一種機(jī)械手機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種機(jī)械手機(jī)構(gòu)，包括底座以及連接于底座上的兩個(gè)機(jī)械臂；其中，所述底座上設(shè)有由內(nèi)向外依次同軸嵌套的第一軸、第二軸和第三軸，分別由三個(gè)電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)。第二軸與兩機(jī)械臂固定連接，第一軸與第一固定帶輪固定連接，第三軸與第二固定帶輪固定連接，第一固定帶輪與其中一機(jī)械臂的活動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接，第二固定帶輪與另一機(jī)械臂的活動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接。本發(fā)明的機(jī)械手機(jī)構(gòu)回轉(zhuǎn)半徑小，水平方向上的空間利用率高。通過驅(qū)動(dòng)三個(gè)軸以不同的組合方式相對(duì)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)機(jī)械臂同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)或其中任一機(jī)械臂的耦合運(yùn)動(dòng)，完成在狹小空間內(nèi)抓取負(fù)載、變換伸縮角度、送出負(fù)載等一系列動(dòng)作，進(jìn)一步優(yōu)化了機(jī)械手機(jī)構(gòu)水平工作空間的布置。
【專利說明】一種機(jī)械手機(jī)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種在工業(yè)上移送物件過程中使用的機(jī)械手機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]在現(xiàn)有的半導(dǎo)體加工過程中，需要對(duì)晶圓進(jìn)行兩道檢測(cè)程序:先是低倍率的快速檢測(cè)，然后是高倍率的仔細(xì)檢測(cè)。當(dāng)完成低倍率的快速檢測(cè)后，需要用一機(jī)械手將晶圓運(yùn)送至高倍率檢測(cè)平臺(tái)上。機(jī)械手作為負(fù)責(zé)不同工位之間傳送晶圓的關(guān)鍵自動(dòng)化設(shè)備，一方面，主要要求減小占用空間，另外一方面亦要求擴(kuò)大作業(yè)區(qū)域，這就涉及到如何在水平運(yùn)動(dòng)工作空間布置的優(yōu)化，使得機(jī)械手在合格地完成工作任務(wù)的同時(shí)，減少干涉其他機(jī)械手的機(jī)會(huì)。如何在負(fù)載直徑與手臂長(zhǎng)度增加的情況下，縮小機(jī)械手的水平工作空間，成為目前亟待解決的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種在水平方向上運(yùn)動(dòng)工作空間優(yōu)化布置的機(jī)械手機(jī)構(gòu)。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種機(jī)械手機(jī)構(gòu)，包括底座以及連接于底座上的兩個(gè)機(jī)械臂；
[0006]其中，所述底座上設(shè)有由內(nèi)向外依次同軸嵌套的第一軸、第二軸和第三軸,第一軸、第二軸和第三軸分別由三個(gè)電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，且第一軸的軸向長(zhǎng)度大于第二軸，第二軸的軸向長(zhǎng)度大于第三軸；
[0007]第二軸與兩機(jī)械臂固定連接，第一軸與第一固定帶輪固定連接，第三軸與第二固定帶輪固定連接，第一固定帶輪與其中一機(jī)械臂的活動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接，第二固定帶輪與另一機(jī)械臂的活動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接。
[0008]所述機(jī)械臂包括依次鉸接的大臂、小臂和末端構(gòu)件；大臂的自由端與第二軸固定連接，大臂的鉸接端與末端構(gòu)件的鉸接端傳動(dòng)連接，兩機(jī)械臂的小臂與大臂鉸接的一端分別與第一固定帶輪和第二固定帶輪傳動(dòng)連接；所述末端構(gòu)件的自由端具有一夾持部，用于夾取負(fù)載，所述末端構(gòu)件在大臂和小臂的傳動(dòng)下做直線伸縮運(yùn)動(dòng)。
[0009]兩機(jī)械臂的大臂之間具有一大于90°的固定夾角。
[0010]當(dāng)機(jī)械手機(jī)構(gòu)達(dá)到最大收縮行程時(shí)，所述兩機(jī)械臂對(duì)稱分布于兩大臂夾角的中線兩側(cè)，兩末端構(gòu)件的夾持部在水平面上的投影重合且位于所述中線上。
[0011]所述兩機(jī)械臂分別為第一機(jī)械臂和第二機(jī)械臂，第一機(jī)械臂的小臂與大臂鉸接的一端與第一固定帶輪傳動(dòng)連接，第二機(jī)械臂的小臂與大臂鉸接的一端與第二固定帶輪傳動(dòng)連接；
[0012]當(dāng)?shù)谝粰C(jī)械臂驅(qū)動(dòng)其上的末端構(gòu)件伸縮運(yùn)動(dòng)時(shí)，第一軸固定，第二軸和第三軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)；
[0013]當(dāng)?shù)诙C(jī)械臂驅(qū)動(dòng)其上的末端構(gòu)件伸縮運(yùn)動(dòng)時(shí)，第三軸固定，第二軸和第一軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)；[0014]當(dāng)需要變換第一機(jī)械臂和第二機(jī)械臂的伸縮運(yùn)動(dòng)方向時(shí)，第一軸、第二軸和第三軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0015]各機(jī)械臂中，大臂與小臂鉸接的一端固定有大臂軸組件，大臂軸組件上通過軸承安裝有以其為軸心旋轉(zhuǎn)的大臂從動(dòng)帶輪，兩機(jī)械臂的大臂從動(dòng)帶輪分別通過一大臂齒形帶與第一固定帶輪和第二固定帶輪嚙合，且大臂從動(dòng)帶輪與小臂固定連接；
[0016]大臂軸組件上還固定連接有小臂固定帶輪，小臂與末端構(gòu)件鉸接的一端固定有小臂軸組件，小臂軸組件上通過軸承安裝有以其為軸心旋轉(zhuǎn)的小臂從動(dòng)帶輪，小臂從動(dòng)帶輪通過小臂齒形帶與小臂固定帶輪嚙合，且小臂從動(dòng)帶輪與末端構(gòu)件固定連接。
[0017]各機(jī)械臂中，第一或第二固定帶輪與大臂從動(dòng)帶輪的齒數(shù)比為2:1，小臂固定帶輪與小臂從動(dòng)帶輪的齒數(shù)比為1: 2，大臂與小臂的旋轉(zhuǎn)方向相反，小臂與末端構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)方向相反，即大臂、小臂和末端構(gòu)件為轉(zhuǎn)數(shù)比為1: -2: I的傳動(dòng)結(jié)構(gòu)。
[0018]兩機(jī)械臂的大臂、小臂和末端構(gòu)件，在豎直方向上相互交叉層疊。
[0019]本發(fā)明的機(jī)械手機(jī)構(gòu)回轉(zhuǎn)半徑小，水平方向上的空間利用率高。本發(fā)明的機(jī)械手機(jī)構(gòu)將第一固定帶輪、第一機(jī)械臂和第二機(jī)械臂、第二固定帶輪分別通過第一至第三軸同軸旋轉(zhuǎn)連接于底座上。通過驅(qū)動(dòng)三個(gè)軸以不同的組合方式相對(duì)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)機(jī)械臂同時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)或其中任一機(jī)械臂的耦合運(yùn)動(dòng)，完成在狹小空間內(nèi)抓取負(fù)載、變換伸縮角度、送出負(fù)載等一系列動(dòng)作，進(jìn)一步優(yōu)化了機(jī)械手機(jī)構(gòu)水平工作空間的布置。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1 為本發(fā)明實(shí)施例的機(jī)械手機(jī)構(gòu)的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖2為本發(fā)明實(shí)施例的機(jī)械手機(jī)構(gòu)的最大收縮狀態(tài)的俯視圖。
[0022]圖3為圖2的A-A面剖視圖。
[0023]圖4為圖2的B-B面剖視圖。
[0024]圖5為本發(fā)明實(shí)施例的機(jī)械手機(jī)構(gòu)的第二機(jī)械臂伸展?fàn)顟B(tài)示意圖。
[0025]圖6為本發(fā)明實(shí)施例的機(jī)械手機(jī)構(gòu)的一個(gè)側(cè)面豎直結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]附圖標(biāo)號(hào)說明
[0027]第一機(jī)械臂I第二機(jī)械臂2底座3
[0028]第一大臂11第一小臂12第一末端構(gòu)件13
[0029]第二大臂21第二小臂22第二末端構(gòu)件23
[0030]第一軸31第二軸32第三軸33
[0031]第一固定帶輪41第二固定帶輪42第一大臂軸組件110
[0032]第一大臂從動(dòng)帶輪111 第一大臂齒形帶112 第一小臂軸組件120
[0033]第一小臂從動(dòng)帶輪121 第一小臂齒形帶122 第一小臂固定帶輪123
[0034]第二大臂軸組件210 第二大臂從動(dòng)帶輪211 第二大臂齒形帶212
[0035]第二小臂軸組件220 第二小臂從動(dòng)帶輪221 第二小臂齒形帶222
[0036]第二小臂固定帶輪223
【具體實(shí)施方式】
[0037]下面將結(jié)合附圖和具體的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方案進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。[0038]如圖1和圖2所示，本發(fā)明提供的一種機(jī)械手機(jī)構(gòu)，包括底座3以及連接于底座3上的第一機(jī)械臂I和第二機(jī)械臂2。
[0039]所述第一機(jī)械臂I包括依次鉸接的第一大臂11、第一小臂12和第一末端構(gòu)件13，第一大臂11的自由端可旋轉(zhuǎn)地安裝于底座3上，第一大臂11的鉸接端與第一末端構(gòu)件13的鉸接端傳動(dòng)連接，第一小臂12與第一大臂11鉸接的一端與底座3傳動(dòng)連接。第一末端構(gòu)件13在第一大臂11和第一小臂12的傳動(dòng)下做直線伸縮運(yùn)動(dòng)。
[0040]所述第二機(jī)械臂2包括依次鉸接的第二大臂21、第二小臂22和第二末端構(gòu)件23，第二大臂21的自由端可旋轉(zhuǎn)地安裝于底座3上，第二大臂21的鉸接端與第二末端構(gòu)件23的鉸接端傳動(dòng)連接，第二小臂22與第二大臂21鉸接的一端與底座3傳動(dòng)連接。第二末端構(gòu)件23在第二大臂21和第二小臂22的傳動(dòng)下做直線伸縮運(yùn)動(dòng)。
[0041]所述第一末端構(gòu)件13和第二末端構(gòu)件23的自由端分別具有一夾持部，用于夾取負(fù)載。
[0042]第一大臂11和第二大臂21是相對(duì)固定的，且兩者之間的夾角大于90°。當(dāng)機(jī)械手機(jī)構(gòu)達(dá)到最大收縮行程時(shí)，即第一末端構(gòu)件13和第二末端構(gòu)件23在水平方向上運(yùn)動(dòng)到接近底座3的一端時(shí)，第一機(jī)械臂I和第二機(jī)械臂2在水平方向上對(duì)稱分布于兩大臂夾角的中線O兩側(cè)，第一末端構(gòu)件13和第二末端構(gòu)件23的夾持部在水平面上的投影重合且位于所述中線O上。
[0043]如圖3所示，底座3上設(shè)有由內(nèi)向外依次同軸嵌套的第一軸31、第二軸32和第三軸33，第一軸31、第二軸32和第三軸33分別由三個(gè)電機(jī)獨(dú)立驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)。特別地，第一軸31的軸向長(zhǎng)度大于第二軸32，第二軸32的軸向長(zhǎng)度大于第三軸33，即在豎直方向上，第一軸
31高于第二軸32，高于第三軸33。其中，第二軸32與第一大臂11和第二大臂21的自由端固定連接，且第一大臂11位于第二大臂21的上方。第一軸31與第一固定帶輪41固定連接，第三軸33與第二固定帶輪42固定連接。
[0044]在第一機(jī)械臂I中，第一大臂11與第一小臂12鉸接的一端固定有第一大臂軸組件110，第一大臂軸組件110通過軸承安裝有以其為軸心旋轉(zhuǎn)的第一大臂從動(dòng)帶輪111，所述第一大臂從動(dòng)帶輪111通過第一大臂齒形帶112與第一固定帶輪41嚙合，且第一大臂從動(dòng)帶輪111與第一小臂12固定連接。第一大臂軸組件110上端還固定連接有第一小臂固定帶輪123，第一小臂12與第一末端構(gòu)件13鉸接的一端固定有第一小臂軸組件120，第一小臂軸組件120上通過軸承安裝有以其為軸心旋轉(zhuǎn)的第一小臂從動(dòng)帶輪121，第一小臂從動(dòng)帶輪121通過第一小臂齒形帶122與第一小臂固定帶輪123嚙合。同時(shí)，第一小臂從動(dòng)帶輪121還與第一末端構(gòu)件13的鉸接端固定連接。
[0045]第二機(jī)械臂2的內(nèi)部結(jié)構(gòu)與第一機(jī)械臂I類似，如圖4所示。第二大臂21與第二小臂22鉸接的一端固定有第二大臂軸組件210，第二大臂軸組件210通過軸承安裝有以其為軸心旋轉(zhuǎn)的第二大臂從動(dòng)帶輪211，所述第二大臂從動(dòng)帶輪211通過第二大臂齒形帶212與第二固定帶輪42嚙合，且第二大臂從動(dòng)帶輪211與第二小臂22固定連接。第二大臂軸組件210上端還固定連接有第二小臂固定帶輪223，第二小臂22與第二末端構(gòu)件23鉸接的一端固定有第二小臂軸組件220，第二小臂軸組件220上通過軸承安裝有以其為軸心旋轉(zhuǎn)的第二小臂從動(dòng)帶輪221，第二小臂從動(dòng)帶輪221通過第二小臂齒形帶222與第二小臂固定帶輪223嚙合。同時(shí)，第二小臂從動(dòng)帶輪221還與第二末端構(gòu)件23的鉸接端固定連接。[0046]本發(fā)明的機(jī)械手機(jī)構(gòu)的工作原理如下。
[0047]當(dāng)需要第二機(jī)械臂2驅(qū)動(dòng)其上的末端構(gòu)件23伸縮運(yùn)動(dòng)時(shí)，第三軸33固定，第一軸31和第二軸32同步轉(zhuǎn)動(dòng)。具體地，結(jié)合圖2、圖3、圖4和圖5，在第二機(jī)械臂2伸展時(shí)，第三軸33以及固定于其上的第二固定帶輪42相對(duì)于底座3固定，第一軸31帶動(dòng)固定于其上的第一固定帶輪41，第二軸32帶動(dòng)固定于其上的第一大臂11和第二大臂21沿圖5中所示的順時(shí)針方向同步轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0048]由于第二固定帶輪42通過第二大臂齒形帶212與第二大臂從動(dòng)帶輪211相嚙合，在第二大臂21相對(duì)于第二固定帶輪42轉(zhuǎn)動(dòng)的過程中，第二固定帶輪42和第二大臂從動(dòng)帶輪211的相對(duì)位置產(chǎn)生了變化，第二大臂齒形帶212的嚙合作用使第二大臂從動(dòng)帶輪211逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)。這也就帶動(dòng)了第二大臂21和第二小臂22圍繞第二大臂軸組件210進(jìn)行相對(duì)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，第二固定帶輪42與第二大臂從動(dòng)帶輪211構(gòu)成行星周轉(zhuǎn)輪系。
[0049]與此同時(shí)，第二小臂從動(dòng)帶輪221通過第二小臂齒形帶222與第二小臂固定帶輪223嚙合，第二小臂22相對(duì)于第二大臂軸組件210逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)也就帶動(dòng)了第二小臂22和第二末端構(gòu)件23圍繞第二小臂軸組件220進(jìn)行相對(duì)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在以第二大臂21為參考體系的第二小臂22中，第二小臂固定帶輪223和第二小臂從動(dòng)帶輪221也構(gòu)成一個(gè)行星周轉(zhuǎn)輪系。在上述兩個(gè)行星周轉(zhuǎn)輪系的作用下，第二小臂22與第二末端構(gòu)件23的旋轉(zhuǎn)連接軸心始終沿著中線O的方向直線伸縮動(dòng)作。
[0050]需要指出的是，為保證第二小臂22與第二末端構(gòu)件23的旋轉(zhuǎn)連接軸心始終沿直線伸縮動(dòng)作，第二固定帶輪42與第二大臂從動(dòng)帶輪211的齒數(shù)比為2:1，第二小臂固定帶輪223與第二小臂從動(dòng)帶輪221的齒數(shù)比為1: 2，又由于第二大臂21與第二小臂22的旋轉(zhuǎn)方向相反，第二小臂22與第二末端構(gòu)件23的旋轉(zhuǎn)方向相反，即第二大臂21、第二小臂22和第二末端構(gòu)件23為1: -2: I轉(zhuǎn)數(shù)比的傳動(dòng)結(jié)構(gòu)。
[0051]相對(duì)地，在第二機(jī)械臂2伸縮運(yùn)動(dòng)過程中，由于第一軸31和第二軸32同步轉(zhuǎn)動(dòng)，即第一固定帶輪41和第一大臂11同步轉(zhuǎn)動(dòng)，第一固定帶輪41和第一大臂從動(dòng)帶輪111的相對(duì)位置不發(fā)生變化。因此第一機(jī)械臂I自身不進(jìn)行伸縮運(yùn)動(dòng)，第一機(jī)械臂I整體保持收縮狀態(tài)隨第二大臂21 —起轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0052]第二機(jī)械臂2達(dá)到伸展最大行程后，通過第二末端構(gòu)件23的夾持部夾取負(fù)載，然后進(jìn)行收縮運(yùn)動(dòng)。相反地，在第二機(jī)械臂2收縮時(shí)，第三軸33固定，第一軸31和第二軸32沿相反反向(逆時(shí)針方向)同步轉(zhuǎn)動(dòng)?；谙喾吹墓ぷ鬟^程，第二機(jī)械臂2回到收縮狀態(tài)，第二末端構(gòu)件23夾取負(fù)載回到最大收縮行程的位置。
[0053]此時(shí)，若需要變換第一機(jī)械臂I和第二機(jī)械臂2的伸縮運(yùn)動(dòng)方向，則第一軸31、第二軸32和第三軸33 —起同步轉(zhuǎn)動(dòng)，第一機(jī)械臂I和第二機(jī)械臂2在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中整體保持收縮狀態(tài)。
[0054]由于第一末端構(gòu)件13和第二末端構(gòu)件23在水平面上的投影是重合的，所以在最大收縮狀態(tài)，第一末端構(gòu)件13和第二末端構(gòu)件23可以進(jìn)行交替夾取負(fù)載。即可以依然由第二機(jī)械臂2伸展，將負(fù)載送出，也可改由第一機(jī)械臂I進(jìn)行伸展，送出負(fù)載。當(dāng)需要第一機(jī)械臂I驅(qū)動(dòng)其上的第一末端構(gòu)件13伸縮運(yùn)動(dòng)時(shí)，第一軸31相對(duì)底座3固定，第二軸32和第三軸33同步轉(zhuǎn)動(dòng)。第一機(jī)械臂I的具體伸縮運(yùn)動(dòng)過程與第二機(jī)械臂2相似，在此不再贅述。[0055]為減小本發(fā)明的機(jī)械手機(jī)構(gòu)處于最大收縮狀態(tài)時(shí)在水平面上占用的空間，兩機(jī)械臂的大臂、小臂和末端構(gòu)件，在豎直方向上相互交叉層疊。具體地，如圖6所示，在豎直方向上，第二大臂21、第一大臂11、第二小臂22、第二末端構(gòu)件23、第一末端構(gòu)件13、第一小臂12依次由下往上相互交叉層疊。
[0056]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種機(jī)械手機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括底座以及連接于底座上的兩個(gè)機(jī)械臂； 其中，所述底座上設(shè)有由內(nèi)向外依次同軸嵌套的第一軸、第二軸和第三軸，第一軸、第二軸和第三軸分別由三個(gè)電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，且第一軸的軸向長(zhǎng)度大于第二軸，第二軸的軸向長(zhǎng)度大于第三軸； 第二軸與兩機(jī)械臂固定連接，第一軸與第一固定帶輪固定連接，第三軸與第二固定帶輪固定連接，第一固定帶輪與其中一機(jī)械臂的活動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接，第二固定帶輪與另一機(jī)械臂的活動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)傳動(dòng)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)械手機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述機(jī)械臂包括依次鉸接的大臂、小臂和末端構(gòu)件；大臂的自由端與第二軸固定連接，大臂的鉸接端與末端構(gòu)件的鉸接端傳動(dòng)連接，兩機(jī)械臂的小臂與大臂鉸接的一端分別與第一固定帶輪和第二固定帶輪傳動(dòng)連接；所述末端構(gòu)件的自由端具有一夾持部，用于夾取負(fù)載，所述末端構(gòu)件在大臂和小臂的傳動(dòng)下做直線伸縮運(yùn)動(dòng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)械手機(jī)構(gòu)，其特征在于，兩機(jī)械臂的大臂之間具有一大于90°的固定夾角。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的機(jī)械手機(jī)構(gòu)，其特征在于，當(dāng)機(jī)械手機(jī)構(gòu)達(dá)到最大收縮行程時(shí)，所述兩機(jī)械臂對(duì)稱分布于兩大臂夾角的中線兩側(cè)，兩末端構(gòu)件的夾持部在水平面上的投影重合且位于所述中線上。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機(jī)械手機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述兩機(jī)械臂分別為第一機(jī)械臂和第二機(jī)械臂，第一機(jī)械臂的小臂與大臂鉸接的一端與第一固定帶輪傳動(dòng)連接，第二機(jī)械臂的小臂與大臂鉸接的一端與第二固定帶輪傳動(dòng)連接； 當(dāng)?shù)谝粰C(jī)械臂驅(qū)動(dòng)其上的末端構(gòu)件伸縮運(yùn)動(dòng)時(shí)，第一軸固定，第二軸和第三軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)； 當(dāng)?shù)诙C(jī)械臂驅(qū)動(dòng)其上的末端構(gòu)件伸縮運(yùn)動(dòng)時(shí)，第三軸固定，第二軸和第一軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)； 當(dāng)需要變換第一機(jī)械臂和第二機(jī)械臂的伸縮運(yùn)動(dòng)方向時(shí)，第一軸、第二軸和第三軸同步轉(zhuǎn)動(dòng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2或5所述的機(jī)械手機(jī)構(gòu)，其特征在于，各機(jī)械臂中，大臂與小臂鉸接的一端固定有大臂軸組件，大臂軸組件上通過軸承安裝有以其為軸心旋轉(zhuǎn)的大臂從動(dòng)帶輪，兩機(jī)械臂的大臂從動(dòng)帶輪分別通過一大臂齒形帶與第一固定帶輪和第二固定帶輪嚙合，且大臂從動(dòng)帶輪與小臂固定連接； 大臂軸組件上還固定連接有小臂固定帶輪，小臂與末端構(gòu)件鉸接的一端固定有小臂軸組件，小臂軸組件上通過軸承安裝有以其為軸心旋轉(zhuǎn)的小臂從動(dòng)帶輪，小臂從動(dòng)帶輪通過小臂齒形帶與小臂固定帶輪嚙合，且小臂從動(dòng)帶輪與末端構(gòu)件固定連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機(jī)械手機(jī)構(gòu)，其特征在于，各機(jī)械臂中，第一或第二固定帶輪與大臂從動(dòng)帶輪的齒數(shù)比為2:1，小臂固定帶輪與小臂從動(dòng)帶輪的齒數(shù)比為1: 2，大臂與小臂的旋轉(zhuǎn)方向相反，小臂與末端構(gòu)件的旋轉(zhuǎn)方向相反，即大臂、小臂和末端構(gòu)件為轉(zhuǎn)數(shù)比為1: -2:1的傳動(dòng)結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的機(jī)械手機(jī)構(gòu)，其特征在于，兩機(jī)械臂的大臂、小臂和末端構(gòu)件，在豎直方向上相互交叉層疊。
【文檔編號(hào)】B25J9/08GK103802099SQ201210445438
【公開日】2014年5月21日 申請(qǐng)日期:2012年11月8日 優(yōu)先權(quán)日:2012年11月8日
【發(fā)明者】曲道奎, 朱維金, 王鳳利, 朱玉聰, 郭帥, 徐方 申請(qǐng)人:沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司