拆除工具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種拆除工具。
【背景技術(shù)】
[0002]在光罩制作過程中，有時需要將貼附在光罩上的金屬片拆除，貼附有金屬片的光罩如圖1所示。由于金屬片通過膠水貼附在光罩上，因此拆除金屬片時需要先將通電后的電烙鐵附在金屬片上，使金屬片被加熱，然后通過熱傳導(dǎo)原理使膠水融化，再通過刮蹭金屬片表面將金屬片從光罩上拆除。最后，用金屬片將殘留在光罩表面的膠水刮干凈。在加熱拆除這個過程中，由于現(xiàn)有技術(shù)都是采用單桿電烙鐵，不僅在刮蹭金屬片時操作不便，還可能由于操作人員操作失當(dāng)而造成的光罩表面被電烙鐵或者金屬片刮傷。
[0003]此外，在加熱金屬片時會產(chǎn)生大量的白煙，操作不當(dāng)會依附在光罩表面產(chǎn)生白霧。并且金屬片加熱后非常燙，都是直接用單柄電烙鐵通過刮蹭剔除到高架地板上，在燙壞地板的同時也有可能造成人員燙傷。
[0004]因此，在整個拆除金屬片和去除殘膠的過程中，如果沒有任何防護(hù)，很有可能出現(xiàn)刮蹭時光罩被刮傷的現(xiàn)象。并且，在整個拆除金屬片的過程中，還存在著操作人員被燙傷以及吸入有害氣體兩大潛在危害。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點，本實用新型的目的在于提供一種拆除工具，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中單柄電烙鐵操作不便且光罩可能被刮傷的問題，以及操作人員可能被燙傷和吸入有害氣體的問題。
[0006]為實現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本實用新型提供一種拆除工具，用于拆除貼附在光罩上的金屬片，其中，所述拆除工具至少包括:電加熱裝置；所述電加熱裝置為主要由繞鉸合軸彼此樞轉(zhuǎn)的第一本體和第二本體構(gòu)成的鉗子結(jié)構(gòu)，所述第一本體和所述第二本體在交叉范圍內(nèi)的一側(cè)分別為第一鉗嘴和第二鉗嘴；所述第一鉗嘴具有加熱端頭，用以電加熱拆除所述金屬片；所述第二鉗嘴具有輔助端頭，用以輔助所述加熱端頭鉗住所述金屬片。
[0007]優(yōu)選地，所述加熱端頭的長度長于所述輔助端頭的長度。
[0008]優(yōu)選地，所述加熱端頭底面的面積略大于所述金屬片的面積，所述加熱端頭的底面設(shè)有保護(hù)套，所述保護(hù)套具有與所述金屬片的大小相適配的空缺區(qū)域，用以嵌入所述金屬片，以在拆除所述金屬片時保護(hù)所述光罩表面不被刮傷。
[0009]優(yōu)選地，所述保護(hù)套為特氟龍材質(zhì)的保護(hù)套。
[0010]優(yōu)選地，所述拆除工具還包括:設(shè)置在所述電加熱裝置上方的抽風(fēng)裝置，用以抽走在電加熱拆除所述金屬片時產(chǎn)生的有害氣體或煙霧。
[0011]優(yōu)選地，所述抽風(fēng)裝置具有抽風(fēng)口，所述抽風(fēng)口對準(zhǔn)所述加熱端頭的上方。
[0012]優(yōu)選地，所述加熱端頭為在通電后能發(fā)熱的電烙鐵。
[0013]優(yōu)選地，所述第一本體和所述第二本體在交叉范圍內(nèi)的另一側(cè)分別為與所述第一鉗嘴相連的第一鉗臂和與所述第二鉗嘴相連的第二鉗臂，以及分別與所述第一鉗臂和所述第二鉗臂相連的第一手柄和第二手柄。
[0014]如上所述，本實用新型的拆除工具，具有以下有益效果:采用鉗子結(jié)構(gòu)的電加熱裝置，加熱時可以鉗住金屬片，使得電加熱裝置和金屬片的接觸更穩(wěn)固、均勻，從而使得金屬片的受熱更均勻，熱傳導(dǎo)效果也更好，膠水的融化速度更快；另外，待膠水融化后，電加熱裝置可以將金屬片穩(wěn)穩(wěn)鉗住再移除出光罩，放到安全的收納盒內(nèi)，且只需操作人員單手操作，大大提升了操作的方便度，避免了移除金屬片時燙壞地板或者燙傷操作人員；另外，在電加熱裝置中的加熱端頭底面采用保護(hù)套，能夠在拆除金屬片時包住金屬片，保證了在拆除金屬片時光罩不會被刮傷；另外，可以額外加裝一個抽風(fēng)裝置，抽走在拆卸金屬片時產(chǎn)生的有害氣體或者煙霧，避免了光罩表面的保護(hù)膜在拆除金屬片的過程中遭到污染。
【附圖說明】
[0015]圖1顯示為本實用新型現(xiàn)有技術(shù)的貼附有金屬片的光罩的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2顯示為本實用新型一個實施例的拆除工具的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖3顯示為本實用新型一個實施例的拆除工具中保護(hù)套的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0018]圖4顯不為本實用新型另一實施例的拆除工具的結(jié)構(gòu)不意圖。
[0019]圖5顯不為本實用新型另一實施例的拆除工具的應(yīng)用不意圖。
[0020]元件標(biāo)號說明
[0021]I電加熱裝置
[0022]11鉸合軸
[0023]12-1第一鉗嘴
[0024]12-1-1 加熱端頭
[0025]12-1-2 保護(hù)套
[0026]12-1-3 空缺區(qū)域
[0027]12-2第一鉗臂
[0028]12-3 第一手柄
[0029]13-1第二鉗嘴
[0030]13-1-1 輔助端頭
[0031]13-2第二鉗臂
[0032]13-3 第二手柄
[0033]2抽風(fēng)裝置
[0034]21抽風(fēng)口
[0035]22固定桿
[0036]3光罩
[0037]4金屬片
【具體實施方式】
[0038]以下由特定的具體實施例說明本實用新型的實施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本實用新型的其他優(yōu)點及功效。
[0039]請參閱圖2至圖5。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本實用新型可實施的限定條件，故不具技術(shù)上的實質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本實用新型所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本實用新型所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本實用新型可實施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本實用新型可實施的范疇。
[0040]如圖2所示，本實用新型的一個實施例涉及一種拆除工具，用于拆除圖1中的貼附在光罩3上的金屬片4。其中，拆除工具至少包括:電加熱裝置I。該電加熱裝置I為主要由繞鉸合軸11彼此樞轉(zhuǎn)的第一本體和第二本體構(gòu)成的鉗子結(jié)構(gòu)，第一本體和第二本體在交叉范圍內(nèi)的一側(cè)分別為第一鉗嘴12-1和第二鉗嘴13-1。
[0041]第一鉗嘴12-1具有加熱端頭12-1-1，用以電加熱拆除金屬片4，金屬片4在受熱后通過熱傳導(dǎo)原理融化光罩3和金屬片4之間的膠水，從而拆分光罩3和金屬片4 ;其中，加熱端頭12-1-1為在通電后能發(fā)熱的電烙鐵。并且，第二鉗嘴13-1具有輔助端頭13-1-1，用以輔助加熱?而頭12-1-1鑰'住金屬片4。
[0042]在加熱端頭12-1-1加熱金屬片4時，輔助端頭13-1-1可以協(xié)同加熱端頭12_1_1鉗住金屬片4，使得電加熱裝