專利名稱：液滴噴出裝置及噴出方法、電光學(xué)裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種將液體從噴頭的噴嘴向工件噴出的液滴噴出裝置、液滴噴出方法、電光學(xué)裝置的制造方法、電光學(xué)裝置及電子儀器。
背景技術(shù)：
液滴噴出裝置可以作為描繪系統(tǒng)來使用，該描繪系統(tǒng)是以用噴墨式將液滴向工件噴出的方式制成的。該描繪系統(tǒng)利用于例如在平板顯示器那樣的光電元件的制造中。
以噴墨式噴出液體的液滴噴出裝置，具有用于噴出液滴的噴頭。已提出有利用這樣的噴頭，對(duì)于玻璃基板噴出濾色器用的墨水的裝置(專利文獻(xiàn)1)。
專利文獻(xiàn)1日本專利第3159919號(hào)公報(bào)(第4頁～第6頁、圖1)這種液滴噴出裝置，具有保持噴頭的承載器(carriage)，其結(jié)構(gòu)是當(dāng)承載器的噴頭結(jié)束玻璃基板的某一區(qū)域的描繪時(shí)，該承載器移動(dòng)到下一個(gè)不同的區(qū)域。
另一方面，例如平面型的顯示裝置向大型化發(fā)展，使用在這樣的平面型顯示裝置中的玻璃基板隨之向大型化發(fā)展。因此，在經(jīng)過大型玻璃基板的整個(gè)面而噴出液體并進(jìn)行描繪時(shí)，會(huì)出現(xiàn)具有噴頭的承載器的移動(dòng)距離變長(zhǎng)、而且不能提高由液體噴出的工件的生產(chǎn)效率的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種解決上述課題、即使是大型工件，也能夠?qū)⒁旱螌?duì)工件容易地噴出、能夠提高工件的生產(chǎn)效率的液滴噴出裝置、液滴噴出方法、電光學(xué)裝置的制造方法、電光學(xué)裝置及電子儀器。
上述目的通過液滴噴出裝置來實(shí)現(xiàn)，在第1發(fā)明中，液滴噴出裝置從噴頭的噴嘴向工件噴出液體，其特征在于，具備工作臺(tái)，其用于搭載上述工件；第1移動(dòng)部，其可以將上述工作臺(tái)向第1方向和與上述第1方向大約正交的第2方向移動(dòng)；多個(gè)承載器，其具有上述噴頭；第2移動(dòng)部，其可以將上述各承載器沿著上述第2方向相互移動(dòng)而定位。
根據(jù)第1發(fā)明的構(gòu)成，工作臺(tái)是搭載工件的設(shè)備。第1移動(dòng)部可以將工作臺(tái)移動(dòng)到第1方向、和與第1方向大致正交的第2方向。多個(gè)承載器具有噴頭。第2移動(dòng)部可以將各承載器沿著第2方向相互移動(dòng)而定位。
由此，具備噴頭的多個(gè)承載器可以通過第2移動(dòng)部沿著第2方向相互移動(dòng)而預(yù)先定位?？梢詫⒍鄠€(gè)承載器的各噴頭的相互間的位置正確定位。并且在工作臺(tái)搭載工件的狀態(tài)下，向第1方向和第2方向移動(dòng)時(shí)，多個(gè)承載器的噴頭通過從噴頭的噴嘴對(duì)工件噴出液體，可以對(duì)工件噴出液滴而進(jìn)行正確的描繪。由于多個(gè)承載器的噴頭能夠?qū)ぜ姵鲆后w，因此，即使是描繪面積大的大型工件，也能夠以高的生產(chǎn)效率進(jìn)行對(duì)工件的液滴噴出作業(yè)。
第2發(fā)明，其特征在于，在第1發(fā)明的構(gòu)成中，上述噴頭具有多個(gè)上述噴嘴，多個(gè)上述噴嘴沿著上述第2方向排列著。
根據(jù)第2發(fā)明的構(gòu)成，噴頭具有多個(gè)噴嘴，多個(gè)噴嘴沿著第2方向排列著。
由此，例如噴頭的多個(gè)噴嘴也能夠噴出各個(gè)不同種類的液體，當(dāng)然多個(gè)噴嘴也可以噴出相同種類的液體。由此，可以更快地進(jìn)行對(duì)工件的描繪。
第3發(fā)明，根據(jù)第1發(fā)明或第2發(fā)明，其特征在于，上述第2移動(dòng)部具有固定元件，其保持各上述承載器；可動(dòng)元件，其設(shè)在各上述承載器上而將上述承載器對(duì)上述固定元件沿著上述第2方向相互移動(dòng)并定位。
根據(jù)第3發(fā)明的構(gòu)成，第2移動(dòng)部的固定元件是用于保持各承載器的元件。第2移動(dòng)部的可動(dòng)元件被設(shè)在各承載器上。該可動(dòng)元件是將承載器對(duì)固定元件沿著第2方向相互移動(dòng)而定位的元件。
由此，各承載器可以通過第2移動(dòng)部沿著第2方向相互移動(dòng)而定位，而且可以預(yù)先正確地調(diào)整各承載器上的噴頭的相對(duì)位置。
第4發(fā)明，根據(jù)第1發(fā)明的構(gòu)成，其特征在于，使用于恢復(fù)上述噴頭的上述噴嘴的噴出能力的維護(hù)部，配置在上述第2方向的至少一方的位置上。
在第4發(fā)明的構(gòu)成中，用于恢復(fù)噴頭的噴嘴的噴出能力的維護(hù)部，配置在第2方向的至少一方的位置上。
由此，承載器的噴頭只要通過第2移動(dòng)部移動(dòng)到第2方向，就能夠通過維護(hù)部進(jìn)行噴嘴的噴出能力的恢復(fù)。
上述目的，在第5發(fā)明中通過液滴噴出方法來實(shí)現(xiàn)，該液滴噴出方法將液體從噴頭的噴嘴噴出到工件上，其特征在于，具有工件移動(dòng)工序，其將搭載上述工件的工作臺(tái)移動(dòng)到第1方向和與上述第1方向大致正交的第2方向上；和液體噴出工序，其從被配置在沿著上述第2方向相互移動(dòng)而預(yù)先定位的多個(gè)承載器上的上述噴頭的上述噴嘴對(duì)上述工件噴出上述液體。
由此，具有噴頭的承載器，可以通過第2移動(dòng)部沿著第2方向相互移動(dòng)而預(yù)先定位。可以正確地定位多個(gè)承載器的各噴頭的相互間的位置。并且在工作臺(tái)搭載工件的狀態(tài)下，沿第1方向和第2方向移動(dòng)時(shí)，多個(gè)承載器的噴頭通過從噴頭的噴嘴對(duì)工件噴出液體，可以對(duì)工件噴出液滴進(jìn)行正確的描繪。由于多個(gè)承載器的噴頭能夠?qū)ぜ姵鲆后w，因此，即使是描繪面積大的大型工件，也能夠以高的生產(chǎn)效率進(jìn)行對(duì)工件的液滴噴出作業(yè)。
第6發(fā)明，根據(jù)第5發(fā)明的構(gòu)成，其特征在于，上述第1方向是將上述工作臺(tái)相對(duì)上述噴頭移動(dòng)并由此液體對(duì)上述工件描繪的描繪方向。上述第2方向是將上述工作臺(tái)相對(duì)上述噴頭移動(dòng)一定量而進(jìn)行上述工件中的上述液體的噴出位置的移行的移行方向。
根據(jù)第6發(fā)明的構(gòu)成，第1方向是將工作臺(tái)相對(duì)噴頭移動(dòng)并通過液體對(duì)工件描繪的描繪方向。第2方向是將工作臺(tái)相對(duì)噴頭移動(dòng)一定量而進(jìn)行工件中的液體的噴出位置的移行的移行方向。
由此，工件能夠沿著第2方向移行并沿著第1方向進(jìn)行描繪，經(jīng)過工件的大約整個(gè)面而容易快速地進(jìn)行描繪。
第7發(fā)明，根據(jù)第5發(fā)明或第6發(fā)明的構(gòu)成，其特征在于，不在上述液滴的噴出中使用的上述承載器沿著上述第2方向移動(dòng)到維護(hù)部，并在上述維護(hù)部中進(jìn)行上述噴頭的上述噴嘴的噴出能力恢復(fù)。
根據(jù)第7發(fā)明的構(gòu)成，不在液滴的噴出中使用的承載器，沿著第2方向移動(dòng)到維護(hù)部，并在維護(hù)部中進(jìn)行噴頭的噴嘴的噴出能力恢復(fù)。
由此，不在液滴的噴出中使用的承載器，只要沿著第2方向向維護(hù)部側(cè)移動(dòng)，維護(hù)部就能夠進(jìn)行噴頭的噴嘴的噴出能力的恢復(fù)。
上述目的，在第8發(fā)明中通過液滴噴出方法來實(shí)現(xiàn)，該液滴噴出方法從噴頭的噴嘴將液體噴出到工件上，其特征在于，具備掃描工序，其將搭載上述工件的工作臺(tái)沿第1方向掃描；和噴出工序，其從被配設(shè)在沿著與上述第1方向大致正交的第2方向移動(dòng)而預(yù)先定位的多個(gè)承載器上的上述噴頭的上述噴嘴相對(duì)上述工件噴出上述液體，其中每當(dāng)進(jìn)行所定次數(shù)的上述掃描工序時(shí)，將上述工作臺(tái)向上述第2方向移動(dòng)所定量。
由此，工作臺(tái)在掃描工序中向第1方向掃描，多個(gè)承載器的噴頭的噴嘴在噴出工序中對(duì)工件能夠噴出液體。在這時(shí)，每當(dāng)進(jìn)行所定次數(shù)的掃描工序時(shí)，通過工作臺(tái)向上述第2方向移動(dòng)所定量，對(duì)工件噴出液體而能夠正確地進(jìn)行描繪。由于多個(gè)承載器的噴頭可以對(duì)工件噴出液體，所以即使描繪面積大的工件，也能以高生產(chǎn)率來對(duì)工件進(jìn)行液滴噴出作業(yè)。
上述目的，在第9發(fā)明中，通過電光學(xué)裝置的制造方法來實(shí)現(xiàn)，該電光學(xué)裝置的制造方法，通過從噴頭的噴嘴向工件噴出液體制造電光學(xué)裝置，其特征在于，在將搭載上述工件的上述工作臺(tái)向第1移動(dòng)部與第1方向和上述第1方向大致正交的第2方向移動(dòng)時(shí)，沿著上述第2方向相互移動(dòng)而預(yù)先定位的多個(gè)承載器的上述噴頭，通過從上述噴頭的上述噴嘴對(duì)上述工件噴出上述液體制造上述電光學(xué)裝置。
由此，具備噴頭的多個(gè)承載器可以通過第2移動(dòng)部沿著第2方向相互移動(dòng)并預(yù)先定位?？梢哉_定位多個(gè)承載器的各噴頭的相互間的位置。并且，在工作臺(tái)以搭載工件的狀態(tài)下，向第1方向和第2方向移動(dòng)時(shí)，多個(gè)承載器的噴頭能夠通過從噴頭的噴嘴對(duì)工件噴出液體，對(duì)工件噴出液體而正確地進(jìn)行描繪。由于多個(gè)承載器的噴頭可以對(duì)工件噴出液體，因此，即使是描繪面積大的大型工件，也能夠以高的生產(chǎn)率對(duì)工件進(jìn)行液滴噴出作業(yè)。
通過使用該多個(gè)承載器的噴頭，即使是大型工件也能夠以高的生產(chǎn)率進(jìn)行描繪，因此能夠提高電光學(xué)裝置的生產(chǎn)效率。
上述目的，在第10發(fā)明中，通過電光學(xué)裝置來實(shí)現(xiàn)，該電光學(xué)裝置通過從噴頭的噴嘴向工件噴出液體而制造，其特征在于，在將搭載上述工件的上述工作臺(tái)向第1移動(dòng)部與第1方向和上述第1方向大致正交的第2方向移動(dòng)時(shí)，沿著上述第2方向相互移動(dòng)而預(yù)先定位的多個(gè)承載器的上述噴頭，通過從上述噴頭的上述噴嘴對(duì)上述工件噴出上述液體制造上述電光學(xué)裝置。
由此，具有噴頭的多個(gè)承載器，可以通過第2移動(dòng)部沿著第2方向相互移動(dòng)并預(yù)先定位?？梢哉_定位多個(gè)承載器的各噴頭的相互間的位置。并且，在工作臺(tái)以搭載工件的狀態(tài)下，向第1方向和第2方向移動(dòng)時(shí)，多個(gè)承載器的噴頭能夠通過從噴頭的噴嘴對(duì)工件噴出液體，對(duì)工件噴出液體而正確地進(jìn)行描繪。由于多個(gè)承載器的噴頭可以對(duì)工件噴出液體，因此，即使是描繪面積大的大型工件，也能夠以高的生產(chǎn)效率對(duì)工件進(jìn)行液滴噴出作業(yè)。
通過使用該多個(gè)承載器的噴頭，即使是大型工件也能夠以高的生產(chǎn)效率進(jìn)行描繪，因此能夠提高電光學(xué)裝置的生產(chǎn)效率。
第11發(fā)明，其特征在于，其搭載如第10發(fā)明中的上述電光學(xué)裝置。
由此，實(shí)現(xiàn)電子儀器的生產(chǎn)效率的提高。


圖1表示包含本發(fā)明的液滴噴出裝置的描繪系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)例的俯視圖。
圖2表示在圖1中所示的液滴噴出裝置的結(jié)構(gòu)例的立體圖。
圖3表示在圖2中的液滴噴出裝置的俯視圖。
圖4表示線性電動(dòng)機(jī)的結(jié)構(gòu)例的圖。
圖5表示承載器及噴頭的配置例的圖。
圖6表示維護(hù)部的結(jié)構(gòu)例的圖。
圖7表示第1次到第3次的描繪結(jié)束狀態(tài)的圖。
圖8表示進(jìn)一步詳細(xì)的第1次描繪結(jié)束狀態(tài)的圖。
圖9表示進(jìn)一步詳細(xì)的第2次描繪結(jié)束狀態(tài)的圖。
圖10表示進(jìn)一步詳細(xì)的第3次描繪結(jié)束狀態(tài)的圖。
圖11表示通過本發(fā)明的液滴噴出裝置制造的有機(jī)EL裝置的形狀例的剖視圖。
圖12表示通過本發(fā)明的液滴噴出裝置制造的液晶顯示裝置的結(jié)構(gòu)例的剖視圖。
圖13表示具備通過本發(fā)明的實(shí)施方式制造的顯示裝置的電子儀器的一例中的移動(dòng)電話機(jī)的立體圖。
圖14表示電子儀器的另外一例中的計(jì)算機(jī)的立體圖。
圖中1-描繪系統(tǒng)，10-液滴噴出裝置，20-工作臺(tái)，41-第1移動(dòng)部，42-第2移動(dòng)部，50-承載器，120-噴頭，X-第1方向(描繪方向)，Y-第2方向(移行方向)，W-工件。
具體實(shí)施例方式
下面，參照

本發(fā)明的實(shí)施方式。
圖1是包含本發(fā)明的液滴噴出裝置的優(yōu)選實(shí)施方式的描繪系統(tǒng)之例的俯視圖。
圖1所示的描繪系統(tǒng)1由多個(gè)單元2構(gòu)成的。在圖1中為了附圖的簡(jiǎn)單化，單元2只圖示了3個(gè)，但是單元2的數(shù)也可以是4個(gè)以上，當(dāng)然也可以是1個(gè)或者2個(gè)。
該描繪系統(tǒng)，作為其一例編入在所謂的平板顯示器之一種的例如有機(jī)EL(電致發(fā)光)裝置的制造線中。該液滴噴出裝置10可以形成例如成為有機(jī)EL裝置的各像素的發(fā)光元件。
圖1所示的各單元2都是相同的。單元2具有液滴噴出裝置10、腔室裝置12、工件搬出入裝置14、干燥空間16、控制部100。液滴噴出裝置10是用于對(duì)工件W噴出液體的裝置。
腔室裝置12具有腔室主體12A和空氣調(diào)節(jié)裝置12B。腔室主體12A收容有液滴噴出裝置10?？諝庹{(diào)節(jié)裝置12B在一定溫度條件下將腔室主體12A內(nèi)進(jìn)行溫度管理，腔室主體12A是所謂的熱腔室。由此，腔室主體12A內(nèi)的液滴噴出裝置10在一定溫度環(huán)境下以進(jìn)行對(duì)工件W的液滴噴出(液體噴出)作業(yè)的描繪動(dòng)作的方式制成的。
圖1的工件搬出入裝置14是用于搬入從單元2的外部在工作臺(tái)20上進(jìn)行描繪的工件W、或向單元2的外部搬出在工作臺(tái)20上的描繪后的工件W的裝置。干燥空間16是用于干燥根據(jù)狀況向工件W噴出液體的溶劑的裝置。液滴噴出裝置10噴出的液體可以稱為功能性液體。
液滴噴出裝置10可以作為噴墨式描繪裝置來使用。液滴噴出裝置10是用于以液滴噴出法(噴墨法)來形成例如有機(jī)EL裝置的發(fā)光元件的裝置。液滴噴出裝置10的噴頭(也稱為功能液滴噴出噴頭)，可以形成有機(jī)EL元件的發(fā)光元件。具體而言，在有機(jī)EL元件的制造工序中，通過經(jīng)過圍堰部形成工序及等離子體處理工序來對(duì)形成圍堰部的基板(工件的一例)，相對(duì)地掃描導(dǎo)入發(fā)光功能材料的噴頭，液滴噴出裝置10與基板的像素電極的位置對(duì)應(yīng)而形成空穴注入/傳輸層及發(fā)光層的成膜部。
通過例如液滴噴出裝置10準(zhǔn)備2臺(tái)，第1臺(tái)液滴噴出裝置10形成空穴注入/傳輸層，相鄰的另外1臺(tái)液滴噴出裝置10可以形成R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))的3色的發(fā)光層。
接著，參照?qǐng)D2和圖3說明如圖1所示的液滴噴出裝置10的結(jié)構(gòu)例。
液滴噴出裝置10具有液滴噴出部30、一方和另外一方的維護(hù)部31，32、工作臺(tái)20、第1移動(dòng)部41、第2移動(dòng)部42、多個(gè)承載器50、架臺(tái)45。在圖2和圖3中，圖示了X方向、Y方向、和Z方向。X方向?yàn)榈?方向，Y方向?yàn)榈?方向，并且Z方向相當(dāng)于第3方向。X方向和Y方向處于架臺(tái)45的表面45A上，Z方向?yàn)閷?duì)X方向和Y方向相互垂直的方向。雖然Y方向?qū)方向大致成為直角或者是直角，但是優(yōu)選與X方向正交。
圖2和圖3所示的工作臺(tái)20是可裝卸地保持工件W的平板狀的部件。工作臺(tái)20具有工件W的搭載面20A。搭載面20A具有吸附部20B。該吸附部20B連接在吸引泵20C上。當(dāng)控制部100動(dòng)作吸引泵20C時(shí)，吸引泵20C通過吸附部20B可裝卸地吸引工件W而保持在搭載面20A上。由此，工件W相對(duì)搭載面20A不會(huì)移動(dòng)而能夠可裝卸地可靠地固定。
圖2的工件W是例如比較大型的玻璃基板。工作臺(tái)20可以通過第1移動(dòng)部41沿著X方向和Y方向分別移動(dòng)而定位。因此，第1移動(dòng)部41具有底座60、滑塊部件61、1組的線性電動(dòng)機(jī)62、和另1組的線性電動(dòng)機(jī)63。
圖2的底座60固定在架臺(tái)45的表面45A上。在底座60的上面沿著X方向平行地固定線性電動(dòng)機(jī)62，62?；瑝K部件61可以通過線性電動(dòng)機(jī)62，62的動(dòng)作沿著X方向移動(dòng)而定位。
在滑塊部件61的上面固定著線性電動(dòng)機(jī)63，63。線性電動(dòng)機(jī)63，63可以沿著Y方向移動(dòng)工作臺(tái)20而定位。
根據(jù)上述，搭載了工件W的工作臺(tái)20可以沿著X方向和Y方向分別移動(dòng)而定位。各線性電動(dòng)機(jī)62，63分別通過從控制部100的指令來動(dòng)作。如圖3所示，雖然線性電動(dòng)機(jī)62，62沿著X方向被配置，但是如圖3所示的底部60及線性電動(dòng)機(jī)62，62通過第2移動(dòng)部42的下部被配置的。
接著，說明第2移動(dòng)部42。
第2移動(dòng)部42，如圖2和圖3所示，配置在相對(duì)第1移動(dòng)部41垂直的方向上。而且，第2移動(dòng)部42相對(duì)第1移動(dòng)部41向Z(+)方向離開而被配置。第2移動(dòng)部42可以將各承載器50沿著X方向相互移動(dòng)而定位。
第2移動(dòng)部42具有1組的線性電動(dòng)機(jī)70，70、和多根支柱79。第2移動(dòng)部42的線性電動(dòng)機(jī)70，70沿著Y方向隔開所定間隔而平行地配置，并且分別通過支柱79水平地支撐在架臺(tái)45的上部。
多個(gè)承載器50，通過該線性電動(dòng)機(jī)70，70可以沿著Y方向相互自由地移動(dòng)而定位。在圖2和圖3的例中，7臺(tái)承載器50可以向Y方向相互獨(dú)立移動(dòng)而定位。如上所述的利用多臺(tái)承載器50是為了可以對(duì)大型工件W短時(shí)間內(nèi)噴出液滴，而在根據(jù)工件W描繪的工件W的制造工序中提高生產(chǎn)效率。
圖4(A)表示圖2所示的線性電動(dòng)機(jī)70的結(jié)構(gòu)例。線性電動(dòng)機(jī)70具備固定元件71和可動(dòng)元件72。固定元件71如圖2所示保持在支柱79側(cè)。對(duì)此，可動(dòng)元件72分別設(shè)在各承載器50上。通過對(duì)可動(dòng)元件72的線圈73通電，通過線圈73產(chǎn)生的磁性和磁鐵71A的S極和N極產(chǎn)生的磁場(chǎng)的相互作用，可動(dòng)元件72可以沿著Y方向(第2方向)相互獨(dú)立移動(dòng)而定位。
圖4(B)表示圖2所示的線性電動(dòng)機(jī)62，63的結(jié)構(gòu)例。線性電動(dòng)機(jī)62具備固定元件89和可動(dòng)元件82。固定元件89具備磁鐵81A。該固定元件89被固定在底座60?？蓜?dòng)元件82被設(shè)在滑塊部件61側(cè)。通過對(duì)可動(dòng)元件82的線圈83通電，通過線圈83產(chǎn)生的磁場(chǎng)和磁鐵81A的N極和S極產(chǎn)生的磁場(chǎng)的相互作用，滑塊部件61在圖2中可以沿著X方向(第1方向)移動(dòng)而定位。
另外，在圖4(B)所示的線性電動(dòng)機(jī)63的情況下，固定元件89被固定在滑塊部件61的上面?？蓜?dòng)元件82被固定在工作臺(tái)20側(cè)。籍此，通過向線圈83通電，工作臺(tái)20可以對(duì)滑塊部件61沿著Y方向(第2方向)移動(dòng)而定位。
圖4所示的線性電動(dòng)機(jī)70，62，63的結(jié)構(gòu)并不局限于上述的一例，當(dāng)然也可以采用其他結(jié)構(gòu)。
接著，參照?qǐng)D5說明圖2和圖3中所示的承載器50的結(jié)構(gòu)例。
各承載器具有相同的結(jié)構(gòu)。各承載器50具有液體儲(chǔ)存部80和電器(裝)單元81。液體儲(chǔ)存部80儲(chǔ)存對(duì)承載器50的噴頭供給的功能性的液體。電器單元81，通過由控制部100的指令對(duì)壓電元件供給電壓而驅(qū)動(dòng)壓電元件。籍此，可以從與壓電元件對(duì)應(yīng)的噴嘴噴出該液體。
圖5表示定位在圖2所示的位置P1的例如4個(gè)承載器50的結(jié)構(gòu)圖。在圖2中，除了噴出位置P1以外，還具有維護(hù)位置P2，P3。定位在各位置的承載器50的結(jié)構(gòu)都相同。
在這里如圖5所示那樣，對(duì)定位在位置P1的4各承載器50說明其結(jié)構(gòu)例。在承載器50的上面?zhèn)却钶d上述的液體儲(chǔ)存部80和電器單元81。在承載器50的中央部分，其下面?zhèn)却钶d噴頭120。該噴頭120也稱為功能性液體的噴出噴頭或噴墨式噴頭。
各噴頭120設(shè)有多個(gè)噴嘴，例如具有噴嘴組PN，GN，BN。各個(gè)噴嘴組由多個(gè)噴嘴構(gòu)成，但是也包含一個(gè)噴嘴的情況。噴嘴組PN由用于例如噴出紅色(R)的液體的噴嘴構(gòu)成。噴嘴組GN由用于例如噴出綠色(G)的液體的噴嘴構(gòu)成。噴嘴組BN由用于例如噴出藍(lán)色(B)的液體的噴嘴構(gòu)成。
在圖5中噴嘴組RN由網(wǎng)眼表示，噴嘴組GN中的右下由剖面線表示，噴嘴組BN中的右上由剖面線表示。
各噴頭120中的噴嘴組RN，GN，BN的排列方向?yàn)榇笾卵刂鳼方向，但是在該例中各噴嘴組RN，GN，BN沿著合成X方向和Y方向的斜方向125排列著。各噴頭120設(shè)在承載器50的下面?zhèn)?，即與工件W對(duì)面的一側(cè)。由此，噴頭120能夠位于與工件W對(duì)面的工件W的上方。
接著，說明圖2和圖3中所示的左右維護(hù)部31，32。
維護(hù)部31，32配置在第1移動(dòng)部41的右側(cè)和第1移動(dòng)部41的左側(cè)。左右的維護(hù)部31，32沿著Y方向隔開間隔而配置著。通過這樣的維護(hù)部31，32配置在第2移動(dòng)部42的支柱79內(nèi)側(cè)，維護(hù)部31，32不露出在支柱79的外側(cè)和架臺(tái)45的外側(cè)，因此實(shí)現(xiàn)液滴噴出裝置10的小型化。
在對(duì)工件W噴出液滴的過程中不使用承載器50的情況下，對(duì)于不使用的承載器50，例如維護(hù)部31或維護(hù)部32可以進(jìn)行噴頭120的各噴嘴中的功能性液體的噴出能力的恢復(fù)。在如上所述那樣進(jìn)行噴頭120的噴嘴的維護(hù)時(shí)，承載器50優(yōu)選從液滴噴出部30或噴出位置P1沿著維護(hù)位置P2或者維護(hù)位置P3向Y方向移動(dòng)定位。
參照?qǐng)D6說明維護(hù)部31，32的結(jié)構(gòu)例。
如圖3所述，維護(hù)部31，32分別具備吸引部160和擦拭部161。吸引部160如圖6(A)所述具有殼體199、吸收部件162、泵163、廢液容器64。殼體199通過密接噴頭120的噴嘴120A，可以密封噴嘴板120A的各噴嘴。吸收部件162收容在承載器199內(nèi)部，具有吸收想要吸引的液體的功能。
殼體199通過例如由升降機(jī)構(gòu)165向Z1方向上升，能夠密封承載器199的噴嘴板120A。承載器199在上部具有開口部166。
當(dāng)控制部100動(dòng)作泵163時(shí)，泵163通過管子167，168使殼體199處于負(fù)壓狀態(tài)。根據(jù)上述噴頭120的噴嘴內(nèi)部的液體或氣泡被吸引在吸收部件162側(cè)并通過泵163可以回收在廢液容器164側(cè)。由此，在噴頭120的噴嘴內(nèi)中通過干燥吸引堵眼的狀態(tài)或氣泡等而實(shí)現(xiàn)噴頭的噴嘴的噴出能力的恢復(fù)。
其后，為了擦拭付著在噴嘴板120A的液體200而利用擦拭部161。擦拭部161通過例如將刮板201對(duì)噴嘴板120A相對(duì)地接觸移動(dòng)，能夠擦拭付著在噴嘴板120A的液體200。
如上進(jìn)行，噴頭120吸引后通過刮板擦拭，能夠?qū)崿F(xiàn)噴頭120的噴出能力的功能的恢復(fù)。
此外維護(hù)部31，32也可以具有防水板單元或噴出檢驗(yàn)單元或重量測(cè)量單元等。
防水板單元用于接受從噴頭120預(yù)先噴出的噴出用液體。噴出檢驗(yàn)單元檢驗(yàn)從噴頭120噴出的液體的噴出狀態(tài)。重量測(cè)量單元測(cè)量從噴頭120噴出的液體的重量。
接著，參照?qǐng)D7至圖10說明本發(fā)明的液滴噴出方法的優(yōu)選實(shí)施方式。
圖7表示用于對(duì)工件W描繪3種液體(R，G，B)的液滴噴出方法的概略。圖7(A)表示將工件W向X(+)的描繪方向移動(dòng)而第1次描繪噴出結(jié)束了的狀態(tài)。圖7(B)表示將工件W向Y(+)的移行方向移行之后向X(-)的描繪方向移動(dòng)而第2次描繪噴出結(jié)束了的狀態(tài)。
圖7(C)表示進(jìn)一步將工件W向Y(+)的移行方向移動(dòng)之后再向X(+)的描繪方向移動(dòng)而第3次描繪噴出結(jié)束了的狀態(tài)。
在結(jié)束圖7(A)的第1描繪后，與工作臺(tái)一同將工件W向Y(+)的移行方向只移動(dòng)一定量D，在圖7(B)中，第2次描繪結(jié)束后也與工作臺(tái)一同將工件W向Y(+)的移行方向只移行一定量D。
在圖7中，簡(jiǎn)化表示如圖5所示的噴頭120。例如4個(gè)承載器50如圖5和圖2所示那樣定位在預(yù)先噴出位置P1。并且各承載器50的相互間隔，通過使各個(gè)承載器50向Y方向稍微移動(dòng)，能夠以各噴頭120成為適當(dāng)?shù)南嗷ラg隔的方式預(yù)先調(diào)整。由此，能夠?qū)⒏鲊婎^120的噴嘴之間的間隔預(yù)先沿著Y方向正確地定位，能夠確保從各噴頭向工件W上噴出的噴出精確度。
在本發(fā)明的液滴噴出方法的實(shí)施方式中，將搭載工件的工作臺(tái)向X方向(第1方向)和Y方向(第2方向)移動(dòng)的工序稱為工件移動(dòng)工序。將搭載工件的工作臺(tái)向X方向掃描的工序稱為掃描工序。Y方向?qū)方向垂直或者大致正交。
另外，從配設(shè)在沿著Y方向預(yù)先定位的多個(gè)承載器上的噴頭的噴嘴，對(duì)工件噴出液體的工序稱為液體噴出工序或噴出工序。
圖8進(jìn)一步具體地表示如圖7(A)所示的第1次描繪結(jié)束后的狀態(tài)。
各噴頭120的噴嘴組RN由網(wǎng)眼表示，噴嘴組GN中的右下由剖面線表示，噴嘴組BN中的右上由剖面線表示。并且為了區(qū)別被描繪在工件W的液體的描繪部分，從噴嘴組PN噴出的液體的描繪部分由200R表示，從噴嘴組GN噴出的液體的描繪部分由200G表示，從噴嘴組BN噴出的液體的描繪部分由200B表示。
如圖8和圖7(A)所述，例如4個(gè)噴頭120的總計(jì)的配列寬度E1大致與工件W的寬度E2對(duì)應(yīng)。4個(gè)噴頭120定位在與工件W對(duì)應(yīng)的位置。在圖3中，4個(gè)承載器50預(yù)先定位在噴出位置P1，在Y方向上不移動(dòng)而固定位置。
通過圖2所示的第1移動(dòng)部41與滑塊部件61一同將工作臺(tái)20如圖7(A)所示那樣向X(+)的描繪方向移動(dòng)，在圖7(A)中工件W從以1點(diǎn)點(diǎn)劃線表示的位置通過4個(gè)噴頭120的下面。根據(jù)上述，各噴頭120的各噴嘴組PN，GN，BN在對(duì)應(yīng)的位置上將200R，200G，200B分別描繪在所定的位置。圖8和圖7(A)表示第1次描繪結(jié)束了的狀態(tài)。
接著，在圖8和圖7(A)中，與工作臺(tái)一同將工件W向Y(+)的移行方向只移行D部分。并且，如圖7(B)所示，通過再與工作臺(tái)20一同將工件W向X(-)的描繪方向從1點(diǎn)點(diǎn)劃線的位置移動(dòng)，工件W通過4個(gè)噴頭的下面。由此，在只移行一定量D的位置上，各噴頭120的噴嘴RN噴出液體的描繪部分，噴嘴組GN噴出液體的描繪部分200G，并且噴嘴組BN噴出液體的描繪部分200B。
如圖9所述，第2次描繪結(jié)束。
其后，進(jìn)一步工件W同工作臺(tái)20進(jìn)行第2次的移行移動(dòng)。圖7(C)的工件W已經(jīng)向Y(+)的移行方向移行移動(dòng)一次的一定量D部分。
其后，如圖7(C)和圖10所述，再將工件W向X(+)的描繪方向移動(dòng)，工件W從1點(diǎn)點(diǎn)劃線的位置移動(dòng)到4個(gè)噴頭120的下面。其結(jié)果，如圖7(C)和圖10所述那樣可以進(jìn)行第3次描繪。根據(jù)上述，經(jīng)過整個(gè)區(qū)域能夠描繪液體200R，200G，200B，可以形成R，G，B的3種顏色的發(fā)光層。在圖10和圖7(C)的狀態(tài)中，移行的總計(jì)量達(dá)到2D。
在圖2和圖3的例中，在噴出位置P1中例如4個(gè)承載器50并排著。并且不使用在噴出作業(yè)中的剩余的3個(gè)承載器50分別分成1個(gè)和2個(gè)通過左右的維護(hù)部31，32可以進(jìn)行維護(hù)。
使用中的承載器50的數(shù)根據(jù)工件W的大小(面積)并不局限于4個(gè)，當(dāng)然也可以是1個(gè)以上3個(gè)以下或5個(gè)以上7個(gè)以下。另外，當(dāng)然也可以搭載7個(gè)以上的承載器50來使用。
設(shè)在各承載器50中的噴頭120，如圖5所述，并不局限于噴嘴組RN，GN，BN，當(dāng)然也可以是2個(gè)或4個(gè)以上。并且各噴嘴的排列方向也考慮到沿著Y方向形成的方向，也考慮到沿著X方向形成的方向。另外當(dāng)然也可以沿著X方向和Y方向合成的方向排列。
在本發(fā)明的實(shí)施方式中，為了將工作臺(tái)20向X方向和Y方向移動(dòng)，使用線性電動(dòng)機(jī)62，63。另外為了將多個(gè)承載器50能夠相互間隔變更地向Y方向移動(dòng)，仍然使用線性電動(dòng)機(jī)70。
但是也可以采用利用電機(jī)和進(jìn)給絲桿及螺帽構(gòu)成的普通送進(jìn)機(jī)構(gòu)來代替采用線性電動(dòng)機(jī)。
在本發(fā)明的實(shí)施方式中，具有噴頭120的多個(gè)承載器50可以通過第2移動(dòng)部42沿著第2方向(Y)相互移動(dòng)并定位。
由此，能夠預(yù)先正確定位多個(gè)承載器的各噴頭的相互間的位置。并且在工作臺(tái)20搭載工件W的狀態(tài)下，向第1方向(X)和第2方向(Y)移動(dòng)時(shí)，多個(gè)承載器的噴頭通過從噴頭的噴嘴對(duì)工件噴出液體，能夠?qū)ぜ姵鲆后w進(jìn)行描繪。由于多個(gè)承載器的噴頭能夠?qū)ぜ姵鲆后w，因此可以根據(jù)工件的大小選擇承載器的數(shù)，即使是描繪面積大的大型工件，也能夠以高的生產(chǎn)效率對(duì)工件進(jìn)行液滴噴出作業(yè)。
另外，在本實(shí)施方式中，由于多個(gè)承載器也可以向第2方向(Y)移動(dòng)，因此在對(duì)工件進(jìn)行描繪時(shí)，也可以將承載器向第2方向(Y)移動(dòng)而代替將工作臺(tái)20向第2方向(Y)移動(dòng)。在這種情況下，如移動(dòng)的承載器數(shù)為多個(gè)，則對(duì)移動(dòng)時(shí)的定位需要時(shí)間，即使是只移動(dòng)工作臺(tái)20也需要時(shí)間。因此，通過使用的承載器數(shù)，也可以選擇是否將任一的工作臺(tái)20和承載器向第2方向移動(dòng)。
此外，在移動(dòng)承載器的情況下，通過施加在包含噴頭內(nèi)的流路、液體儲(chǔ)存部等承載器上存在的液體的震動(dòng)或壓力變動(dòng)等、或施加在承載器整體上的震動(dòng)等，有時(shí)可以產(chǎn)成在噴出時(shí)由飛行彎曲的彈落位置的偏差或噴出量的變動(dòng)等不良反映。對(duì)此，在將工作臺(tái)20向第1方向(X)和第2方向(Y)移動(dòng)而進(jìn)行描繪的情況下，沒有如上所述的不良反映，在變更描繪位置時(shí)移動(dòng)承載器的情況下，也能夠進(jìn)行精確度高的穩(wěn)定的描繪，所以優(yōu)選。
在本發(fā)明的實(shí)施方式中，例如噴頭的多個(gè)噴嘴也能夠噴出各種不同種類的液體，當(dāng)然多個(gè)噴嘴也可以噴出相同種類的液體，由此，能夠進(jìn)一步快速地進(jìn)行對(duì)工件的描繪。另外，也可以變化噴出在每一個(gè)噴頭的液體的種類，對(duì)此，由于以噴頭單位進(jìn)行液體的管理，因此更容易進(jìn)行有關(guān)液體的供給或噴頭的維護(hù)的管理。
在本發(fā)明的實(shí)施方式中，承載器50的噴頭120只要通過第2移動(dòng)部42向第2方向(Y)移動(dòng)，就能夠通過維護(hù)部進(jìn)行噴嘴的噴出能力。
在本發(fā)明的實(shí)施方式中，工件沿著第2方向(Y)移行，同時(shí)能夠沿著第1方向(X)進(jìn)行描繪。
在圖2和圖3的例中，維護(hù)部31，32配置在噴出位置P1的兩側(cè)。但是并不局限于此，維護(hù)部也可以設(shè)在沿著Y方向的至少一側(cè)。例如維護(hù)部也可以設(shè)在噴出位置P1的左側(cè)或右側(cè)的任一方。
本發(fā)明的液滴噴出裝置的實(shí)施方式，可以在制造電光學(xué)裝置(裝置)的過程中使用。作為該電光學(xué)裝置(器件)考慮到液晶顯示裝置、有機(jī)EL(Electro-Luminescence)裝置、電子發(fā)射裝置、PDP(Plasma DisplayPanel)裝置及電泳顯示裝置等。此外，電子發(fā)射裝置是包含所謂的FED(Field Emission Display)裝置的概念。并且，作為電光學(xué)裝置考慮到包含金屬配線形成、透鏡形成、抗蝕劑形成及光擴(kuò)散體形成等的各種裝置。
圖11表示將本發(fā)明的液滴噴出裝置作為描繪裝置來使用，并使用在平板顯示器的一種的有機(jī)EL裝置的制造時(shí)的有機(jī)EL裝置的結(jié)構(gòu)例。有機(jī)EL裝置701，將撓性基板(圖示省略)的配線及驅(qū)動(dòng)IC(圖示省略)連接在由基板711、電路元件部721、像素電極731、圍堰部741、發(fā)光元件751、陰極761(對(duì)向電極)、及密封用基板771構(gòu)成的有機(jī)EL元件702上。
有機(jī)EL元件702的基板711上面形成電路元件部721，電路元件部721上面排列著多個(gè)像素電極731。并且，在各像素電極731之間以格子狀形成有圍堰部741，在通過圍堰部741產(chǎn)生的凹部開口744上形成著發(fā)光元件751。在圍堰部741及發(fā)光元件751的上部整個(gè)面上形成陰極761，在陰極761的上面層疊有密封用基板771。
有機(jī)EL元件702的制造過程具備圍堰部形成工序，其形成圍堰部741；等離子體處理工序，其用于適當(dāng)?shù)匦纬砂l(fā)光元件751；發(fā)光元件形成工序，其形成發(fā)光元件751；對(duì)向電極形成工序，其形成陰極761；密封工序，其將密封用基板771層疊在陰極761上并進(jìn)行密封。
即，有機(jī)EL元件702，在預(yù)先形成電路元件部721及像素電極731的基板711(工件W)的所定位置上形成圍堰部741后，依次進(jìn)行等離子體處理、發(fā)光元件751及陰極761(對(duì)向電極)的形成，進(jìn)一步通過將密封用基板771層疊在陰極761上密封而制造。此外，有機(jī)EL元件702由于受到空氣中的水分等影響而容易劣化，因此，優(yōu)選有機(jī)EL元件702的制造由干空氣泵或惰性氣體(氮?dú)?、氬氣、氦氣?氣氛中進(jìn)行。
另外，各發(fā)光元件751以由著色在空穴注入/傳輸層752及R(紅)·G(綠)·B(籃)的任一色的發(fā)光層752形成的成膜部構(gòu)成，在發(fā)光元件形成工序中包含著形成空穴注入/傳輸層752的空穴注入/傳輸層形成工序；和形成3種顏色的發(fā)光層753的發(fā)光層形成工序。
有機(jī)EL裝置701，在制造有機(jī)EL裝置702后，通過在有機(jī)EL裝置702的陰極761上連接撓性基板的配線，同時(shí)在驅(qū)動(dòng)IC上連接電路元件部721的配線而制造。
接著，說明對(duì)于適用于液晶顯示裝置的制造的情況下的本發(fā)明的實(shí)施方式的液滴噴出裝置10。
圖12表示液晶顯示裝置801的剖面結(jié)構(gòu)。液晶顯示裝置801由濾色器802、對(duì)向基板803、填充在濾色器802和對(duì)向基板803之間的液晶組合物804、和背光(圖示省略)構(gòu)成的。在對(duì)向基板803的內(nèi)側(cè)面，像素電極805、和TFT(薄膜晶體管)元件(圖示省略)形成為矩陣狀。在與像素電極805對(duì)向的位置上，排列成濾色器802的紅、綠、籃的著色層813。在濾色器802及對(duì)向基板803的各個(gè)內(nèi)側(cè)面上形成有將液晶分子以一定方向排列的取向膜806，在濾色器802及對(duì)向基板803的各個(gè)外側(cè)面上粘接著偏光板807。
濾色器802具備透光性的透明基板811、在透明基板811上以矩陣狀排列的多個(gè)像素(濾波元件)812、形成在像素812上的著色層813、和隔開各像素812的遮光性的間壁814。著色層813及間壁814上面形成有覆蓋(overcoat)層815及電極層816。
如說明液晶顯示裝置801的制造方法，則首先，在透明基板811上作成間壁814后，在像素812部分上形成R(紅)/G(綠)/B(籃)的著色層813。并且，旋涂透明丙稀樹脂涂料形成覆蓋層815，而且，形成由ITO(Indium Tin Oxide)構(gòu)成的電極層816，制成濾色器802。
在對(duì)向基板803中制成像素電極805和TFT元件。接著，在已形成有制成的濾色器802及像素電極805的對(duì)向基板803上進(jìn)行取向膜806的涂敷后，粘貼這些。并且，在濾色器802及對(duì)向基板803之間填充液晶組合物804后，層疊偏光板807及背光燈。
本發(fā)明的液滴噴出裝置的實(shí)施方式可以用于上述濾色器的濾波元件(R(紅)/G(綠)/B(籃)著色層813)的形成上。另外，通過使用與像素電極805對(duì)應(yīng)的液體材料，也可以用于像素電極805的形成上。
另外，作為其他的電光學(xué)裝置，除了金屬配線形成、透鏡形成、抗蝕劑形成及光擴(kuò)散體形成等之外，還要考慮到包含顯微鏡用標(biāo)本形成的裝置。通過將上述的液滴噴出裝置使用在各種電光學(xué)裝置(裝置)的制造上，能夠有效地制造各種電光學(xué)裝置。
本發(fā)明的電子儀器搭載有上述電光學(xué)裝置。在這種情況下，作為電子儀器，所謂的搭載平板顯示器的移動(dòng)電話機(jī)、微型計(jì)算機(jī)、和其他各種電氣制品相當(dāng)于此。
圖13表示電子儀器之一例的移動(dòng)電話機(jī)1000的形狀例。移動(dòng)電話機(jī)1000具有主體部1001和顯示部1002。顯示部1002使用如上所述的電光學(xué)裝置的例如有機(jī)EL裝置701或液晶顯示裝置801。
圖14表示電子儀器的其他一例的微型計(jì)算機(jī)1100。微型計(jì)算機(jī)1100具有主體部1101和顯示部1102。顯示部1102可以使用如上所述的電光學(xué)裝置之一例的有機(jī)EL裝置701或液晶顯示裝置801。
本發(fā)明的液滴裝置的實(shí)施方式也可以使用在黑白或彩色印刷(印字)。在這種情況下，液體儲(chǔ)存部是墨水筒，該墨水筒將1種或多個(gè)墨水(例如黑色、黃色、紅色、青綠色、淺青綠色、淺紅色等)分別儲(chǔ)存。墨水是液體的一例。
本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施方式，不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)可以進(jìn)行各種變更。并且，上述各實(shí)施方式也可以互相組合而構(gòu)成。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出裝置，其從噴頭的噴嘴向工件噴出液體，其特征在于，具備工作臺(tái)，其用于搭載上述工件；第1移動(dòng)部，其可以將上述工作臺(tái)向第1方向和與上述第1方向大約正交的第2方向移動(dòng)；多個(gè)承載器，其具有上述噴頭；和第2移動(dòng)部，其可以將各上述承載器沿著上述第2方向相互移動(dòng)而定位。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，上述噴頭具有多個(gè)上述噴嘴，多個(gè)上述噴嘴是沿著上述第2方向排列著的。
3.根據(jù)權(quán)利要求1和權(quán)利要求2中所述的液滴噴出裝置，其特征在于，上述第2移動(dòng)部具有固定元件，其保持各上述承載器；和可動(dòng)元件，其設(shè)在各上述承載器上而將上述承載器對(duì)上述固定元件沿著上述第2方向相互移動(dòng)并定位。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，用于恢復(fù)上述噴頭的上述噴嘴的噴出能力的維護(hù)部，配置在上述第2方向的至少一方的位置上。
5.一種液滴噴出方法，是將液體從噴頭的噴嘴噴出到工件的方法，其特征在于，具有工件移動(dòng)工序，其將搭載上述工件的工作臺(tái)移動(dòng)到第1方向和與上述第1方向大致正交的第2方向上；和液體噴出工序，其從配置在沿著上述第2方向相互移動(dòng)而預(yù)先定位的多個(gè)承載器上的上述噴頭的上述噴嘴，對(duì)上述工件噴出上述液體。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的液滴噴出方法，其特征在于，上述第1方向是將上述工作臺(tái)對(duì)上述噴頭移動(dòng)并由此液體對(duì)上述工件描繪的描繪方向，上述第2方向是將上述工作臺(tái)對(duì)上述噴頭移動(dòng)一定量而進(jìn)行上述工件中的上述液體的噴出位置的移行的移行方向。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或權(quán)利要求6所述的液滴噴出方法，其特征在于，在上述液滴的噴出中不使用的上述承載器，沿著上述第2方向移動(dòng)到維護(hù)部，并在上述維護(hù)部中進(jìn)行上述噴頭的上述噴嘴的噴出能力恢復(fù)。
8.一種液滴噴出方法，其從噴頭的噴嘴向工件噴出液體，其特征在于，具有掃描工序，其將搭載上述工件的工作臺(tái)向第1方向掃描；噴出工序，其從配設(shè)在沿著與上述第1方向大致正交的第2方向移動(dòng)而預(yù)先定位的多個(gè)承載器上的上述噴頭的上述噴嘴，對(duì)上述工件噴出上述液體。每當(dāng)進(jìn)行所定次數(shù)的上述掃描工序時(shí)，將上述工作臺(tái)向上述第2方向移動(dòng)所定量。
9.一種電光學(xué)裝置的制造方法，是通過從噴頭的噴嘴向工件噴出液體而制造電光學(xué)裝置的制造方法，其特征在于，在將搭載上述工件的上述工作臺(tái)向第1移動(dòng)部與第1方向和上述第1方向大致正交的第2方向移動(dòng)時(shí)，沿著上述第2方向相互移動(dòng)而預(yù)先定位的多個(gè)承載器的上述噴頭，通過從上述噴頭的上述噴嘴對(duì)上述工件噴出上述液體而制造上述電光學(xué)裝置。
10.一種電光學(xué)裝置，其通過從噴頭的噴嘴向工件噴出液體而制造，其特征在于，在將搭載上述工件的上述工作臺(tái)向第1移動(dòng)部與第1方向和上述第1方向大致正交的第2方向移動(dòng)時(shí)，沿著上述第2方向相互移動(dòng)而預(yù)先定位的多個(gè)承載器的上述噴頭，通過從上述噴頭的上述噴嘴，對(duì)上述工件噴出上述液體制造上述電光學(xué)裝置。
11.一種電子儀器，其特征在于，其搭載了權(quán)利要求10中所述的上述電光學(xué)裝置。
全文摘要
提供液滴噴出裝置、液滴噴出方法、電光學(xué)裝置的制造方法、和電光學(xué)裝置及電子儀器，即使是大型工件，液滴噴出裝置也能夠?qū)ぜ菀讎姵鲆旱危軌蛱岣吖ぜ纳a(chǎn)效率。本發(fā)明的液滴噴出裝置(10)，從噴頭(120)的噴嘴向工件(W)噴出液體，具備工作臺(tái)(20)，其用于搭載工件(W)；第(1)移動(dòng)部(41)，其可以將工作臺(tái)(20)向第(1)方向(X)和與第(1)方向(X)大致正交的第(2)方向(Y)移動(dòng)；多個(gè)承載器(50)，其具備噴頭(120)；和第(2)移動(dòng)部(42)，其可以將各承載器(50)沿著第(2)方向(Y)方向相互移動(dòng)并定位。
文檔編號(hào)B41J2/135GK1785673SQ200510128979
公開日2006年6月14日 申請(qǐng)日期2005年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2004年12月8日
發(fā)明者安永植, 村山嘉明 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社