專(zhuān)利名稱(chēng)：液滴噴出方法、液滴噴出裝置、噴嘴異常判定方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液滴噴出方法、液滴噴出裝置、噴嘴異常判定方法、顯示裝置及電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，噴墨裝置(液滴噴出裝置)一般被作為噴墨打印機(jī)廣泛使用。作為此種噴墨裝置的特征，可以舉出可以實(shí)現(xiàn)噴頭的小型化·高密度化、可以高精度地將極少量的墨液(液滴、液狀體)打到目的位置上、不會(huì)被所噴出的墨液的種類(lèi)、性質(zhì)等左右、除了紙以外還可以適用于薄膜、布帛、玻璃基板、合成樹(shù)脂基板、金屬基板等任意的印刷介質(zhì)、印刷時(shí)的噪音低、成本低等。
在此種噴墨裝置中，由于當(dāng)墨液的殘存物或其他的污染物附著在噴頭的噴嘴形成面上時(shí)，就會(huì)導(dǎo)致噴出液滴時(shí)的噴出精度的降低或噴出不良等，因此在液滴噴出前清洗噴嘴形成面或抽吸噴嘴內(nèi)的墨液的方法是不可缺少的。
另外，近年來(lái)，提出有用照相機(jī)觀(guān)察附著在噴嘴部上的墨液的異常、泡狀的墨液殘存物、墨液的污物等，進(jìn)行墨液的抽吸除去的方法(例如參照專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。
專(zhuān)利文獻(xiàn)1特開(kāi)平10-268127號(hào)公報(bào)但是，噴墨裝置的噴出不良除了所述的原因以外，還會(huì)因噴嘴直徑的巨大化、噴嘴輪廓異常、噴嘴周邊部及內(nèi)部的疏液膜等的剝離、噴嘴內(nèi)部的異物阻塞等引起。特別是，在作為工業(yè)用而噴出有機(jī)溶劑或酸、堿等腐蝕性的液狀體的情況下，由于噴嘴內(nèi)外暴露在腐蝕性的液狀體中，因此容易產(chǎn)生這些原因。
在伴隨由這些原因造成的噴出不良的狀態(tài)下，繼續(xù)利用液滴噴出方法的工業(yè)產(chǎn)品的制造時(shí)，就會(huì)生產(chǎn)出大量的不良產(chǎn)品，結(jié)果就會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品的成本上升。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決所述的問(wèn)題而提出的，目的在于，提供一種可以早期并且可靠地檢測(cè)出噴嘴的異常的液體噴出方法。特別是，其目的在于，提供一種能夠早期地判定噴嘴的異常、并能夠僅利用正常的噴嘴正常并且高精度地噴出液滴的噴嘴異常判定方法、液滴噴出裝置、液滴噴出方法及可以在良好地形成噴嘴內(nèi)的彎月面的狀態(tài)下正常并且高精度地噴出液滴的液滴噴出方法、液滴噴出裝置。另外，其目的在于，提供一種使用該液滴噴出裝置制造的顯示裝置、具有該顯示裝置的電子設(shè)備。
為了達(dá)成所述的目的，本發(fā)明采用了以下的手段。
即，本發(fā)明的液滴噴出方法是作為從具有多個(gè)噴嘴的噴頭將液狀體作為液滴噴出而印刷的方法的液滴噴出方法，包括拍攝所述噴嘴的內(nèi)部至周邊部的步驟、對(duì)于所述多個(gè)噴嘴的每一個(gè)取得能夠識(shí)認(rèn)所述噴嘴內(nèi)部的彎月面的狀態(tài)、所述噴嘴開(kāi)口的形狀、形成于所述噴嘴內(nèi)外的表面膜的狀態(tài)當(dāng)中的至少一個(gè)的圖像的步驟。另外，最好伴隨著該液滴噴出方法，以所述圖像信息為基礎(chǔ)，判定所述各個(gè)噴嘴的噴出性能的良好與否。
這里，所謂印刷并不限定于所謂的使用墨液的印刷，也包含以在溶劑中分散有微細(xì)顆粒的液狀體等作為液滴命中印刷介質(zhì)并使該液滴固定于印刷介質(zhì)上而形成圖案為目的的印刷等。
所謂彎月面的狀態(tài)是指，例如，填充于噴嘴內(nèi)部的液狀體的液面部(彎月面)的離開(kāi)噴嘴開(kāi)口的位置、彎月面與噴嘴內(nèi)面的接觸部的形狀、彎月面和噴嘴內(nèi)面的接觸角、彎月面附近的異物的有無(wú)等。
所謂噴嘴開(kāi)口的形狀是指，例如，噴嘴開(kāi)口(孔)的輪廓的形狀、直徑等。
所謂形成于噴嘴內(nèi)外的表面膜的狀態(tài)是指，形成于噴嘴內(nèi)部至噴嘴周邊部的疏水膜或保護(hù)膜等表面膜的膜厚分布、該膜的剝離的程度等。
所謂噴出性能的良好與否是指，所噴出的液滴的穩(wěn)定性、關(guān)于直進(jìn)性的程度或關(guān)于可靠性等的良好與否。對(duì)于產(chǎn)生了不噴出、液滴的飛行彎曲、命中精度的惡化、液滴量的不均、液霧的產(chǎn)生等噴出不良，或產(chǎn)生的可能性高的噴嘴(以下稱(chēng)為不良噴嘴)，判定為噴嘴異常。
作為判定異常的方法，有操作者觀(guān)察所拍攝的圖像并與正常的噴嘴形狀比較來(lái)進(jìn)行判定的方法、將所拍攝的噴嘴的周邊部的圖像輸入計(jì)算機(jī)等運(yùn)算裝置來(lái)進(jìn)行圖像處理并自動(dòng)地進(jìn)行與正常的噴嘴形狀的比較判定的方法。
根據(jù)該構(gòu)成，由于能夠以所得的圖像為基礎(chǔ)，早期并且可靠地檢測(cè)出不良噴嘴，因此就可以預(yù)先防止繼續(xù)利用伴隨著噴出不良的液滴噴出方法進(jìn)行工業(yè)產(chǎn)品的制造。另外，通過(guò)像這樣早期并且可靠地發(fā)現(xiàn)不良噴嘴，就可以在大量地生產(chǎn)使用液滴噴出法形成的各種產(chǎn)品的不良之前使異常噴嘴復(fù)原或更換噴頭。由此就可以大幅度地削減不良成本，從而可以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的成本降低。
為了達(dá)成所述的目的，本發(fā)明采用了以下的手段。
即，本發(fā)明的噴嘴異常判定方法，是對(duì)具有用于噴出液滴的噴出部的噴頭的噴嘴的異常進(jìn)行判定的方法，其特征是，在拍攝了所述噴嘴的周邊部后，對(duì)該噴嘴的形狀和正常的噴嘴的形狀進(jìn)行比較，來(lái)判定所述拍攝的噴嘴的異常。
這樣，由于與以往那樣觀(guān)察附著在噴嘴部上的液狀體(墨液)的異常、墨液的泡狀的殘存物、墨液的污物的技術(shù)不同，在拍攝了噴嘴的周邊部后與正常的噴嘴的形狀進(jìn)行比較來(lái)判定噴嘴的異常，因此就可以早期地發(fā)現(xiàn)該異常噴嘴。所以，由于不會(huì)在將異常噴嘴放置不管的狀態(tài)下噴出液滴，因此就可以預(yù)先防止由異常噴嘴引起的液滴的噴出不良、液滴的飛行彎曲、命中精度的惡化、液滴量的不均、液霧的發(fā)生等。
另外，在操作者觀(guān)察噴嘴周邊部的圖像來(lái)進(jìn)行判斷的情況下，就可以基于該操作者的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)來(lái)判定噴嘴的異常。
另外，在使用運(yùn)算裝置進(jìn)行了圖像處理等的情況下，就可以使所述的噴嘴異常的判定自動(dòng)化。
另外，通過(guò)使所述的異常噴嘴復(fù)原，或更換具有異常噴嘴的噴頭，就可以使噴頭的全部噴嘴都處于用于進(jìn)行正常的噴出的良好的狀態(tài)。所以，就能夠噴出與由噴出部供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)對(duì)應(yīng)的液滴，從而可以實(shí)現(xiàn)液滴的命中位置的高精度化、液滴量的不均的減少、飛行彎曲的防止、液霧的抑制。
另外，通過(guò)對(duì)噴嘴的異?；蛘＿M(jìn)行判定，當(dāng)判定為正常時(shí)以該狀態(tài)使用即可，另外，在判定為異常時(shí)，進(jìn)行噴嘴的復(fù)原或噴頭的更換即可。所以，與僅定期進(jìn)行噴嘴的復(fù)原或噴頭的更換的情況相比，就不需要對(duì)正常的噴嘴進(jìn)行無(wú)謂的復(fù)原動(dòng)作，不需要無(wú)謂地更換具有正常的噴嘴的噴頭。即，可以恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行復(fù)原工序或更換工序。
另外，本發(fā)明是前面所述的噴嘴異常判定方法，其特征是，所述噴嘴的異常被判定為利用復(fù)原動(dòng)作可以實(shí)現(xiàn)噴嘴的復(fù)原的第1異?；蚶脧?fù)原動(dòng)作不能實(shí)現(xiàn)噴嘴的復(fù)原的第2異常。
這樣，例如在判定結(jié)果為第1異常的情況下，就可以使異常噴嘴復(fù)原，再次進(jìn)行液滴噴出。另外，在判定結(jié)果為第2異常的情況下，就可以通過(guò)更換噴頭自身，再次進(jìn)行液滴噴出。
另外，對(duì)于被判定為第1異常的噴嘴，由于不更換噴頭，而利用復(fù)原動(dòng)作使噴嘴復(fù)原，所以，例如與判定了噴嘴的異常時(shí)直接更換噴頭的情況相比，可以將更換噴頭的工序簡(jiǎn)略化，從而可以節(jié)約噴頭內(nèi)的液狀體。另外，就不會(huì)浪費(fèi)例如像工業(yè)用的液狀體那樣高價(jià)的材料，從而可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)成本的降低。
另外，本發(fā)明是前面所述的噴嘴異常判定方法，其特征是，在所述噴頭將所述液滴噴出規(guī)定次數(shù)后，拍攝所述噴嘴的周邊部。
這樣，通過(guò)進(jìn)行規(guī)定次數(shù)的液滴噴出，就可以拍攝因腐蝕等而變化了的噴嘴的狀態(tài)。另外，通過(guò)像這樣基于所拍攝的圖像判定噴嘴的異?；蛘＃涂梢园l(fā)現(xiàn)在規(guī)定次數(shù)的液滴噴出間產(chǎn)生的異常噴嘴。
另外，本發(fā)明是前面所述的噴嘴異常判定方法，其特征是，將所述噴嘴的周邊部放大或縮小而進(jìn)行拍攝。
這樣，在例如放大的情況下，就可以對(duì)噴嘴的形狀進(jìn)行詳細(xì)地拍攝。另外，在縮小的情況下，可以對(duì)多個(gè)噴嘴同時(shí)進(jìn)行拍攝。
為了達(dá)成所述的目的，本發(fā)明采用了以下的手段。
即，本發(fā)明的液滴噴出方法是在使具有從噴嘴噴出液滴的噴出部的噴頭、配置在與該噴頭相面對(duì)的位置上的基板相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，根據(jù)向所述噴出部供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電壓波形將所述液滴向所述基板上噴出的液滴噴出方法，其特征是，在拍攝了所述噴嘴的周邊部后，對(duì)該噴嘴的形狀和正常的噴嘴的形狀進(jìn)行比較，來(lái)判定所述拍攝的噴嘴的異常。
這樣，由于通過(guò)早期地發(fā)現(xiàn)異常噴嘴，可以在大量生產(chǎn)使用液滴噴出裝置形成的各種產(chǎn)品的不良之前使異常噴嘴復(fù)原，或更換噴頭，因此就可以大幅度地削減不良成本。即，可以不進(jìn)行不良產(chǎn)品的修正，從而可以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的成本降低。
為了達(dá)成所述的目的，本發(fā)明采用了以下的手段。
即，本發(fā)明的液滴噴出方法是在使具有從噴嘴噴出液滴的噴出部的噴頭、配置在與該噴頭相面對(duì)的位置上的基板相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，根據(jù)向所述噴出部供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電壓波形將所述液滴向所述基板上噴出的液滴噴出方法，其特征是，對(duì)所述噴頭的所述噴嘴內(nèi)部進(jìn)行拍攝。另外，最好基于通過(guò)拍攝所述噴嘴內(nèi)部而取得的圖像，判定所述噴嘴的良好與否。
這樣，與以往那樣觀(guān)察附著在噴嘴部上的液狀體(墨液)的異常、墨液的泡狀的殘存物、墨液的污物的技術(shù)不同，通過(guò)拍攝噴嘴的內(nèi)部，就可以拍攝噴嘴內(nèi)的液狀體的狀態(tài)。
另外，通過(guò)像這樣基于所拍攝的噴嘴內(nèi)部的圖像，就能夠判定噴嘴的良好與否，根據(jù)該判定結(jié)果改善不良的噴嘴，從而可以使噴頭的全部噴嘴都處于用于進(jìn)行正常的噴出的良好狀態(tài)。
所以，就能夠噴出與由噴出部供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)對(duì)應(yīng)的液滴，另外，可以實(shí)現(xiàn)液滴向基板上噴出的位置的高精度化(命中位置的高精度化)、液滴量的不均的降低。
另外，由于根據(jù)判定為正常的噴嘴和不良的噴嘴的結(jié)果來(lái)改善不良噴嘴，而正常的噴嘴在該狀態(tài)下使用即可，因此，與單純地對(duì)正常的噴嘴及不良的噴嘴的液狀體都相同地抽吸的情況相比，就不需要無(wú)謂地對(duì)由正常的噴嘴抽吸的液狀體進(jìn)行抽吸。即，由于可以節(jié)約液狀體，因此就不會(huì)浪費(fèi)像工業(yè)用的液狀體那樣高價(jià)的材料，從而可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)成本的降低。
另外，本發(fā)明是前面所述的液滴噴出方法，其特征是，在拍攝所述噴嘴內(nèi)部時(shí)，主要拍攝填充于所述噴嘴內(nèi)部的液狀體和所述噴嘴的內(nèi)面的接觸狀態(tài)。
這樣，由于不是單純地拍攝噴嘴內(nèi)部，而是拍攝填充于噴嘴內(nèi)部的液狀體的液面部(彎月面)和噴嘴內(nèi)面的接觸狀態(tài)，因此就可以對(duì)進(jìn)行正常的液滴噴出所需的彎月面的良好與否進(jìn)行判定，通過(guò)根據(jù)該判定結(jié)果改善不良的彎月面，就可以使全部的噴嘴的彎月面都處于用于進(jìn)行正常的噴出的良好的狀態(tài)。
所以，通過(guò)主要拍攝彎月面，就可以進(jìn)一步促進(jìn)所述的液滴噴出方法的效果。
另外，本發(fā)明是前面所述的液滴噴出方法，其特征是，在所述噴頭將所述液滴噴出規(guī)定次數(shù)后，拍攝所述噴嘴內(nèi)部。
這樣，就可以拍攝通過(guò)進(jìn)行規(guī)定次數(shù)的液滴噴出而變化了的噴嘴內(nèi)部的狀態(tài)。另外，通過(guò)像這樣基于所拍攝的圖像判定噴嘴的良好與否，就可以發(fā)現(xiàn)在規(guī)定次數(shù)的液滴噴出之間產(chǎn)生的不良噴嘴。
另外，本發(fā)明是前面所述的液滴噴出方法，其特征是，在拍攝所述噴嘴內(nèi)部前，擦拭所述噴頭的噴嘴形成面。
這樣，由于可以通過(guò)擦拭除去附著在噴嘴形成面上的液狀體的殘存物，因此就可以將噴嘴形成面保持為潔凈的狀態(tài)。
另外，當(dāng)在液狀體的殘存物附著在噴嘴附近的狀態(tài)下噴出液滴時(shí)，會(huì)產(chǎn)生飛行彎曲而使命中精度降低，但是，由于通過(guò)像所述那樣進(jìn)行擦拭來(lái)除去導(dǎo)致飛行彎曲的液狀體的殘存物，因此就可以提高命中精度。
另外，本發(fā)明是前面所述的液滴噴出方法，其特征是，關(guān)于判定所述噴嘴的良好與否的結(jié)果，在該噴嘴被判定為不良的情況下，從所述噴頭的噴嘴形成面經(jīng)過(guò)所述噴嘴抽吸所述液狀體。
這樣，通過(guò)抽吸液狀體，填充于噴頭內(nèi)的液狀體經(jīng)過(guò)噴嘴而流向噴嘴形成面?zhèn)?，液狀體在不良噴嘴內(nèi)強(qiáng)制性地流動(dòng)。所以，就可以將液狀體填充在不良噴嘴內(nèi)，并且，可以在該不良噴嘴內(nèi)形成彎月面。
所以，就可以將不良噴嘴改善為能夠正常地噴出液滴。
另外，本發(fā)明是前面所述的液滴噴出方法，其特征是，所述噴頭具備多個(gè)噴嘴，關(guān)于判定該多個(gè)噴嘴的良好與否的結(jié)果，在至少一個(gè)被判定為不良的情況下，僅經(jīng)過(guò)該不良噴嘴從所述噴嘴形成面抽吸所述液狀體。
這樣，就可以?xún)H從多個(gè)噴嘴當(dāng)中的不良噴嘴中抽吸液狀體，在該不良噴嘴內(nèi)填充液狀體。這里，由于不從多個(gè)噴嘴當(dāng)中的被判斷為良好的噴嘴中抽吸液狀體，因此就不會(huì)無(wú)謂地抽吸液狀體。
所以，例如在填充了高價(jià)的液狀體的噴頭中，由于不需要無(wú)謂地抽吸液狀體，因此就可以節(jié)約該液狀體。
另外，本發(fā)明是前面所述的液滴噴出方法，其特征是，所述噴出頭具備多個(gè)噴嘴，并且具備將該多個(gè)噴嘴按照規(guī)定數(shù)目的噴嘴分割而成的多個(gè)噴嘴區(qū)域，關(guān)于判定的所述多個(gè)噴嘴良好與否的結(jié)果，在至少一個(gè)噴嘴被判定為不良的情況下，通過(guò)具有該不良噴嘴的噴嘴區(qū)域從所述噴嘴形成面抽吸所述液狀體。
這樣，就可以?xún)H從具有不良噴嘴的噴嘴區(qū)域抽吸液狀體，在該不良噴嘴內(nèi)填充液狀體。這里，由于不從多個(gè)噴嘴當(dāng)中的具有被判定為良好的噴嘴的噴嘴區(qū)域中抽吸液狀體，因此就不會(huì)無(wú)謂地抽吸液狀體。所以，在例如填充了高價(jià)的液狀體的噴頭中，由于不需要無(wú)謂地抽吸液狀體，因此就可以節(jié)約該液狀體。另外，由于在噴嘴間距微小的情況下，必須準(zhǔn)備用于僅從一個(gè)噴嘴抽吸液狀體的微小的抽吸部，因此液狀體的抽吸就很困難，但是，由于像本發(fā)明那樣，在從噴嘴區(qū)域中抽吸液狀體的情況下，可以增大抽吸部的尺寸，因此就可以容易地進(jìn)行液狀體的抽吸。另外，與從全部噴嘴中抽吸液狀體的情況相比，由于僅從具有不良噴嘴的噴嘴區(qū)域中抽吸液狀體，因此可以節(jié)約液狀體。
另外，本發(fā)明是前面所述的液滴噴出方法，其特征是，拍攝殘留在所述噴頭的噴嘴形成面上的液滴或污染物，判定該殘留的液滴或污染物是否位于離所述噴嘴規(guī)定距離內(nèi)。
這里，在拍攝噴嘴形成面上的液滴或污染物時(shí)，最好使用拍攝所述的噴嘴內(nèi)部的攝像機(jī)。另外，當(dāng)判定殘留的液滴或污染物是否位于離噴嘴在規(guī)定距離內(nèi)的結(jié)果為，該殘留的液滴或污染物位于離噴嘴在規(guī)定距離內(nèi)時(shí)，則最好除去該液滴或污染物，另外，當(dāng)該殘留的液滴或污染物位于離噴嘴在規(guī)定距離以外時(shí)，則最好放置該液滴或污染物不管。
為了實(shí)現(xiàn)所述的目的，本發(fā)明采用了以下的手段。
即，本發(fā)明的液滴噴出裝置是在使具有從噴嘴噴出液滴的噴出部的噴頭、配置在與該噴頭相面對(duì)的位置上的基板相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，根據(jù)向所述噴出部供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電壓波形將所述液滴向所述基板上噴出的液滴噴出裝置，其特征是，具備拍攝所述噴頭的所述噴嘴的周邊部的攝像機(jī)、比較該攝像機(jī)所拍攝的噴嘴的形狀和正常的噴嘴的形狀而判定該拍攝的噴嘴的異常的判定部。
這樣，由于通過(guò)早期地發(fā)現(xiàn)異常噴嘴，就可以在大量地生產(chǎn)使用液滴噴出裝置形成的各種產(chǎn)品的不良之前使異常噴嘴復(fù)原或更換噴頭，因此可以大幅度降低不良成本。即，不用進(jìn)行不良產(chǎn)品的修正即可，從而可以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的成本降低。
另外，本發(fā)明是前面所述的液滴噴出裝置，其特征是，還具備擦拭所述噴頭的噴嘴形成面而使所述噴嘴復(fù)原的復(fù)原部。
這樣，通過(guò)復(fù)原部擦拭形成了被判定為所述的第1異常的噴嘴的噴嘴形成面，就可以使噴嘴恢復(fù)正常。
所以，利用噴嘴的復(fù)原，就可以實(shí)現(xiàn)液滴的命中位置的高精度化、液滴量的不均的減少、飛行彎曲的防止、液霧的抑制。
為了達(dá)成所述的目的，本發(fā)明采用了以下的手段。
即，本發(fā)明的液滴噴出裝置是在使具有從噴嘴噴出液滴的噴出部的噴頭、配置在與該噴頭相面對(duì)的位置上的基板相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，根據(jù)向所述噴出部供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電壓波形將所述液滴向所述基板上噴出的液滴噴出裝置，其特征是，具備拍攝所述噴頭的所述噴嘴內(nèi)部的攝像機(jī)。另外，最好還具備基于該攝像機(jī)所拍攝的噴嘴內(nèi)部的圖像判定所述噴嘴的良好與否的判定部。
這樣，由于通過(guò)早期地發(fā)現(xiàn)異常噴嘴，就可以在大量地生產(chǎn)使用液滴噴出裝置形成的各種產(chǎn)品的不良之前使異常噴嘴復(fù)原或更換噴頭，因此可以大幅度地削減不良成本。即，不用進(jìn)行不良產(chǎn)品的修正，從而可以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的成本降低。
另外，本發(fā)明中，通過(guò)拍攝所述噴嘴的周邊部而取得的圖像最好為彩色圖像或單色圖像。
這樣，由于例如在彩色圖像的情況下，可以確認(rèn)噴嘴的形狀或周邊部的腐蝕狀態(tài)等、附著在噴嘴附近的液狀體的殘存物等，因此就可以獲得詳細(xì)的拍攝信息。另外，在單色圖像的情況下，由于可以將噴嘴的形狀作為黑白的圖像確認(rèn)，因此可以用比彩色圖像更簡(jiǎn)單的拍攝信息進(jìn)行拍攝。
另外，本發(fā)明的顯示裝置的特征是，使用前面所述的液滴噴出裝置制造。
這樣，由于可以使規(guī)定的液體材料高精度地命中規(guī)定的位置而形成配線(xiàn)或象素等的圖案，因此與公知的光刻技術(shù)相比，可以實(shí)現(xiàn)制造工序的簡(jiǎn)單化，從而可以制造廉價(jià)的顯示裝置。
另外，由于使用具有所述的攝像機(jī)的液滴噴出裝置制造該顯示裝置，因此可以實(shí)現(xiàn)液滴噴出的高精度化(命中位置的高精度化)、液滴量的不均的減少。另外，可以大幅度地削減由于大量生產(chǎn)不良的顯示裝置而造成的不良成本，從而可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)成本的降低。
另外，本發(fā)明的電子設(shè)備的特征是，具備前面所述的顯示裝置。
這樣，就可以獲得與前面所述的顯示裝置相同的效果，并且可以提供合適的電子設(shè)備。
作為此種電子設(shè)備，例如可以列舉出攜帶電話(huà)、移動(dòng)體信息終端、鐘表、文字處理器、個(gè)人電腦等信息處理裝置等。


圖1是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的一個(gè)實(shí)施方式的概略立體圖。
圖2是噴頭的分解立體圖。
圖3是噴頭的主要部分的立體圖。
圖4是表示抽吸·擦拭單元的構(gòu)成的構(gòu)成圖。
圖5是表示照相機(jī)單元的構(gòu)成的構(gòu)成圖。
圖6是液滴噴出裝置的功能方框圖。
圖7是表示向噴頭供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電壓波形的一個(gè)例子的圖。
圖8(a)是表示噴嘴的主要部分的剖面圖，是表示電壓波形的期間t0～t1的彎月面的狀態(tài)的圖。(b)是表示噴嘴的主要部分的剖面圖，是表示電壓波形的期間t1～t2的彎月面的狀態(tài)的圖。(c)是表示噴嘴的主要部分的剖面圖，是表示電壓波形的期間t3～t4的彎月面的狀態(tài)的圖。(d)是表示噴嘴的主要部分的剖面圖，是表示電壓波形的期間t4～t6的彎月面的狀態(tài)的圖。
圖9是表示噴嘴異常判定的處理的一個(gè)例子的流程圖。
圖10(a)是表示正常的噴嘴的狀態(tài)的圖。(b)是表示被判定為異常的噴嘴的狀態(tài)的一個(gè)例子的圖。(c)是表示被判定為異常的噴嘴的狀態(tài)的一個(gè)例子的圖。(d)是表示被判定為異常的噴嘴的狀態(tài)的一個(gè)例子的圖。
圖11(a)是表示利用擦拭可以復(fù)原的程度的噴嘴的狀態(tài)的一個(gè)例子的圖。(b)是表示需要進(jìn)行噴頭20的更換的程度的噴嘴的狀態(tài)的一個(gè)例子的圖。
圖12是表示噴嘴的噴出性能判定的處理的一個(gè)例子的流程圖。
圖13(a)是表示具有彎月面或被判定為正常的拍攝圖像的一個(gè)例子的圖。(b)是表示沒(méi)有彎月面或被判定為不良的拍攝圖像的一個(gè)例子的圖。
圖14(a)是表示判定為污染物不在離噴嘴規(guī)定的距離內(nèi)的拍攝圖像的一個(gè)例子的圖。(b)是表示判定為污染物在離噴嘴規(guī)定的距離內(nèi)的拍攝圖像的一個(gè)例子的圖。
圖15是表示等離子型顯示裝置的一個(gè)例子的構(gòu)成圖。
圖16(a)是表示構(gòu)成液晶顯示裝置的圖像顯示區(qū)域的各種元件及配線(xiàn)的一個(gè)例子的電路圖。(b)是表示液晶顯示裝置的主要部分的剖面放大圖。
圖17(a)是表示構(gòu)成場(chǎng)致發(fā)射顯示器的陰極基板和陽(yáng)極基板的配置的概略構(gòu)成圖。(b)是場(chǎng)致發(fā)射顯示器的陰極基板所具有的驅(qū)動(dòng)電路圖。(c)是表示場(chǎng)致發(fā)射顯示器的陰極基板的主要部分的立體圖。
圖18是表示有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置的一個(gè)例子的概略剖面圖。
圖19是表示電子設(shè)備的一個(gè)例子的圖。
圖中20-噴頭，20P-噴嘴形成面，23-抽吸·擦拭單元(復(fù)原部)，24-照相機(jī)單元(拍攝部)，100-液晶顯示裝置(顯示裝置)，211-噴嘴，240-壓電元件(噴出部)，301-有機(jī)EL裝置(顯示裝置)，400-場(chǎng)致發(fā)射顯示器(顯示裝置)，500-等離子型顯示裝置(顯示裝置)，1000-攜帶電話(huà)(電子設(shè)備)，P-基板，V(t)-電壓波形，IJ-液滴噴出裝置，CONT-控制裝置，150-中央控制部，153-抽吸部控制部，154-擦拭部控制部，155-掃描控制部，156-噴出控制部，157-第1移動(dòng)裝置控制部，158-第2移動(dòng)裝置控制部，160-拍攝控制部，161-拍攝圖像處理部，162-判定部，163-判定條件存儲(chǔ)部，164-比較判定部，165-噴頭異常顯示部。
具體實(shí)施例方式
下面將參照附圖對(duì)本發(fā)明的液滴噴出方法、液滴噴出裝置、噴嘴異常判定方法、使用液滴噴出裝置制造的顯示裝置及搭載了使用液滴噴出裝置制造的顯示裝置的電子設(shè)備進(jìn)行說(shuō)明。圖1是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置的一個(gè)實(shí)施方式的概略立體圖。
而且，以下的說(shuō)明中使用的各附圖中，為了使各構(gòu)件為可以識(shí)別的大小，對(duì)各構(gòu)件的比例尺進(jìn)行了適當(dāng)?shù)淖兏?br> (液滴噴出裝置)圖1中，液滴噴出裝置IJ具備基座12、在基座12上支撐基板P的臺(tái)架ST、夾隔在基座12和臺(tái)架ST之間可以移動(dòng)地支撐臺(tái)架ST的第1移動(dòng)裝置14、可以向被臺(tái)架ST支撐的基板P上噴出規(guī)定的液狀體材料的噴頭20、可以移動(dòng)地支撐噴頭20的第2移動(dòng)裝置16、貯藏從噴頭20中噴出的液狀體的罐(液狀體貯留部)63、將該液狀體向噴頭20供給的液狀體流路61、控制噴頭20的液狀體的噴出動(dòng)作的控制裝置CONT、設(shè)于基座12上的加帽單元22、抽吸·擦拭單元(復(fù)原部)23、照相機(jī)單元(攝像機(jī))24。另外，包括為了進(jìn)行液滴噴出動(dòng)作而向噴頭20供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的生成、第1移動(dòng)裝置14及第2移動(dòng)裝置16的驅(qū)動(dòng)控制、抽吸·擦拭單元23的動(dòng)作控制、照相機(jī)單元24的拍攝動(dòng)作及所拍攝的圖像的處理等在內(nèi)的液滴噴出裝置IJ的動(dòng)作，由控制裝置CONT控制。
第1移動(dòng)裝置14被設(shè)于基座12上，沿著Y軸方向定位。第2移動(dòng)裝置16被使用支柱16A、16A相對(duì)于基座12豎立地安裝，被安裝在基座12的后部12A上。第2移動(dòng)裝置16的X軸方向是與第1移動(dòng)裝置14的Y軸方向正交的方向。這里，Y軸方向是沿著基座12的前部12B和后部12A的方向。與之相對(duì)，X軸方向是沿著基座12的左右方向的方向，各自水平。另外，Z軸方向是與X軸方向及Y軸方向垂直的方向。
第1移動(dòng)裝置14例如由線(xiàn)性馬達(dá)構(gòu)成，具備導(dǎo)軌40、40、被沿著該導(dǎo)軌40可以移動(dòng)地設(shè)置的滑塊42。該線(xiàn)性馬達(dá)形式的第1移動(dòng)裝置14的滑塊42可以沿著導(dǎo)軌40在Y軸方向移動(dòng)而定位。
另外，滑塊42具有繞Z軸旋轉(zhuǎn)(θZ)用的馬達(dá)44。該馬達(dá)44例如為直接驅(qū)動(dòng)馬達(dá)，馬達(dá)44的轉(zhuǎn)子被固定在臺(tái)架ST上。這樣，通過(guò)向馬達(dá)4通電，就可以使轉(zhuǎn)子和臺(tái)架ST沿θZ方向旋轉(zhuǎn)。
臺(tái)架ST是保持基板P，并定位于規(guī)定的位置上的構(gòu)件。另外，臺(tái)架ST具有吸附保持裝置50，通過(guò)吸附保持裝置50動(dòng)作而穿過(guò)臺(tái)架ST的孔46A將基板P吸附保持在臺(tái)架ST之上。
第2移動(dòng)裝置16由線(xiàn)性馬達(dá)構(gòu)成，具備被支柱16A、16A固定的立柱16B、由該立柱16B支撐的導(dǎo)軌62A、被可以沿著導(dǎo)軌62A在X方向移動(dòng)地支撐的滑塊60。
滑塊60可以沿著導(dǎo)軌62A在X軸方向移動(dòng)而定位，噴頭20被安裝在滑塊60上。
噴頭20具有作為旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置的馬達(dá)62、64、66、68。如果使馬達(dá)62動(dòng)作，則噴頭20就可以沿Z軸上下移動(dòng)而定位。該Z軸是與X軸和Y軸分別正交的方向(上下方向)。當(dāng)使馬達(dá)64動(dòng)作時(shí)，噴頭20就可以繞Y軸的β方向旋轉(zhuǎn)而定位。當(dāng)使馬達(dá)66動(dòng)作時(shí)，噴頭20就可以繞X軸的γ方向旋轉(zhuǎn)而定位。當(dāng)使馬達(dá)68動(dòng)作時(shí)，噴頭20就可以繞Z軸的α方向旋轉(zhuǎn)而定位。即，第2移動(dòng)裝置16可沿X軸方向及Z軸方向移動(dòng)地支撐噴頭20，并且，可以沿θX方向(繞X軸)、θY方向(繞Y軸)、θZ方向(繞Z軸)旋轉(zhuǎn)地支撐該噴頭20。
像這樣，圖1的噴頭20在滑塊60中，可以沿Z軸方向直線(xiàn)移動(dòng)而定位，并可以沿α、β、γ旋轉(zhuǎn)而定位，噴頭20的噴嘴形成面20P可以相對(duì)于臺(tái)架ST側(cè)的基板P準(zhǔn)確地控制位置或姿勢(shì)。而且，在噴頭20的噴嘴形成面20P上設(shè)有噴出液狀體的多個(gè)噴嘴。
下面，參照?qǐng)D2及圖3，對(duì)噴頭20的構(gòu)造進(jìn)行說(shuō)明。
圖2是表示噴頭的分解立體圖，圖3是從剖面看圖2的立體圖的一部分的剖面圖。
如圖2所示，噴頭20將設(shè)置有多個(gè)噴嘴的噴嘴板210及設(shè)置有振動(dòng)板230的壓力室基板220嵌入殼體250而構(gòu)成。該噴頭20的主要部構(gòu)造如圖3所示，具有將壓力室基板220用噴嘴板210和振動(dòng)板230夾持的構(gòu)造。噴嘴板210，在與壓力室基板220貼合時(shí)對(duì)應(yīng)于空腔221的位置上，形成有噴嘴211。在壓力室基板220上，通過(guò)蝕刻硅單晶基板等，設(shè)有多個(gè)分別可以作為壓力室發(fā)揮作用的空腔221?？涨?21間被側(cè)壁(隔壁)222分離?？涨?21借助供給口224與作為共用的流路的貯存室223連接。振動(dòng)板230例如由熱氧化膜等構(gòu)成。振動(dòng)板230上設(shè)有液狀體罐口231，可以從圖1的罐63經(jīng)過(guò)液狀體流路61而供給任意的液體。在振動(dòng)板230上的相當(dāng)于空腔221的位置上，形成有壓電元件(噴出部)240。壓電元件240具有將壓力元件等壓電性陶瓷的晶體用上部電極及下部電極(未圖示)夾持的構(gòu)造。壓電元件240可以對(duì)應(yīng)于由控制裝置CONT供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電壓波形而產(chǎn)生體積變化。
另外，圖2及圖3所示的噴嘴板210由不銹鋼等金屬材料制成，此外，特別是在噴嘴211的內(nèi)部至周邊部，利用共析鍍膜等成膜處理形成有作為表面膜的薄膜，從而形成以噴嘴211的周緣部為主確保了疏液性的狀態(tài)。
在從噴頭20中噴出液狀體時(shí)，首先，控制裝置CONT向噴頭20供給用于噴出液狀體的電壓波形。液狀體流入噴頭20的空腔221，在被供給了噴出信號(hào)的噴頭20中，其壓電元件240根據(jù)加在其上部電極和下部電極之間的電壓產(chǎn)生體積變化。該體積變化使振動(dòng)板230變形，從而使空腔221的體積變化。其結(jié)果是，從噴嘴211中噴出液狀體的液滴。在噴出了液狀體的空腔221中因噴出而減少了的液狀體又重新由罐供給。
而且，所述噴頭雖然是使壓電元件產(chǎn)生體積變化而噴出液狀體的構(gòu)成，但是也可以是利用發(fā)熱體對(duì)液狀體加熱，利用其膨脹而噴出液滴的噴頭構(gòu)成。另外，也可以是通過(guò)利用靜電使振動(dòng)板變形而產(chǎn)生體積變化，從而將液滴噴出的噴頭構(gòu)成。
第2移動(dòng)裝置16通過(guò)使噴頭20沿X軸方向移動(dòng)，就可以使噴頭20選擇性地定位于抽吸·擦拭單元23或加帽單元22的上部。即，即使在器件制造作業(yè)的中途，例如如果將噴頭20移動(dòng)至抽吸·擦拭單元23上，則可以進(jìn)行噴頭20的清潔或不良噴頭的復(fù)原。如果將噴頭20移動(dòng)至加帽單元22上，則可以對(duì)噴頭20的噴嘴形成面20P實(shí)施加帽，或?qū)⒁籂铙w填充到空腔221中，或使噴出不良復(fù)原。即，抽吸·擦拭單元23及加帽單元22在基座12上的后部12A側(cè)，被與臺(tái)架ST分離地配置在噴頭20的移動(dòng)路徑的正下方?；錚向臺(tái)架ST的搬入操作及搬出操作由于是在基座12的前部12B側(cè)進(jìn)行，因此不會(huì)因該抽吸·擦拭單元23或加帽單元22而給操作帶來(lái)阻礙。
另外，作為從所述的噴頭20中噴出的液狀體，例如可以采用含有形成濾色片時(shí)使用的著色材料的墨液、含有形成金屬配線(xiàn)時(shí)使用的金屬微粒等材料的分散液、含有形成有機(jī)電致發(fā)光裝置時(shí)使用的PEDOTPSS等空穴注入/輸送材料或發(fā)光材料等有機(jī)電致發(fā)光物質(zhì)的溶液、含有形成液晶裝置時(shí)使用的液晶材料等高粘度的功能性液體、形成微透鏡時(shí)使用的材料的功能性液體、形成DNA芯片之類(lèi)的微陣列時(shí)使用的蛋白質(zhì)等生物高分子溶液等對(duì)應(yīng)于各種目的的材料的液狀體。
另外，基板P由以透明性材料為代表的玻璃基板等透明性基板、由塑料等構(gòu)成的樹(shù)脂基板、金屬基板等制成。
加帽單元22具有如下功能，即，在液滴噴出裝置IJ不進(jìn)行液滴噴出的狀態(tài)下，例如在將基板P向液滴噴出裝置IJ搬入或搬出的狀態(tài)等待機(jī)狀態(tài)下，用帽覆蓋噴嘴形成面20P，使噴頭20的噴嘴形成面20P不干燥而保持濕潤(rùn)狀態(tài)。
(抽吸·擦拭單元)圖4是表示抽吸·擦拭單元的構(gòu)成的構(gòu)成圖。抽吸·擦拭單元23如圖4所示，由抽吸部80a、擦拭部80b構(gòu)成。
抽吸部80a具備帽81和抽吸泵82。抽吸部80a利用帽81覆蓋噴頭20，利用抽吸泵82使帽81內(nèi)減壓，利用該減壓作用，抽吸噴頭20內(nèi)的氣泡或液狀體等。此時(shí)，由于帽81會(huì)覆蓋多個(gè)噴嘴的全部，因此在實(shí)施抽吸動(dòng)作時(shí)，就會(huì)從全部的噴嘴中抽吸液狀體。
擦拭部80b具備擦拭器83和驅(qū)動(dòng)部84。擦拭部80b在使擦拭器83和噴頭20的噴嘴形成面20P接觸的狀態(tài)下，通過(guò)驅(qū)動(dòng)擦拭器83，對(duì)該噴嘴形成面20P進(jìn)行擦拭(wiping)。
此種抽吸·擦拭單元23在液滴噴出裝置IJ的動(dòng)作中或待機(jī)時(shí)，就會(huì)實(shí)施噴頭20的噴嘴形成面20P的清潔或異常噴嘴的復(fù)原，可以定期地或者在每個(gè)規(guī)定動(dòng)作時(shí)間或隨時(shí)地進(jìn)行。該抽吸·擦拭單元23既可以根據(jù)儲(chǔ)存在控制裝置CONT中的程序動(dòng)作，也可以與后述的照相機(jī)單元24連動(dòng)地動(dòng)作。
另外，此種擦拭部80b最好相對(duì)于圖2所示的多個(gè)噴嘴211的排列方向沿直角方向進(jìn)行擦拭動(dòng)作。這樣，在擦拭動(dòng)作中，就可以防止附著在擦拭器83上的液狀體侵入噴嘴211內(nèi)。
而且，在所述的抽吸·擦拭單元23中，雖然驅(qū)動(dòng)擦拭器83，但是也可以將擦拭器83固定，而使噴頭20移動(dòng)，通過(guò)在擦拭器83上擦涂來(lái)進(jìn)行擦拭。
(照相機(jī)單元)圖5是表示照相機(jī)單元24的構(gòu)成的構(gòu)成圖。
照相機(jī)單元24如圖5所示，具備拍攝部91、照明部92、半透鏡93、光纖電纜94、鏡筒95，形成與控制裝置CONT連接的構(gòu)成。
拍攝部91是由CCD或CMOS傳感器等構(gòu)成的照相機(jī)。照明部92是由鹵燈、鎢燈、LED燈等構(gòu)成的構(gòu)件。半透鏡93是將照明部92的照明光向鏡筒95的出射口95a側(cè)反射并且使拍攝對(duì)象的像透過(guò)而在拍攝部91顯像的構(gòu)件。光纖電纜94是將向鏡筒95入射的拍攝對(duì)象的像傳遞給拍攝部91的構(gòu)件。鏡筒95具有未圖示的透鏡。照明部92的照明量或透鏡(未圖示)的光學(xué)倍率利用控制裝置CONT的作用，被與拍攝對(duì)象吻合地控制。
照相機(jī)單元24將噴頭20的噴嘴內(nèi)部至周邊部作為拍攝對(duì)象。拍攝部91利用控制裝置CONT的作用，將拍攝對(duì)象作為單色圖像或彩色圖像而顯像，或以規(guī)定的倍率對(duì)拍攝對(duì)象進(jìn)行拍攝，從而可以對(duì)拍攝對(duì)象的詳細(xì)部分進(jìn)行放大拍攝，或?yàn)榱丝匆?jiàn)拍攝對(duì)象的整體而進(jìn)行縮小拍攝。例如，通過(guò)調(diào)整倍率，就可以看到噴嘴形成面20P上的多個(gè)噴嘴當(dāng)中的10個(gè)～20個(gè)左右的噴嘴，或看到2個(gè)～5個(gè)噴嘴。拍攝部91所拍攝的圖像數(shù)據(jù)被送至控制裝置CONT。
(控制裝置)下面，參照?qǐng)D6，對(duì)控制裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖6是液滴噴出裝置的功能方框圖。
圖6中，控制裝置CONT具有總括所有液滴噴出裝置IJ的動(dòng)作控制的中央控制部150?？刂蒲b置CONT還具有用于進(jìn)行抽吸·擦拭單元23(參照?qǐng)D4)的動(dòng)作控制的抽吸部控制部153及擦拭部控制部154、用于對(duì)圖案印刷的掃描控制及噴出控制進(jìn)行總括控制的掃描控制部155、用于進(jìn)行照相機(jī)單元24的拍攝控制的拍攝控制部160、用于判定所拍攝的噴嘴的噴出性能的良好與否的判定部162。
掃描控制部155可以對(duì)進(jìn)行噴頭20的噴出控制的噴出控制部156、進(jìn)行第1移動(dòng)裝置14(參照?qǐng)D1)的驅(qū)動(dòng)控制的第1移動(dòng)裝置控制部157(參照?qǐng)D1)、進(jìn)行第2移動(dòng)裝置16(參照?qǐng)D1)的驅(qū)動(dòng)控制的第2移動(dòng)裝置控制部158同步地控制。此外，利用掃描控制部155的控制，可以進(jìn)行后述的圖案印刷。另外，掃描控制部155起到利用所述的照相機(jī)單元24的控制噴頭的拍攝位置的作用。
拍攝控制部160如上所述，進(jìn)行照明部92的照明量或單色圖像/彩色圖像的選擇、拍攝對(duì)象的倍率的控制等。另外，通過(guò)控制第1移動(dòng)裝置控制部157及第2移動(dòng)裝置控制部158，改變照相機(jī)單元24和噴頭20的相對(duì)位置，控制拍攝對(duì)象的位置。
利用拍攝控制部160的作用，對(duì)成為對(duì)象的各個(gè)噴嘴，取得噴嘴內(nèi)部的彎月面的狀態(tài)、噴嘴開(kāi)口的形狀、形成于噴嘴內(nèi)外的表面膜(薄膜)的狀態(tài)當(dāng)中的至少一個(gè)可以識(shí)認(rèn)的圖像，所取得的該圖像被送至判定部162。
判定部162具有判定條件存儲(chǔ)部163，該判定條件存儲(chǔ)部163針對(duì)噴嘴的輪廓形狀或薄膜的狀態(tài)而預(yù)先儲(chǔ)存了正常的狀態(tài)下的噴嘴的圖像信息(以下稱(chēng)為參照?qǐng)D像)。另外，具有將由拍攝部91送來(lái)的圖像和參照?qǐng)D像進(jìn)行比較，從而判定噴嘴異常的比較判定部164。而且，參照?qǐng)D像經(jīng)由操作者的輸入或借助電通信線(xiàn)路而被儲(chǔ)存。
參照?qǐng)D像例如為正常的噴嘴形狀的圖像數(shù)據(jù)，將該正常的噴嘴形狀和照相機(jī)單元24拍攝的噴嘴形狀進(jìn)行比較，判定拍攝的噴嘴為異常還是正常。另外，不僅單純地對(duì)噴嘴的異?；蛘＿M(jìn)行判斷，而且還判定異常噴嘴的程度，例如，判定是可以利用抽吸·擦拭單元(復(fù)原部)23使噴嘴復(fù)原的程度(第1異常)還是必須進(jìn)行噴頭20的更換的程度(第2異常)。由判定部162判定的判定結(jié)果被送至中央控制部150。
(液滴噴出方法)從這里開(kāi)始，對(duì)作為向基板P上印刷圖案的方法的液滴噴出方法進(jìn)行說(shuō)明。首先對(duì)噴頭20的液滴噴出動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明，然后，說(shuō)明液滴噴出裝置IJ的動(dòng)作，最后對(duì)噴嘴的噴出性能判定進(jìn)行說(shuō)明。
(噴頭的液滴噴出動(dòng)作)最初，參照?qǐng)D7及圖8對(duì)噴頭20的液滴噴出動(dòng)作進(jìn)行具體地說(shuō)明。
圖7是表示由噴頭供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電壓波形的一個(gè)例子的圖。另外，圖8是表示噴嘴的主要部分的剖面圖，是表示伴隨著電壓波形的變化的該噴嘴的液狀體的狀態(tài)的圖。
在噴出控制部156(參照?qǐng)D6)中生成的圖7所示的電壓波形V(t)被向噴頭20的壓電元件240供給，噴頭20將液狀體液滴化而噴出。
下面對(duì)具體的液滴噴出的過(guò)程進(jìn)行說(shuō)明。利用向壓電元件240供給電位V1并維持穩(wěn)定狀態(tài)的期間t0～t1、向壓電元件240供給電位V2而使噴頭20的空腔221膨脹的期間t1～t2、維持噴頭20的空間15的膨脹的期間t2～t3、向壓電元件240供給電位V3而使噴頭20的空腔221收縮的期間t3～t4、維持噴頭20的空腔221的收縮的期間t4～t5、向壓電元件240供給電位V1而解除噴頭20的空腔221的收縮的期間t5～t6，從噴嘴噴出1滴液滴。
而且，在噴頭的液滴噴出動(dòng)作中，從噴嘴噴出的液滴數(shù)(液滴噴出次數(shù))在中央控制部150(參照?qǐng)D6)中被計(jì)數(shù)。
參照?qǐng)D8，對(duì)相對(duì)于此種圖7所示的電壓波形，噴嘴211的附近的液狀體變動(dòng)的狀態(tài)進(jìn)行說(shuō)明。
在期間t0～t1中，噴嘴211內(nèi)的液狀體Q的液面部(彎月面)成為在噴嘴211內(nèi)穩(wěn)定的狀態(tài)。在噴嘴211的內(nèi)部，如后述所示，彎月面從噴嘴形成面20P側(cè)看形成凹面形狀。通過(guò)在噴嘴211內(nèi)以凹面形狀形成該彎月面，就可以從噴嘴211正常地噴出液滴。另外，從噴嘴形成面20P側(cè)看到的噴嘴211的形狀成為正常的形狀。在噴嘴211的形狀為異常的情況下，就會(huì)產(chǎn)生液滴的噴出不良、液滴的飛行彎曲、液滴量的誤差等，從而無(wú)法進(jìn)行正常的液滴噴出。另外，在該彎月面未形成凹面形狀時(shí)，就會(huì)產(chǎn)生液滴的噴出不良、液滴的飛行彎曲、液滴量的誤差等，無(wú)法進(jìn)行正常的液滴噴出。
在期間t1～t2中，通過(guò)向壓電元件240供給電位V2，空腔221膨脹，噴嘴211附近的液狀體Q被向空腔221側(cè)拉近。
在期間t3～t4中，通過(guò)向壓電元件240供給電位，膨脹的空腔逐個(gè)收縮，液狀體Q被向噴嘴211的外部壓出。
在期間t4～t6中，在向壓電元件240完全地供給電位V3后，液狀體Q從噴嘴211液滴化，噴嘴211噴出液滴Q’。當(dāng)該液滴Q’被噴出時(shí)，在該瞬間，噴嘴211內(nèi)的液狀體Q雖然振動(dòng)而成為不穩(wěn)定的狀態(tài)，但是，在期間t5～t6中，通過(guò)壓電元件240的電位從V3返回V1，空腔221略為膨脹，就可以抑制噴嘴211的液狀體Q的振動(dòng)。像這樣，由于噴出液滴Q’后的液狀體Q被在噴嘴211內(nèi)維持穩(wěn)定的狀態(tài)，因此彎月面再次形成凹面形狀，進(jìn)行下次的液滴噴出的準(zhǔn)備。
如以上說(shuō)明所示，在噴頭20中，根據(jù)供給壓電元件240的電壓波形V(t)，從噴嘴211中，液狀體Q被液滴化，噴出液滴Q’。
此外，特別是由于以良好的凹面形狀形成噴嘴211內(nèi)的液狀體Q的彎月面，另外，由于噴嘴211的形狀為正常，因此該液滴Q’的噴出狀態(tài)變?yōu)檎?，不?huì)產(chǎn)生噴出不良，抑制了液滴Q’的飛行彎曲，液滴量變得均一，從而可以獲得理想的命中精度。
(液滴噴出裝置IJ的動(dòng)作)下面，參照?qǐng)D1及圖6對(duì)液滴噴出裝置IJ的動(dòng)作進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
首先，圖1中，搬送裝置(未圖示)將基板P從臺(tái)架ST的前部12B搬入該臺(tái)架ST。另外，臺(tái)架ST對(duì)基板P進(jìn)行吸附保持并定位。此外，馬達(dá)44動(dòng)作，基板P的端面被設(shè)定為與Y軸方向平行。
然后，將液狀體填充到噴頭20中，進(jìn)行圖案印刷。圖案印刷是在使噴頭20和基板P沿X軸方向/Y軸方向相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，向基板P上從噴頭20的規(guī)定的噴嘴中以規(guī)定寬度噴出液狀體來(lái)進(jìn)行的。
具體來(lái)說(shuō)，首先，噴頭20在相對(duì)于基板P沿+X方向移動(dòng)的同時(shí)進(jìn)行噴出動(dòng)作。當(dāng)噴頭20和基板P的第1次的相對(duì)移動(dòng)(掃描)結(jié)束后，使支撐基板P的臺(tái)架ST相對(duì)于噴頭20沿Y軸方向移動(dòng)規(guī)定量的步長(zhǎng)，使噴頭20相對(duì)于基板P例如沿-X方向進(jìn)行第2次的相對(duì)移動(dòng)(掃描)，同時(shí)進(jìn)行噴出動(dòng)作。通過(guò)反復(fù)進(jìn)行多次該動(dòng)作，噴頭20就根據(jù)掃描控制部155的控制噴出液狀體，在基板P上形成規(guī)定的圖案。其后，解除利用臺(tái)架ST進(jìn)行的吸附保持，搬送裝置將基板P從臺(tái)架ST中搬出。
此種掃描控制是通過(guò)圖6的掃描控制部155對(duì)噴出控制部156、第1移動(dòng)裝置控制部157、第2移動(dòng)裝置控制部158的各控制部進(jìn)行同步控制來(lái)進(jìn)行的。
在此種利用液滴噴出裝置IJ進(jìn)行的一連串的液滴噴出方法中，由于噴出腐蝕性的液狀體，因此噴嘴就暴露在該腐蝕性的液狀體中。這樣，噴嘴的輪廓就會(huì)腐蝕而變形，或者其直徑變大，或產(chǎn)生薄膜的剝離，從而有導(dǎo)致液滴的噴出不良、液滴的飛行彎曲、液滴量的誤差等情況。該狀態(tài)下，就無(wú)法進(jìn)行正常的液滴噴出。
另外，伴隨著液滴噴出，噴嘴內(nèi)的彎月面被破壞，也會(huì)有導(dǎo)致液滴的噴出不良、液滴的飛行彎曲、液滴量的誤差等情況。該狀態(tài)下，就無(wú)法進(jìn)行正常的液滴噴出。
像這樣，有時(shí)因液滴噴出裝置IJ的動(dòng)作過(guò)程，造成噴嘴的噴出性能的降低的情況，作為其對(duì)策，需要拍攝噴頭20的噴嘴，將所拍攝的噴嘴的圖像與預(yù)先儲(chǔ)存在判定條件存儲(chǔ)部163中的參照?qǐng)D像進(jìn)行比較，判定所拍攝的噴嘴是異常還是正常。
具體來(lái)說(shuō)，需要比較所拍攝的噴嘴的形狀和預(yù)先儲(chǔ)存在判定條件存儲(chǔ)部163中的正常的噴嘴形狀，判定所拍攝的噴嘴是異常還是正常，另外，判定是可以利用抽吸·擦拭單元23復(fù)原的程度的異常、還是需要進(jìn)行噴頭20的更換的程度的異常。另外，判定是可以利用抽吸·擦拭單元23復(fù)原的程度的異常、還是需要進(jìn)行噴頭20的更換的程度的異常。
或者，需要拍攝噴頭20的噴嘴，確認(rèn)有無(wú)彎月面被破壞的不良噴嘴，在有該不良噴嘴的情況下，利用抽吸·擦拭單元23將不良噴嘴復(fù)原。
(噴嘴的噴出性能判定的實(shí)施例1)下面，參照?qǐng)D6、圖9、圖10、圖11，對(duì)噴嘴的噴出性能判定的實(shí)施例1進(jìn)行說(shuō)明。
圖9是表示噴嘴異常判定的處理的一個(gè)例子的流程圖。該流程圖中，對(duì)流程的整體進(jìn)行統(tǒng)一管理的是圖6的中央控制部150。
首先，如所述的「噴頭的液滴噴出動(dòng)作」中所說(shuō)明的那樣，確認(rèn)利用中央控制部150計(jì)數(shù)的噴頭20的噴出次數(shù)的數(shù)據(jù)(噴出次數(shù)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)器)(步驟1)。而且，這里所說(shuō)的噴出次數(shù)是指對(duì)于各噴嘴的平均值。
然后，判定從噴頭20中噴出的液滴的噴出次數(shù)是多于還是少于規(guī)定次數(shù)(步驟2)。這里，所謂規(guī)定次數(shù)是預(yù)先設(shè)定在中央控制部150中的次數(shù)。
此外，在噴出次數(shù)少于規(guī)定次數(shù)的情況下(否的情況)，判定為沒(méi)有必要拍攝噴嘴的形狀，轉(zhuǎn)移到液滴噴出動(dòng)作等下一個(gè)處理(步驟3)。
另外，在噴出次數(shù)多于規(guī)定次數(shù)的情況下(是的情況)，判定為有必要拍攝噴嘴的形狀，進(jìn)行后述的一連串的噴嘴異常判定方法。
然后，進(jìn)行用于拍攝噴頭20的噴嘴形成面20P的噴嘴面的拍攝(步驟4)。參照?qǐng)D1及圖5對(duì)具體的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。首先，圖1中，驅(qū)動(dòng)第1移動(dòng)裝置14及第2移動(dòng)裝置16，使噴頭20向與照相機(jī)單元24的鏡筒95的出射口95a相面對(duì)的位置移動(dòng)。然后，當(dāng)圖5的照明部92射出照明光時(shí)，半透鏡93使照明光向出射口95a側(cè)反射。此外，被照明光照出的噴嘴形成面20P的像透過(guò)半透鏡93，經(jīng)過(guò)光纖電纜94而被拍攝部91接收。
此種噴嘴面的拍攝是利用圖6的拍攝控制部160的控制進(jìn)行的。其結(jié)果是，拍攝部91中，可以獲得噴嘴周邊部的圖像，特別在本實(shí)施例中，可以獲得能夠識(shí)認(rèn)噴嘴的輪廓及噴嘴附近的薄膜的狀態(tài)的圖像，所獲得的圖像被送至判定部162。
再次回到圖9，然后，根據(jù)所拍攝的噴嘴的圖像判定該噴嘴是否異常(步驟5)。
該判定是通過(guò)將所拍攝的噴嘴的周邊部的圖像和預(yù)先儲(chǔ)存在判定條件存儲(chǔ)部163中的參照?qǐng)D像用比較判定部164進(jìn)行比較來(lái)進(jìn)行的。
具體來(lái)說(shuō)，例如，比較該噴嘴的形狀和成為判定基準(zhǔn)的正常的噴嘴的形狀，判定噴嘴是異常還是正常，即，判定噴嘴是否直徑擴(kuò)大化、噴嘴的輪廓是否不良、噴嘴附近的薄膜(共析鍍膜等)是否剝離。該判定結(jié)果被傳遞至中央控制部150。
此外，在判定為所拍攝的噴嘴為正常的情況(「良好」的情況)下，由于不需要使該噴嘴復(fù)原或更換噴頭20，因此就轉(zhuǎn)移至液滴噴出動(dòng)作等下一個(gè)處理(步驟3)。
另外，在判定為噴嘴為異常的情況(「不良」的情況)下，轉(zhuǎn)移至下面的步驟6。
這里，參照?qǐng)D10對(duì)判定了噴嘴形成面20P的噴嘴的形狀的異常的結(jié)果的一個(gè)例子進(jìn)行說(shuō)明。該圖10表示拍攝部91所拍攝的圖像。圖10(a)是表示判定基準(zhǔn)的正常噴嘴的形狀的圖，圖10(b)～圖10(d)是表示被判定為異常的噴嘴的形狀的圖。
如圖10(a)所示，正常的噴嘴為在噴嘴形成面20P上未看到腐蝕，噴嘴形成面上的薄膜(共析鍍膜等)也未剝離的狀態(tài)。
與之相反，如圖10(b)～圖10(d)所示，被判定為異常的噴嘴在噴嘴形成面20P上，其輪廓變形，可以看到作為薄膜的腐蝕位置的腐蝕部V、W、X。該腐蝕是因暴露在腐蝕性的液狀體中而形成的部位。在此種部位存在的狀態(tài)下進(jìn)行液滴噴出的情況下，就會(huì)導(dǎo)致噴出不良或命中精度降低、液霧產(chǎn)生等問(wèn)題。
像這樣，通過(guò)判定部將可以看到如圖10(b)～圖10(d)所示的腐蝕部V、W、X的噴嘴與圖10(a)的正常的噴嘴進(jìn)行比較，即判定為異常。
再次回到圖9，在步驟6中，詳細(xì)地判定步驟5中被判定為異常的噴嘴為何種程度的異常。該判定也與步驟5相同，由判定部162進(jìn)行，判定結(jié)果被傳遞至中央控制部150。
具體來(lái)說(shuō)，判定是可以利用抽吸·擦拭單元23使噴嘴復(fù)原的程度(第1異常)還是必須進(jìn)行噴頭20的更換的程度(第2異常)。因而，在與正常的噴嘴的差較大的情況(是的情況)下，判定為噴頭20的不良，中央控制部150進(jìn)行命令，在顯示器等顯示部(噴頭異常顯示部165)中顯示表示噴嘴面異常的信息和敦促更換噴頭20的信息(步驟7)，噴嘴異常判定方法即結(jié)束。
另外，在與正常噴嘴的差較小的情況(否的情況)下，轉(zhuǎn)移至下面的步驟8。
步驟7中，在顯示了噴嘴面的異常的情況下，基于顯示器的顯示，操作者通過(guò)更換噴頭，使液滴噴出裝置IJ再起動(dòng)，從而該液滴噴出裝置IJ即良好地運(yùn)行。
而且，對(duì)于噴頭20的更換，也可以通過(guò)使液滴噴出裝置IJ具備進(jìn)行噴頭的更換的更換部，來(lái)自動(dòng)地進(jìn)行。
這里，參照?qǐng)D11，對(duì)作為可以利用抽吸·擦拭單元23使噴嘴復(fù)原的程度的異常的噴嘴和作為必須進(jìn)行噴頭20的更換的程度的異常的噴嘴的一個(gè)例子進(jìn)行說(shuō)明。
圖11(a)是表示可以利用擦拭復(fù)原的程度的噴嘴的圖，圖11(b)是表示必須進(jìn)行噴頭20的更換的程度的噴嘴的圖。
圖11(a)中，在噴嘴形成面20P上，在噴嘴211的附近可以看到以符號(hào)Z1～Z3表示的薄膜的腐蝕部。另外，噴嘴211的附近的薄膜處于未剝離的狀態(tài)。此種噴嘴形成面20P中，雖然在噴嘴211的周緣部形成有腐蝕部Z3，但是判定部162與正常噴嘴的形狀比較的結(jié)果是，判定為不是導(dǎo)致噴出不良、命中精度降低、液霧的產(chǎn)生的腐蝕，另外，判定為可以利用擦拭來(lái)復(fù)原。
另外，圖11(b)中，噴嘴211的附近的薄膜彎曲剝離掉，剝離部Z4露出。此種噴嘴形成面20P中，判定部162與正常的噴嘴的形狀比較的結(jié)果是，判定為導(dǎo)致噴出不良、命中精度降低、液霧的產(chǎn)生，另外，判定為需要進(jìn)行噴頭20的更換。
再次回到圖9，在步驟8中，判定噴嘴形成面20P的擦拭次數(shù)是否在規(guī)定次數(shù)以上。具體來(lái)說(shuō)，比較中央控制部150所計(jì)數(shù)的擦拭次數(shù)和預(yù)先在中央控制部150中設(shè)定的設(shè)定次數(shù)，判定擦拭次數(shù)是否在規(guī)定次數(shù)以上。
此外，在擦拭次數(shù)多于規(guī)定次數(shù)的情況(是的情況)下，轉(zhuǎn)移至步驟7，如已經(jīng)說(shuō)明的那樣進(jìn)行處理。
另外，在擦拭次數(shù)少于規(guī)定次數(shù)的情況(否的情況)下，轉(zhuǎn)移至步驟9，中央控制部150向擦拭部控制部154發(fā)出命令以擦拭噴嘴面。此外，利用抽吸·擦拭單元23的擦拭部80b進(jìn)行噴嘴形成面20P的擦拭，回到步驟4。
如上所述，本實(shí)施例中，與象以往那樣觀(guān)察附著在噴嘴周邊的液狀體(墨液)的異常、墨液的泡狀的殘存物、墨液的污物的技術(shù)不同，由于在拍攝了噴嘴的周邊部后與正常的噴嘴的形狀比較來(lái)判定噴嘴的異常，因此就可以早期地發(fā)現(xiàn)該異常噴嘴。所以，由于不會(huì)在將異常噴嘴放置不管的狀態(tài)下噴出液滴，因而就可以預(yù)先防止由異常噴嘴引起的液滴的噴出不良、液滴的飛行彎曲、命中精度的惡化、液滴量的不均、液霧的產(chǎn)生等。
另外，通過(guò)像這樣早期發(fā)現(xiàn)異常噴嘴，就可以在大量生產(chǎn)使用液滴噴出法形成的各種產(chǎn)品的不良之前使異常噴嘴復(fù)原，或更換噴頭，因此就可以大幅度地削減不良成本。即，不用進(jìn)行不良產(chǎn)品的修正，從而可以實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的成本降低。
另外，在操作者觀(guān)察噴嘴周邊部的圖像進(jìn)行判斷的情況下，可以基于該操作者的知識(shí)或經(jīng)驗(yàn)來(lái)判定噴嘴的異常。
另外，在使用控制裝置CONT進(jìn)行圖像處理等的情況下，可以使所述的噴嘴異常的判定自動(dòng)化。
另外，通過(guò)使所述的異常噴嘴復(fù)原，或更換具有異常噴嘴的噴頭20，就可以使噴頭20的全部噴嘴都處于用于進(jìn)行正常的噴出的良好的狀態(tài)。所以，就可以噴出與由壓電元件240供給的電壓波形V(t)對(duì)應(yīng)的液滴，從而可以實(shí)現(xiàn)液滴的命中位置的高精度化、液滴量的不均的降低、飛行彎曲的防止、液霧的控制。
另外，通過(guò)判定噴嘴的異常或正常，在判定為正常時(shí)以該狀態(tài)使用即可，另外，在判定為異常時(shí)則進(jìn)行噴嘴的復(fù)原或噴頭的更換即可。所以，與單純地定期進(jìn)行噴嘴的復(fù)原或噴頭的更換的情況相比，就不需要對(duì)正常的噴嘴進(jìn)行無(wú)謂的復(fù)原動(dòng)作，不需要無(wú)謂地更換具有正常的噴嘴的噴頭20。即，可以恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行復(fù)原工序或更換工序。
另外，在控制裝置CONT的判定結(jié)果為可以利用擦拭使噴嘴復(fù)原的程度的情況下，可以使異常噴嘴復(fù)原而再次進(jìn)行液滴噴出。另外，在判定結(jié)果為需要進(jìn)行噴頭的更換的情況下，通過(guò)更換噴頭自身，可以再次進(jìn)行液滴噴出。
另外，在被判定為所述的可以復(fù)原的程度的噴嘴中，由于不更換噴頭，而利用復(fù)原動(dòng)作使噴嘴復(fù)原，因此與例如在判定了噴嘴的異常時(shí)直接更換噴頭20的情況相比，可以使更換噴頭20的工序簡(jiǎn)略化，從而可以節(jié)約噴頭20內(nèi)的液狀體。另外，不會(huì)浪費(fèi)例如像工業(yè)用的液狀體那樣高價(jià)的材料，從而可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)成本的降低。
另外，在噴頭20噴出規(guī)定次數(shù)液滴后，通過(guò)拍攝噴嘴的周邊部，就可以拍攝薄膜(共析鍍膜等)的因腐蝕等而變化了的噴嘴的狀態(tài)。另外，通過(guò)像這樣基于所拍攝的圖像判定噴嘴的異?；蛘?，就可以發(fā)現(xiàn)在規(guī)定次數(shù)的液滴噴出之間產(chǎn)生的異常噴嘴。
另外，在將所述噴嘴的周邊部放大拍攝的情況下，可以詳細(xì)地拍攝噴嘴的形狀。另外，在縮小的情況下可以同時(shí)地拍攝多個(gè)噴嘴。
另外，由于所拍攝的圖像為彩色圖像或單色圖像，因此在彩色圖像的情況下可以確認(rèn)噴嘴的形狀或周邊部的薄膜(共析鍍膜等)的腐蝕狀態(tài)等、附著在噴嘴附近的液狀體的殘存物等，從而可以獲得詳細(xì)的拍攝信息。另外，由于在單色圖像的情況下可以將噴嘴的形狀作為黑白的圖像確認(rèn)，因此就可以用比彩色圖像更簡(jiǎn)單的拍攝信息進(jìn)行拍攝。
(噴嘴的噴出性能判定的實(shí)施例2)下面，參照?qǐng)D6、圖12、圖13、圖14，對(duì)噴嘴的噴出性能判定的實(shí)施例2進(jìn)行說(shuō)明。
圖12是表示噴嘴的噴出性能判定的處理的一個(gè)例子的流程圖。該流程圖中，對(duì)流程的整體進(jìn)行統(tǒng)一管理的是圖6的中央控制部150。
首先，如圖12所示，判定從噴頭20噴出的液滴的噴出次數(shù)是多于還是少于規(guī)定次數(shù)(步驟1)。
這里，液滴的噴出次數(shù)如所述的「噴頭的液滴噴出動(dòng)作」中說(shuō)明所示，是由中央控制部150計(jì)數(shù)的從噴頭20中噴出的液滴數(shù)。另外，所謂規(guī)定次數(shù)是在中央控制部150中預(yù)先設(shè)定的次數(shù)。而且，這里所說(shuō)的噴出次數(shù)是指對(duì)于各噴嘴的平均值。
此外，在噴出次數(shù)少于規(guī)定次數(shù)的情況(否的情況)下，判定為不需要進(jìn)行噴嘴觀(guān)察，轉(zhuǎn)移至液滴噴出動(dòng)作等的下一個(gè)處理(步驟2)。另外，在噴出次數(shù)多于規(guī)定次數(shù)的情況(是的情況)下，判定為需要進(jìn)行噴嘴觀(guān)察，進(jìn)行后述的一連串的噴嘴觀(guān)察。
然后，進(jìn)行噴頭20的噴嘴形成面20P的抽吸動(dòng)作(步驟3)。該抽吸動(dòng)作是在所述的圖1及圖4所示的抽吸·擦拭單元23中進(jìn)行。
參照?qǐng)D4對(duì)具體的動(dòng)作進(jìn)行說(shuō)明。首先，將帽81與噴頭20的噴嘴形成面20P連接。然后，在該狀態(tài)下，抽吸泵82抽吸由噴頭20和帽81形成的空間的空氣。通過(guò)抽吸該空間，將噴頭20的噴嘴面的附著物、流路內(nèi)的氣泡等與液狀體一起抽吸。通過(guò)進(jìn)行此種抽吸，例如噴出空缺或不良噴嘴就會(huì)復(fù)原。
此種抽吸動(dòng)作是通過(guò)圖6的中央控制部150向抽吸部控制部153發(fā)出抽吸的命令，抽吸部控制部153驅(qū)動(dòng)控制抽吸部80a來(lái)進(jìn)行的。而且，進(jìn)行此種抽吸動(dòng)作的實(shí)施次數(shù)被中央控制部150計(jì)數(shù)并儲(chǔ)存，如后述所示，成為判定噴頭20的不良所必需的信息。
另外，由抽吸泵82所抽吸的抽吸量為預(yù)先由抽吸部控制部153設(shè)定的值。
再次回到圖12，然后，進(jìn)行噴頭20的噴嘴形成面20P的擦拭動(dòng)作(步驟4)。該擦拭動(dòng)作是在所述的圖1及圖4所示的擦拭單元23中進(jìn)行的。對(duì)于擦拭動(dòng)作的詳細(xì)情況，由于已經(jīng)說(shuō)明，因此省略。
此種擦拭動(dòng)作是通過(guò)圖6的中央控制部150向擦拭部控制部154發(fā)出擦拭的命令，擦拭部控制部154驅(qū)動(dòng)控制擦拭部80b而進(jìn)行的。而且，進(jìn)行此種擦拭動(dòng)作的實(shí)施次數(shù)被中央控制部150計(jì)數(shù)并儲(chǔ)存，如后述所示，成為判定擦拭器83的良好與否所必需的信息。
然后，進(jìn)行用于拍攝噴頭20的噴嘴形成面20P的噴嘴面觀(guān)察(步驟5)。該噴嘴面觀(guān)察是在照相機(jī)單元24中進(jìn)行的。對(duì)于噴嘴面觀(guān)察動(dòng)作的詳細(xì)情況，由于已經(jīng)說(shuō)明，因此省略。
此種噴嘴面觀(guān)察是由圖6的拍攝控制部160的控制完成的。其結(jié)果是，拍攝部91中，可以獲得噴嘴周邊部的圖像，特別是在本實(shí)施例中，可以獲得能夠識(shí)認(rèn)噴嘴內(nèi)的彎月面的狀態(tài)的圖像，所獲得的圖像被送至判定部162。
然后，在拍攝了噴嘴形成面20P后，基于將噴嘴內(nèi)部放大而拍攝的圖像，進(jìn)行該噴嘴內(nèi)的彎月面的狀態(tài)的判定(步驟6)。具體來(lái)說(shuō)，進(jìn)行在噴嘴內(nèi)部是否良好地形成彎月面的判定，換言之，對(duì)彎月面的有無(wú)(良好與否)進(jìn)行判定。
彎月面的有無(wú)(良好與否)是利用反映了照射光在彎月面上的反射光的噴嘴內(nèi)部的亮度來(lái)判定的。另外，該判定也可以利用彎月面的液狀體的顏色來(lái)進(jìn)行。使用哪一種判定方法可以根據(jù)拍攝圖像是單色圖像還是彩色圖像來(lái)選擇，另外也可以同時(shí)使用兩種方法。
此種彎月面的狀態(tài)的判定利用圖6的判定部162進(jìn)行，判定結(jié)果被送至中央控制部150。此外，在沒(méi)有彎月面的情況(否的情況)下，判斷為噴嘴不良而轉(zhuǎn)移到下面的步驟7。另外，在有彎月面的情況(是的情況)下，判定為噴嘴良好，轉(zhuǎn)移到下面的步驟8。
這里，參照?qǐng)D13，對(duì)判定了噴嘴形成面20P的噴嘴內(nèi)部的彎月面的有無(wú)(良好與否)的結(jié)果的一個(gè)例子進(jìn)行說(shuō)明。該圖13表示拍攝部91所拍攝的圖像。另外，圖13(a)是表示判定為有彎月面或正常的噴嘴的狀態(tài)的圖，圖13(b)是表示判定為沒(méi)有彎月面或不良的噴嘴的狀態(tài)的圖。
如圖13(a)所示，在被判定為有彎月面或正常的噴嘴中，在噴嘴內(nèi)部可以看到照明光的反射部X。與之相反，如圖13(b)所示，在判定為沒(méi)有彎月面或不良的噴嘴中，在噴嘴內(nèi)部，可以看到黑色部Y。該黑色部Y為照明光不反射的部分，意味著成為彎月面的液狀體并未形成。
再次回到圖12，在步驟7中，比較由中央控制部150儲(chǔ)存的抽吸動(dòng)作的實(shí)施次數(shù)和預(yù)先設(shè)定的規(guī)定次數(shù)，判定抽吸動(dòng)作的實(shí)施次數(shù)是多于還是少于規(guī)定次數(shù)。
此外，在實(shí)施次數(shù)多于規(guī)定次數(shù)的情況(是的情況)下，判定為噴頭20的不良(步驟7A)，中央控制部150向顯示器等顯示部(噴頭異常顯示部165)發(fā)出命令，使之顯示敦促?lài)婎^20的更換的信息，流程結(jié)束(步驟7B)。另外，在實(shí)施次數(shù)少于規(guī)定次數(shù)的情況(否的情況)下，回到步驟3，進(jìn)行抽吸動(dòng)作，其后基于所述的各步驟進(jìn)行處理。
步驟8中，在拍攝了噴嘴形成面20P后，基于拍攝噴嘴附近的圖像，進(jìn)行該噴嘴的周?chē)奈廴疚锏挠袩o(wú)的判定。
污染物的有無(wú)是利用反映了照射光在污染物上的反射光的亮度的差異來(lái)判定的。另外，該判定也可以利用噴嘴形成面20P的顏色的差異來(lái)進(jìn)行。使用哪一種判定方法可以根據(jù)拍攝圖像是單色圖像還是彩色圖像來(lái)選擇，另外也可以同時(shí)使用兩種方法。
此種污染物的有無(wú)的判定也是利用圖6的判定部162進(jìn)行。此外，在噴嘴的周?chē)形廴疚锏那闆r(是的情況)下，轉(zhuǎn)移到下面的步驟9。在噴嘴的周?chē)鷽](méi)有污染物的情況(否的情況)下，將判定結(jié)果返回到圖6的中央控制部150，轉(zhuǎn)移到下面的步驟10。
步驟9中，對(duì)附著在噴嘴周?chē)奈廴疚锸欠裨陔x開(kāi)噴嘴規(guī)定的距離內(nèi)進(jìn)行判定。該判定在控制裝置CONT中進(jìn)行。而且，在污染物處于規(guī)定的距離內(nèi)的情況(是的情況)下，將該判定結(jié)果返回圖6的中央控制部150，移到下面的步驟11。另外，在污染物處于規(guī)定的距離內(nèi)的情況(否的情況)下，將該判定結(jié)果返回圖6的中央控制部150，移到下面的步驟10。
這里，參照?qǐng)D14，對(duì)判定了噴嘴形成面20P的污染物是否在離噴嘴211規(guī)定的距離內(nèi)的結(jié)果的例子進(jìn)行說(shuō)明。該圖14表示拍攝部91所拍攝的圖像。另外，圖14(a)是判定為污染物不在離噴嘴211規(guī)定的距離內(nèi)的圖，圖14(b)是判定為污染物在規(guī)定的距離內(nèi)的圖。
如圖14(a)所示，在判定為污染物不在離噴嘴211規(guī)定的距離內(nèi)的情況下，在離噴嘴211距離L的范圍以外可以看到污染物Z。與之相反，如圖14(b)所示，在判定為污染物在規(guī)定的距離內(nèi)的噴嘴中，在離噴嘴211距離L的范圍內(nèi)可以看到污染物Z。
在像這樣污染物Z存在于比噴嘴211更遠(yuǎn)的位置，即比距離L更長(zhǎng)的距離處的情況下，該污染物Z就不會(huì)對(duì)液滴的噴出造成影響。與之相反，當(dāng)污染物Z存在于噴嘴211的附近，即比距離L更短的距離處時(shí)，則該污染物Z就會(huì)導(dǎo)致液滴的飛行彎曲或命中精度的降低。
再次回到圖12，在步驟10中，進(jìn)行液滴噴出動(dòng)作等的下一個(gè)處理。在此種步驟10中，由于經(jīng)過(guò)所述的噴嘴面觀(guān)察噴嘴的彎月面的狀態(tài)為良好，因此如參照?qǐng)D7及圖8說(shuō)明所示，可以進(jìn)行與電壓波形V(t)對(duì)應(yīng)的良好的液滴的噴出。另外，由于判斷為污染物不在離噴嘴規(guī)定距離內(nèi)，因此就不會(huì)產(chǎn)生由該污染物引起的飛行彎曲或命中精度的降低，從而可以進(jìn)行液滴的噴出。
在步驟11中，比較儲(chǔ)存在中央控制部150中的擦拭動(dòng)作的實(shí)施次數(shù)和預(yù)先設(shè)定的規(guī)定次數(shù)，判定擦拭動(dòng)作的實(shí)施次數(shù)是多于還是少于規(guī)定次數(shù)。
這樣，在實(shí)施次數(shù)多于規(guī)定次數(shù)的情況(是的情況)下，判定為擦拭器83的不良(步驟11A)，中央控制部150向顯示器等顯示部(噴頭異常顯示部165)發(fā)出命令，使之顯示敦促?lài)婎^20的更換的信息，流程結(jié)束(步驟11B)。另外，在實(shí)施次數(shù)少于規(guī)定次數(shù)的情況(否的情況)下，增加或減少擦拭器83向噴嘴形成面20P推壓的量，或進(jìn)行驅(qū)動(dòng)部84的調(diào)整等(步驟11C)。并且，回到步驟4進(jìn)行擦拭動(dòng)作，其后基于所述的各步驟進(jìn)行處理。
如上所述，本實(shí)施例中，與以往那樣觀(guān)察附著于噴嘴附近的液狀體的異常、液狀體的泡狀的殘存物、液狀體的污物的技術(shù)不同，可以拍攝噴嘴的內(nèi)部，而獲得能夠識(shí)認(rèn)噴嘴內(nèi)的彎月面的狀態(tài)的圖像。
另外，基于所拍攝的噴嘴內(nèi)部的圖像，就可以判定噴嘴的良好與否，通過(guò)根據(jù)該判定結(jié)果來(lái)改善不良的噴嘴，就可以使噴頭20的全部噴嘴都處于用于進(jìn)行正常的噴出的良好的狀態(tài)。所以，就可以噴出與由壓電元件240供給的電壓波形V(t)對(duì)應(yīng)的液滴Q’，另外，可以實(shí)現(xiàn)液滴Q’向基板P上噴出的位置的高精度化(命中位置的高精度化)、液滴量的不均的減少。
另外，由于基于判定為正常的噴嘴和不良的噴嘴的結(jié)果改善不良的噴嘴，而正常的噴嘴在該狀態(tài)下使用即可，因此，與單純地對(duì)正常的噴嘴及不良的噴嘴的液狀體都相同地抽吸的情況相比，就不需要無(wú)謂地對(duì)由正常的噴嘴抽吸的液狀體進(jìn)行抽吸。即，由于可以節(jié)約液狀體，因此就不會(huì)浪費(fèi)像工業(yè)用的液狀體那樣高價(jià)的材料，從而可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)成本的降低。
另外，由于不是簡(jiǎn)單地拍攝噴嘴的內(nèi)部，而是拍攝填充于噴嘴的內(nèi)部的液狀體的彎月面的狀態(tài)，因此就可以判定為了進(jìn)行正常的液滴噴出所必需的彎月面的良好與否，通過(guò)根據(jù)該判定結(jié)果來(lái)改善不良的彎月面，就可以使全部噴嘴的彎月面都處于用于進(jìn)行正常的噴出的良好的狀態(tài)。
另外，由于在進(jìn)行了規(guī)定次數(shù)的液滴噴出后，觀(guān)察所述的噴嘴，因此就可以發(fā)現(xiàn)在規(guī)定次數(shù)的液滴噴出之間產(chǎn)生的不良噴嘴。
而且，并不限定于每隔規(guī)定次數(shù)進(jìn)行噴嘴觀(guān)察的方法，也可以采用在經(jīng)過(guò)了規(guī)定時(shí)間后進(jìn)行噴嘴觀(guān)察的方法。
另外，由于將附著在噴嘴形成面20P上的液狀體的殘存物利用擦拭除去，因此就可以將噴嘴形成面20P保持為潔凈的狀態(tài)。所以，由于除去了導(dǎo)致飛行彎曲的液狀體的殘存物，因此就可以提高命中精度。
另外，由于從噴嘴形成面20P中抽吸液狀體，因此就可以在不良噴嘴內(nèi)填充液狀體，并且可以在該不良噴嘴內(nèi)形成彎月面。所以，就可以按照使不良噴嘴可以正常地進(jìn)行液滴噴出的方式進(jìn)行改善。
另外，在判定污染物是否在離噴嘴規(guī)定距離內(nèi)的結(jié)果為判定污染物處于規(guī)定距離內(nèi)的情況下，則除去該污染物，因此就可以抑制由噴嘴形成面20P上的污染物的殘留引起的飛行彎曲或命中精度的降低。另外，在判定為污染物在規(guī)定距離外的情況下，污染物就不會(huì)對(duì)液滴噴出時(shí)的飛行彎曲或命中精度產(chǎn)生影響。所以，通過(guò)使污染物殘留，就不需要除去該污染物的工序，從而可以實(shí)現(xiàn)工序的簡(jiǎn)單化。
另外，不需要無(wú)謂地對(duì)噴嘴形成面20P進(jìn)行擦拭，從而可以最恰當(dāng)?shù)剡M(jìn)行噴出。
另外，由于基于判定為正常的噴嘴和不良的噴嘴的結(jié)果改善不良的噴嘴，而正常的噴嘴在該狀態(tài)下使用即可，因此，與單純地對(duì)正常的噴嘴及不良的噴嘴的液狀體都相同地抽吸的情況相比，就不需要無(wú)謂地對(duì)由正常的噴嘴抽吸的液狀體進(jìn)行抽吸。即，由于可以節(jié)約液狀體，因此就不會(huì)浪費(fèi)像工業(yè)用的液狀體那樣高價(jià)的材料，從而可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)成本的降低。
而且，所述的實(shí)施方式中，雖然抽吸·擦拭單元23對(duì)多個(gè)噴嘴的全部都抽吸，但是，作為抽吸·擦拭單元23的變形例，也可以采用對(duì)形成于噴頭20上的多個(gè)噴嘴當(dāng)中選擇性地僅抽吸一個(gè)噴嘴的構(gòu)成。
這樣，從不良噴嘴中選擇性地抽吸液狀體，就可以向該不良噴嘴內(nèi)填充液狀體而形成彎月面。另外，由于不從多個(gè)噴嘴當(dāng)中的被判斷為良好的噴嘴中抽吸液狀體，因此就不會(huì)無(wú)謂地抽吸液狀體。所以，例如在填充了高價(jià)的液狀體的噴頭中，由于不需要無(wú)謂地抽吸液狀體，因此就可以實(shí)現(xiàn)該液狀體的節(jié)約。
另外，作為抽吸·擦拭單元23的另一個(gè)變形例，也可以采用對(duì)多個(gè)噴嘴當(dāng)中的、按照規(guī)定數(shù)的噴嘴分割的噴嘴區(qū)域進(jìn)行抽吸的構(gòu)成。
這樣，僅從具有不良噴嘴的噴嘴區(qū)域中抽吸液狀體，就可以向該不良噴嘴內(nèi)填充液狀體而形成彎月面。這里，由于不從多個(gè)噴嘴當(dāng)中的具有被判斷為良好的噴嘴的噴嘴區(qū)域中抽吸液狀體，因此就不會(huì)無(wú)謂地抽吸液狀體。所以，例如在填充了高價(jià)的液狀體的噴頭中，由于不需要無(wú)謂地抽吸液狀體，因此就可以實(shí)現(xiàn)該液狀體的節(jié)約。另外，在噴嘴間距微小的情況下，由于必須準(zhǔn)備用于僅從一個(gè)噴嘴中抽吸液狀體的微小的抽吸部，因此液狀體的抽吸就很困難，但是，在從噴嘴區(qū)域中抽吸液狀體的情況下，由于可以增大抽吸部的尺寸，因此就可以容易地進(jìn)行液狀體的抽吸。另外，與從全部噴嘴中抽吸液狀體的情況相比，由于僅從具有不良噴嘴的噴嘴區(qū)域中抽吸液狀體，因此就可以節(jié)約液狀體。
(顯示裝置)下面，對(duì)通過(guò)使用所述的液滴噴出裝置、液滴噴出方法制造的顯示裝置進(jìn)行說(shuō)明。
(等離子型顯示裝置)圖15表示本實(shí)施方式的等離子型顯示裝置500的分解立體圖。
等離子型顯示裝置500包含相互面對(duì)配置的基板501、501及形成于它們之間的放電顯示部510。
放電顯示部510是集合了多個(gè)放電室516的部分。多個(gè)放電室516當(dāng)中的紅色放電室516(R)、綠色放電室516(G)、藍(lán)色放電室516(B)這3個(gè)放電室516被按照形成一對(duì)而構(gòu)成1個(gè)象素的方式配置。
在基板501的上面以規(guī)定的間隔成條紋狀形成地址電極511，按照覆蓋地址電極511和基板501的上面的方式形成電介質(zhì)層519。
在電介質(zhì)層519上，按照位于地址電極511、511之間并且沿著各地址電極511的方式形成隔壁515。隔壁515包括與地址電極511的寬度方向左右兩側(cè)相鄰的隔壁、沿與地址電極511正交的方向延伸設(shè)置的隔壁。另外，與由隔壁515分隔出的長(zhǎng)方形的區(qū)域?qū)?yīng)地形成放電室516。
另外，在由隔壁515劃分的長(zhǎng)方形的區(qū)域的內(nèi)側(cè)配置有熒光體517。熒光體517是發(fā)出紅、綠、藍(lán)任意一種熒光的物質(zhì)，在紅色放電室516(R)的底部配置有紅色熒光體517(R)，在綠色放電室516(G)的底部配置有綠色熒光體517(G)，在藍(lán)色放電室516(B)的底部配置有藍(lán)色熒光體517(B)。
另一方面，在基板502上，沿與前面的地址電極511正交的方向成條紋狀以規(guī)定的間隔形成有多個(gè)顯示電極512。另外，按照覆蓋它們的方式形成有電介質(zhì)層513及由MgO等形成的保護(hù)膜514。
基板501和基板502按照使所述地址電極511…和顯示電極512…相互正交的方式被相面對(duì)地相互貼合在一起。
所述地址電極511和顯示電極512與圖示省略的交流電源連接。通過(guò)向各電極通電，在放電顯示部510中熒光體517激勵(lì)發(fā)光，從而可以進(jìn)行彩色顯示。
在此種等離子型顯示裝置500中，所述地址電極511及顯示電極512分別使用前面的圖1所示的液滴噴出裝置IJ并基于所述的液滴噴出方法、噴嘴異常判定方法而形成。此種地址電極511及顯示電極512是通過(guò)將在二甲苯等溶劑中分散了金屬微粒的分散液填充到液滴噴出裝置IJ的噴頭20中，以規(guī)定的圖案進(jìn)行液滴噴出動(dòng)作而形成的。另外，適當(dāng)使用除去溶劑的工序、燒結(jié)金屬微粒的工序。
(液晶顯示裝置)圖16是用于說(shuō)明液晶顯示裝置的圖，圖16(a)是構(gòu)成液晶顯示裝置的圖像顯示區(qū)域的開(kāi)關(guān)元件等各種元件及配線(xiàn)等的等價(jià)電路，圖16(b)表示液晶顯示裝置的主要部分，是用于說(shuō)明各象素所具有的開(kāi)關(guān)元件和象素電極的構(gòu)造的剖面放大圖。
如圖16(a)所示，液晶顯示裝置100形成有多個(gè)以矩陣狀配置的掃描線(xiàn)101及數(shù)據(jù)線(xiàn)102、象素電極130、用于控制該象素電極130的象素開(kāi)關(guān)用TFT(以下稱(chēng)為T(mén)FT。)110。在掃描線(xiàn)101中，脈沖式地供給掃描信號(hào)Q1、Q2、…、Qm，在數(shù)據(jù)線(xiàn)102中，供給圖像信號(hào)P1、P2、…、Pn。另外，掃描線(xiàn)101及數(shù)據(jù)線(xiàn)102如后述所示，與TFT110連接，從而利用掃描信號(hào)Q1、Q2、…、Qm及圖像信號(hào)P1、P2、…、Pn驅(qū)動(dòng)TFT110。另外，形成將規(guī)定電平的圖像信號(hào)P1、P2、…、Pn保持一定期間的存儲(chǔ)電容120，在該存儲(chǔ)電容120上連接有電容線(xiàn)103。
下面，參照?qǐng)D16(b)，對(duì)TFT110的構(gòu)造進(jìn)行說(shuō)明。
如圖16(b)所示，TFT110是所謂底柵極型(逆交錯(cuò)型)構(gòu)造的TFT。作為具體的構(gòu)造，將構(gòu)成液晶顯示裝置100的基材的絕緣基板100a、形成于絕緣基板100a的表面的基底保護(hù)膜100I、柵電極110G、柵極絕緣膜110I、通道區(qū)域110C、通道保護(hù)用的絕緣膜112I以該順序?qū)盈B。在絕緣膜112I的兩側(cè)形成高濃度N型的無(wú)定形硅膜的源區(qū)域110S及漏區(qū)域110D，在它們的表面形成有源電極111S及漏電極111D。
另外，在它們的表面?zhèn)刃纬捎薪^緣膜112I、由ITO等透明電極構(gòu)成的象素電極130，象素電極130借助絕緣膜112I的接觸孔與漏電極111D電連接。
這里，柵電極110G是掃描線(xiàn)101的一部分，另外，源電極111S是數(shù)據(jù)線(xiàn)102的一部分。另外，柵電極110G及掃描線(xiàn)101利用前面所述的圖案形成方法形成。
在此種液晶顯示裝置100中，與掃描信號(hào)Q1、Q2、…、Qm對(duì)應(yīng)地從掃描線(xiàn)101向柵電極110G供給電流，在柵電極110G附近產(chǎn)生電場(chǎng)，利用該電場(chǎng)的作用，通道區(qū)域110C成為導(dǎo)通狀態(tài)。另外，在該導(dǎo)通狀態(tài)下，與圖像信號(hào)P1、P2、…、Pn對(duì)應(yīng)地從數(shù)據(jù)線(xiàn)102向源電極110S供給電流，與象素電極130導(dǎo)通，在象素電極130和對(duì)置電極間加上電壓。即，通過(guò)控制掃描信號(hào)Q1、Q2、…、Qm及圖像信號(hào)P1、P2、…、Pn，就可以按照所希望的方式驅(qū)動(dòng)液晶顯示裝置。
在此種液晶顯示裝置中，柵電極110G及掃描線(xiàn)101分別使用前面的圖1所示的液滴噴出裝置IJ以及基于所述的液滴噴出方法、噴嘴異常判定方法而形成。此種柵電極110G及掃描線(xiàn)101是通過(guò)將在二甲苯等溶劑中分散了金屬微粒的分散液填充到液滴噴出裝置IJ的噴頭20中，以規(guī)定的圖案進(jìn)行液滴噴出動(dòng)作而形成的。另外，適當(dāng)使用除去溶劑的工序、燒結(jié)金屬微粒的工序。
(場(chǎng)致發(fā)射顯示器)圖17是用于說(shuō)明場(chǎng)致發(fā)射顯示器(以下稱(chēng)為FED)的圖，圖17(a)是表示構(gòu)成FED的陰極基板和陽(yáng)極基板的配置的概略構(gòu)成圖，圖17(b)是FED當(dāng)中的陰極基板所具備的驅(qū)動(dòng)電路的示意圖，圖17(c)是表示陰極基板的主要部分的立體圖。
如圖17(a)所示，F(xiàn)ED 400形成將陰極基板400a和陽(yáng)極基板400b相面對(duì)配置的構(gòu)成。陰極基板400a如圖17(b)所示，具備柵極線(xiàn)401、射極線(xiàn)402、與該柵極線(xiàn)401和射極線(xiàn)402連接的場(chǎng)致發(fā)射元件403，即，形成所謂單純矩陣驅(qū)動(dòng)電路。在柵極線(xiàn)401中，供給門(mén)信號(hào)V1、V2、…、Vm，在射極線(xiàn)402中，供給射極信號(hào)W1、W2、…、Wn。另外，陽(yáng)極基板400b具有由RGB構(gòu)成的熒光體，該熒光體具有通過(guò)與電子接觸而發(fā)光的性質(zhì)。
如圖17(c)所示，場(chǎng)致發(fā)光元件403具備與射極線(xiàn)402連接的發(fā)射電極403a、與柵極線(xiàn)401連接的柵電極403b。另外，發(fā)射電極403a具備從發(fā)射電極403a側(cè)向柵電極403b直徑縮小化的被稱(chēng)為射極尖端405的突起部，在與該射極尖端405對(duì)應(yīng)的位置上在柵電極403b上形成孔部404，在該孔部404內(nèi)配置有射極尖端405的頭端。
在此種FED400中，通過(guò)控制柵極線(xiàn)401的門(mén)信號(hào)V1、V2、…、Vm，及射極線(xiàn)402的射極信號(hào)W1、W2、…、Wn，就可以向柵電極403a和發(fā)射電極403b之間供給電壓，利用電解的作用，電子410從射極尖端405向孔部404移動(dòng)，從射極尖端405的頭端放出電子410。這里，由于該電子410和陽(yáng)極基板400b的熒光體通過(guò)接觸而發(fā)光，因此就可以按照所希望的方式驅(qū)動(dòng)FED400。
另外，在此種FED400中，所述發(fā)射電極403a及射極線(xiàn)402分別使用前面的圖1所示的液滴噴出裝置IJ以及基于所述的液滴噴出方法、噴嘴異常判定方法形成。
此種發(fā)射電極403a及射極線(xiàn)402是通過(guò)將在二甲苯等溶劑中分散了金屬微粒的分散液填充到液滴噴出裝置IJ的噴頭20中，以規(guī)定的圖案進(jìn)行液滴噴出動(dòng)作而形成的。另外，適當(dāng)使用除去溶劑的工序、燒結(jié)金屬微粒的工序。
而且，本實(shí)施方式的圖案形成方法并不限定于發(fā)射電極403a及射極線(xiàn)402，也可以適用于柵電極403b及柵極線(xiàn)401等其他的配線(xiàn)的形成方法中。
(有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置)圖18是用于說(shuō)明有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置(以下稱(chēng)為有機(jī)EL裝置)的圖。
如圖18所示，該有機(jī)EL裝置301是在由基板311、電路元件部321、象素電極331、圍堰部341、發(fā)光元件351、陰極361(對(duì)置電極)及密封用基板371構(gòu)成的有機(jī)EL元件302上，連接了柔性基板(圖示略)的配線(xiàn)及驅(qū)動(dòng)IC(圖示略)的裝置。電路元件部321形成于基板311上，多個(gè)象素電極331整齊排列在電路元件部321上。此外，在各象素電極331間形成有格子狀的圍堰部341，在利用圍堰部341產(chǎn)生的凹部開(kāi)口344中，形成有發(fā)光元件351。陰極361形成于圍堰部341及發(fā)光元件351的上部整個(gè)面上，在陰極361上層疊有密封用基板371。
電路元件部321具有底柵極型構(gòu)造的TFT321a、第1層間絕緣膜321b、第2層間絕緣膜321c。TFT321a的主構(gòu)成與液晶顯示裝置之中所述的構(gòu)成相同，其說(shuō)明省略。另外，第1層間絕緣膜321b及第2層間絕緣膜321c是利用本發(fā)明的層間絕緣膜的制造方法形成的部位。即，是按照使各層間絕緣膜的上面平坦的方式，與形成該層間絕緣膜的絕緣膜形成區(qū)域的凹凸部的形狀對(duì)應(yīng)地使膜厚變化而形成的。
發(fā)光元件351是利用液體噴出法形成的部分，并且形成于所述被平坦化了的第1層間絕緣膜321b及第2層間絕緣膜321c的上部。
此種有機(jī)EL裝置301是具有使用液體噴出法形成的發(fā)光元件351的所謂高分子型有機(jī)EL裝置。
包括有機(jī)EL元件的有機(jī)EL裝置301的制造工藝具有形成圍堰部341的圍堰部形成工序、用于恰當(dāng)?shù)匦纬砂l(fā)光元件351的等離子處理工序、形成發(fā)光元件351的發(fā)光元件形成工序、形成陰極361的對(duì)置電極形成工序、將密封用基板371層疊在陰極361上而進(jìn)行密封的密封工序。
發(fā)光元件形成工序是通過(guò)在凹部開(kāi)口344即象素電極331上形成空穴注入層352及發(fā)光層353來(lái)形成發(fā)光元件351的工序，包括空穴注入層形成工序和發(fā)光層形成工序。此外，空穴注入層形成工序具有將用于形成空穴注入層352的第1組合物(液狀體)向各象素電極331上噴出的第1噴出工序、使所噴出的第1組合物干燥而形成空穴注入層352的第1干燥工序，發(fā)光層形成工序具有將用于形成發(fā)光層353的第2組合物(液狀體)向空穴注入層352之上噴出的第2噴出工序、使所噴出的第2組合物干燥而形成發(fā)光層353的第2干燥工序。
在此種有機(jī)EL裝置中，使用前面的圖1所示的液滴噴出裝置IJ，以及基于所述的液滴噴出方法、噴嘴異常判定方法，實(shí)施空穴注入層形成工序、發(fā)光層形成工序。
而且，所述的有機(jī)EL裝置并不限定于高分子型，也可以是低分子型。
如上所述，圖15～圖18所示的各種顯示裝置由于使用前面所述的液滴噴出裝置、液滴噴出方法制造，因此就可以使規(guī)定的液體材料高精度地命中規(guī)定的位置而形成配線(xiàn)或象素等的圖案，與公知的光刻技術(shù)相比，可以實(shí)現(xiàn)制造工序的簡(jiǎn)單化，從而可以制造廉價(jià)的顯示裝置。另外，由于使用具有所述的照相機(jī)單元24(拍攝部)的液滴噴出裝置制造各種顯示裝置，因此就可以實(shí)現(xiàn)液滴噴出的高精度、液滴量的不均的減少。另外，不會(huì)浪費(fèi)液狀體，從而可以實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)成本的降低。
而且，作為適用本發(fā)明的制造方法的器件，具有配線(xiàn)圖案的其他的器件也可以使用。例如，在形成于電泳裝置內(nèi)的配線(xiàn)圖案的制造等中，當(dāng)然也可以使用。
(電子設(shè)備)下面，對(duì)具有所述實(shí)施方式的顯示裝置的電子設(shè)備的例子進(jìn)行說(shuō)明。
圖19是作為電子設(shè)備的一個(gè)例子表示的攜帶電話(huà)的立體圖。圖19中，符號(hào)1000表示攜帶電話(huà)主體，表示使用以所述實(shí)施方式的制造方法制造的多層配線(xiàn)基板，并且具有前面所述的液晶顯示裝置的液晶顯示部1001。
圖19所示的電子設(shè)備由于具有使用所述實(shí)施方式的液滴噴出裝置，并基于液滴噴出方法、噴嘴異常判定方法制造的液晶顯示裝置，因此與以往的設(shè)備相比，可以用更簡(jiǎn)單的制造工序精密地制造，并且可以用低成本制造。
而且，本實(shí)施方式的電子設(shè)備雖然為具有液晶顯示裝置的電子設(shè)備，但是也可以為具有等離子型顯示裝置、場(chǎng)致發(fā)射顯示器、有機(jī)電致發(fā)光顯示裝置等其他的電光學(xué)裝置的電子設(shè)備。
另外，并不限定于攜帶電話(huà)，也可以適用于手表型電子設(shè)備、文字處理器、個(gè)人電腦等攜帶型信息處理裝置。
而且，本發(fā)明的技術(shù)范圍并不限定于所述實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)可以施加各種變更，實(shí)施方式中所舉的具體的材料或?qū)訕?gòu)成及制造方法等只不過(guò)是一個(gè)例子，可以進(jìn)行適當(dāng)變更。
例如，本發(fā)明的制造方法并不限定于多層印刷線(xiàn)路的制造，可以適用于大型顯示器裝置等的多層配線(xiàn)的制造方法中。
權(quán)利要求
1.一種噴嘴異常判定方法，是對(duì)具有用于噴出液滴的噴出部的噴出頭的噴嘴的異常進(jìn)行判定的方法，其特征是，在拍攝了所述噴嘴的周邊部后，對(duì)該噴嘴的形狀和正常噴嘴的形狀進(jìn)行比較，來(lái)判定所述拍攝的噴嘴的異常。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的噴嘴異常判定方法，其特征是，所述噴嘴的異常被判定為利用復(fù)原動(dòng)作可以實(shí)現(xiàn)噴嘴的復(fù)原的第1異常或利用復(fù)原動(dòng)作不能實(shí)現(xiàn)噴嘴的復(fù)原的第2異常。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的噴嘴異常判定方法，其特征是，在所述噴出頭將所述液滴噴出規(guī)定次數(shù)后，拍攝所述噴嘴的周邊部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的噴嘴異常判定方法，其特征是，將所述噴嘴的周邊部放大或縮小而進(jìn)行拍攝。
5.一種液滴噴出方法，是在使具有從噴嘴噴出液滴的噴出部的噴出頭、配置在與該噴出頭相面對(duì)的位置上的基板相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，根據(jù)向所述噴出部供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電壓波形將所述液滴向所述基板上噴出的液滴噴出方法，其特征是，在拍攝了所述噴嘴的周邊部后，對(duì)該噴嘴的形狀和正常噴嘴的形狀進(jìn)行比較，來(lái)判定所述拍攝的噴嘴的異常。
6.一種液滴噴出方法，是在使具有從噴嘴噴出液滴的噴出部的噴出頭、配置在與該噴出頭相面對(duì)的位置上的基板相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，根據(jù)向所述噴出部供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電壓波形將所述液滴向所述基板上噴出的液滴噴出方法，其特征是，對(duì)所述噴出頭的所述噴嘴內(nèi)部進(jìn)行拍攝。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液滴噴出方法，其特征是，基于通過(guò)拍攝所述噴嘴內(nèi)部而取得的圖像，判定所述噴嘴良好與否。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的液滴噴出方法，其特征是，在拍攝所述噴嘴內(nèi)部時(shí)，主要拍攝填充于所述噴嘴內(nèi)部的液狀體和所述噴嘴的內(nèi)面的接觸狀態(tài)。
9.根據(jù)權(quán)利要求6至8中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出方法，其特征是，在所述噴出頭將所述液滴噴出規(guī)定次數(shù)后，拍攝所述噴嘴內(nèi)部。
10.根據(jù)權(quán)利要求6至9中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出方法，其特征是，在拍攝所述噴嘴內(nèi)部前，擦拭所述噴出頭的噴嘴形成面。
11.根據(jù)權(quán)利要求6至10中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出方法，其特征是，關(guān)于判定的所述噴嘴良好與否的結(jié)果，在該噴嘴被判定為不良的情況下，從所述噴出頭的噴嘴形成面通過(guò)所述噴嘴抽吸所述液狀體。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的液滴噴出方法，其特征是，所述噴出頭具備多個(gè)噴嘴，關(guān)于判定的該多個(gè)噴嘴良好與否的結(jié)果，在至少一個(gè)噴嘴被判定為不良的情況下，僅通過(guò)該不良噴嘴從所述噴嘴形成面抽吸所述液狀體。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的液滴噴出方法，其特征是，所述噴出頭具備多個(gè)噴嘴，并且具備將該多個(gè)噴嘴按照規(guī)定數(shù)目的噴嘴分割而成的多個(gè)噴嘴區(qū)域，關(guān)于判定的所述多個(gè)噴嘴良好與否的結(jié)果，在至少一個(gè)噴嘴被判定為不良的情況下，通過(guò)具有該不良噴嘴的噴嘴區(qū)域從所述噴嘴形成面抽吸所述液狀體。
14.根據(jù)權(quán)利要求6至13中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出方法，其特征是，拍攝殘留在所述噴出頭的噴嘴形成面上的液滴或污染物，判定該殘留的液滴或污染物是否位于離所述噴嘴規(guī)定距離內(nèi)。
15.一種液滴噴出裝置，是在使具有從噴嘴噴出液滴的噴出部的噴出頭、配置在與該噴出頭相面對(duì)的位置上的基板相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，根據(jù)向所述噴出部供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電壓波形將所述液滴向所述基板上噴出的液滴噴出裝置，其特征是，具備拍攝所述噴出頭的所述噴嘴的周邊部的攝像機(jī)、比較該攝像機(jī)所拍攝的噴嘴的形狀和正常噴嘴的形狀而判定該拍攝的噴嘴的異常的判定部。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的液滴噴出裝置，其特征是，還具備擦拭所述噴出頭的噴嘴形成面而使所述噴嘴復(fù)原的復(fù)原部。
17.一種液滴噴出裝置，是在使具有從噴嘴噴出液滴的噴出部的噴出頭、配置在與該噴出頭相面對(duì)的位置上的基板相對(duì)移動(dòng)的同時(shí)，根據(jù)向所述噴出部供給的驅(qū)動(dòng)信號(hào)的電壓波形將所述液滴向所述基板上噴出的液滴噴出裝置，其特征是，具備拍攝所述噴出頭的所述噴嘴內(nèi)部的攝像機(jī)。
18.一種顯示裝置，其特征是，使用權(quán)利要求15至17中任意一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置制造。
19.一種電子設(shè)備，其特征是，具備權(quán)利要求18所述的顯示裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種可以早期并且可靠地檢測(cè)出噴嘴的異常的液體噴出方法。具有多個(gè)噴嘴的噴頭，對(duì)于各個(gè)噴嘴，用照相機(jī)單元(24)拍攝噴嘴的內(nèi)部至周邊部。所拍攝的圖像在拍攝圖像處理部(161)中，被轉(zhuǎn)換為可以識(shí)認(rèn)噴嘴內(nèi)部的彎月面的狀態(tài)、噴嘴開(kāi)口的形狀、形成于噴嘴內(nèi)外的表面膜的狀態(tài)當(dāng)中的至少一個(gè)的圖像，并被送至比較判定部(164)。在比較判定部(164)中，比較該進(jìn)行了圖像處理的圖像和預(yù)先儲(chǔ)存在判定條件存儲(chǔ)部(163)中的參照?qǐng)D像，對(duì)作為對(duì)象的噴嘴的噴出性能的良好與否(噴嘴異常)進(jìn)行判斷。
文檔編號(hào)B41J2/14GK1618606SQ2004100923
公開(kāi)日2005年5月25日 申請(qǐng)日期2004年11月9日 優(yōu)先權(quán)日2003年11月10日
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