運(yùn)送裝置以及真空裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及例如運(yùn)送基板等運(yùn)送物的運(yùn)送裝置，尤其涉及適于半導(dǎo)體制造裝置等中的真空裝置中的運(yùn)送裝置的技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0002]圖17以及圖18用于說明現(xiàn)有技術(shù)的課題。
[0003]以往，作為真空裝置，公知有圖17(a)所示那樣在四邊形的運(yùn)送室的各邊具有兩個處理室的裝置。
[0004]例如圖17(a)所示，在該真空處理裝置101中，在運(yùn)送室100周圍的邊上設(shè)有一對處理室102和103、104和105、108和109(附圖標(biāo)記106、107是準(zhǔn)備、取出室)。
[0005]另一方面，作為這種運(yùn)送裝置，公知有為了提高基板運(yùn)送的通過量而具有一對基板載置部121、122的運(yùn)送裝置120。
[0006]但是，在這種現(xiàn)有技術(shù)中，例如大多是處理室102、103的間隔、即基板110、111與運(yùn)送裝置120的基板載置部121、122的間隔不相等，有定位作業(yè)困難的課題。
[0007]此外，若基板110、111與運(yùn)送裝置120的基板載置部121、122的間隔大，則例如圖17(b)所示，不能夠?qū)蓚€基板110、111同時載置在運(yùn)送裝置120的基板載置部121、122上。
[0008]在這種情況下，例如圖18(a)、圖18(b)所示，也通過使運(yùn)送裝置120回轉(zhuǎn)而將基板載置部121、122傾斜，將兩個基板110、111逐個載置在基板載置部121、122上。
[0009]但是，若進(jìn)行這種作業(yè)，則有通過量降低的課題。
[0010]專利文獻(xiàn):日本國特開2013 — 084823號公報(bào)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]本發(fā)明是為了解決這種現(xiàn)有技術(shù)的課題而提出的，其目的在于提供一種在能夠同時運(yùn)送一對運(yùn)送物的運(yùn)送裝置中，使定位作業(yè)容易，并且提高基板運(yùn)送之際的通過量。
[0012]為了實(shí)現(xiàn)上述目的的本發(fā)明的運(yùn)送裝置具備:第I以及第2伸縮驅(qū)動軸，以規(guī)定的旋轉(zhuǎn)軸為中心同心狀地配置，并設(shè)置成能夠在水平面內(nèi)分別獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)，用于驅(qū)動第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)伸縮;第I以及第2回轉(zhuǎn)驅(qū)動軸，與前述第I以及第2伸縮驅(qū)動軸為同心狀地配置，用于使前述第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)回轉(zhuǎn)；前述第I運(yùn)送機(jī)構(gòu)被前述第I伸縮驅(qū)動軸驅(qū)動而伸縮，將第I運(yùn)送部沿著運(yùn)送物運(yùn)送方向運(yùn)送，并且前述第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)被前述第2伸縮驅(qū)動軸驅(qū)動而伸縮，將第2運(yùn)送部沿著運(yùn)送物運(yùn)送方向運(yùn)送，前述第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)具有第I以及第2回轉(zhuǎn)驅(qū)動部件，分別被前述第I以及第2回轉(zhuǎn)驅(qū)動軸驅(qū)動，使該第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)分別以前述旋轉(zhuǎn)軸為中心回轉(zhuǎn)，前述第I運(yùn)送機(jī)構(gòu)和前述第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)隔著前述旋轉(zhuǎn)軸配置在前述運(yùn)送物運(yùn)送方向的兩側(cè)。
[0013]此外，本發(fā)明的運(yùn)送裝置中，前述第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)配置在相同的高度位置。
[0014]此外，本發(fā)明的運(yùn)送裝置具有第I運(yùn)送裝置和第2運(yùn)送裝置，前述第I運(yùn)送裝置具備:第I以及第2伸縮驅(qū)動軸，以規(guī)定的旋轉(zhuǎn)軸為中心同心狀地配置，并設(shè)置成能夠在水平面內(nèi)分別獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)，用于驅(qū)動第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)伸縮;第I以及第2回轉(zhuǎn)驅(qū)動軸，與前述第I以及第2伸縮驅(qū)動軸為同心狀地配置，用于使前述第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)回轉(zhuǎn)，前述第I運(yùn)送機(jī)構(gòu)被前述第I伸縮驅(qū)動軸驅(qū)動而伸縮，將第I運(yùn)送部沿著運(yùn)送物運(yùn)送方向運(yùn)送，并且前述第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)被前述第2伸縮驅(qū)動軸驅(qū)動而伸縮，將第2運(yùn)送部沿著運(yùn)送物運(yùn)送方向運(yùn)送，前述第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)具有第I以及第2回轉(zhuǎn)驅(qū)動部件，分別被前述第I以及第2回轉(zhuǎn)驅(qū)動軸驅(qū)動，使該第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)分別以前述旋轉(zhuǎn)軸為中心回轉(zhuǎn)，前述第I運(yùn)送機(jī)構(gòu)和前述第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)隔著前述旋轉(zhuǎn)軸配置在前述運(yùn)送物運(yùn)送方向的兩側(cè)，前述第2運(yùn)送裝置具有第3以及第4伸縮驅(qū)動軸，與前述旋轉(zhuǎn)軸為中心同心狀地配置，并設(shè)置成能夠在水平面內(nèi)分別獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)，用于分別驅(qū)動與前述第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)相對應(yīng)的第3以及第4運(yùn)送機(jī)構(gòu)伸縮，前述第3以及第4運(yùn)送機(jī)構(gòu)以相對于前述第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)不同的高度位置、隔著前述旋轉(zhuǎn)軸配置在前述運(yùn)送物運(yùn)送方向的兩側(cè)，并且分別被前述第3以及第4伸縮驅(qū)動軸驅(qū)動而伸縮，將第3以及第4運(yùn)送部分別沿著運(yùn)送物運(yùn)送方向運(yùn)送，前述第3以及第4運(yùn)送機(jī)構(gòu)具有分別與設(shè)在前述第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)上的前述第I以及第2回轉(zhuǎn)驅(qū)動部件相連的聯(lián)桿機(jī)構(gòu)，通過該聯(lián)桿機(jī)構(gòu)使前述第3以及第4運(yùn)送機(jī)構(gòu)分別以前述旋轉(zhuǎn)軸為中心回轉(zhuǎn)。
[0015]此外，本發(fā)明的運(yùn)送裝置中，前述第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)和前述第3以及第4運(yùn)送機(jī)構(gòu)分別配置在相同的高度位置。
[0016]此外，本發(fā)明的真空裝置具有真空槽和設(shè)在前述真空槽內(nèi)的運(yùn)送裝置，前述運(yùn)送裝置具備:第I以及第2伸縮驅(qū)動軸，以規(guī)定的旋轉(zhuǎn)軸為中心同心狀地配置，并設(shè)置成能夠在水平面內(nèi)分別獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)，用于驅(qū)動第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)伸縮;第I以及第2回轉(zhuǎn)驅(qū)動軸，與前述第I以及第2伸縮驅(qū)動軸為同心狀地配置，用于使前述第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)回轉(zhuǎn)，前述第I運(yùn)送機(jī)構(gòu)被前述第I伸縮驅(qū)動軸驅(qū)動而伸縮，將第I運(yùn)送部沿著運(yùn)送物運(yùn)送方向運(yùn)送，并且前述第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)被前述第2伸縮驅(qū)動軸驅(qū)動而伸縮，將第2運(yùn)送部沿著運(yùn)送物運(yùn)送方向運(yùn)送，前述第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)具有第I以及第2回轉(zhuǎn)驅(qū)動部件，分別被前述第I以及第2回轉(zhuǎn)驅(qū)動軸驅(qū)動，使該第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)分別以前述旋轉(zhuǎn)軸為中心回轉(zhuǎn)，前述第I運(yùn)送機(jī)構(gòu)和前述第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)隔著前述旋轉(zhuǎn)軸配置在前述運(yùn)送物運(yùn)送方向的兩側(cè)。
[0017]此外，本發(fā)明的真空裝置中具有:一對運(yùn)送物檢測傳感器，由設(shè)在前述真空槽內(nèi)的多個傳感器構(gòu)成，分別檢測由前述第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)運(yùn)送的一對運(yùn)送物;控制部，基于由前述一對運(yùn)送物檢測傳感器檢測到的結(jié)果，將前述第I以及第2回轉(zhuǎn)驅(qū)動軸的動作分別控制成前述一對運(yùn)送物分別配置在一對運(yùn)送物配置部上。
[0018]在本發(fā)明的情況下，由于將用于分別使第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)回轉(zhuǎn)的第I以及第2回轉(zhuǎn)驅(qū)動軸配置成與分別驅(qū)動第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)伸縮的第I以及第2伸縮驅(qū)動軸為同心狀，通過這些第I以及第2回轉(zhuǎn)驅(qū)動軸分別驅(qū)動第I以及第2回轉(zhuǎn)驅(qū)動部件，使第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)分別以旋轉(zhuǎn)軸為中心回轉(zhuǎn)，所以能夠使隔著旋轉(zhuǎn)軸在運(yùn)送物運(yùn)送方向的兩側(cè)配置在例如相同的高度位置的第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)的運(yùn)送物載置部離開或接近，從而調(diào)整其間的間隔。
[0019]其結(jié)果，根據(jù)本發(fā)明，在兩個運(yùn)送物并排配置的情況下，由于能夠?qū)⒌贗以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)的基板載置部相對于這些運(yùn)送物或者配置該運(yùn)送物的部分正確地定位，所以能夠容易地進(jìn)行定位作業(yè)，此外，能夠提高基板運(yùn)送之際的通過量。
[0020]此外，作為第I運(yùn)送裝置具有上述的運(yùn)送裝置，作為第2運(yùn)送裝置具有第3以及第4伸縮驅(qū)動軸，以旋轉(zhuǎn)軸為中心同心狀地配置，并設(shè)置成能夠在水平面內(nèi)分別獨(dú)立地旋轉(zhuǎn)，用于分別驅(qū)動與第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)相對應(yīng)的第3以及第4運(yùn)送機(jī)構(gòu)伸縮，第3以及第4運(yùn)送機(jī)構(gòu)以相對于第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)不同的高度位置、隔著旋轉(zhuǎn)軸配置在運(yùn)送物運(yùn)送方向的兩偵U，并且分別被第3以及第4伸縮驅(qū)動軸驅(qū)動而伸縮，將第3以及第4運(yùn)送部分別沿著運(yùn)送物運(yùn)送方向運(yùn)送，第3以及第4運(yùn)送機(jī)構(gòu)具有分別與設(shè)在第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)上的第I以及第2回轉(zhuǎn)驅(qū)動部件相連的聯(lián)桿機(jī)構(gòu)，在通過聯(lián)桿機(jī)構(gòu)使第3以及第4運(yùn)送機(jī)構(gòu)分別以旋轉(zhuǎn)軸為中心回轉(zhuǎn)的情況下，能夠通過第3以及第4伸縮驅(qū)動軸使第3以及第4運(yùn)送機(jī)構(gòu)伸縮，并且使第3以及第4運(yùn)送機(jī)構(gòu)的基板載置部離開或接近，從而調(diào)整其間的間隔。
[0021]其結(jié)果，根據(jù)本發(fā)明，由于能夠通過第I以及第2運(yùn)送機(jī)構(gòu)、第3以及第4運(yùn)送機(jī)構(gòu)進(jìn)行基板的運(yùn)送，所以能夠進(jìn)一步提高基板運(yùn)送之際的通過量。
[0022]根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種在能夠同時運(yùn)送一對運(yùn)送物的運(yùn)送裝置中，使定位作業(yè)容易，并且提高基板運(yùn)送之際的通過量的技術(shù)。
【附圖說明】
[0023]圖1(a)、圖1(b)是表示本發(fā)明所涉及的運(yùn)送裝置的實(shí)施方式的下側(cè)運(yùn)送裝置的俯視圖；
圖2(a)、圖2(b)是表示同一實(shí)施方式的上側(cè)運(yùn)送裝置的俯視圖；
圖3(a)表示同一運(yùn)送裝置的結(jié)構(gòu)，是從運(yùn)送方向下游一側(cè)觀察的附圖，圖3(b)是表示同一運(yùn)送裝置的結(jié)構(gòu)的俯視圖，圖3(c)表示同一運(yùn)送裝置的結(jié)構(gòu)，是從運(yùn)送方向上游一側(cè)觀察的附圖；
圖4是表示下側(cè)運(yùn)送機(jī)構(gòu)的伸長動作的俯視圖；
圖5是表示上側(cè)運(yùn)送機(jī)構(gòu)的伸長動作的俯視圖；
圖6(a)、圖6(b)是表示本實(shí)施方式中的上側(cè)運(yùn)送裝置以及下側(cè)運(yùn)送裝置的微小回轉(zhuǎn)動作的說明圖(之一)；
圖7(a)、圖7(b)是表示本實(shí)施方式中的上側(cè)運(yùn)送裝置以及下側(cè)運(yùn)送裝置的微小回轉(zhuǎn)動作的說明圖(之二)；
圖8(a)、圖8(b)是表示本實(shí)施方式中的上側(cè)運(yùn)送裝置以及下側(cè)運(yùn)送裝置的微小回轉(zhuǎn)動作的說明圖(之三)；
圖9(a)、圖9(b)是表示本實(shí)施方式中的上側(cè)運(yùn)送裝置以及下側(cè)運(yùn)送裝置的微小回轉(zhuǎn)動作的說明圖(之四)；
圖10是表示本發(fā)明所涉及的真空裝置的實(shí)施方式的俯視圖(之一)；
圖11是表示本發(fā)明所涉及的真空裝置的實(shí)施方式的俯視圖(之二)；
圖12是表示本發(fā)明所涉及的真空裝置的實(shí)施方式的俯視圖(之三)；
圖13是表示本發(fā)明所涉及的真空裝置的其它實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的俯視圖；
圖14是表示本發(fā)明所涉及的真空裝置的其它實(shí)施方式的要部結(jié)構(gòu)的說明圖；
圖15是表示本發(fā)明所涉及的真空裝置的其它實(shí)施方式的回路系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)的框圖；
圖16(a)?圖16(e)是表示本實(shí)施方式中的基板的位置檢測動作的說明圖；
圖17(a)、圖17(b)是用于說明現(xiàn)有技術(shù)的課題的附圖(之一)；
圖18(a)、圖18(b)是用于說明現(xiàn)有技術(shù)的課題的附圖(之二)。
[0024]附圖標(biāo)記說明
1:運(yùn)送裝置，1A:下側(cè)運(yùn)送裝置(第I運(yùn)送裝置)，1B:上側(cè)運(yùn)送裝置(第2運(yùn)送裝置)，2L:左下側(cè)運(yùn)送機(jī)構(gòu)(第I運(yùn)送機(jī)構(gòu))，2R:右下側(cè)運(yùn)送機(jī)構(gòu)(第2運(yùn)送機(jī)構(gòu))，3a:第I左下側(cè)平行曲柄機(jī)構(gòu)，3b:第2左下側(cè)平行曲柄機(jī)構(gòu)，4a:第I右下側(cè)平行曲柄機(jī)構(gòu)，4b:第2右下側(cè)平行曲柄機(jī)構(gòu)，5a:第I左上側(cè)平行曲柄機(jī)構(gòu)，5b:第2左上側(cè)平行曲柄機(jī)構(gòu)，6a:第I右上側(cè)平行曲柄機(jī)構(gòu)，6b:第2右上側(cè)平行曲柄機(jī)構(gòu)，7L:左上側(cè)運(yùn)送機(jī)構(gòu)(第3運(yùn)送機(jī)構(gòu))，7R:右上側(cè)運(yùn)送機(jī)構(gòu)(第4運(yùn)送機(jī)構(gòu))，10:真空裝置，11:第I伸縮驅(qū)動軸，12:第2伸縮驅(qū)動軸，13:第3伸縮驅(qū)動軸，14:第4伸縮驅(qū)動軸，15:第I回轉(zhuǎn)驅(qū)動軸，16:第2回轉(zhuǎn)驅(qū)動軸，20:基板(運(yùn)送物)，20L、20R:基板配置部(運(yùn)送物配置部)，31:第I回轉(zhuǎn)驅(qū)動部件，31a:連結(jié)部件，32:第2回轉(zhuǎn)驅(qū)動部件，32&:連結(jié)部件，80:運(yùn)送室(真空槽)，81、82、