專利名稱：使用射頻微機(jī)電系統(tǒng)噴頭的打印頭的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種噴墨打印頭，更具體地說，涉及一種使用包括射頻(RF)空腔共振器的射頻微機(jī)電系統(tǒng)(RF MEMS)噴頭的打印頭。
背景技術(shù)：
通常，在噴墨打印頭、MEMS冷卻裝置等設(shè)備中可以使用用于噴射液滴的噴射裝置。對(duì)噴墨打印頭的驅(qū)動(dòng)方式可分成使用壓電元件的機(jī)械驅(qū)動(dòng)方式或者熱驅(qū)動(dòng)方式。
圖1表示使用壓電元件的傳統(tǒng)打印頭的斷面圖。
如圖1所示，使用壓電元件的傳統(tǒng)打印頭包括板形壓電體7，設(shè)置在壓電體7下面的、用于將壓電體7的縱向延伸運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)換成彎曲運(yùn)動(dòng)的振動(dòng)板6，設(shè)置在振動(dòng)板6下面的液體腔層1，該液體腔層包括一個(gè)用于存放墨水的液體腔2，和一個(gè)具有噴嘴5a的、用于噴射墨滴并覆蓋液體腔層1的噴嘴板5。噴嘴板5可以有多個(gè)噴嘴5a，每個(gè)噴嘴5a以預(yù)定的距離間隔隔開。
液體腔層1由加壓焊接的多層金屬層構(gòu)成。在液體腔層1中設(shè)有用于存放墨水的液體腔2和用于控制墨水流量的限流閥3。具有多個(gè)噴嘴5a的噴嘴板5位于液體腔層1的下面。振動(dòng)板6用于覆蓋設(shè)在液體腔層1上面的壓力腔4。限流閥3在液體腔2和壓力腔4之間提供流動(dòng)通道。噴嘴5a與壓力腔4連接。用于操作壓電體7的電極(未示出)設(shè)在振動(dòng)板6的上面。
當(dāng)壓電體7被選擇(即通過給壓電體施加電場(chǎng)，使壓電體中產(chǎn)生一取向)沿縱向延伸時(shí)，振動(dòng)板6彎曲并且壓力腔4的內(nèi)部壓力增加，通過噴嘴5a向外噴射墨水滴。在噴射墨水滴的同時(shí)，限流閥3阻擋留在壓力腔4中的墨水回流到液體腔2中。當(dāng)振動(dòng)板6的形狀和位置復(fù)原時(shí)，壓力腔4通過限流閥3從液體腔2中補(bǔ)充墨水。
為了制造振動(dòng)板6，用ZrO2制成半成品板材。然后，在所述板材的預(yù)定位置鉆出預(yù)定尺寸的孔。接著，在高溫例如至少約在1,000℃下加熱所述板材。另外，在薄ZrO2板上形成大小相同的下電極。
為了制造壓電體7，在帶有下電極的ZrO2板上通過絲網(wǎng)印刷印制精密布置的糊狀壓電體。然后高溫加熱已由絲網(wǎng)印刷印制在ZrO2板上的壓電體糊，從而在壓電體7上形成上電極。
使用上述壓電體的傳統(tǒng)噴墨打印頭的不足之處在于，由于壓電體操作速度的限制使其打印速度低。另外，這種傳統(tǒng)噴墨打印頭難于控制墨水的排放量。而且，制造工藝復(fù)雜并且結(jié)構(gòu)過于繁雜，因此集成化程度難于提高。
在噴墨打印頭的其它驅(qū)動(dòng)方式即熱驅(qū)動(dòng)方式中，加熱薄管以便產(chǎn)生空氣泡來增加管的內(nèi)部壓力。內(nèi)部壓力的增加導(dǎo)致液體排放。
具體地說，在半導(dǎo)體中形成墨水通道，并且圍繞通道設(shè)置熱敏電阻。然后，在熱敏電阻上施加電流，使熱敏電阻加熱，并且在所述通道中產(chǎn)生空氣泡。所產(chǎn)生的空氣泡使管內(nèi)壓力增加，因此墨水從管中排出。
噴墨打印頭使用的輸出裝置的輸出質(zhì)量隨墨水的質(zhì)量和排出墨水的量急劇變化。在打印彩色圖像時(shí)，如果排出墨水的量太多，打印出的圖像總體上變得較暗，因此打印出的圖像的分辨率較低。
另外，如果排出墨水的量太少，由于一些噴嘴沒有排出墨水，輸出的圖像變得模糊不清或者圖像質(zhì)量劣化。這種情況下，熱驅(qū)動(dòng)噴墨打印頭試圖通過調(diào)節(jié)施加在熱敏電阻上的電壓或者加熱時(shí)間來排出足夠的墨水。
可是，環(huán)境溫度和濕度條件對(duì)熱驅(qū)動(dòng)噴墨打印頭的影響非常大。在高溫和潮濕條件下，打印頭將出現(xiàn)輸出圖像太暗的問題。在低溫和潮濕的條件下，墨水不能排出或者輸出的圖像不清楚。另外，這種打印頭存在的問題是不易精確調(diào)節(jié)墨水排出的量，而且由于熱敏電阻的使用反應(yīng)速度的限制，致使墨水排放反應(yīng)速度低。再者，這類打印頭還存在結(jié)構(gòu)太復(fù)雜以致不容易使多個(gè)噴嘴高度集成的問題，因此，進(jìn)一步限制了輸出圖像的分辨率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的任務(wù)是試圖至少解決上述一部分問題和/或不足，并且提供一種使用射頻微機(jī)電系統(tǒng)(RF MEMS)噴頭的打印頭，這種打印頭能夠提高墨水的排放反應(yīng)速度，易于且能精確地調(diào)節(jié)排放的墨水，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單從而能使噴嘴高度集成。
通過所提供的MEMS噴頭可實(shí)現(xiàn)上述和其它特征及優(yōu)點(diǎn)，所述MEMS噴頭包括具有液體入口和液體出口的內(nèi)部壓力室；環(huán)繞內(nèi)部壓力室的空腔共振器，其中所述空腔共振器提供預(yù)定的空腔共振頻率信號(hào)，以增加內(nèi)部壓力室的內(nèi)部壓力；信號(hào)傳輸單元，用于響應(yīng)外部輸入的控制信號(hào)產(chǎn)生預(yù)定的空腔共振頻率信號(hào)，并通過空腔共振器將所產(chǎn)生的空腔共振頻率信號(hào)輸入到內(nèi)部壓力室中；液體室，用于將液體提供到內(nèi)部壓力室，該液體室通過液體入口與內(nèi)部壓力室流通，其中所述液體入口和液體出口穿過內(nèi)部壓力室和空腔共振器，以便當(dāng)空腔共振器使內(nèi)部壓力室的內(nèi)部壓力增加時(shí)，液體從內(nèi)部壓力室通過液體出口向外噴出。
優(yōu)選所述空腔共振器由具有氣密性密封結(jié)構(gòu)的金屬形成。
優(yōu)選RF MEMS噴頭還包括一個(gè)具有設(shè)置在與液體出口相應(yīng)位置上的噴嘴的基底，該基底焊在形成液體出口的空腔共振器的下面。
所述空腔共振器可以包括一個(gè)形成在空腔共振器下面的耦合縫，它與基底接觸，所述耦合縫接收來自空腔共振器的空腔共振頻率信號(hào)。所述信號(hào)傳輸單元可以設(shè)置在與耦合縫相應(yīng)的位置上，而所述基底設(shè)在它們之間。
所述信號(hào)傳輸單元可以包括用于產(chǎn)生空腔共振頻率信號(hào)的信號(hào)發(fā)生器和設(shè)置在與耦合縫相應(yīng)位置上用于通過耦合縫將空腔共振信號(hào)輸入給空腔共振器的信號(hào)輸入端。該信號(hào)傳輸單元還可以包括用于放大來自信號(hào)發(fā)生器的空腔共振頻率信號(hào)的信號(hào)放大器。
信號(hào)傳輸單元可以設(shè)置在基底的與液體出口相應(yīng)的位置，基底設(shè)置在它們之間，所述信號(hào)傳輸單元通過液體出口將空腔共振信號(hào)輸入空腔共振器，其中所述噴嘴延伸到與液體出口相應(yīng)的位置上。
在RF MEMS噴頭中，當(dāng)空腔共振器使內(nèi)部壓力室的內(nèi)部壓力增加時(shí)，液體入口可防止內(nèi)部壓力室中的液體回流到液體室中。
在本發(fā)明的一種實(shí)施方式中，所述基底還可包括多個(gè)噴嘴，每個(gè)噴嘴設(shè)在與多個(gè)液體出口中的一個(gè)相應(yīng)的位置上。類似地，所述由空腔共振器環(huán)繞的內(nèi)部壓力室可以是多個(gè)內(nèi)部壓力室，每個(gè)內(nèi)部壓力室由多個(gè)空腔共振器中的一個(gè)環(huán)繞，其中多個(gè)內(nèi)部壓力室中的每一個(gè)與多個(gè)內(nèi)部壓力室的相鄰的一個(gè)以預(yù)定的距離間隔設(shè)置。


下面通過參照附圖詳細(xì)描述的優(yōu)選實(shí)施方式本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將能更清楚地理解本發(fā)明的上述和其他特征和優(yōu)點(diǎn)。附圖中圖1是使用壓電元件的傳統(tǒng)打印頭的斷面圖；圖2A是根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施方式使用RF MEMS噴頭的打印頭的斷面圖；圖2B是圖2A所示的打印頭的底視圖；圖3A是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式使用RF MEMS噴頭的打印頭的斷面圖；圖3B是圖3A所示的打印頭的底視圖；具體實(shí)施方式

本申請(qǐng)以申請(qǐng)日為2002年10月17日、名稱為“使用RF MEMS噴頭的打印頭”的韓國(guó)專利申請(qǐng)第2002-63573號(hào)的全文作為參考。
下面將參照附圖所示的本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行全面說明。當(dāng)然，本發(fā)明可以用不同形式實(shí)現(xiàn)，而不限于本文所提出的實(shí)施方式。但確切地說，本文所提供的這些實(shí)施方式向本領(lǐng)域的技術(shù)人員徹底而全面地揭示且完整地表達(dá)了本發(fā)明的構(gòu)思。在附圖中，為了清楚起見，放大了層的厚度和區(qū)域。應(yīng)理解的是如果稱一層在另一層或基底“上”，可以是使該層直接處于另一層或基底上，或者也可以是插入層。另外，還要理解的是當(dāng)稱一層在另一層之“下”時(shí)，它可以直接在另一層的下面，也可以是一或多個(gè)插入層。再者，也應(yīng)理解到如果稱一層在兩層“之間”時(shí)，可以是只有該層在兩層之間，或者可以是一個(gè)或多個(gè)插入層。全部附圖中用相同的標(biāo)號(hào)表示相同的部件。
圖2A是本發(fā)明第一實(shí)施方式中使用的RF MEMS噴頭的打印頭的斷面圖。圖2B是圖2A所示的打印頭的底視圖。
如圖2A和2B所示，RF MEMS噴頭包括一個(gè)設(shè)置在其內(nèi)側(cè)的內(nèi)部壓力室27、一個(gè)設(shè)置在內(nèi)部壓力室27頂端的液體入口21、一個(gè)用于接收空腔共振頻率信號(hào)具有耦合縫23的空腔共振器20、和一個(gè)設(shè)置在內(nèi)部壓力室下端的液體出口30。
MEMS噴頭20還包括一個(gè)具有位于與液體出口30相應(yīng)位置上的噴嘴22的基底29。基底29焊在空腔共振器20的下面，信號(hào)傳輸單元31焊在基底29的下面。
信號(hào)傳輸單元31包括一信號(hào)輸入端24、一信號(hào)發(fā)生器25和一個(gè)用于放大所產(chǎn)生的空腔共振頻率信號(hào)的信號(hào)放大器26，所述信號(hào)輸入端設(shè)在面對(duì)耦合縫23的位置上，基底29位于信號(hào)輸入端24和耦合縫23兩者之間，所述信號(hào)發(fā)生器設(shè)在與信號(hào)傳輸單元31的信號(hào)輸入端24相對(duì)的一端，用于產(chǎn)生空腔共振頻率信號(hào)。
眾所周知，由空腔共振器20引起共振的空腔共振頻率是腔體體積的函數(shù)，對(duì)此不再贅述。
關(guān)于從由空腔共振器20環(huán)繞的內(nèi)部壓力室27中排放例如液體之類的內(nèi)部物質(zhì)的過程如下。
空腔共振器20由具有氣密性密封結(jié)構(gòu)的金屬制成，空腔共振頻率輸入導(dǎo)致空腔共振器20共振，致使其內(nèi)部物質(zhì)膨脹，因此增加空腔共振器20和內(nèi)部壓力室27的內(nèi)部壓力。結(jié)果，其部?jī)?nèi)物質(zhì)通過例如液體出口30之類的小的出口向外噴出。
當(dāng)空腔共振器20的腔體體積約為2.86×10-14mm3時(shí)，相應(yīng)的空腔共振頻率信號(hào)輸入給空腔共振器20，優(yōu)選輸入能量范圍在3.9到8.0μJ。輸出能量，即內(nèi)部壓力室27和空腔共振器20的內(nèi)部物質(zhì)排出的能量約5×10-17J。在圖2A，2B，3A和3B中，空腔共振器20的尺寸由附圖標(biāo)記a，b和h分別表示寬，長(zhǎng)和高。
空腔共振器20和內(nèi)部壓力室包括位于空腔共振器20頂端的液體入口21，該入口提供了液體從液體室28進(jìn)入空腔共振器20和內(nèi)部壓力室27的流動(dòng)通道。當(dāng)內(nèi)部壓力室27的內(nèi)部壓力增加時(shí)，液體入口21可防止留在內(nèi)部壓力室27和空腔共振器20中的液體通過液體入口回流到液體室28中?？涨还舱衿?0的下端還包括所述液體出口30。
當(dāng)空腔共振器20提供空腔共振頻率信號(hào)產(chǎn)生共振時(shí)，內(nèi)部壓力室27的內(nèi)部壓力增加，因此內(nèi)部壓力室27中的液體通過液體出口30向外排出。液體出口30穿過內(nèi)部壓力室27、空腔共振器20、和可以焊接在空腔共振器20下端的基底29。
所述基底29包括處于與液體出口30相應(yīng)位置上的噴嘴22，以使內(nèi)部壓力室27中的液體通過噴嘴22以液滴狀態(tài)向外排出?；?9同設(shè)在基底29上的信號(hào)發(fā)生器25、信號(hào)放大器26和具有信號(hào)輸入端24的信號(hào)傳輸單元31一起設(shè)在內(nèi)部壓力室27的下面。
信號(hào)發(fā)生器25響應(yīng)外部輸入的控制信號(hào)(未示出)產(chǎn)生空腔共振頻率信號(hào)，用于使空腔共振器20產(chǎn)生共振，并將空腔共振頻率信號(hào)輸出給信號(hào)放大器26。信號(hào)放大器26從信號(hào)發(fā)生器25輸入空腔共振頻率信號(hào)，以響應(yīng)外部輸入的控制信號(hào)，并且放大所述輸入信號(hào)，將放大的信號(hào)傳輸給信號(hào)輸入端24。信號(hào)輸入端24處于基底29的下端位于面對(duì)耦合縫23的位置上。
工作時(shí)，通過液體入口21流入的液體體積增加，使內(nèi)部壓力室27的內(nèi)部壓力升高，以使流入的液體通過液體出口30和噴嘴22以液滴的狀態(tài)向外噴出。
當(dāng)停止向空腔共振器20輸入信號(hào)時(shí)，留在內(nèi)部壓力室27中的液體的體積減少，內(nèi)部壓力室27的內(nèi)部壓力隨之降低，致使液體通過液體入口21從液體室28流入內(nèi)部壓力室27。
根據(jù)本發(fā)明的一種實(shí)施方式，使用RF MEMS噴頭的打印頭可以包括多個(gè)各具上述結(jié)構(gòu)的RF MEMS噴頭。當(dāng)設(shè)置多個(gè)噴頭時(shí)，每個(gè)噴頭位于與相鄰噴頭間隔預(yù)定距離的位置上。類似地，如附圖所示，液體室28可以設(shè)置在空腔共振器20的上部，以便使墨水通過液體入口21提供到內(nèi)部壓力室27中。
可以為多個(gè)空腔共振器20設(shè)置單獨(dú)的液體室28，每個(gè)液體室對(duì)應(yīng)一種顏色。
工作時(shí)，對(duì)應(yīng)空腔共振器20的信號(hào)輸入單元31產(chǎn)生響應(yīng)于外部控制信號(hào)的空腔共振頻率信號(hào)，并將所產(chǎn)生的信號(hào)輸入給空腔共振器20，因此，空腔共振器20發(fā)生共振。共振的結(jié)果使內(nèi)部壓力室27的內(nèi)部壓力增加，因?yàn)閮?nèi)部壓力室27中的液體不能通過液體入口21回流，來自內(nèi)部壓力室27中的液體的液滴通過液體出口30和噴嘴22向外噴出。
優(yōu)選可以對(duì)信號(hào)放大器26的放大系數(shù)和輸入到空腔共振器20的空腔共振頻率信號(hào)的輸入時(shí)間進(jìn)行精確調(diào)節(jié)，以簡(jiǎn)化對(duì)內(nèi)部壓力室27的內(nèi)部壓力的控制，并準(zhǔn)確調(diào)節(jié)排出墨水的量。
參照?qǐng)D3A和3B，將描述根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式的使用RF MEMS噴頭的打印頭。
圖3A是根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式的使用RF MEMS噴頭的打印頭的斷面圖。圖3B是圖3A中的打印頭的底視圖。
如圖所示，根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施方式的打印頭除了省略了耦合縫23而且信號(hào)輸入端24延伸到噴嘴22處外，其它結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式相似。
工作時(shí)，來自信號(hào)放大器26的空腔共振頻率信號(hào)通過液體出口30輸入到空腔共振器20中。在所有其他方面，具有第二實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的使用RF MEMS噴頭的打印頭的工作情況與第一實(shí)施方式的打印頭的工作情況相同。
更具體地說，從信號(hào)發(fā)生器25產(chǎn)生的空腔共振頻率信號(hào)由信號(hào)放大器26放大，然后通過液體出口30輸入給空腔共振器20，空腔共振器20發(fā)生共振。內(nèi)部壓力室27的內(nèi)部壓力隨之升高，由于內(nèi)部壓力室27中的液體不能通過液體入口21回流，因此內(nèi)部壓力室27中的液體的液滴通過液體出口30和噴嘴22向外噴出。
借助于本發(fā)明實(shí)施方式的使用RF MEMS噴頭的打印頭，能提高墨水排放反應(yīng)速度，并且能夠簡(jiǎn)化精確調(diào)節(jié)液體例如墨水的排放，致使能簡(jiǎn)化具有高度集成的噴嘴的打印頭的結(jié)構(gòu)。
上面已對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式進(jìn)行了描述，盡管使用了一些專門的術(shù)語(yǔ)，但僅為了進(jìn)行一般性的和說明性的解釋，而不是限定。因此，不難理解，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員在不超出所附的權(quán)利要求書所描述的本發(fā)明的構(gòu)思和保護(hù)范圍的前提下，可以在形式和細(xì)節(jié)上進(jìn)行各種改變。
權(quán)利要求
1.一種使用射頻微機(jī)電系統(tǒng)噴頭的打印頭，包括一具有液體入口和液體出口的內(nèi)部壓力室；一環(huán)繞內(nèi)部壓力室的空腔共振器，其中所述空腔共振器提供預(yù)定的空腔共振頻率信號(hào)，以增加內(nèi)部壓力室的內(nèi)部壓力；一信號(hào)傳輸單元，用于響應(yīng)外部輸入的控制信號(hào)產(chǎn)生預(yù)定的空腔共振頻率信號(hào)，并通過所述空腔共振器將所產(chǎn)生的空腔共振頻率信號(hào)輸入給所述內(nèi)部壓力室；和一液體室，用于將液體提供到所述內(nèi)部壓力室中，該液體室通過所述液體入口與內(nèi)部壓力室相通，其中所述液體入口和液體出口都穿過所述內(nèi)部壓力室和空腔共振器，以便當(dāng)空腔共振器使內(nèi)部壓力室的內(nèi)部壓力增加時(shí)，液體從內(nèi)部壓力室通過液體出口向外噴出。
2.如權(quán)利要求1所述的打印頭，其中所述空腔共振器由具有氣密性密封結(jié)構(gòu)的金屬形成。
3.如權(quán)利要求1所述的打印頭，其中還包括一個(gè)具有設(shè)置在與所述液體出口相應(yīng)位置上的噴嘴的基底，該基底焊在形成所述液體出口的所述空腔共振器的下面。
4.如權(quán)利要求3所述的打印頭，其中所述空腔共振器包括一個(gè)形成在該空腔共振器下面與基底接觸的耦合縫，該耦合縫接收來自空腔共振器的空腔共振頻率信號(hào)。
5.如權(quán)利要求4所述的打印頭，其中所述信號(hào)傳輸單元設(shè)置在與所述耦合縫相應(yīng)的位置上，而所述基底設(shè)在它們之間。
6.如權(quán)利要求5所述的打印頭，其中所述信號(hào)傳輸單元包括一用于產(chǎn)生空腔共振頻率信號(hào)的信號(hào)發(fā)生器；和一設(shè)置在與所述耦合縫相應(yīng)位置上的信號(hào)輸入端，用于通過所述耦合縫將空腔共振信號(hào)輸入給所述空腔共振器。
7.如權(quán)利要求6所述的打印頭，其中所述信號(hào)傳輸單元還包括一用于放大來自信號(hào)發(fā)生器的空腔共振頻率信號(hào)的信號(hào)放大器。
8.如權(quán)利要求3所述的打印頭，其中所述信號(hào)傳輸單元設(shè)置在所述基底的與液體出口相應(yīng)的位置處，所述基底設(shè)置在它們之間，所述信號(hào)傳輸單元通過所述液體出口將共振信號(hào)輸入所述空腔共振器，其中所述噴嘴延伸到與液體出口相應(yīng)的位置上。
9.如權(quán)利要求1所述的打印頭，其中所述空腔共振器還包括在該空腔共振器的一側(cè)形成的用于接收空腔共振器中的空腔共振頻率信號(hào)的耦合縫。
10.如權(quán)利要求1所述的打印頭，其中當(dāng)所述空腔共振器使內(nèi)部壓力室的內(nèi)部壓力增加時(shí)，所述液體入口可防止內(nèi)部壓力室中的液體回流到所述液體室中。
11.如權(quán)利要求3所述的打印頭，其中所述基底還包括多個(gè)噴嘴，每個(gè)噴嘴設(shè)在與多個(gè)液體出口中的一個(gè)相應(yīng)的位置上。
12.如權(quán)利要求11所述的打印頭，其中由所述空腔共振器環(huán)繞的內(nèi)部壓力室是多個(gè)內(nèi)部壓力室，每個(gè)內(nèi)部壓力室由多個(gè)空腔共振器中的一個(gè)環(huán)繞，其中所述多個(gè)內(nèi)部壓力室中的每一個(gè)與多個(gè)內(nèi)部壓力室相鄰的一個(gè)以預(yù)定的間隔距離設(shè)置。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種使用射頻微機(jī)電系統(tǒng)噴頭的打印頭，其包括具有液體入口和液體出口的內(nèi)部壓力室；環(huán)繞內(nèi)部壓力室的空腔共振器，其中所述空腔共振器輸入預(yù)定的空腔共振頻率信號(hào)，以增加內(nèi)部壓力室的內(nèi)部壓力；信號(hào)傳輸單元，用于產(chǎn)生預(yù)定的空腔共振頻率信號(hào)和用于通過空腔共振器將所產(chǎn)生的空腔共振頻率信號(hào)輸入給內(nèi)部壓力室，以響應(yīng)外部輸入的控制信號(hào)；和用于提供液體的液體室，其中所述液體入口和液體出口都穿過內(nèi)部壓力室和空腔共振器，以便當(dāng)所述空腔共振器使內(nèi)部壓力室的內(nèi)部壓力增加時(shí)，液體從內(nèi)部壓力室噴出。
文檔編號(hào)B41J2/14GK1496832SQ200310101229
公開日2004年5月19日 申請(qǐng)日期2003年10月15日 優(yōu)先權(quán)日2002年10月17日
發(fā)明者宋寅相 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社