工業(yè)用機(jī)器人的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓等基板的工業(yè)用機(jī)器人。
【背景技術(shù)】
[0002]以往公知一種搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓等基板的工業(yè)用機(jī)器人(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。專利文獻(xiàn)I中所記載的工業(yè)用機(jī)器人例如設(shè)置于半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中使用。該工業(yè)用機(jī)器人具有:一個(gè)基板裝載機(jī)構(gòu)，所述基板裝載機(jī)構(gòu)裝載多片基板；臂部，所述臂部將基板裝載機(jī)構(gòu)的基端側(cè)支承為能夠旋轉(zhuǎn)；旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)部，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)部將臂部的基端側(cè)支承為能夠旋轉(zhuǎn)；以及本體部，所述本體部將旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)部支承為能夠朝向上下方向移動(dòng)?；逖b載機(jī)構(gòu)具有五個(gè)手叉，這五個(gè)手叉以規(guī)定的間距在上下方向上重疊配置。在該工業(yè)用機(jī)器人中，能夠同時(shí)在基板裝載機(jī)構(gòu)裝載五片基板。因此，在該工業(yè)用機(jī)器人中，能夠同時(shí)搬運(yùn)五片基板。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2010-179419號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明所要解決的問題
[0007]如上所述，在專利文獻(xiàn)I所記載的工業(yè)用機(jī)器人中，由于可同時(shí)搬運(yùn)五片基板，因此在設(shè)置有該工業(yè)用機(jī)器人的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中能夠提高生產(chǎn)性。另一方面，在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中，也有只想搬運(yùn)一片基板的要求。但是，在專利文獻(xiàn)I所記載的工業(yè)用機(jī)器人中，難以只搬運(yùn)一片基板。
[0008]并且，在半導(dǎo)體的制造系統(tǒng)中，例如有時(shí)要進(jìn)行基板的清洗，且工業(yè)用機(jī)器人有時(shí)要將清洗前的基板搬進(jìn)清洗裝置或?qū)⑶逑春蟮幕鍙那逑囱b置中搬出。在此，有可能在裝載有清洗前的基板的手叉處附著有附著在清洗前的基板上的灰塵等。因此，如果清洗后的基板被裝載到裝載過清洗前的基板的手叉處，則有可能裝載于手叉的清洗后的基板會(huì)被再次污染。因此，優(yōu)選在有別于裝載有清洗前的基板的手叉的其他手叉處裝載清洗后的基板。但是，在專利文獻(xiàn)I所記載的工業(yè)用機(jī)器人中，由于一個(gè)基板裝載機(jī)構(gòu)設(shè)有五個(gè)手叉，因此難以在有別于裝載有清洗前的基板的基板裝載機(jī)構(gòu)的其他基板裝載機(jī)構(gòu)裝載清洗后的基板。
[0009]因此，本發(fā)明的課題是提供一種工業(yè)用機(jī)器人，其能夠改變可同時(shí)搬運(yùn)的基板的片數(shù)。并且，本發(fā)明的課題是提供一種工業(yè)用機(jī)器人，其即便是能夠在有別于裝載有規(guī)定的處理工序前的基板的手的其他手裝載該處理工序后的基板，也能夠簡(jiǎn)化結(jié)構(gòu)。
[0010]用于解決問題的技術(shù)方案
[0011]為了解決上述問題，本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人的特征在于包括:第一手以及第二手，所述第一手以及所述第二手包括具有一個(gè)裝載一片基板的基板裝載部的第一手部和具有以規(guī)定的間距在上下方向上重疊配置的多個(gè)基板裝載部的第二手部；第一臂，第一手的第一手部以及第二手部能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地連接到所述第一臂的末端側(cè)；第二臂，第二手的第一手部以及第二手部能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地連接到所述第二臂的末端側(cè)；臂支承部，所述臂支承部將第一臂的基端側(cè)以及第二臂的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地連接；柱部，所述柱部將臂支承部保持為能夠朝向上下方向移動(dòng)；第一手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第一手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)使第一手的第一手部相對(duì)于第一臂轉(zhuǎn)動(dòng)；第二手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第二手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)使第一手的第二手部相對(duì)于第一臂轉(zhuǎn)動(dòng)；第三手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第三手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)使第二手的第一手部相對(duì)于第二臂轉(zhuǎn)動(dòng)；第四手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第四手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)使第二手的第二手部相對(duì)于第二臂轉(zhuǎn)動(dòng)；第一臂轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第一臂轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)使第一臂相對(duì)于臂支承部轉(zhuǎn)動(dòng)；以及第二臂轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第二臂轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)使第二臂相對(duì)于臂支承部轉(zhuǎn)動(dòng)，第一手的第一手部與第二手部以彼此在上下方向上重疊的方式、且以使第一手的第一手部的轉(zhuǎn)動(dòng)中心與第一手的第二手部的轉(zhuǎn)動(dòng)中心一致的方式配置，第二手的第一手部與第二手部以彼此在上下方向上重疊的方式、且以使第二手的第一手部的轉(zhuǎn)動(dòng)中心與第二手的第二手部的轉(zhuǎn)動(dòng)中心一致的方式配置，第一臂安裝于臂支承部的上表面?zhèn)?，第二臂安裝于臂支承部的下表面?zhèn)?，第一臂以及第二臂以使第一臂的轉(zhuǎn)動(dòng)中心與第二臂的轉(zhuǎn)動(dòng)中心一致的方式配置。
[0012]在本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人中，第一手包括:第一手部，所述第一手部具有一個(gè)基板裝載部；以及第二手部，所述第二手部具有多個(gè)基板裝載部，所述第一手部以及所述第二手部能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地連接到第一臂。并且，本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人包括:第一手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第一手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)使第一手的第一手部相對(duì)于第一臂轉(zhuǎn)動(dòng)；以及第二手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第二手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)使第一手的第二手部相對(duì)于第一臂轉(zhuǎn)動(dòng)，第一手的第一手部以及第二手部以彼此在上下方向上重疊配置的方式、且以使第一手的第一手部的轉(zhuǎn)動(dòng)中心與第一手的第二手部的轉(zhuǎn)動(dòng)中心一致的方式配置。同樣，在本發(fā)明中，第二手包括:第一手部，所述第一手部具有一個(gè)基板裝載部；以及第二手部，所述第二手部具有多個(gè)基板裝載部，所述第一手部以及第二手部能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地連接到第二臂。并且，本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人包括:第三手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第三手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)使第二手的第一手部相對(duì)于第二臂轉(zhuǎn)動(dòng)；以及第四手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第四手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)使第二手的第二手部相對(duì)于第二臂轉(zhuǎn)動(dòng)，第二手的第一手部與第二手部以彼此在上下方向上重疊的方式、且以使第二手的第一手部的轉(zhuǎn)動(dòng)中心與第二手的第二手部的轉(zhuǎn)動(dòng)中心一致的方式配置。
[0013]因此，在本發(fā)明中，可將第一手部的基板裝載部與第二手部的基板裝載部重疊配置而能夠在第一手部與第二手部的雙方裝載基板，并且可將第一手部的基板裝載部與第二手部的基板裝載部錯(cuò)開配置而能夠僅在第一手部的基板裝載部裝載基板或能夠僅在第二手部的基板裝載部裝載基板。因此，在本發(fā)明中，能夠改變可同時(shí)搬運(yùn)的基板的片數(shù)。
[0014]并且，由于本發(fā)明的工業(yè)用機(jī)器人包括:第一手；第二手；第一臂，所述第一臂將第一手能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地連接；第二臂，所述第二臂將第二手能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地連接；第一臂轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第一臂轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)使第一臂相對(duì)于臂支承部轉(zhuǎn)動(dòng)；以及第二臂轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述第二臂轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)使第二臂相對(duì)于臂支承部轉(zhuǎn)動(dòng)，因此能夠使第一手和第二手單獨(dú)動(dòng)作。因此，在本發(fā)明中，例如，可將規(guī)定的處理工序之前的基板裝載于第一手，將該處理工序之后的基板裝載于第二手，其結(jié)果是能夠在有別于裝載過規(guī)定的處理工序之前的基板的手的其他手處裝載該處理工序之后的基板。并且，在本發(fā)明中，由于第一臂以及第二臂被安裝于共用的臂支承部，因此與將第一臂的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地連接的臂支承部和將第二臂的基端側(cè)能夠轉(zhuǎn)動(dòng)地連接的臂支承部被單獨(dú)設(shè)置的情況相比，能夠簡(jiǎn)化工業(yè)用機(jī)器人的結(jié)構(gòu)。如此，在本發(fā)明中，即使可在有別于裝載過規(guī)定的處理工序之前的基板的手的其他手處裝載該處理工序之后的基板，也能夠簡(jiǎn)化工業(yè)用機(jī)器人的結(jié)構(gòu)。
[0015]在本發(fā)明中，優(yōu)選工業(yè)用機(jī)器人具有水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)使柱部朝向水平方向移動(dòng)。如果這樣構(gòu)成，則通過工業(yè)用機(jī)器人能夠在更為寬廣的范圍內(nèi)搬運(yùn)基板。
[0016]在本發(fā)明中，例如，構(gòu)成第一手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的第一手部驅(qū)動(dòng)馬達(dá)以及構(gòu)成第二手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的第二手部驅(qū)動(dòng)馬達(dá)配置在第一臂的內(nèi)部，構(gòu)成第三手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的第三手部驅(qū)動(dòng)馬達(dá)以及構(gòu)成第四手部轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的第四手部驅(qū)動(dòng)馬達(dá)配置在第二臂的內(nèi)部。并且，在本發(fā)明中，例如，構(gòu)成第一臂轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的第一臂驅(qū)動(dòng)馬達(dá)以及構(gòu)成第二臂轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的第二臂驅(qū)動(dòng)馬達(dá)配置在臂支承部的內(nèi)部。
[0017]在本發(fā)明中，優(yōu)選在第一手的第一手部以及第二手部裝載規(guī)定的處理工序之前的基板，在第二手的第一手部以及第二手部裝載處理工序之后的基板。在本發(fā)明中，處理工序例如為清洗基板