一種晶棒的夾持裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種晶棒的夾持裝置，包括燕尾連接盤以及與燕尾連接盤連接的三爪卡盤；三爪卡盤上設(shè)有與燕尾連接盤固定連接的卡盤蓋，三爪卡盤的底部設(shè)有若干用于卡爪滑動的T型滑槽，三爪卡盤上還設(shè)有卡柱及固定孔；每個滑槽的尾部設(shè)有用于定位卡爪位置的限位件，T型滑槽側(cè)壁上設(shè)有限位孔。本實用新型通過將卡爪安裝于三爪卡盤上，再將三爪卡盤與燕尾連接盤相連，把燕尾連接盤裝于內(nèi)圓切割機的送料機構(gòu)上，通過轉(zhuǎn)動插入三爪卡盤上的扳手來調(diào)整加工件適合的大小，并且在每個卡爪上加裝墊片來實現(xiàn)對不同直徑的加工件的夾持，既方便快捷又安全。
【專利說明】
一種晶棒的夾持裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及裝夾領(lǐng)域，具體涉及一種晶棒的夾持裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]三爪卡盤由卡盤體、活動卡爪和卡爪驅(qū)動機構(gòu)組成。三爪卡盤上三個卡爪導(dǎo)向部分的下面，有螺紋與碟形傘齒輪背面的平面螺紋相嚙合，當(dāng)用扳手通過四方孔轉(zhuǎn)動小傘齒輪時，碟形齒輪轉(zhuǎn)動，背面的平面螺紋同時帶動三個卡爪向中心靠近或退出，用以夾緊不同直徑的工件。
[0003]目前，公知的晶棒切割是由傳統(tǒng)的多刀、多線、單線設(shè)備完成或再用內(nèi)圓切割機完成。將被切晶棒經(jīng)打磨、施膠、粘板后再切割，因設(shè)備切割周期長效率低，帶來了設(shè)備和能源成本增加、人工成本增加、加工周期變長等問題，并且因內(nèi)圓切割機的夾持裝置不適合被切晶棒或只能針對單一規(guī)格的晶棒，這樣會造成夾持裝置的利用率降低。而且對于一些昂貴的光學(xué)晶體材料的利用率也會大大減少，給企業(yè)造成不小的損失。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型的目的是提供一種晶棒的夾持裝置，通過轉(zhuǎn)動插入三爪卡盤上的扳手和在每個卡爪上加裝墊片來調(diào)整加工件適合的大小，既方便快捷又安全。
[0005]為達(dá)上述目的，本實用新型所采用的技術(shù)方案是:提供一種晶棒的夾持裝置，包括燕尾連接盤以及與燕尾連接盤連接的三爪卡盤;三爪卡盤上設(shè)有與燕尾連接盤固定連接的卡盤蓋，三爪卡盤的底部設(shè)有若干用于卡爪滑動的T型滑槽，三爪卡盤上還設(shè)有卡柱及固定孔;每個滑槽的尾部設(shè)有用于定位卡爪位置的限位件，T型滑槽側(cè)壁上設(shè)有限位孔。
[0006]優(yōu)選的，三爪卡盤的側(cè)壁上設(shè)有若干方孔。
[0007]優(yōu)選的，三爪卡盤與卡盤蓋之間通過螺釘連接。
[0008]優(yōu)選的，卡爪的夾持面為弧形。
[0009]優(yōu)選的，卡爪上設(shè)有墊片。
[0010]優(yōu)選的，限位件包括弧形的限位塊和設(shè)置在限位塊兩端的限位柱。
[0011]優(yōu)選的，固定孔位于各個卡爪之間，且與卡柱位于同一軸線。
[0012]綜上所述，本實用新型具有以下優(yōu)點:
[0013]1、本實用新型通過將卡爪安裝于三爪卡盤上，再將三爪卡盤與燕尾連接盤相連，把燕尾連接盤裝于內(nèi)圓切割機的送料機構(gòu)上，通過轉(zhuǎn)動插入三爪卡盤上的扳手來調(diào)整加工件適合的大小，并且在每個卡爪上加裝墊片來實現(xiàn)對不同直徑的加工件的夾持，既方便快捷又安全。
[0014]2、由于設(shè)置有三個卡爪、三個卡柱和三組固定孔，能夠相互配合，不僅在物理結(jié)構(gòu)上十分穩(wěn)固，在卡持效果上也十分顯著，首先通過三組固定孔進(jìn)行底部的固定，然后通過三條卡柱進(jìn)行頂部的固定，最后通過三個卡爪進(jìn)行周側(cè)的固定，從而全方位的進(jìn)行固定，固定效果較佳。
【附圖說明】

[0015]圖1為本實用新型晶棒的夾持裝置的示意圖；
[0016]圖2為本實用新型三爪卡盤及卡爪的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖3為本實用新型三爪卡盤及卡爪的仰視圖；
[0018]圖4為本實用新型限位件的示意圖；
[0019]其中，1、燕尾連接盤;2、卡盤蓋;3、三爪卡盤;4、卡爪；5、限位件;6、墊片；7、螺釘；
8、方孔;9、T型滑槽;10、限位孔;11、卡柱;12、固定孔;13、夾持面;14、限位柱。
【具體實施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】做詳細(xì)的說明。
[0021]本實用新型的一個實施例中，如圖1?3所示，提供了一種晶棒的夾持裝置，包括燕尾連接盤I以及與燕尾連接盤I連接的三爪卡盤3;三爪卡盤3上設(shè)有與燕尾連接盤I固定連接的卡盤蓋2，三爪卡盤3的底部設(shè)有若干用于卡爪4滑動的T型滑槽9，三爪卡盤3上還設(shè)有卡柱11及固定孔12;每個滑槽的尾部設(shè)有用于定位卡爪4位置的限位件5，Τ型滑槽9側(cè)壁上設(shè)有與限位件5配合使用的限位孔10。
[0022]本實用新型的優(yōu)化實施例，如圖4所示，三爪卡盤3的側(cè)壁上設(shè)有若干方孔8，方孔8用于插入扳手，通過扳動扳手來使卡爪4靠近或退出；三爪卡盤3與卡盤蓋2之間通過螺釘7連接;卡爪4的夾持面13為弧形，卡爪4上設(shè)有墊片6，在每個卡爪上加裝墊片來實現(xiàn)對不同直徑的加工件的夾持，既方便快捷又安全;限位件5包括弧形的限位塊和設(shè)置在限位塊兩端的限位柱14;固定孔12位于各個卡爪4之間，且與卡柱11位于同一軸線，采用此設(shè)計物理結(jié)構(gòu)較為合理，卡持11圓柱狀物體能達(dá)到最大化效果，卡柱11位于外側(cè)、固定孔12位于內(nèi)側(cè)。
[0023]在內(nèi)圓切割機的送料機構(gòu)上加裝一個燕尾連接盤I，燕尾連接盤I的另一端連接一個三爪卡盤3。通過將三爪卡盤3的卡爪4進(jìn)行加長設(shè)置，使其能夾持住晶棒，因三爪卡盤3具有自定心功能，無須再單獨對每個卡爪4單獨調(diào)整，從而通過轉(zhuǎn)動卡盤的扳手來調(diào)整適合的大小，再在每個卡爪4上加裝墊片來實現(xiàn)對不同直徑大小晶棒的裝夾，既方便又安全。
[0024]在使用時，將待加工物放置于三爪卡盤3的中心，然后在待加工物的底部通過固定孔12穿入螺絲，進(jìn)行螺紋固定，在待加工物的頂部安裝固定座(未圖示)，通過卡柱11貫穿固定座后，通過卡柱11上的螺紋進(jìn)行螺紋固定，最后將三個卡爪4進(jìn)行裝配后，控制各個卡爪4向中心靠攏，進(jìn)行夾持即可。當(dāng)加工件的直徑大于兩個T型滑槽9的長度時，只需取下限位件5即可，則通過固定孔12及卡柱11來實現(xiàn)定位；對于加工件直徑小于兩個T型滑槽9的長度時，通過限位件5來固定。
[0025]雖然結(jié)合附圖對本實用新型的【具體實施方式】進(jìn)行了詳細(xì)地描述，但不應(yīng)理解為對本專利的保護(hù)范圍的限定。在權(quán)利要求書所描述的范圍內(nèi)，本領(lǐng)域技術(shù)人員不經(jīng)創(chuàng)造性勞動即可作出的各種修改和變形仍屬本專利的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項】
1.一種晶棒的夾持裝置，其特征在于:包括燕尾連接盤(I)以及與燕尾連接盤(I)連接的三爪卡盤(3);所述三爪卡盤(3)上設(shè)有與燕尾連接盤(I)固定連接的卡盤蓋(2)，所述三爪卡盤(3)的底部設(shè)有若干用于卡爪(4)滑動的T型滑槽(9)，所述三爪卡盤(3)上還設(shè)有卡柱(11)及固定孔(12);每個滑槽的尾部設(shè)有用于定位卡爪位置的限位件(5)，所述T型滑槽(9)側(cè)壁上設(shè)有限位孔(10)。2.如權(quán)利要求1所述的晶棒的夾持裝置，其特征在于:所述三爪卡盤(3)的側(cè)壁上設(shè)有若干方孔(8)。3.如權(quán)利要求1所述的晶棒的夾持裝置，其特征在于:所述三爪卡盤(3)與卡盤蓋(2)之間通過螺釘(7)連接。4.如權(quán)利要求1所述的晶棒的夾持裝置，其特征在于:所述卡爪(4)的夾持面(13)為弧形。5.如權(quán)利要求1所述的晶棒的夾持裝置，其特征在于:所述卡爪(4)上設(shè)有墊片(6)。6.如權(quán)利要求1所述的晶棒的夾持裝置，其特征在于:所述限位件(5)包括弧形的限位塊和設(shè)置在限位塊兩端的限位柱(14)。7.如權(quán)利要求1所述的晶棒的夾持裝置，其特征在于:所述固定孔(12)位于各個卡爪之間，且與卡柱(II)位于同一軸線。
【文檔編號】B23B31/10GK205702523SQ201620411768
【公開日】2016年11月23日
【申請日】2016年5月9日
【發(fā)明人】余建琳, 王宇
【申請人】四川天樂信達(dá)光電有限公司