一種薄片運輸手爪裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種運輸裝置，特別涉及一種薄片運輸手爪裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體專用設(shè)備制造過程中，實現(xiàn)超薄硅片的自動取、放和自動傳輸是一項關(guān)鍵技術(shù)。在現(xiàn)代化的生產(chǎn)設(shè)備中，常見的對晶片抓取裝置有:夾持式、電磁吸附式和真空吸盤吸附式等。其中，夾持式的晶片抓取裝置容易造成晶片損壞，電磁吸附式的晶片抓取裝置和真空吸盤吸附式晶片抓取裝置結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜，零件加工難度大，還存在難于控制的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明提供了一種薄片運輸手抓裝置，其目的是為了解決傳統(tǒng)薄片手抓裝置可靠性低、結(jié)構(gòu)復(fù)雜的技術(shù)問題。
[0004]為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的實施例提供了一種薄片運輸手爪裝置，包括:吸盤、法蘭盤、擺臂下盤、擺臂上盤、擺臂；其中，
[0005]所述法蘭盤上設(shè)置有一中心柱；
[0006]所述擺臂下盤固定連接于所述擺臂的第一面，所述擺臂上盤固定連接于所述擺臂的第二面；所述中心柱穿過所述擺臂下盤、所述擺臂上盤和所述擺臂；其中，
[0007]所述擺臂的第一面和所述擺臂的第二面是所述擺臂上相對的兩個面；
[0008]所述吸盤與所述法蘭盤固定連接，所述中心柱與所述法蘭盤的第一面連接，所述吸盤與所述法蘭盤的第二面連接；其中，
[0009]所述法蘭盤的第一面和所述法蘭盤的第二面是所述法蘭盤上相對的兩個面。
[0010]其中，上述薄片運輸手爪裝置中，所述吸盤上設(shè)有一微孔陶瓷。
[0011]其中，上述薄片運輸手爪裝置中，所述法蘭盤的徑向設(shè)有一真空通道。
[0012]其中，上述薄片運輸手爪裝置中，所述真空通道的靠近所述法蘭盤中心的一端與微孔陶瓷導(dǎo)通連接。
[0013]其中，上述薄片運輸手爪裝置中，所述吸盤和所述法蘭盤的第二面通過螺釘固定連接。
[0014]其中，上述薄片運輸手爪裝置中，所述擺臂下盤和所述擺臂上盤分別通過螺釘與所述擺臂固定連接。
[0015]其中，上述薄片運輸手爪裝置中，所述擺臂的中心孔內(nèi)壁連接有一直線滾珠導(dǎo)套。
[0016]其中，上述薄片運輸手爪裝置中，所述擺臂下盤、所述擺臂上盤和所述擺臂通過所述直線滾珠導(dǎo)套套設(shè)在所述中心柱上，并通過螺帽鎖止。
[0017]其中，上述薄片運輸手爪裝置中，還包括彈簧，所述彈簧套設(shè)在所述中心柱上。
[0018]其中，上述薄片運輸手爪裝置中，所述彈簧連接于所述法蘭盤和直線滾珠導(dǎo)套。
[0019]本發(fā)明的上述方案有如下的有益效果:
[0020]本發(fā)明實施例提供的一種薄片運輸手爪裝置，不僅簡單實用、操作方便，并且具有結(jié)構(gòu)可靠、運行平穩(wěn)的優(yōu)點。由于采用了彈簧和直線滾珠導(dǎo)套的雙重結(jié)構(gòu)設(shè)計，使該裝置整體結(jié)構(gòu)緊湊，能夠起到緩沖的作用，防止碎片。
【附圖說明】
[0021]圖1為發(fā)明實施例的薄片運輸手抓裝置的剖面圖；
[0022]圖2為發(fā)明實施例的薄片運輸手抓裝置的實體圖；
[0023]圖3為發(fā)明實施例的法蘭盤的剖面圖；
[0024]圖4為發(fā)明實施例的法蘭盤的實體圖。
[0025]附圖標(biāo)記說明:
[0026]1、吸盤；
[0027]2、法蘭盤；
[0028]3、擺臂下盤；
[0029]4、彈簧；
[0030]5、擺臂上盤；
[0031]6、直線滾珠導(dǎo)套；
[0032]7、螺帽；
[0033]8、擺臂；
[0034]9、中心柱。
【具體實施方式】
[0035]為使本發(fā)明要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實施例進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0036]如圖1、圖2、圖3和圖4所示，本發(fā)明的實施例提供了一種薄片運輸手爪裝置，包括:吸盤1、法蘭盤2、擺臂下盤3、擺臂上盤5、擺臂8。其中，法蘭盤2上設(shè)置有一中心柱9。擺臂下盤3固定連接于擺臂8的第一面，擺臂上盤5固定連接于擺臂8的第二面；中心柱9穿過擺臂下盤3、擺臂上盤5和擺臂8 ;其中，擺臂8的第一面和擺臂8的第二面是擺臂8上相對的兩個面；吸盤1與法蘭盤2固定連接，中心柱9與法蘭盤2的第一面連接，吸盤1與法蘭盤2的第二面連接；其中，法蘭盤2的第一面和法蘭盤2的第二面是法蘭盤2上相對的兩個面。該實施例可以實現(xiàn)橫向和縱向的移動吸附薄片。
[0037]進(jìn)一步地，上述薄片運輸手爪裝置中，吸盤1上設(shè)有一微孔陶瓷。法蘭盤2的徑向設(shè)有一真空通道。真空通道的靠近法蘭盤2中心的一端與微孔陶瓷導(dǎo)通連接。在真空通道位于法蘭盤2邊緣的一端連接真空栗，在真空栗的作用下，通過吸盤1上的微孔陶瓷來吸附薄片。
[0038]進(jìn)一步地，上述薄片運輸手爪裝置中，吸盤1和法蘭盤2的第二面通過螺釘固定連接。擺臂下盤3和擺臂上盤5也分別通過螺釘與擺臂8固定連接。通過螺釘進(jìn)行緊固增加了各部件的連接強度。
[0039]進(jìn)一步地，上述薄片運輸手爪裝置中，其特征在于，擺臂8的中心孔內(nèi)壁連接有一直線滾珠導(dǎo)套6。擺臂下盤3、擺臂上盤5和擺臂8通過直線滾珠導(dǎo)套6套設(shè)在法蘭盤的中心柱9上，并通過螺帽7鎖止。擺臂上盤5和擺臂下盤3對直線滾珠導(dǎo)套6起到定位的作用，使擺臂8和直線滾珠導(dǎo)套6的連接穩(wěn)固。螺帽7起到限位的作用，防止擺臂8沿直線滾珠導(dǎo)套6縱向移動時脫落。
[0040]進(jìn)一步地，上述薄片運輸手爪裝置中，還包括彈簧4，彈簧4套設(shè)在中心柱9上。彈簧4還連接于法蘭盤2和直線滾珠導(dǎo)套6。在彈簧4壓縮時，吸盤1隨著直線滾珠導(dǎo)套6向上滑動，在吸附薄片時起到一定的緩沖作用，防止碎片。
[0041]本發(fā)明實施例提供的一種薄片運輸手爪裝置，不僅簡單實用、操作方便，并且具有結(jié)構(gòu)可靠、運行平穩(wěn)的優(yōu)點。由于采用了彈簧和直線滾珠導(dǎo)套的雙重結(jié)構(gòu)設(shè)計，使該裝置整體結(jié)構(gòu)緊湊，能夠起到緩沖的作用，防止碎片。
[0042]以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為發(fā)明的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種薄片運輸手爪裝置，其特征在于，包括:吸盤(1)、法蘭盤(2)、擺臂下盤(3)、擺臂上盤(5)、擺臂⑶；其中， 所述法蘭盤(2)上設(shè)置有一中心柱(9); 所述擺臂下盤(3)固定連接于所述擺臂(8)的第一面，所述擺臂上盤(5)固定連接于所述擺臂(8)的第二面；所述中心柱(9)穿過所述擺臂下盤(3)、所述擺臂上盤(5)和所述擺臂(8);其中， 所述擺臂(8)的第一面和所述擺臂(8)的第二面是所述擺臂(8)上相對的兩個面； 所述吸盤(I)與所述法蘭盤(2)固定連接，所述中心柱(9)與所述法蘭盤(2)的第一面連接，所述吸盤(I)與所述法蘭盤(2)的第二面連接；其中， 所述法蘭盤(2)的第一面和所述法蘭盤(2)的第二面是所述法蘭盤(2)上相對的兩個面。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄片運輸手爪裝置，其特征在于，所述吸盤(I)上設(shè)有一微孔陶瓷。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄片運輸手爪裝置，其特征在于，所述法蘭盤(2)的徑向設(shè)有一真空通道。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的薄片運輸手爪裝置，其特征在于，所述真空通道的靠近所述法蘭盤(2)中心的一端與微孔陶瓷導(dǎo)通連接。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄片運輸手爪裝置，其特征在于，所述吸盤(I)和所述法蘭盤(2)的第二面通過螺釘固定連接。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄片運輸手爪裝置，其特征在于，所述擺臂下盤(3)和所述擺臂上盤(5)分別通過螺釘與所述擺臂(8)固定連接。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄片運輸手爪裝置，其特征在于，所述擺臂(8)的中心孔內(nèi)壁連接有一直線滾珠導(dǎo)套(6)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的薄片運輸手爪裝置，其特征在于，所述擺臂下盤(3)、所述擺臂上盤(5)和所述擺臂(8)通過所述直線滾珠導(dǎo)套(6)套設(shè)在所述中心柱(9)上，并通過螺帽(7)鎖止。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的薄片運輸手爪裝置，其特征在于，還包括彈簧(4)，所述彈簧(4)套設(shè)在所述中心柱(9)上。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的薄片運輸手爪裝置，其特征在于，所述彈簧(4)連接于所述法蘭盤(2)和直線滾珠導(dǎo)套(6)。
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種薄片運輸手爪裝置，包括：吸盤、法蘭盤、擺臂下盤、擺臂上盤、擺臂；其中，所述法蘭盤上設(shè)置有一中心柱；所述擺臂下盤固定連接于所述擺臂的第一面，所述擺臂上盤固定連接于所述擺臂的第二面；所述中心柱穿過所述擺臂下盤、所述擺臂上盤和所述擺臂；其中，所述擺臂的第一面和所述擺臂的第二面是所述擺臂上相對的兩個面；所述吸盤與所述法蘭盤固定連接，所述中心柱與所述法蘭盤的第一面連接，所述吸盤與所述法蘭盤的第二面連接；其中，所述法蘭盤的第一面和所述法蘭盤的第二面是所述法蘭盤上相對的兩個面。本發(fā)明解決了傳統(tǒng)薄片抓取裝置可靠性低、結(jié)構(gòu)復(fù)雜的技術(shù)問題。
【IPC分類】B25J15/06
【公開號】CN105345829
【申請?zhí)枴緾N201510872638
【發(fā)明人】張文斌, 楊生榮, 衣忠波, 劉國敬, 賀東葛
【申請人】北京中電科電子裝備有限公司
【公開日】2016年2月24日
【申請日】2015年12月2日