征在于，當(dāng)所述第一升降動(dòng)作和所述第二升降動(dòng)作為下降動(dòng)作時(shí)，所述開閉動(dòng)作為使所述第一夾持件和所述第二夾持件離開所述被處理物的周向邊緣的動(dòng)作。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的夾持裝置，其特征在于，所述開閉同步部具有齒條齒輪機(jī)構(gòu)或連桿機(jī)構(gòu)，利用所述齒條齒輪機(jī)構(gòu)或所述連桿機(jī)構(gòu)，使所述第一夾持板的移動(dòng)方向和所述第二夾持板的移動(dòng)方向彼此相反。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾持裝置，其特征在于還包括驅(qū)動(dòng)部，所述驅(qū)動(dòng)部包括電動(dòng)機(jī)；螺紋軸，安裝在所述電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸上；以及螺母部，與所述螺紋軸螺紋連接，將所述電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成直線運(yùn)動(dòng)，并且將所述直線運(yùn)動(dòng)傳遞給所述動(dòng)作控制部，所述動(dòng)作控制部利用所述電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)運(yùn)動(dòng)沿所述螺紋軸移動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求3所述的夾持裝置，其特征在于，所述凸輪具有凸輪孔，所述凸輪孔與設(shè)置在所述升降部上的凸輪從動(dòng)件卡合， 所述凸輪孔包括第一傾斜部；水平部，與所述第一傾斜部連接設(shè)置；以及第二傾斜部，與所述水平部連接設(shè)置。
9.根據(jù)權(quán)利要求3或8所述的夾持裝置，其特征在于， 所述動(dòng)作控制部具有彼此相對設(shè)置的一組凸輪， 在所述一組凸輪上分別各自設(shè)置有兩個(gè)凸輪孔， 設(shè)置在所述一組凸輪上的全部凸輪孔具有相似的形狀。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的夾持裝置，其特征在于，所述夾持部具有安裝板，所述安裝板用于安裝所述第二夾持板， 所述驅(qū)動(dòng)部具有開閉板，所述開閉板與所述動(dòng)作控制部連動(dòng)而移動(dòng)，所述開閉板具有第一突出部，所述第一突出部設(shè)置成能與所述安裝板的端面抵接， 伴隨所述動(dòng)作控制部的移動(dòng)，所述開閉板移動(dòng)，利用所述開閉板的移動(dòng)，并借助所述第一突出部和所述安裝板，進(jìn)行所述夾持部的開閉動(dòng)作。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的夾持裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)部還包括底板，用于安裝所述電動(dòng)機(jī)；以及卡止部，直立設(shè)置在所述底板上，所述開閉板還具有第二突出部，所述第二突出部設(shè)置成能與所述卡止部抵接， 通過使所述第二突出部與所述卡止部抵接，使所述開閉板停止移動(dòng)，并且通過使所述開閉板停止移動(dòng)，使所述夾持部的開閉動(dòng)作停止。
12.一種輸送裝置，其特征在于包括權(quán)利要求1-11中任意一項(xiàng)所述的夾持裝置；以及移動(dòng)部，使所述夾持裝置的位置變化。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的輸送裝置，其特征在于， 所述夾持裝置以上下配置的方式設(shè)置有兩個(gè)，位于上方的第一夾持裝置的升降動(dòng)作和位于所述第一夾持裝置下方的第二夾持裝置的升降動(dòng)作朝向彼此相反的方向。
14.根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的輸送裝置，其特征在于，所述移動(dòng)部是從水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人、垂直多關(guān)節(jié)機(jī)器人、直角坐標(biāo)機(jī)器人和單軸機(jī)器人構(gòu)成的組中選擇出的一個(gè)。
15.一種處理裝置，其特征在于包括輸送裝置，所述輸送裝置包括權(quán)利要求1-11中任意一項(xiàng)所述的夾持裝置；以及移動(dòng)部，使所述夾持裝置的位置變化；收納部，以層疊方式收納多個(gè)被處理物；以及處理部，對所述被處理物進(jìn)行處理。
16.一種電子設(shè)備的制造方法，其特征在于包括如下工序利用權(quán)利要求1-11中任意一項(xiàng)所述的夾持裝置從收納部中取出未處理的被處理物； 對從所述收納部中取出的所述未處理的被處理物進(jìn)行處理；以及利用所述夾持裝置將進(jìn)行所述處理后的被處理物收納到所述收納部中。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的電子設(shè)備的制造方法，其特征在于，使從所述收納部中取出未處理的被處理物的工序中的取出位置，與將進(jìn)行所述處理后的被處理物收納到所述收納部中的工序中的收納位置相同。
全文摘要
本發(fā)明提供夾持裝置、輸送裝置、處理裝置和電子設(shè)備的制造方法。夾持裝置具有夾持部，所述夾持部包括第一夾持板，具有與被處理物的周向邊緣抵接的第一夾持件；以及第二夾持板，具有與所述周向邊緣抵接的第二夾持件，并且所述夾持部使所述第一夾持板和所述第二夾持板中的至少一個(gè)移動(dòng)，以使所述第一夾持件和所述第二夾持件彼此接近或離開。夾持裝置還包括升降部，使所述夾持部升降；以及動(dòng)作控制部，控制由所述夾持部進(jìn)行的開閉動(dòng)作和由所述升降部進(jìn)行的升降動(dòng)作。而且，所述動(dòng)作控制部以機(jī)械方式依次控制第一升降動(dòng)作、所述開閉動(dòng)作和第二升降動(dòng)作，所述第二升降動(dòng)作與所述第一升降動(dòng)作的升降方向相同。
文檔編號B25J15/00GK102310410SQ20111018441
公開日2012年1月11日 申請日期2011年6月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年7月2日
發(fā)明者古矢正明 申請人:芝浦機(jī)械電子株式會(huì)社