專利名稱：熱敏頭及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及安裝在例如熱復(fù)印型打印機(jī)上的熱敏頭及其制造方法。
背景技術(shù)：
熱敏頭在散熱性好的基板上具有由例如玻璃等高隔熱材料制成的蓄熱層，多個(gè)由通電發(fā)熱的發(fā)熱電阻，分別與各發(fā)熱電阻導(dǎo)通連接的分立電極群，對(duì)所有發(fā)熱電阻提供共同電位的公共電極群；使通過公共電極和分立電極發(fā)熱的發(fā)熱電阻與卷繞在墨帶和壓紙卷軸滾筒的狀態(tài)的被印刷物加壓連接來進(jìn)行印刷動(dòng)作。一般地，公共電極和分立電極分別與發(fā)熱電阻的電阻長度方向的兩端部連接并配置在該電阻長度方向的一直線上，但是為了縮小基板的尺寸，并且，將發(fā)熱電阻配置在基板的端部，還提出了將公共電極折邊的結(jié)構(gòu)。這種電極折邊結(jié)構(gòu)中，例如由兩個(gè)通過導(dǎo)體連接相互的一端部的發(fā)熱電阻構(gòu)成一個(gè)打印點(diǎn)，在一個(gè)發(fā)熱電阻的另一端部連接有分立電極，在另一個(gè)發(fā)熱電阻的另一端部連接有公共電極。
這樣的熱敏頭可以通過例如以下工序形成。
首先，在具有蓄熱層的基板整個(gè)面上的形成電阻膜，在電阻膜上形成規(guī)定需要形成的發(fā)熱電阻的電阻長度的絕緣阻擋層。用絕緣阻擋層覆蓋的電阻膜的區(qū)域成為后述的多個(gè)發(fā)熱電阻。在形成絕緣阻擋層后，在絕緣阻擋層及電阻膜的整個(gè)面上形成抗蝕劑膜，通過暴光和顯影形成抗蝕劑圖案。抗蝕劑膜一般使用正片型，用顯影液溶解抗蝕劑膜的被暴光的部分。接著例如通過刻蝕除去從抗蝕劑圖案露出的電阻膜，除去該抗蝕劑圖案。在除去抗蝕劑圖案后，在露出的蓄熱層、電阻膜和絕緣阻擋層的整個(gè)面上形成導(dǎo)體層。接著，除去導(dǎo)體層的一部分，形成將鄰接的發(fā)熱電阻導(dǎo)通連接的導(dǎo)體、將多個(gè)發(fā)熱電阻公共連接的公共電極群、以及分別與各發(fā)熱電阻連接的分立電極群。由上述導(dǎo)體連接的一對(duì)發(fā)熱電阻構(gòu)成打印點(diǎn)，公共電極和分立電極在同一方向與該打印點(diǎn)連接。在各分立電極的一端部(同與發(fā)熱電阻的連接側(cè)相反側(cè)的端部)還形成對(duì)多個(gè)發(fā)熱電阻進(jìn)行通電控制的多個(gè)驅(qū)動(dòng)IC壓焊連接的電極焊盤。公共電極群和分立電極群是每隔多個(gè)小組電極群留有間隔排列，每個(gè)分離的小組電極群具備驅(qū)動(dòng)IC，對(duì)屬于該小組電極群的各分立電極有選擇地通電。
專利文獻(xiàn)1日本特開平8-127144號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2日本特開2000-015859號(hào)公報(bào)在上述以往的結(jié)構(gòu)中，由鄰接的小組電極群夾著的、不存在公共電極、分立電極和電極焊盤的假區(qū)域固體狀地殘留著電阻膜。因此，在抗蝕劑顯影時(shí)，在以預(yù)定的設(shè)置間距形成抗蝕劑圖案的真區(qū)域、與仍以固體狀殘留抗蝕劑膜的假區(qū)域的邊界附近，顯影液的潤濕性不同，存在假區(qū)域附近形成的抗蝕劑圖案會(huì)變亂的可能性。如果由抗蝕劑圖案的雜亂引起所形成的發(fā)熱電阻的形狀和大小參差不齊，則發(fā)熱電阻的發(fā)熱量不均勻并造成印刷濃度出現(xiàn)不均勻，使印刷質(zhì)量惡化。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述課題做出的，目的在于，得到一種能夠高精度地規(guī)定電阻圖案的形狀、抑制印刷濃度不均勻的熱敏頭。
本發(fā)明著眼于如果形成發(fā)熱電阻(電阻圖案)時(shí)的、抗蝕劑暴光顯影時(shí)的顯影液的潤濕性相同，則能夠高精度地規(guī)定發(fā)熱電阻。
即，本發(fā)明的熱敏頭具備以預(yù)定間距配置的打印點(diǎn)群、對(duì)所有的打印點(diǎn)提供共同電位的公共電極群、分別與各打印點(diǎn)連接的分立電極群、以及通過各分立電極對(duì)打印點(diǎn)有選擇地通電的驅(qū)動(dòng)IC；公共電極群和分立電極群是每隔多個(gè)小組電極群留有間隔地排列，每個(gè)被分割的小組電極群具備驅(qū)動(dòng)IC，對(duì)屬于該小組電極群的各分立電極有選擇地通電；其特征在于，在由鄰接的小組電極群夾著的區(qū)域，按預(yù)定的設(shè)置間距設(shè)置了與打印點(diǎn)和驅(qū)動(dòng)IC兩者不相連的假負(fù)載電阻圖案。
優(yōu)選假負(fù)載電阻圖案以與屬于小組電極群的公共電極和分立電極的最小設(shè)置間距相同的設(shè)置間距形成。例如公共電極和分立電極交叉配置在小組電極群中的情況下，公共電極和分立電極的設(shè)置間距為最小設(shè)置間距。
此外，優(yōu)先假負(fù)載電阻圖案與上述公共電極和分立電極平行地排列，配置成相對(duì)于鄰接的小組電極群之間的中央位置呈對(duì)稱形狀。
公共電極和分立電極通過通電而發(fā)熱，形成在構(gòu)成打印點(diǎn)的電阻圖案上，該電阻圖案和假負(fù)載電阻圖案由相同材料的電阻膜形成。
打印點(diǎn)具有兩個(gè)通過導(dǎo)體連接了各自的一端側(cè)的發(fā)熱電阻，其中在一個(gè)發(fā)熱電阻的另一端側(cè)連接有分立電極，在另一個(gè)發(fā)熱電阻的另一端側(cè)連接有公共電極。
根據(jù)本發(fā)明的制造方法的方式，該熱敏頭具備以預(yù)定間距配置的打印點(diǎn)群、對(duì)所有的打印點(diǎn)提供共同電位的公共電極群、分別與各打印點(diǎn)連接的分立電極群、以及通過各分立電極對(duì)打印點(diǎn)有選擇地通電的驅(qū)動(dòng)IC；公共電極群和分立電極群是每隔多個(gè)小組電極群留有間隔地排列，每個(gè)被分割的小組電極群具備驅(qū)動(dòng)IC，在由鄰接的小組電極群夾著的區(qū)域，按預(yù)定的設(shè)置間距具有與打印點(diǎn)和驅(qū)動(dòng)IC兩者不相連的假負(fù)載電阻圖案；其特征在于，利用光刻技術(shù)，與構(gòu)成打印點(diǎn)的電阻圖案同時(shí)形成假負(fù)載電阻圖案。
公共電極群和分立電極群層疊形成在電阻圖案上。
發(fā)明效果如果采用本發(fā)明，能夠得到可以高精度地規(guī)定電阻圖案的形狀、抑制打印濃度的不均勻的熱敏頭。


圖1是表示本發(fā)明的熱敏頭的整體結(jié)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)圖；圖2是表示該熱敏頭(除去保護(hù)層)的結(jié)構(gòu)的俯視示意圖；圖3是表示該熱敏頭(除去保護(hù)層)的分立電極側(cè)的結(jié)構(gòu)的截面示意圖；圖4是表示電阻圖案和假負(fù)載電阻圖案的俯視圖；圖5是表示該熱敏頭的制造工序的一個(gè)工序的俯視圖；圖6是表示該熱敏頭的制造工序的一個(gè)工序的截面圖。
具體實(shí)施例方式
圖1是表示使用了本發(fā)明的熱敏頭的整體結(jié)構(gòu)的概略結(jié)構(gòu)圖，圖2和圖3是表示該熱敏頭(除去保護(hù)層)的結(jié)構(gòu)的俯視示意圖和截面示意圖。
熱敏頭1在由Si或陶瓷材料、金屬材料等制成的散熱性好的基板2上，具有由例如玻璃等隔熱材料制成的蓄熱層3，并且在該蓄熱層3上，具有多個(gè)沿圖1及圖2的左右方向隔開微小間隔、配置成一列的發(fā)熱電阻4。各發(fā)熱電阻4是用Ta2N或Ta-SiO2等金屬陶瓷材料，在蓄熱層3上局部形成的電阻圖案40的一部分，該表面由絕緣阻擋層5覆蓋。電阻圖案40在成為發(fā)熱電阻4的區(qū)域中，存在于形成導(dǎo)體(接觸導(dǎo)體6、分立電極7、公共電極8和公用線9)的區(qū)域(參照?qǐng)D4)，具有提高該導(dǎo)體與蓄熱層3的緊貼性的緊密連接層的功能。絕緣阻擋層5由例如SiO2、SiON、SiAlON等絕緣材料形成，規(guī)定各發(fā)熱電阻4的平面大小(長度尺寸L、寬度尺寸W)。鄰接的發(fā)熱電阻4之間存在著露出蓄熱層3的間隙區(qū)域α。在本實(shí)施方式中，由鄰接的一對(duì)發(fā)熱電阻4(4a、4b)構(gòu)成一個(gè)打印點(diǎn)D，多個(gè)打印點(diǎn)D沿與發(fā)熱電阻4的通電方向垂直的方向(圖1的左右方向)排列。
如圖2所示，一對(duì)發(fā)熱電阻4a、4b的、相互的電阻長度方向的一端部及其間隙，用矩形接觸導(dǎo)體6覆蓋，在一個(gè)發(fā)熱電阻4a的電阻長度方向的另一端連接有分立電極7，在另一個(gè)發(fā)熱電阻4b的另一端連接有公共電極8。該分立電極7與公共電極8在相同的方向與打印點(diǎn)D連接，沿打印點(diǎn)的排列方向交叉地整齊排列。分立電極7和公共電極8之間存在著間隙區(qū)域α。
公共電極8設(shè)置在每2個(gè)鄰接的打印點(diǎn)D上，并具有與鄰接的2個(gè)發(fā)熱電阻4b連接的U字形狀部、和從該U字形狀部沿與發(fā)熱電阻4b的電阻長度方向平行的方向延伸較長的直線部，呈大致Y字形。各公共電極8在與發(fā)熱電阻4b側(cè)相反側(cè)的端部與公用線9連接。公用線9沿打印點(diǎn)的排列方向延伸，與多個(gè)公共電極8共同連接，從其長度方向(圖1的左右方向)的兩端供電。來自與基板2分別設(shè)置的外部電源的電力，通過公用線9和各公共電極8，提供給所有打印點(diǎn)D。本實(shí)施方式的接觸導(dǎo)體6、分立電極7和公共電極8的各發(fā)熱電阻4側(cè)的端部覆蓋并形成在絕緣阻擋層5上。另外，圖1中省略了公共電極8和公用線9。
在每個(gè)各打印點(diǎn)D上設(shè)置有分立電極7，在與其發(fā)熱電阻4a側(cè)相反側(cè)的端部，將用于引線接合驅(qū)動(dòng)IC21的電極焊盤10，沿與打印點(diǎn)D的排列方向平行的方向，以比發(fā)熱電阻4的設(shè)置間距寬的設(shè)置間距，相互不同地配置成鋸齒狀。該分立電極7和公共電極8是每隔多個(gè)小組電極群A(A1～A4)的留有間隔地排列。
驅(qū)動(dòng)IC21為切換向多個(gè)發(fā)熱電阻4通電/不通電的開關(guān)元件。在與基板2分開的驅(qū)動(dòng)單元20的、每個(gè)被分割的小組電極群A1～A4具備該驅(qū)動(dòng)IC21，對(duì)屬于該小組電極群A1～A4的各分立電極7有選擇地通電。驅(qū)動(dòng)IC21的設(shè)置間距與小組電極群A1～A4的設(shè)置間距相對(duì)應(yīng)。另外，圖1為概略地表示熱敏頭1的結(jié)構(gòu)的圖，實(shí)際的連接電極焊盤與驅(qū)動(dòng)IC的線，以50μm左右的非常微小的間隔設(shè)置。
上述接觸導(dǎo)體6、分立電極7、公共電極8和公用線9由例如Al、Cr、Ti、Ni、W等導(dǎo)電材料形成在電阻圖案40上。雖未圖示，但是在絕緣阻擋層5、接觸導(dǎo)體6、分立電極7、公共電極8和公用線9上形成有耐磨保護(hù)層，該耐磨保護(hù)層在與壓紙卷筒接觸等時(shí)進(jìn)行保護(hù)。
在上述結(jié)構(gòu)的熱敏頭1中，由于驅(qū)動(dòng)IC21的設(shè)置間距比由一對(duì)發(fā)熱電阻4a、4b構(gòu)成的打印點(diǎn)D的點(diǎn)排列方向的設(shè)置間距窄，因此產(chǎn)生由鄰接的小組電極群A(在屬于該小組電極群A的分立電極7和公共電極8下形成的電阻圖案40)夾著的區(qū)域。在由該鄰接的小組電極群A夾著的區(qū)域形成有假負(fù)載電阻圖案41，該假電極圖案位于與點(diǎn)排列方向垂直的方向上、從發(fā)熱電阻到電極焊盤之間的位置，與打印點(diǎn)D和電極焊盤10兩者不相連。在圖2、4中，用涂黑表示假負(fù)載電阻圖案41。
圖4是表示電阻圖案40和假負(fù)載電阻圖案41的俯視圖。由于假負(fù)載電阻圖案41是通過光刻將蓄熱層3的整個(gè)面上形成的電阻膜形成圖案，并與電阻圖案40同時(shí)形成，因此具有在該形成時(shí)提高電阻圖案40的圖案精度的功能。具體地，假負(fù)載電阻圖案41與電阻圖案40平行、且以與電阻圖案40相同的設(shè)置間距排列，相對(duì)于鄰接的小組電極群A之間的中央位置C呈對(duì)稱形狀。在下面，將形成有電阻圖案40的區(qū)域稱為“真區(qū)域(＝小組電極群A)”，將形成有假負(fù)載電阻圖案41的區(qū)域稱為“假區(qū)域”。
下面參照?qǐng)D5和圖6說明本實(shí)施方式的熱敏頭1的制造方法，尤其是假負(fù)載電阻圖案41的制造工序。
首先，如圖5所示，在具有蓄熱層3的基板2的整個(gè)面上，形成由Ta2N或Ta-SiO2等金屬陶瓷材料形成的電阻膜4′，在該電阻膜4′上形成絕緣阻擋層5，該絕緣阻擋層規(guī)定需要形成的發(fā)熱電阻的電阻長度L。用絕緣阻擋層5覆蓋的電阻膜4′的區(qū)域后續(xù)成為多個(gè)發(fā)熱電阻4。
接著，如圖6所示，在包含絕緣阻擋層5的電阻膜4′的整個(gè)面上形成抗蝕劑膜，通過暴光及顯影來形成抗蝕劑圖案R?？刮g劑膜一般使用正片型，抗蝕劑膜的已暴光的部分被顯影液溶解。在抗蝕劑圖案R上設(shè)置與鄰接的發(fā)熱電阻間、公共電極和分立電極間的間隙區(qū)域α相對(duì)應(yīng)的、真區(qū)域形成縫隙群S1，在其鄰接的真區(qū)域形成縫隙群S1之間設(shè)置假區(qū)域形成縫隙群S2，該假區(qū)域縫隙群與該真區(qū)域形成縫隙群S1端部的縫隙平行并且具有相同的設(shè)置間距。需要形成的發(fā)熱電阻的電阻寬度W由真區(qū)域形成縫隙群S1來規(guī)定。通過設(shè)置該真區(qū)域形成縫隙群S1和假區(qū)域形成縫隙群S2，在整個(gè)抗蝕劑膜上形成一樣的縫隙，因此，在整個(gè)抗蝕劑膜上溶解抗蝕劑膜的顯影液的潤濕性也基本相同，能夠獲得沒有大小差異的良好的抗蝕劑圖案R。
接著，通過例如刻蝕除去從抗蝕劑圖案R露出的電阻膜，再除去抗蝕劑圖案R。由此，如圖4所示，在真區(qū)域留下電阻圖案40，在由該真區(qū)域夾著的假區(qū)域留下假負(fù)載電阻圖案41。如上所述，由于在刻蝕時(shí)成為掩膜的抗蝕劑圖案R不產(chǎn)生大小不均勻，因此可以高精度地形成電阻圖案40。通過此前的工序，能夠得到多個(gè)被絕緣阻擋層5覆蓋、規(guī)定了平面大小(電阻長度L、電阻寬度W)的發(fā)熱電阻4。
在形成電阻圖案40后，在露出的蓄熱層3、絕緣阻擋層5、電阻圖案40和假負(fù)載電阻圖案41的整個(gè)面上形成導(dǎo)體膜，然后用刻蝕等除去導(dǎo)體膜的一部分，僅留下位于電阻圖案40上的導(dǎo)體膜。由此，得到使鄰接的發(fā)熱電阻4導(dǎo)通連接的接觸導(dǎo)體6、分別與各發(fā)熱電阻4連接的分立電極7、與多個(gè)發(fā)熱電阻4共同連接的公共電極8、以及與公共電極8連接的公用線9。
接著，在同與各分立電極7的發(fā)熱電阻4連接側(cè)相反一側(cè)的端部，分別形成電極焊盤10形成耐磨保護(hù)層，該耐磨保護(hù)層覆蓋除該電極焊盤10以外的基板表面(露出的蓄熱層3、絕緣阻擋層5、接觸導(dǎo)體6、分立電極7、公共電極8和公用線9)。并且，將從耐磨保護(hù)層露出的電極焊盤10、同與該電極焊盤10對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)IC21引線接合，來得到圖1～圖3所示的熱敏頭1。
如此，在本實(shí)施方式中，在由鄰接的小組電極群A(更具體地，在屬于小組電極群A的分立電極7和公共電極8上層疊的電阻圖案40存在的真區(qū)域)夾著的假區(qū)域中，以與分立電極7(電阻圖案40)相同的設(shè)置間距來設(shè)置假負(fù)載電阻圖案41。因此，在形成電阻圖案40之際、抗蝕劑暴光顯影時(shí)，在真區(qū)域與假區(qū)域的邊界附近不會(huì)產(chǎn)生顯影液的潤濕性的不同，能夠以規(guī)定形狀/尺寸，高精度地形成抗蝕劑圖案R，進(jìn)而高精度地形成電阻圖案40。由此，各打印點(diǎn)D的發(fā)熱量(發(fā)熱電阻值)變得大致均勻，因此，能夠良好地抑制打印濃度不均勻，獲得優(yōu)良的打印質(zhì)量。
最好是像本實(shí)施方式這樣地，以與電阻圖案40相同的設(shè)置間距，在整個(gè)假區(qū)域形成上述假負(fù)載電阻圖案41，但是，至少在真區(qū)域和假區(qū)域的邊界附近形成即可，并且，其設(shè)置間距是電阻圖案40的設(shè)置間距的2倍左右，就在允許范圍內(nèi)。具體地，例如可以是真區(qū)域和假區(qū)域的邊界附近以與電阻圖案40相同的設(shè)置間距設(shè)置，在假區(qū)域的中央側(cè)擴(kuò)大設(shè)置間距的方式。
在本實(shí)施方式中，在與基板2不同的驅(qū)動(dòng)單元20上安裝與電極焊盤10引線接合的驅(qū)動(dòng)IC21，但是，可以在同一基板上設(shè)置該電極焊盤10和驅(qū)動(dòng)IC21。
在以上，說明了分立電極7和公共電極8沿相同的方向與打印點(diǎn)D連接的折邊結(jié)構(gòu)的熱敏頭1，但是，本發(fā)明還可以在分立電極和公共電極沿發(fā)熱電阻的電阻長度方向直線狀配置的、直線結(jié)構(gòu)型的熱敏頭中應(yīng)用。
權(quán)利要求
1.一種熱敏頭，具備以預(yù)定間距配置的打印點(diǎn)群、對(duì)所有的打印點(diǎn)提供共同電位的公共電極群、分別與各打印點(diǎn)連接的分立電極群、以及通過各分立電極對(duì)上述打印點(diǎn)有選擇地通電的驅(qū)動(dòng)IC；上述公共電極群和上述分立電極群是每隔多個(gè)小組電極群留有間隔地排列，每個(gè)被分割的小組電極群具備上述驅(qū)動(dòng)IC，對(duì)屬于該小組電極群的各分立電極有選擇地通電；其特征在于，在由鄰接的小組電極群夾著的區(qū)域，按預(yù)定的設(shè)置間距設(shè)置了與上述打印點(diǎn)和上述驅(qū)動(dòng)IC兩者不相連的假負(fù)載電阻圖案。
2.如權(quán)利要求1所述的熱敏頭，其特征在于，上述假負(fù)載電阻圖案以與屬于上述小組電極群的公共電極和分立電極的最小設(shè)置間距相同的設(shè)置間距形成。
3.如權(quán)利要求1所述的熱敏頭，其特征在于，上述假負(fù)載電阻圖案與屬于上述小組電極群的公共電極和分立電極平行地排列。
4.如權(quán)利要求1所述的熱敏頭，其特征在于，上述假負(fù)載電阻圖案相對(duì)于鄰接的小組電極群之間的中央位置呈對(duì)稱形狀。
5.如權(quán)利要求1所述的熱敏頭，其特征在于，上述公共電極和上述分立電極通過通電而發(fā)熱，形成在構(gòu)成上述打印點(diǎn)的電阻圖案上，該電阻圖案和上述假負(fù)載電阻圖案用相同材料的電阻膜形成。
6.如權(quán)利要求1所述的熱敏頭，其特征在于，上述打印點(diǎn)具有兩個(gè)通過導(dǎo)體連接了各自的一端側(cè)的發(fā)熱電阻，其中在一個(gè)發(fā)熱電阻的另一端側(cè)連接有上述分立電極，在另一個(gè)發(fā)熱電阻的另一端側(cè)連接有上述公共電極。
7.一種制造熱敏頭的方法，該熱敏頭具備以預(yù)定間距配置的打印點(diǎn)群、對(duì)所有的打印點(diǎn)提供共同電位的公共電極群、分別與各打印點(diǎn)連接的分立電極群、以及通過各分立電極對(duì)上述打印點(diǎn)有選擇地通電的驅(qū)動(dòng)IC；上述公共電極群和上述分立電極群是每隔多個(gè)小組電極群留有間隔地排列，每個(gè)被分割的小組電極群具備上述驅(qū)動(dòng)IC，在由鄰接的小組電極群夾著的區(qū)域，按預(yù)定的設(shè)置間距具有與上述打印點(diǎn)和上述驅(qū)動(dòng)IC兩者不相連的假負(fù)載電阻圖案；其特征在于，利用光刻技術(shù)，與構(gòu)成上述打印點(diǎn)的電阻圖案同時(shí)形成上述假負(fù)載電阻圖案。
8.如權(quán)利要求7所述的熱敏頭制造方法，其特征在于，上述公共電極群和上述分立電極群層疊形成在上述電阻圖案上。
全文摘要
本發(fā)明得到一種能夠高精度地規(guī)定電阻圖案的形狀、能夠抑制打印濃度不均勻的熱敏頭。該熱敏頭具備以預(yù)定間距配置的打印點(diǎn)群、對(duì)所有的打印點(diǎn)提供共同電位的公共電極群、分別與各打印點(diǎn)連接的分立電極群、以及通過各分立電極對(duì)上述打印點(diǎn)有選擇地通電的驅(qū)動(dòng)IC；公共電極群和分立電極群是每隔多個(gè)小組電極群留有間隔地排列，每個(gè)被分割的小組電極群具備驅(qū)動(dòng)IC，對(duì)屬于該小組電極群的各分立電極有選擇地通電；其特征在于，在由鄰接的小組電極群夾著的區(qū)域，按預(yù)定的設(shè)置間距設(shè)置了與上述打印點(diǎn)和上述驅(qū)動(dòng)IC兩者不相連的假負(fù)載電阻圖案。
文檔編號(hào)B41J2/335GK1781721SQ200510128959
公開日2006年6月7日 申請(qǐng)日期2005年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月3日
發(fā)明者橫山進(jìn)矢, 佐佐木悟 申請(qǐng)人:阿爾卑斯電氣株式會(huì)社