專利名稱：光電裝置及其制造方法、噴出方法
技術領域：
本發(fā)明涉及噴出具有流動性液狀體的液滴噴出頭。本發(fā)明還涉及噴出具有流動性液狀體的液滴的噴出方法及其裝置。本發(fā)明還涉及液晶裝置、EL裝置、電氣遷移裝置、電子放出裝置和PDP(等離子顯示板)裝置等的光電裝置、制造這些光電裝置的光電元件裝置的制造方法及其制造裝置。本發(fā)明還涉及利用于光電裝置的彩色濾光片、制造該彩色濾光片的制造方法及其制造裝置。進而本發(fā)明還涉及具有光電部件、半導體裝置、光學部件、試藥檢測部件等基本部件的器件，制造具有這些基本部件的器件的制造方法及其制造裝置。
背景技術：
近幾年，手機、攜帶用電腦等電子器械的顯示器中，廣泛利用液晶裝置、電熒光裝置(以下稱EL裝置)等的光電裝置的顯示裝置。另外，最近，基于顯示裝置顯示全色的逐漸增多。基于該液晶裝置的全色顯示是基于液晶層變頻的光通過彩色濾光片而顯示。于是，彩色濾光片是基于如玻璃、塑料等制作的基板表面上排列R(紅)、G(綠)、B(蘭)的點狀的各色濾波元件進行所謂的帶狀排列、三角形排列或嵌鑲排列等的所定排列而形成。
另外，利用EL裝置的全色顯示是基于如玻璃、塑料等制作的基板表面上排列R(紅)、G(綠)、B(蘭)的點狀各色的EL發(fā)光層進行所謂的帶狀排列、三角形排列或嵌鑲排列等的所定排列，利用一對電極夾持這些EL發(fā)光層而形成像素。并且，分別對每個像素控制施加在這些電極的電壓的方法，使這些像素發(fā)出所希望的顏色，顯示全色。
以往眾所周知，把彩色濾光片的R(紅)、G(綠)、B(蘭)等的各色的濾光元件形成圖案時，或EL裝置的R(紅)、G(綠)、B(蘭)等的各色的像素形成圖案時，利用影印法。然而，利用該影印法時，存在工藝復雜或大量消耗各色的材料或感光膠，而成本變高的問題。
為了解決該問題，提出基于噴出液滴的噴墨法，點狀噴出濾光元件材料、EL發(fā)光材料的方法來形成點狀排列的燈絲或EL發(fā)光層的提案。
這里，說明利用噴墨法形成點狀排列的燈絲或EL發(fā)光層的方法。圖52(a)中考慮的是，由玻璃或塑料制作的大面積的基板-所謂的母板301的表面設置的多個所定板區(qū)域302內(nèi)部區(qū)域里，如圖52(b)所示，基于影印法形成點狀排列的多個濾色元件303的情形。此時，如圖52(c)所示，具有列狀排列多個噴嘴304所形成的噴嘴列305的噴墨頭306，如圖52(b)的箭頭A1和箭頭A2所示，對一個板區(qū)域302一邊多次進行主掃描(圖52中是兩次)，一邊由多個噴嘴選擇性地噴出作為墨水的濾光元件材料的方法，在所要位置形成濾色元件303。
如上所述，該濾色元件303是把R(紅)、G(綠)、B(蘭)等的各色，利用所謂的帶狀排列、三角形排列或嵌鑲排列等的所定排列中的適當排列而形成的。由此，如圖52(b)所示的噴墨頭306的墨水噴出處理，把噴出R(紅)、G(綠)、B(蘭)單色的噴墨頭306預先收容R(紅)、G(綠)、B(蘭)三色。然后，按順序利用這些噴墨頭306在一個母板301上形成R(紅)、G(綠)、B(蘭)等三色的排列。
至于噴墨頭306，一般來說構成噴嘴列305的多個噴嘴304的噴出量是不均勻的。如圖53(a)所示，這是因為具有對應于噴嘴列305兩個端部的噴出量最多、其中央部位為其次、它們之間的中間部位的噴出量最少的噴出特性Q。
從而，如圖52(b)所示，基于噴墨頭306形成濾色元件303時，如圖53(b)所示，對應于噴墨頭306端部的位置P1或中央部P2、或P1和P2兩側(cè)形成濃度高的條紋。因此，存在彩色濾光片的平面透光性不均勻的問題。
另一方面，母板301上形成多個板區(qū)域302時，考慮通過利用長度長的噴墨頭，以使噴墨頭位于作為噴墨頭主掃描方向的相對寬度方向的母板301寬度尺寸全范圍內(nèi)，從而有效形成濾色元件303。然而，根據(jù)板區(qū)域302的大小，采用不同大小的母板301時，有必要利用不同的噴墨頭，存在增加成本的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是借鑒上述問題，其目的在于提供噴在被噴出物的涂敷液狀體量均勻的液滴噴出頭、噴出方法及其裝置、或均勻噴出涂敷在基板、基體材料的液狀體的，形成特性均勻的光電裝置、其制造方法和制造裝置，彩色濾光片、其制造方法及其制造裝置，以及具有基體材料的器件、其制造方法及其制造裝置。
(1)本發(fā)明的液滴噴出頭是設有(噴出液狀體的)多個噴嘴的面可以相對于被噴出物移動，從上述噴嘴對上述被噴出物噴出上述液狀體的液滴噴出頭，其特征在于使該液滴噴出頭面向傾斜交叉于上述相對移動方向的狀態(tài)時，上述多個噴頭中的至少位于中央部分，使用于噴出上述液狀體的噴嘴其多個開口位于沿著上述相對移動方向的假想直線上。
該發(fā)明中，面向傾斜交叉于被噴出物相對移動方向狀態(tài)時，噴出液狀體的多個噴嘴中的至少位于中央部位，使用于噴出液狀體的噴嘴配置成沿著上述相對移動方向的假想直線上有多個開口。通過這樣的結構，即使是對應傾斜于被噴出物上描繪點狀節(jié)距，只選擇使用位于沿著相對移動方向直線上有多個開口的對應噴嘴的所定噴嘴板，從而可以公用主體，沒有必要分別制造對應于描繪的各種噴嘴板，可以降低成本。
(2)本發(fā)明的噴出裝置的特征在于包括上述液滴噴出頭、保持該液滴噴出頭的保持裝置、使該保持裝置和被噴出物中的至少一方相對于上述被噴出物相對移動的移動裝置。
該發(fā)明中，使保持上述公用上述零件的液滴噴出頭的保持裝置和被噴出物中的至少一方，通過移動裝置使液滴噴出頭相對于被噴出物相對移動。由這樣的結構降低描繪成本。
(3)本發(fā)明的噴出裝置包括設有噴出流動性液狀體的多個噴嘴的液滴噴出頭、保持該液滴噴出頭，使設有上述噴嘴的面面向被噴出物的保持裝置、相對移動該保持裝置和上述被噴出物中的至少一方的移動裝置；其特征在于上述液滴噴出頭保持在上述保持裝置，以便使上述多個噴嘴中的位于中央部分的，使用于噴出上述液狀體的至少兩個以上噴嘴位于沿著上述相對移動方向上的假想的直線上。
該發(fā)明中，設有噴出流動性液狀體的多個噴嘴的液滴噴出頭保持在保持裝置以使設有上述噴嘴的面面向被噴出物，通過移動裝置相對移動保持裝置和上述被噴出物中的至少一方。于是，液滴噴出頭的噴嘴保持在保持裝置，以使多個噴嘴中的位于中央部分的使用于噴出上述液狀體的至少兩個以上的噴嘴位于沿著上述相對移動方向的假想的直線上。通過這樣的結構，可以獲得兩個以上的噴嘴重復噴出液狀體，即使是多個噴嘴噴出量存在不均勻，被噴出的液狀體噴出量平均化而可以防止不均勻，可以獲得平面上均勻的噴出。
(4)本發(fā)明的噴出裝置包括設有噴出流動性液狀體的多個噴嘴的液滴噴出頭、使該液滴噴出頭面向被噴出物并排多個而配置的保持裝置、至少相對移動該保持裝置和上述被噴出物中的一個的移動裝置，其特征在于上述多個液滴噴出頭配置在上述保持裝置，以便使這些液滴噴出頭中的至少兩個以上液滴噴出頭中的使用于噴出上述液狀體的至少一部分噴嘴位于沿著上述相對移動方向的假想的直線上。
該發(fā)明中，把設有噴出流動性液狀體的多個噴嘴的液滴噴出頭，使設有噴嘴的面面向被噴出物并排多個而配置在保持裝置，通過移動裝置相對移動保持裝置和被噴出物中的至少一方。于是，多個液滴噴出頭保持在保持裝置，以便使至少兩個以上液滴噴出頭中的使用于噴出液狀體的至少一部分(噴嘴)配置在沿著相對移動方向的假想直線上。通過這樣的結構，可以獲得兩個以上不同的噴嘴重復噴出液狀體的結構，這樣，即使是多個噴嘴之間的噴出量存在不均勻，但被噴出的液狀體噴出量平均化而可以防止不均勻，可以獲得平面上均勻的噴出。
于是，本發(fā)明中，液滴噴出頭最好是多個噴嘴排列成多個列而設置。通過這樣的結構，容易獲得兩個以上的噴嘴噴出液狀體的結構，還可以較寬設定噴嘴的排列區(qū)域，較寬范圍內(nèi)噴出液狀體，不僅可以提高噴出效率，特別是也沒有必要形成長型的噴墨頭而提高通用性。
另外，本發(fā)明的液滴噴出頭最好是噴嘴的排列方向傾斜交叉于上述相對移動方向的狀態(tài)下保持在保持裝置。通過這樣的結構，噴嘴的排列方向傾斜于相對移動方向的狀態(tài)，噴出液狀體間隔的節(jié)距比噴嘴間隔窄，只是適當設定傾斜狀態(tài)來可以容易地適應在被噴出物表面上點狀噴出時的所要點間的節(jié)距，而沒有必要制作對應點之間節(jié)距的噴出頭，提高了通用性。
還有，本發(fā)明中，至少兩個以上的液滴噴出頭最好是分別在上述相對移動方向上和其他液滴噴出頭部分重疊配置。通過這樣的結構，相鄰的噴墨頭不會發(fā)生干擾，噴墨頭之間不會發(fā)生沒有噴出液狀體區(qū)域的現(xiàn)象，可以獲得連續(xù)的良好的噴出。
還有，本發(fā)明中，排列在上述液滴噴出頭的噴嘴中，端部附近所定區(qū)域的噴嘴設定為非噴出噴嘴，多個上述液滴噴出頭是在述液滴噴出頭的多個噴嘴處于傾斜交叉于上述相對移動方向的所定方向排列的狀態(tài)下，沿著交叉于上述相對移動方向多數(shù)列并排，上述多數(shù)列液滴噴出頭中的一列內(nèi)的上述液滴噴出頭中的非噴出噴嘴，最好是和配置在上述相對移動方向上的其他列的液滴噴出頭中的噴出液狀體的噴嘴一起位于上述相對移動方向上的假想直線上。通過這樣的結構，把容易產(chǎn)生液滴噴出頭噴出量不均勻的端部附近的噴嘴作為非噴出噴嘴，該非噴出噴嘴的相對移動方向上配置其他列的噴出液狀體的噴嘴，因此，液滴噴出頭的噴嘴之間液狀體噴出量平均化而可以防止不均勻，可以獲得平面上均勻的噴出。
還有，該發(fā)明中，上述液滴噴出頭的噴嘴排列成多數(shù)列，最好是上述多個液滴噴出頭配置成沿著上述相對移動的假想直線上存在一個液滴噴出頭的非噴出噴嘴和其他液滴噴出頭的多數(shù)列的噴出噴嘴的狀態(tài)；沿著上述相對移動的假想直線上存在一個液滴噴出頭的噴出噴嘴、非噴出噴嘴和其他液滴噴出頭的噴出噴嘴、非噴出噴嘴的狀態(tài)。通過這樣的結構，把多個液滴噴出頭配置成一個液滴噴出頭的非噴出噴嘴位于沿著相對移動方向的假想直線上時，使其他液滴噴出頭的多數(shù)列的噴出噴嘴也位于沿著相對移動方向的假想直線上；一個液滴噴出頭的非噴出噴嘴和噴出噴嘴位于沿著相對移動方向的假想直線上時，使其他液滴噴出頭的非噴出噴嘴和噴出噴嘴也位于沿著相對移動方向的假想直線上。通過這樣的結構，多個液滴噴出頭之間液狀體噴出量平均化而可以防止不均勻，可以獲得平面上均勻的噴出。
另外，本發(fā)明中，上述多個噴嘴，其垂直于上述相對移動方向的噴嘴的開口排列節(jié)距，最好是近似等于或整數(shù)倍的垂直于上述相對移動方向的上述被噴出物上的預定噴出位置的節(jié)距。通過這樣的結構，例如，帶型、嵌鑲型或三角型等有規(guī)則性的描繪變?yōu)槿菀?。另外，利用同一?guī)格的噴墨頭，可以在較廣范圍噴出液狀體，沒有必要利用特別的噴墨頭而可以利用以往的規(guī)格產(chǎn)品，從而可以降低成本。還有，例如適當設定排列噴墨頭的排列方向數(shù)來可以適應噴出液狀體的區(qū)域，提高通用性。另外，一種噴墨頭也可以適應噴出液狀體的區(qū)域，簡化結構、提高制作性、降低成本。
還有，本發(fā)明中，液滴噴出頭中的位于上述沿著相對移動方向的假想直線的不同噴嘴最好是進行控制，以使其對被噴出物的所定同一位置分別噴出。這樣，各位置的液狀體噴出量平均化而可以防止不均勻，可以獲得平面上均勻的噴出。
(5)本發(fā)明適合于將作為噴出液狀體包含EL發(fā)光材料，作為被噴出物為基板，在基板的上面噴出液狀體而形成EL發(fā)光層的光電裝置的制造。
(6)本發(fā)明適合于將作為噴出液狀體包含彩色濾光片材料液狀體，作為被噴出物夾持液晶的一對基板中的一個基板上，在基板的上面噴出液狀體而形成光電裝置的彩色濾光片的制造。
(7)本發(fā)明適合于將具有流動性的液狀體噴到作為被噴出物的基體材料上面而制造具有所定層基體材料的器件。
根據(jù)本發(fā)明，使設有噴嘴的一個以上的液滴噴出頭面向被噴出物的狀態(tài)下，對被噴出物相對移動，因為位于沿著該相對移動方向的假想直線上的多數(shù)噴嘴中至少兩個以上噴嘴噴出液狀體，可以獲得兩個以上噴嘴噴出液狀體的結構，即使在多個噴嘴之間存在噴出量不均勻的情況下，也是由于被噴出的液狀體噴出量平均化而可以防止不均勻，可以獲得平面上均勻的噴出。


圖1是表示有關本發(fā)明的彩色濾光片制造方法的一個實施例的主要工藝模式的俯視圖。
圖2是表示有關本發(fā)明的彩色濾光片制造方法的另一個實施例的主要工藝模式的俯視圖。
圖3是表示有關本發(fā)明的彩色濾光片制造方法的又另一個實施例的主要工藝模式的俯視圖。
圖4是表示有關本發(fā)明的彩色濾光片制造方法的其他實施例的主要工藝模式的俯視圖。
圖5是表示有關本發(fā)明的彩色濾光片制造方法的一個實施例和作為其基礎的母板一個實施例的俯視圖。
圖6(a)是表示有關本發(fā)明的彩色濾光片一個實施例的俯視圖，(b)是作為其基礎的母板的一個實施例的俯視圖。
圖7是表示利用圖6(a)的沿著VII-VII線斷面部分制造彩色濾光片制造工藝模式圖。
圖8是表示彩色濾光片中的R(紅)、G(綠)、B(蘭)三色的像素的排列圖。
圖9是表示有關本發(fā)明的彩色濾光片制造裝置、有關本發(fā)明的液晶裝置的制造裝置和有關本發(fā)明的EL裝置的制造裝置的各制造裝置的主要部分的液滴噴出裝置的一個實施例的立體圖。
圖10是表示圖9裝置的主要部分的放大立體圖。
圖11是表示圖10裝置的主要部分的噴墨頭的放大立體圖。
圖12是表示噴墨頭的改變例的立體圖。
圖13是表示噴墨頭內(nèi)部結構的圖，(a)是局部剖面立體圖，(b)是(a)的J-J線剖面圖。
圖14是表示噴墨頭的改變例的俯視圖。
圖15是表示用于圖9噴墨頭裝置的電氣控制系統(tǒng)的框圖。
圖16是表示由圖15控制系統(tǒng)所執(zhí)行的控制流程圖。
圖17是表示噴墨頭的另一改變例的立體圖。
圖18是表示有關本發(fā)明的液晶裝置制造方法的一個實施例的工藝圖。
圖19是表示有關本發(fā)明的制造液晶裝置方法制造的液晶裝置一例的分解狀態(tài)立體圖。
圖20是表示圖19的IX-IX線的斷面結構的剖面21是表示有關本發(fā)明的EL裝置制造方法的一個實施例的工藝圖。
圖22是對應于圖21所示的工藝圖的EL裝置的剖面圖。
圖23是表示有關本發(fā)明的彩色濾光片制造裝置液滴噴出裝置的液滴噴出處理裝置的(切開一部分的)立體圖。
圖24是表示同上圖液滴噴出處理裝置的頭部件俯視圖。
圖25是同上的側(cè)視圖。
圖26是同上的主視圖。
圖27是同上的剖面圖。
圖28是表示同上液滴噴出處理裝置的頭部裝置的分解立體圖。
圖29是表示同上液滴噴出處理裝置的噴墨頭的分解立體圖。
圖30是說明同上液滴噴出處理裝置的噴墨頭噴出濾光元件材料動作的說明圖。
圖31是說明同上液滴噴出處理裝置的噴墨頭的濾光元件材料噴出量的說明圖。
圖32是表示同上液滴噴出處理裝置的噴墨頭排列狀態(tài)的簡圖。
圖33是表示同上液滴噴出處理裝置的噴墨頭排列狀態(tài)的局部放大簡圖。
圖34是表示同上液滴噴出處理裝置的噴墨頭的對相對移動方向的傾斜角度不同時的噴嘴的開口狀態(tài)的俯視圖。
圖35是表示同上彩色濾光片制造方法所制造的彩色濾光片模式圖，(A)是彩色濾光片的俯視圖，(B)是(A)的X-X線剖面圖。
圖36是說明同上彩色濾光片制造方法順序的制造工藝剖面圖。
圖37是表示利用有關本發(fā)明光電裝置的EL顯示元件的顯示裝置一部分的電路圖。
圖38是表示同上顯示裝置像素區(qū)域平面結構的放大俯視圖。
圖39是表示同上顯示裝置制造工藝前處理中的順序的制造工藝剖面圖。
圖40是表示同上顯示裝置制造工藝的噴出EL發(fā)光材料順序的制造工藝剖面圖。
圖41是表示同上顯示裝置制造工藝的噴出EL發(fā)光材料順序的制造工藝剖面圖。
圖42是表示利用有關本發(fā)明光電裝置EL顯示元件的顯示裝置像素區(qū)域的剖面圖。
圖43是表示利用有關本發(fā)明光電裝置EL顯示元件的顯示裝置像素區(qū)域結構的放大圖，(A)是平面結構，(B)是(A)的B-B剖面圖。
圖44是表示利用有關本發(fā)明光電裝置EL顯示元件的顯示裝置制造工藝的制造工藝剖面圖。
圖45是表示利用有關本發(fā)明光電裝置EL顯示元件的顯示裝置制造工藝的制造工藝剖面圖。
圖46是表示利用有關本發(fā)明光電裝置EL顯示元件的顯示裝置制造工藝的制造工藝剖面圖。
圖47是表示利用有關本發(fā)明光電裝置EL顯示元件的顯示裝置制造工藝的制造工藝剖面圖。
圖48是表示利用有關本發(fā)明光電裝置EL顯示元件的顯示裝置制造工藝的制造工藝剖面圖。
圖49是表示利用有關本發(fā)明光電裝置EL顯示元件的顯示裝置制造工藝的制造工藝剖面圖。
圖50是表示具有同上光電裝置的電氣器械的個人計算機的立體圖。
圖51是表示具有同上光電裝置的電氣器械的手機的立體圖。
圖52是表示以往的彩色濾光片制造方法一例的圖。
圖53是說明以往的彩色濾光片的特性的圖。
圖54是具有利用本發(fā)明的彩色濾光片制造裝置所制造的彩色濾光片的液晶裝置剖面圖。
圖55是表示本發(fā)明光電裝置其他實施例顯示裝置的圖，(a)是顯示裝置的平面模式圖，(b)是(a)的A-B線剖面模式圖。
圖56是表示同上顯示裝置主要部分的圖。
圖57是說明同上顯示裝置制造方法的工藝圖。
圖58是說明同上顯示裝置制造方法的工藝圖。
圖59是表示用于制造同上顯示裝置的等離子處理裝置一例的平面模式圖。
圖60是表示圖59所示的等離子處理裝置的第一等離子處理室內(nèi)部結構的平面模式圖。
圖61是說明同上顯示裝置制造方法的工藝圖。
圖62是說明同上顯示裝置制造方法的工藝圖。
圖63是表示用于制造同上顯示裝置的等離子處理裝置其他例的平面模式圖。
圖64是表示用于制造同上顯示裝置的液滴噴出裝置的俯視圖。
圖65是表示對主體的噴墨頭配置狀態(tài)的俯視圖。
圖66是表示噴墨頭主掃描一次而形成空穴注入/輸送層時的工藝圖。
圖67是表示噴墨頭主掃描三次而形成空穴注入/輸送層910a時的工藝圖。
圖68是表示噴墨頭主掃描二次而形成空穴注入/輸送層910a時的工藝圖。
圖69是說明本發(fā)明的光電裝置其他實施例的顯示裝置制造方法的說明圖。
圖70是說明同上顯示裝置制造方法的工藝圖。
圖71是說明同上顯示裝置制造方法的工藝圖。
圖72是說明同上顯示裝置制造方法的工藝圖。
圖73是說明同上顯示裝置制造方法的工藝圖。
圖74是說明同上顯示裝置制造方法的工藝圖。
具體實施例方式
(關于彩色濾光片制造方法和制造裝置的說明之一)下面說明本發(fā)明的彩色濾光片的制造方法的基本方法及其制造裝置的基本結構。首先，說明其制造方法和制造裝置之前，說明利用這些制造方法制造的彩色濾光片。圖6(a)是表示彩色濾光片的一個實施例的平面結構模式圖。另外，圖7(d)是表示圖6(a)的VII-VII線的剖面圖。
本實施例的彩色濾光片1是由玻璃或塑料等制作的正方形基板2的表面上面形成光點圖案形狀的多個濾光元件3，本實施例中形成點矩陣狀。還有，如圖7(d)所示，彩色濾光片1是濾光元件3上面疊層的方法形成保護膜4。另外，圖6(a)是平面表示去掉保護膜4狀態(tài)的彩色濾光片1。
濾光元件3是由沒有透光性的樹脂材料形成在格子狀圖案上的隔壁6所劃分成點陣狀排列的多個正方形區(qū)域，用顏色材料來填滿(這些區(qū)域)而形成。另外，這些濾光元件3分別由R(紅)、G(綠)、B(蘭)中的一個顏色材料所形成，這些各色的濾光元件3被排列成所定的排列。作為所定排列有如圖8(a)所示的所謂帶狀排列，圖8(b)所示的所謂嵌鑲排列，8(c)所示的所謂三角形排列。另外，本發(fā)明的[隔壁]是用來包括[坡度]意思的語言，指從基板一側(cè)看幾乎垂直角度的側(cè)面，具有大體上90度以上或不到90度側(cè)面的從基板一側(cè)看是凸出的部分。
還有，帶狀排列是矩陣的列，全為同一色的排列。另外，嵌鑲排列是縱橫直線上排列的任意三個濾光元件3為R(紅)、G(綠)、B(蘭)三色的配色。還有，三角形排列為濾光元件3的配置按層不同，任意鄰接的三個濾光元件3為R(紅)、G(綠)、B(蘭)三色的配色。
彩色濾光片1的大小，有如約4.57cm(1.8英寸)。還有，一個濾光元件3的大小為30μm×100μm。還有，各個濾光元件3之間的間隔-所謂元件之間的節(jié)距為75μm。
本實施例的彩色濾光片1作為使用于顯示全色的光學元件時，R(紅)、G(綠)、B(蘭)三個濾光元件3作為一個部件形成一個像素，使一個像素內(nèi)的R、G、B的任何一個或它們的組合光有選擇地通過，進行全色顯示。此時，由沒有透光性的樹脂材料形成的隔壁6起著罩的作用。
上述的彩色濾光片1，從如圖6(b)所示基板的大面積母板12切出。具體地，首先，在設定在母基板12內(nèi)的多數(shù)彩色濾光片形成區(qū)域11的各個表面上形成彩色濾光片1的一個份的板。然后，這些彩色濾光片11的周圍形成用于切斷的槽，沿著這些槽，切斷母板12來形成各個彩色濾光片1。
下面，說明制造如圖6(a)所示彩色濾光片1的制造方法和制造裝置。
圖7是模式性表示制造彩色濾光片1的工藝順序。首先，母板12的表面上利用沒有透光性的樹脂材料在從箭頭B方向看時格子狀的板上形成隔壁6。格子狀圖案的格子穴部分7為形成濾光元件3區(qū)域即濾光元件形成區(qū)域。該由隔壁6所形成的各個濾光元件形成區(qū)域7的從箭頭B方向看的平面尺寸形成為例如30μm×100μm左右。
隔壁6具有阻止供應在濾光元件形成區(qū)域7的作為液狀體的濾光元件13的流動性的功能和罩的功能。另外，隔壁6由形成圖案方法如影印法形成，還根據(jù)需要用加熱器加熱進行燒結。
形成隔壁6之后，如圖7(b)所示，通過把濾光元件材料13的液滴8供應在濾光元件形成區(qū)域7，用濾光元件材料13來填滿各個濾光元件形成區(qū)域7。圖7(b)中，符號13R表示具有R(紅)色的濾光元件材料，符號13G表示具有G(綠)色的濾光元件材料，符號13B表示具有B(蘭)色的濾光元件材料。另外，本發(fā)明中把[液滴]也稱為[墨水]。
如果各個濾光元件形成區(qū)域7里充填濾光元件材料13，則利用加熱器把母基板12加熱到70℃，蒸發(fā)濾光元件材料13的溶劑。通過該蒸發(fā)，如圖7(C)所示，濾光元件材料13的體積減少，變?yōu)槠教?。如果體積減少大時，形成足夠厚的彩色濾光片1為止，重復進行濾光元件材料13的液滴8的供應和加熱。由以上的處理，最終只殘留濾光元件材料13的固體成分而薄膜化，由此，形成所希望的各色的濾光元件3。
由以上，形成濾光元件3之后，為了完全干燥這些濾光元件3，進行所定溫度下的所定時間的加熱處理。然后，利用如旋轉(zhuǎn)涂敷法、滾涂法、刮板法或噴墨法等適當?shù)姆椒ㄐ纬杀Ｗo膜4。該保護膜4是為了保護濾光元件3和彩色濾光片1的平坦化而形成。
圖9是表示為了進行圖7(b)所示的濾光元件材料13供應處理的液滴噴出裝置的一個實施例。該液滴噴出裝置16是把R(紅)、G(綠)、B(蘭)三色中的一色，比如R(紅)色的濾光元件材料13作為墨水的液滴8噴出附著在母板12(參考圖6(b))內(nèi)的各個彩色濾光片形成區(qū)域11所定位置的裝置。預備用于噴出G(綠)色的濾光元件材料13和B(蘭)色的濾光元件材料13的液滴噴出裝置16，但它們的結構和圖8的相同，省略其說明。
圖9中，液滴噴出裝置16包括具有作為液滴噴出頭一例的用于打印機噴墨頭22的頭部部件26、控制噴墨頭22位置的頭部位置控制裝置17、控制母基板12位置的基板位置控制裝置18、使噴墨頭22對母基板12主掃描移動的作為主掃描驅(qū)動裝置的主掃描驅(qū)動裝置19、使噴墨頭22對母基板12副掃描移動的作為副掃描驅(qū)動裝置的副掃描驅(qū)動裝置21、把母基板12輸送到液滴噴出裝置16內(nèi)的所定作業(yè)位置的基板輸送裝置23、全盤控制液滴噴出裝置16的控制裝置24。
使頭部位置控制裝置17、基板位置控制裝置18、噴墨頭22對母基板12主掃描移動的主掃描驅(qū)動裝置19和副掃描驅(qū)動裝置21的各個裝置安裝在底座9上。另外，這些裝置根據(jù)需要，用罩14覆蓋。
如圖11所示，噴墨頭22具有排列多個噴嘴27所形成的噴嘴列28。噴嘴27的數(shù)目為180個，噴嘴27的孔徑為28μm，噴嘴27噴嘴節(jié)距為141μm。圖6(a)和圖6(b)中，對彩色濾光片1和母基板12的主掃描方向X和垂直于它的副掃描方向Y方向和圖10中的設定相同。
噴墨頭22設定在交叉于噴嘴列28的主掃描方向X的方向延伸的位置，在相對主掃描方向X平行移動時，把作為墨水的濾光元件材料13由噴嘴27有選擇性地噴出，把濾光元件材料13附著在母板12(參考圖6(b))內(nèi)的所定位置。另外，噴墨頭22向副掃描方向Y相對平行移動所定距離，可以使噴墨頭22的主掃描位置移動到所定偏移的距離。
噴墨頭22具有如圖13(a)和圖13(b)所示的內(nèi)部結構。具體地，噴墨頭22具有不銹鋼制作的噴嘴板29、面對它的振動板31、接合它們的多個隔開部件32。噴嘴板29和振動板31之間由隔開部件32形成多個墨水室33和儲存液體部34。多個墨水室33和儲存液體部34之間通過通路38互相連通。
振動板31的適當位置上形成墨水供應孔36，在該墨水供應孔36上連接墨水供應裝置37。該墨水供應裝置37把R(紅)、G(綠)、B(蘭)中的一色比如R(紅)色的濾光元件材料M供應給墨水供應孔36。被供應的濾光元件材料M充滿在儲存液體部34，并通過通路38充滿墨水室33。
噴嘴板29設有從墨水室33以濺射狀濺射濾光元件材料M的噴嘴27。另外，形成振動板31的墨水室33面的里面裝有對應于該墨水室33的墨水加壓體39。該墨水加壓體39如圖13(b)所示，具有壓電元件41和夾持它的一對電極42a和42b。壓電元件41由電極42a和42b的通電，以箭頭C所示的外側(cè)方向凸出地彎曲變形，由此，墨水室33容積增大。這樣，相當于增大容積部分的濾光元件材料M從儲存液體部34通過通路38流入到墨水室33。
接著，解除壓電元件41的通電時，該壓電元件41和振動板31同時恢復原來的形狀。由此，墨水室33也恢復到原來的容積，墨水室33內(nèi)部的濾光元件材料M的壓力增加，由噴嘴27向母基板12(參考圖6(b))以液滴8狀噴出濾光元件材料M。另外，為了防止液滴8的飛行彎曲或噴嘴27的堵塞，在噴嘴27的周圍設有例如Ni四氟乙烯共析鍍層所組成的的撥墨水層43。
圖10中，頭部位置控制裝置17包括平面內(nèi)轉(zhuǎn)動噴墨頭22的α電機44、使噴墨頭22在平行于副掃描方向Y的軸搖動的β電機46、使噴墨頭22在平行于主掃描方向X的軸搖動的γ電機47、使噴墨頭22在上下方向平行移動的Z電機48。
在圖10中，圖9所示的基板位置控制裝置18包括放置母基板12的臺子49、使臺子49如箭頭θ所示面內(nèi)轉(zhuǎn)動的θ電機51。另外，如圖10所示，圖9所示的主掃描驅(qū)動裝置19具有向主掃描方向X延伸的X導向軌道52和內(nèi)部裝有脈沖驅(qū)動線性電機的X滑塊53。X滑塊53在其內(nèi)置的線性電機工作時，沿著X導向軌道52，向主掃描方向X平行移動。
另外，如圖10所示，圖9所示的副掃描驅(qū)動裝置21包括向副掃描方向Y延伸的Y導向軌道54、內(nèi)部裝有脈沖驅(qū)動線性電機的Y滑塊56。Y滑塊56在其內(nèi)置的線性電機工作時，沿著Y導向軌道52，向副主掃描方向Y平行移動。
X滑塊53或Y滑塊56內(nèi)部的脈沖驅(qū)動的線性電機由傳送到該電機的脈沖信號可以精密進行輸出軸的轉(zhuǎn)動角度的控制，從而，可以高精度進行保持在X滑塊53的噴墨頭22的主掃描方向X上的位置或臺子49在副掃描方向Y上的位置控制。另外，噴墨頭22或臺子49位置控制不限于利用脈沖驅(qū)動的線性電機，也可以利用伺服電機的反饋控制或其他任意控制方法來實現(xiàn)。
圖9所示的基板輸送裝置23包括收容母基板12的基板收容部57、輸送母基板12的機械手58。機械手58包括放置在地板、地面等安裝面的基礎臺59、相對基礎臺59升降移動的升降軸61、以升降軸61中心旋轉(zhuǎn)的第一桿臂62、相對第一桿臂臂62旋轉(zhuǎn)的第二桿臂臂63、設在第二桿臂臂63前端下面的吸引緩沖器64。吸引緩沖器64利用空氣吸引來吸引母基板12。
圖9中，由主掃描驅(qū)動裝置19驅(qū)動進行主掃描移動的噴墨頭22的軌跡下面，副掃描驅(qū)動裝置21的一方的腋下位置配置壓蓋裝置76和清洗裝置77。另外，另一方腋下位置配置電子天平78。清洗裝置77是用于清洗噴墨頭22的裝置。電子天平78是按噴嘴測定噴墨頭22的各個噴嘴27(參考圖11)噴出的墨水液滴8重量的儀器。壓蓋裝置76是噴墨頭22待機狀態(tài)時，防止噴嘴27(參考圖11)干燥的裝置。
在噴墨頭22附近設置和該噴墨頭22一起移動的頭部用照相機81。另外，設在底座9保持裝置所保持的基板用照相機82，設在可攝影母基板12的位置上。
圖9所示的控制裝置24包括內(nèi)裝專用傳感器的電子計算機主機部66、作為輸入裝置67的鍵盤、作為顯示裝置的CRT(陰極射線管)顯示器68。如圖15所示，上述專用傳感器包括進行運算處理的CPU(中央處理器)69、存儲各種信息的存儲器即存儲信息介質(zhì)71。
圖9所示的驅(qū)動頭部位置控制裝置17、基板位置控制裝置18、主掃描驅(qū)動裝置19、副掃描驅(qū)動裝置21和噴墨頭22內(nèi)的壓電元件41(參考圖13(b))的頭部驅(qū)動電路72的各個器械在圖15中，通過輸入、輸出轉(zhuǎn)換裝置73和母線74連接在CPU69。另外，基板供給裝置23，輸入裝置67，CRT顯示器68，電子天平78，清洗裝置77，以及壓蓋裝置76的各器械，也通過輸出轉(zhuǎn)換裝置73和母線74也連接在CPU69上。
作為存儲信息介質(zhì)71的存儲器是RAM(隨機存取存儲器)、ROM(只讀存儲器)等的半導體存儲器、硬盤、CD-ROM讀取裝置、盤形存儲介質(zhì)等的包括外部存儲器的概念；作為功能，被設定為各種存儲區(qū)域存儲控制液滴噴出裝置16動作順序的程序軟件的存儲區(qū)域、實現(xiàn)圖8所示各種R(紅)、G(綠)、B(蘭)排列的，存儲R(紅)、G(綠)、B(蘭)中一色在母基板12(參考圖6)由的噴出位置坐標數(shù)據(jù)的存儲區(qū)域、存儲圖10中的副掃描方向Y的母基板12副掃描量的存儲區(qū)域、為了使CPU69工作的區(qū)域或臨時文件功能的區(qū)域、其他各種存儲區(qū)域。
CPU69進行根據(jù)存儲在信息存儲介質(zhì)71-存儲器內(nèi)部的程序軟件，把墨水即濾光元件材料13噴在母基板12表面的所定位置的控制。作為具體執(zhí)行功能部包括為實現(xiàn)清洗處理運算的清洗運算部、為實現(xiàn)壓蓋處理的壓蓋運算部、為實現(xiàn)利用電子天平78(參考圖9)測定重量運算的重量測定運算部、為實現(xiàn)利用液滴噴出描繪濾光元件材料13運算的描繪運算部。
如果詳細分割描繪運算部，可分為為了描繪把噴墨頭22設定初始位置的描繪開始位置運算部、使噴墨頭22向主掃描方向X按所定速度主掃描移動的控制運算的主掃描控制運算部、使母基板12向副掃描方向Y移動所定副掃描量的控制運算的副掃描控制運算部、使噴墨頭22內(nèi)的多個噴嘴27中一的任意一個進行工作，把墨水，即濾光元件材料13噴出與否控制運算的噴嘴噴出控制運算部等的各種功能運算部。
另外，本實施例中，把上述功能利用CPU69軟性實現(xiàn)的，但上述功能可以不用CPU69，而由單獨的電路可以實現(xiàn)時，可以利用那樣的電路。
下面，根據(jù)圖16所示的流程圖說明上述結構的液滴噴出裝置16的工作。
由操作員的電源接入，液滴噴出裝置16開始工作，首先，步驟S1中實現(xiàn)原始設定。具體地，頭部部件26、基板輸送裝置23或控制裝置24等設定為預先確定的初始狀態(tài)。
接著，如果到了測定重量時間(步驟S2的是)，利用主掃描驅(qū)動裝置19使圖10的頭部部件26移動到圖8的電子天平78的位置(步驟S3)，利用電子天平78測定噴嘴27所噴出的墨水量(步驟S4)。然后，根據(jù)噴嘴27的噴出特性調(diào)節(jié)施加在各個對應于噴嘴27的壓電元件41的電壓(步驟S5)。
然后，接著，如果到了清洗時間(步驟S6的是)，利用主掃描驅(qū)動裝置19使頭部部件26移動到清洗裝置77位置(步驟S7)，利用其清洗裝置77清洗噴墨頭22(步驟S8)。
沒有到測定重量或清洗時間(步驟S2和S6的不是)，或結束這些處理之后，在步驟S9中，使圖9的基板輸送裝置23工作，向臺子49供應母基板12。具體地，由吸引緩沖器64吸引保持基板收容部57內(nèi)的母基板12。然后，移動升降軸61、第一桿臂62和第二桿臂63把母基板12輸送到臺子49，并且，按壓住預先設在臺子49適當位置的定位銷50(參考圖10)。另外，為了防止母基板12在臺子49位置偏移，最好是利用空氣吸引方法，把母基板12保持在臺子49上。
接著，利用圖9的基板用照相機82，一邊觀察母基板12，一邊利用旋轉(zhuǎn)圖10的θ電機51的輸出軸的微小角度來旋轉(zhuǎn)臺子49的微小角度單位，定位母基板12(步驟S10)。然后，利用圖9的頭部用照相機81，一邊觀察母基板12，利用運算決定利用噴墨頭22開始描繪的位置(步驟S11)。然后，使主掃描驅(qū)動裝置19和副掃描驅(qū)動裝置21適當動作，使噴墨頭22移動到開始描繪位置(步驟S12)。
此時，如圖1(a)所示，噴墨頭22使噴嘴列28相對于噴墨頭22的副掃描方向Y傾斜θ角度地排列。這是在平常的液滴噴出裝置中，多數(shù)情形是作為相鄰噴嘴27之間間隔的噴嘴節(jié)距和相鄰的濾光元件3，即作為濾光元件形成區(qū)域7之間間隔的元件節(jié)距不同，使噴墨頭22向主掃描方向X移動時，噴嘴之間節(jié)距的副掃描方向Y的尺寸成分幾何學上等于元件節(jié)距的措施。
圖16的步驟S12中，如果噴墨頭22位于開始描繪掃描位置，則圖1中的噴墨頭22位于(a)位置。然后，圖15的步驟S13中，開始主掃描方向X的主掃描，同時，開始噴出墨水。具體地，圖10的主掃描驅(qū)動裝置19開始工作，噴墨頭22以一定速度向圖1的主掃描方向X直線掃描移動，在其移動中，對應于應該供應濾光元件形成區(qū)域7的對應噴嘴27到達時，其噴嘴27噴出墨水即濾光元件材料。
另外，此時的墨水噴出量不是充填濾光元件形成區(qū)域7全部容積的量，而是其全部量的數(shù)分之一、本實施例中為全部量的1/4。這是因為，以后要敘述的一樣，各個濾光元件形成區(qū)域7不是由噴嘴27的一次的噴出來充填，而幾次的重復噴出，本實施例中是四次重復噴出來充填全容積的緣故。
如果噴墨頭22完成對母基板12的一次主掃描(步驟S14的是)，則反轉(zhuǎn)移動而回到初始位置(a)(步驟S15)。并且，噴墨頭22由副掃描驅(qū)動裝置21驅(qū)動，向副掃描方向Y移動預先設定的副掃描量δ(本實施例中把該距離稱為δ)(步驟S16)。
本實施例中，CPU69在圖1中，把形成噴墨頭22噴嘴列28的多個噴嘴27概念上分割成多個組n。本實施例中n＝4即把180個噴嘴27形成的長度為L的噴嘴列28分割成4組。由此，一個噴嘴組包括180/4＝45(個)噴嘴27的長度為L/n即L/4。上述的副掃描量δ設定為上述噴嘴組長度L/4的副掃描長度，即(L/4)cosθ的整數(shù)倍。
從而，結束一次主掃描之后回到初始位置的噴墨頭22向圖1的副掃描方向Y平行移動δ距離而移動到(b)位置。另外，副掃描移動量δ不是總是一樣的大小，根據(jù)必要的控制而變化。另外，在圖1中，雖然從位置(a)到位置(k)對主掃描方向X稍微偏移，這是為了說明的方便而已，實際上，從位置(a)到位置(k)對主掃描方向X是同一位置。
副掃描而移動到位置(b)的噴墨頭22在步驟S13中反復進行主掃描和墨水的噴出。其后，噴墨頭22一邊反復進行位置(c)～(k)的副掃描移動，一邊重復主掃描移動和墨水的噴出(步驟S13～步驟S16)，由此，完成母基板12的彩色濾光片形成區(qū)域11的一列的墨水附著處理。
本實施例中，因為把噴嘴列28分成四組來決定副掃描量δ，完成上述的彩色濾光片形成區(qū)域11的一列的主掃描和副掃描，則各個濾光元件形成區(qū)域7受到由四個噴嘴組的各一次的共四次墨水處理，供應全容積內(nèi)的所定量的墨水，即濾光元件材料。
詳細表示該重復噴出的形態(tài)，就如圖1(A)所示。圖1(A)中，“a”～“k”是表示由位于“a”位置到“k”各個位置的噴墨頭22噴嘴列28的噴出而在母基板12表面重復附著形成的墨水層，即濾光元件材料層79。例如“a”位置的噴嘴列28的主掃描時的墨水噴出形成圖1(A)的“a”層墨水層，“b”位置的噴嘴列28的主掃描時的墨水噴出形成圖1(A)的“b”層墨水層，以下“c”位置，“d”位置，……各位置的噴嘴列28的主掃描時的墨水噴出形成圖1(A)的“c”、“d”層墨水層。
總之，本實施例中，噴嘴列28的四個噴嘴組在母基板12內(nèi)的彩色濾光片形成區(qū)域11的同一部分重復四次進行主掃描而噴出墨水，總的膜厚T達到所要的厚度。另外，圖1的“a”位置和“b”位置的噴嘴列28的主掃描形成圖1(A)的濾光元件材料層79的第一層，由“c”、“d”、“e”各位置的噴嘴列28的主掃描形成第二層，由“f”、“g”、“h”各位置的噴嘴列28的主掃描形成第三層，由“i”、“j”、“k”各位置的噴嘴列28的主掃描形成第四層，由此，形成濾光元件材料層79的全部層。
另外，第一層、第二層、第三層和第四層是簡單表示噴嘴列28的主掃描墨水噴出的次數(shù)而已，實際上，各層不是物理性區(qū)分的，作為整體形成均勻的一個層的濾光元件材料層79。
另外，圖1所示的實施例中，噴嘴列28從“a”位置到“k”位置按順序副掃描移動時，各個位置的噴嘴列28不會和其他位置的噴嘴列28在副掃描方向Y上重疊，但各個位置間的噴嘴列28在副掃描方向Y上連續(xù)進行副掃描移動。從而，濾光元件材料層79第一層～第四層各層的厚度是均勻的。
另外，設定噴墨頭22副掃描移動量δ，以便形成第一層的“a”位置和“b”位置的噴嘴列28境界線重疊于形成第二層的“c”位置、“d”位置和“e”位置的境界線。同樣，第二層和第三層境界線以及第三層和第四層境界線也設定重疊。如果各層間噴嘴列28境界線重疊于副掃描方向，即圖1(A)左右方向，其境界線部分形成條紋的可能，但和本實施例一樣，在各層間錯開境界線控制，則不會發(fā)生條紋，且可以獲得均勻厚度的濾光元件材料層79。
另外，本實施例中，在噴嘴列28以噴嘴組為單位，一邊副掃描移動，一邊重復主掃描移動而噴出墨水，形成所定厚度T的濾光元件材料層79之前，首先，使噴嘴列28位于圖1“a”的位置和“b”位置，即噴嘴列28不重疊而連續(xù)地按順序噴出墨水，反正在最初，在彩色濾光片形成區(qū)域11的全面上形成均勻厚度的濾光元件材料層79。
一般來說，母基板12的表面是干燥的，濕潤性低，所以有墨水的附著性差的傾向，因此，如果在母基板12表面突然局部性地噴大量的墨水，則墨水的附著性變?yōu)椴涣?，有可能發(fā)生墨水濃度的不均勻。對此，如本實施例中，最初，在彩色濾光片形成區(qū)域11的全面上盡可能不形成境界線，而薄而均勻地供應墨水，使該區(qū)域11的全面設定為均勻厚度的濕潤狀態(tài)，則以后進行的重復涂敷中，可以防止墨水的位于重復境界線部分的位置上留下境界線。
如以上，如果完成圖6的母基板12內(nèi)的彩色濾光片形成區(qū)域11的一列的墨水噴出，則噴墨頭22由副掃描驅(qū)動裝置21驅(qū)動，移動到下一列彩色濾光片形成區(qū)域11的初始位置(步驟S19)。于是，對該列的彩色濾光片形成區(qū)域11重復進行主掃描、副掃描和墨水噴出，在濾光元件形成區(qū)域7內(nèi)形成濾光元件(步驟S13～步驟S16)。
然后，如果在母基板12內(nèi)的全部彩色濾光片形成區(qū)域11形成R(紅)、G(綠)、B(蘭)中的一色，比如形成R色的濾光元件3(步驟S18的是)，則在步驟S20中，由基板輸送裝置23或其他輸送器械輸送母基板12。然后，只要操作員不給處理結束指示(步驟S21的不是)，就回到步驟S2，對別的母基板12重復進行R色的墨水噴出作業(yè)。
如果操作員給了處理結束指示(步驟S21的是)，則CPU69把圖9中的噴墨頭22輸送到壓蓋裝置76位置，由該壓蓋裝置76對噴墨頭22實施壓蓋處理(步驟S22)。
由以上，完成構成彩色濾光片1的R、G、B三色中的第一色，比如R色的形成圖案。然后，把母基板12輸送到把R、G、B三色中的第二色，比如G色作為濾光元件材料13G的液滴噴出裝置16位置，進行G色的形成圖案。再后，最終把母基板12輸送到R、G、B三色中的第三色，比如B色作為濾光元件材料13B的液滴噴出裝置16位置，進行B色的形成圖案。由此，制造出母基板12，該板形成有多個具有帶狀排列的-所希望的R、G、B色點排列的彩色濾光片1(圖6(a))。把該母基板12按彩色濾光片形成區(qū)域11的每一個進行切斷，切出多個彩色濾光片1。
另外，如果把彩色濾光片1利用于液晶裝置的彩色顯示，則在彩色濾光片1表面上進一步疊加電極或定向膜。此時，如果在疊加電極或定向膜之前，切斷母基板12，則其后的形成電極工藝變得非常麻煩。因此，此時，不是先切斷母基板12而最好是在完成電極或定向膜等形成工藝之后，切斷母基板12。
如以上，根據(jù)本實施例的彩色濾光片1的制造方法和制造裝置，圖6(a)所示的彩色濾光片1內(nèi)的每一個濾光元件3不是由噴墨頭22(參考圖1)的一次的主掃描X來形成，而每一個濾光元件3是由不同組的多個噴嘴27的n次的、本實施例中為四次重復的噴出來形成所定厚度的膜。因此，即使是多個噴嘴27之間存在墨水噴出量的不均勻，也可以防止產(chǎn)生濾光元件3膜厚不均勻，因此，可以使彩色濾光片1的透光特性在平面上均勻。
當然，由于本實施例的制造方法中利用噴墨頭22的墨水噴出來形成濾光元件3，沒有必要采用影印法等的復雜工藝，同時不浪費材料。
但是，形成噴墨頭22噴嘴列28的多個噴嘴27的墨水噴出量不均勻是如同圖53(a)的有關說明。另外，噴嘴列28兩端的幾個，比如一端的各十個噴嘴27的墨水噴出量多的原因如同上述說明。這樣，使用墨水噴出量多于其他噴嘴27的噴嘴27是不利于形成均勻膜厚的濾光元件3。
從而，如圖14所示，最好是形成噴嘴列28的多個噴嘴27中位于噴嘴列28端部E的幾個如十個程度設定為非噴出噴嘴，位于剩余部分F的多個噴嘴27分成四組，以噴嘴組為單位進行副掃描移動為好。比如，有180個噴嘴27時，對施加電壓附加一些條件，使兩端的各十個共二十個噴嘴27設定為不噴出墨水，剩余的160個，例如概念上分成四組，每一組有160/4＝40(個)噴嘴。
本實施例中，作為隔壁6利用沒有透光性的樹脂材料，但作為透光性隔壁6，也可以利用透光性樹脂。此時，對應于濾光元件3之間的位置，比如隔壁6的上面或隔壁6的下面可以設置其他遮光性Cr(鉻)等金屬膜或樹脂材料的罩。另外，也可以采用透光性樹脂材料形成隔壁6以后，不設黑色罩的結構。
另外，本實施例中，作為濾光元件3利用了R(紅)、G(綠)、B(蘭)，但不限定利用R(紅)、G(綠)、B(蘭)，可以利用如C(青)、M(洋紅)、Y(黃)。此時，替代R(紅)、G(綠)、B(蘭)濾光元件，利用C(青)、M(洋紅)、Y(黃)色的濾光元件材料就可以。
還有，本實施例中，利用影印法形成隔壁6，但也可以和彩色濾光片1一樣，利用噴墨法形成隔壁6。
(關于彩色濾光片的制造方法及其制造裝置的說明之二)圖2是為了說明上述有關本發(fā)明彩色濾光片1制造方法和制造裝置的變形例的圖，是模式性表示利用噴墨頭22向母基板12內(nèi)的彩色濾光片形成區(qū)域11內(nèi)的各個濾光元件形成區(qū)域7噴出供應墨水，即濾光元件材料13的情形。
由本實施例來實施的大體工藝和如圖7所示的工藝相同，用于墨水噴著的液滴噴出裝置也和圖9所示的相同的機械結構。另外，圖15的CPU69把形成噴嘴列28的多個噴嘴27分成n組、如四組，對應于各噴嘴組的長度L/n或L/4決定副掃描量δ的情形也和圖1相同。
本實施例和圖1所示的上述實施例不同點是存儲在圖15中作為信息存儲介質(zhì)的存儲器內(nèi)收容的程序軟件的改進，具體說就是對于CPU69進行的主掃描控制運算和副掃描控制運算進行了改變。
更具體地說，圖2中，其控制，使噴墨頭22不是在結束主掃描方向X的主掃描移動后回到初始位置，而是在一個方向的主掃描移動結束后立即向副掃描方向移動相當于一組噴嘴組移動量δ而到達(b)位置之后，向上一次主掃描方向X1的相反方向X2進行掃描移動，從初始位置(a)回到向副掃描方向移動δ距離的錯位位置(b′)。另外，位置(a)到(a′)的主掃描間和從(b)到(b′)的主掃描間的兩個期間內(nèi)多個噴嘴27選擇性地噴出墨水。
總之，本實施例中，噴墨頭22不是間隔進行主掃描和副掃描而連續(xù)輪流進行，由此，省略了回歸動作的時間浪費，可以縮短作業(yè)時間。
(關于彩色濾光片制造方法及其制造裝置的說明之三)圖3是為了說明上述有關本發(fā)明彩色濾光片1制造方法及其制造裝置的變形例的圖，是模式性表示利用噴墨頭22向母基板12內(nèi)的彩色濾光片形成區(qū)域11內(nèi)的各濾光元件形成區(qū)域7噴出供應墨水即濾光元件材料13的情形。
由本實施例實施的大體工藝和圖7所示的工藝相同，用于墨水噴著的液滴噴出裝置也和圖9所示的機構相同。另外，圖15的CPU69把形成噴嘴列28的多個噴嘴27分成n組、如四組，對應于各噴嘴組的長度L/n或L/4決定副掃描量δ的情形也和圖1相同。
本實施例和圖1所示的上述實施例不同點是在圖16的步驟S12中把噴墨頭22設在描繪初始位置時，使其噴墨頭22位于圖3(a)位置所示的，噴嘴列28延伸的方向平行于副掃描方向Y。這樣的噴嘴排列有利于噴墨頭22的噴嘴節(jié)距等于母基板12的元件節(jié)距的情形。
在該實施例中，噴墨頭22從初始位置(a)到終端位置“k”為止，一邊反復進行主掃描方向X的主掃描移動、初始位置的回歸移動和副掃描方向Y的移動量δ的副掃描移動，在主掃描移動期間由多個噴嘴27選擇性地噴出墨水即濾光元件材料。由此，在母基板12內(nèi)的彩色濾光片形成區(qū)域11內(nèi)的濾光元件形成區(qū)域7內(nèi)附著濾光元件材料。
另外，本實施例中，噴嘴列28位置設定為平行于副掃描方向Y。由此，副掃描移動量δ被設定為等于噴嘴組長度L/n即1/4。
(關于彩色濾光片制造方法及其制造裝置的說明之四)圖4是為了說明上述有關本發(fā)明彩色濾光片1制造方法及其制造裝置的變形例的圖，是模式性表示利用噴墨頭22向母基板12內(nèi)的彩色濾光片形成區(qū)域11內(nèi)的各個濾光元件形成區(qū)域7噴出供應墨水即濾光元件材料13的情形。
由本實施例實施的大體工藝和圖7所示的工藝相同，用于墨水噴著的液滴噴出裝置也和圖9所示的機構相同。另外，圖15的CPU69把形成噴嘴列28的多個噴嘴27分成n組、如四組，對應于各噴嘴組的長度L/n或L/4所決定副掃描量δ的情形也和圖1相同。
本實施例和圖1所示的上述實施例不同點是在圖16的步驟S12中把噴墨頭22設在描繪初始位置時，使其噴墨頭22位于圖4(a)位置所示的，噴嘴列28延伸的方向平行于副掃描方向Y；并且，和圖2的實施例情況相同，噴墨頭22達到主掃描和副掃描的回歸動作不是有間隔而連續(xù)地輪流進行。
另外，圖4所示的本實施例和圖3所示的上述實施例中，因為主掃描方向X垂直于噴嘴列28方向，所以如圖12所示，把噴嘴列28沿著主掃描方向X排兩列的方法，可以使位于同一主掃描線的兩個噴嘴27向一個濾光元件形成區(qū)域7噴出供給濾光元件材料13。
(關于彩色濾光片制造方法及其制造裝置的說明之五)圖5是為了說明上述有關本發(fā)明彩色濾光片1制造方法及其制造裝置的變形例的圖，是模式性表示利用噴墨頭22向母基板12內(nèi)的彩色濾光片形成區(qū)域11內(nèi)的各個濾光元件形成區(qū)域7噴出供應墨水即濾光元件材料13的情形。
由本實施例實施的大體工藝和圖7所示的工藝相同，用于墨水噴著的液滴噴出裝置也和圖9所示的機構相同。另外，圖15的CPU69把形成噴嘴列28的多個噴嘴27分成n組、如四組，對應于各噴嘴組的長度L/n或L/4所決定副掃描量δ的情形也和圖1相同。
在圖1所示的上述實施例中，使噴嘴列28不重復而連續(xù)進行副掃描移動來在母基板12的表面均勻厚度形成濾光元件材料層79第一層，在其第一層上面按順序同樣形成均勻厚度的第二層、第三層、第四層。與此相反，圖5所示的實施例中，形成第一層的方法和圖1(A)情形相同，但第二層～第四層不是按順序重復形成相同厚度的層，而從圖5(A)的左側(cè)向右側(cè)按順序形成臺階狀第二層、第三層、第四層，最后形成濾光元件材料層79。
圖5所示的實施例中，第一層～第四層各層的噴嘴列28境界線在各層間重疊，因此，也許在該境界線部位出現(xiàn)濃度大的條紋。但是，該實施例在最初工藝中，彩色濾光片形成區(qū)域11的全面上形成均勻厚度的第一層的方法來提高濕潤性，其后進行第二層～第四層的疊層，因此，比起不是在全面均勻形成厚度相同的第一層的情況下突然從左側(cè)臺階狀形成第一層～第四層，可以形成沒有濃度不均勻，而且可以形成細小境界線部位的難度大的彩色濾光片1。
(關于彩色濾光片制造方法及其制造裝置的說明之六)圖17是為了說明上述有關本發(fā)明彩色濾光片1制造方法及其制造裝置的變形例的圖，是表示噴墨頭22A。該噴墨頭22A和圖10所示的噴墨頭22不同點是噴出R(紅)色的噴嘴列28R、噴出G(綠)色的噴嘴列28G、噴出B(蘭)色的噴嘴列28B的三種噴嘴列制作成一個噴墨頭22A。分別在這些三種(噴嘴列)上設置圖13(a)和圖13(b)所示的墨水噴出系，對應于R(紅)色噴嘴列28R的墨水噴出系上連接R(紅)墨水供應裝置37R，對應于G(綠)色噴嘴列28G的墨水噴出系上連接G(綠)色墨水供應裝置37G，對應于B(蘭)色噴嘴列28B的墨水噴出系上連接B(蘭)色墨水供應裝置37B。
由本實施例實施的大體工藝和圖7所示的工藝相同，用于墨水噴著的液滴噴出裝置也和圖9所示的機構相同。另外，圖15的CPU69把形成噴嘴列28R、28G、28B的多個噴嘴27分成n組、如四組，對每一個噴嘴組，使噴墨頭22A以副掃描移動量δ來副掃描移動的情形也和圖1相同。
圖1所示的實施例中，噴墨頭22上設有一種噴嘴列28，因此，由R(紅)、G(綠)、B(蘭)三色形成彩色濾光片1時，圖9所示的噴墨頭22上必須分別準備R(紅)、G(綠)、B(蘭)三色。與此相反，使用圖17所示結構的噴墨頭22A時，噴墨頭22A的主掃描方向X的一次主掃描來可以同時形成母基板12上的R(紅)、G(綠)、B(蘭)三色，因此，只要準備一個噴墨頭22就足夠。另外，通過各色的噴嘴列28的間隔適應于母基板12的濾光元件形成區(qū)域7的節(jié)距的方法，可以同時噴出R(紅)、G(綠)、B(蘭)三色。
(關于利用彩色濾光片的光電裝置制造方法以及制造裝置的說明)圖18表示有關本發(fā)明的光電裝置一例的液晶裝置的制造方法實施例。另外，圖19表示由其制造方法制造的液晶裝置的實施例。還有，圖20表示圖19中的IX-IX線的液晶裝置的剖面圖。說明液晶裝置的制造方法以及制造裝置之前，首先舉例說明其制造方法所制造出的液晶裝置。另外，本實施例的液晶裝置為矩陣方式顯示全色的半滲透反射方式的液晶裝置。
圖19中，液晶裝置101是在液晶板102上安裝作為半導體芯片的液晶驅(qū)動用IC103a和液晶驅(qū)動用IC103b，把作為配電線的連接元件FPC(軟性印刷電路)104連接在液晶板102上。還有，液晶裝置101是在液晶板102里面安裝作為后燈的照明裝置106而形成。
液晶板102是利用密封件108粘貼第一基板107a和第二基板107b而形成。密封件108是通過如網(wǎng)板印刷等方法把環(huán)氧樹脂以環(huán)狀粘接在第一基板107a或第二基板107b內(nèi)側(cè)表面而形成。另外，如圖19所示，密封件108內(nèi)部分散狀態(tài)包含由導電性材料形成球狀或圓筒狀的接通件109。
圖20中，第一基板107a具有由透明的玻璃或透明的塑料形成的板狀基體材料111a。該基體材料111a的內(nèi)側(cè)表面(圖20的上表面)形成反射膜112，在其上面疊加絕緣膜113，在其上第面一電極114a以箭頭D向看時帶狀(參考圖19)形成，在其上面形成定向膜116a。另外，基體材料111a的外表面(圖20的下面表面)粘有偏振光片117a。
圖19中，為了清楚地表示第一電極114a的排列，把這些帶間隔繪成比實際寬得多，因此，雖然所被繪的第一電極114a的根數(shù)少，但實際上更多的第一電極114a形成基體材料111a上。
圖20中，第二基板107b具有由透明的玻璃或透明的塑料形成的板狀基體材料111b。該基體材料111b的內(nèi)側(cè)表面(圖20的下表面)形成彩色濾光片118，在其上面疊加絕緣膜113，在其上面第二電極114b以垂直于上述第一電極114a，從箭頭D向看時帶狀(參考圖19)形成，在其上面形成定向膜116b。另外，基體材料111b的外表面(圖20的下面表面)粘有偏振光片117b。
圖19中，為了清楚表示第二電極114b的排列，和第一電極114a的情形同樣，把那些帶狀間隔畫得比實際大，因此，所畫第二電極114b的數(shù)目少，但實際上有更多的第二電極114b形成在基體材料111b上。
圖20中，由第一基板107a、第二基板107b和密封件108所包圍的間隙內(nèi)即所謂的單元凹(cellgap)內(nèi)封入液晶比如STN(高級雙絞向列)液晶L。第一基板107a或第二基板107b內(nèi)側(cè)表面分散有多數(shù)微小的球形撐檔119，這些撐檔119存在于單元凹內(nèi)的方法維持單元凹均勻厚度。
第一電極114a和第二電極114b互相垂直排列，這些交叉點在圖19的箭頭D方向看時的點矩陣排列。還有，其點矩陣各交叉點構成一個像素。彩色濾光片118是由R(紅)、G(綠)、B(蘭)各色要素從箭頭D方向看時的所定排列，例如帶狀排列、三角形排列、嵌鑲排列等的所定型式排列而形成。上述一個像素對應于那些R(紅)、G(綠)、B(蘭)中的一個，而R(紅)、G(綠)、B(蘭)三色的像素成為一個單位，構成一個像素。
利用使點陣狀排列的多數(shù)像素、從而使像素有選擇性地發(fā)光的方法，以在液晶板102的第二基板107b外側(cè)可以顯示文字、數(shù)字等的圖像。這些顯示圖像的區(qū)域就是有效像素區(qū)域，如圖19和20中，以箭頭V表示的平面矩形區(qū)域就是有效顯示區(qū)域。
圖20中，反射膜112由APC合金、Al(鋁)等的光反射特性材料形成，在對應于第一電極114a與第二電極114b交叉點的各個像素的位置上形成孔121。結果，孔121是從圖20的箭頭D方向看時，和像素具有相同的點陣狀排列。
第一電極114a和第二電極114b，例如由透明導電材料的ITO(銦錫氧化物)形成。另外，定向膜116a、116b是把聚酰亞胺系樹脂粘接成均勻厚度膜狀而形成。這些定向膜116a、116b受到摩擦處理的方法來決定第一基板107a和第二基板107b表面上的液晶分子初期定向。
圖19中，第一基板107a的形成面積大于第二基板107b的形成面積，利用密封件108粘接這些基板時，第一基板107a具有在第二基板107b的外側(cè)伸出的基板伸出部107c。這樣，該基板伸出部107c各種形成連接電線的適當型式，這些連接包括從第一電極114a伸出的引線114c的連接、通過在密封件108內(nèi)部的接通件109(參考圖20)導通第二基板107b上的第二電極114b的引線114d的連接、液晶驅(qū)動用IC103a輸入補片即連接輸入接頭的金屬配電線114e的連接、連接液晶驅(qū)動用IC103b的金屬配電線114f的各種配電線。
本實施例中，從第一電極114a伸出的引線114c和導通第二電極114b的引線114d，由形成電極相同材料ITO即導電性氧化物制作。另外，液晶驅(qū)動用IC103a、IC103b輸入側(cè)配線的114e、114f由電阻小的，如APC合金制作。該APC合金主要包含Ag，還包含Pd和Cu的合金，如含Ag為98％、Pd為1％、Cu為1％的合金。
液晶驅(qū)動用IC103a、IC103b是利用ACF(異向性導電膜)122粘接在基板伸出部107c表面而安裝。即本實施例中，在基板上直接安裝半導體芯片的結構即形成所謂的COG(芯片在玻璃上)方式的液晶板。該COG方式的安裝中，利用ACF122內(nèi)部包含的導電粒子接通液晶驅(qū)動用IC103a，103b的輸入端補片與金屬配電線114e、114f通電，接通液晶驅(qū)動用IC103a、103b的輸出端補片和引線114c、114d通電。
圖19中，F(xiàn)PC104包括可彎曲性樹脂膜123、包含芯片零件124構成的電路126、金屬接線頭127。電路126是利用釬焊或其他導電連接法直接安裝在樹脂膜123的表面。另外，金屬接線頭127由APC合金、Cr、Cu和其他導電材料形成。FPC104中形成金屬接線頭127的部分由ACF122連接在第一基板107a的114e、114f形成部分。還有，由于包含在ACF122內(nèi)部的導電粒子的作用，基板一側(cè)的金屬配電線114e、114f和FPC一側(cè)的金屬接線頭127接通。
FPC104的另一側(cè)的邊緣端部上形成外線接頭131，該外線接頭131連接在圖中未示的外部電路。這樣，根據(jù)該外部電路傳送的信號驅(qū)動液晶驅(qū)動用IC103a、103b，給第一電極114a和第二電極114b的一方傳送掃描信號而給另一方傳送數(shù)字信號。由此，排列在有效顯示區(qū)域V內(nèi)排列的點陣狀像素各點受按每一點的電壓控制，其結果，液晶L的定向受每一個像素的控制。
圖19中，作為后燈功能的照明裝置106，如圖20所示，包括丙烯基樹脂構成的光導體132、設在該光導體132的發(fā)光面132b的擴散板133、設在該光導體132的發(fā)光面132b的反面的反射板134、作為光源的LED(發(fā)光二級管)136。
LED(發(fā)光二級管)136支撐在LED(發(fā)光二級管)基板137，例如其LED(發(fā)光二級管)基板137裝在和光導體132一體形成的支撐部(圖中未示)。LED(發(fā)光二級管)基板137安裝在支撐部的所定位置，使LED(發(fā)光二級管)136位于面對光導體132側(cè)面端部的采光面132a的位置。另外，符號138是緩沖施加在液晶板102沖擊的緩沖材料。
如果LED(發(fā)光二級管)136發(fā)光，則其光，由采光面132a取來引入到光導體132內(nèi)部，反射在反射板134、光導體132的壁面而傳播中，從發(fā)光面132b通過擴散板133向外部以平面光發(fā)射。
因為本實施例的液晶裝置101結構如上述，在太陽光、室內(nèi)光等外部光十分明亮時，圖20中，外部光從第二基板107b進入液晶板102內(nèi)部，其光通過液晶L之后，在反射膜112反射再度供應到液晶L。液晶L利用夾持它的電極114a、114b向R(紅)、G(綠)、B(蘭)像素各點定向控制。因此，供應到液晶L的光按像素各點變頻，由于變頻，通過偏振光片117b的光和不能通過的光在液晶板102的外部顯示文字、數(shù)字等的圖像。由此，進行反射性的顯示。
另一方面，不能獲得充分的外部光時，LED(發(fā)光二級管)136發(fā)光，從光導體132的光射出面132b發(fā)射平面光，其光通過形成在反射膜112的孔121傳播到液晶L。此時，和發(fā)射性顯示相同，被傳播的光，由定向控制的液晶L按像素各點變頻。由此，在外部顯示圖像，進行通過型顯示。
上述結構的液晶裝置101，例如，利用如圖18所示的制造方法制造。在該方法中，工藝P1～P6的一系列的工藝是制造第一基板107a的工藝，工藝P11～P14的一系列的工藝是制造第二基板107b的工藝。制造第一基板的工藝和制造第二基板的工藝一般分別單獨進行。
首先，說明制造第一基板的工藝；由透光性玻璃、透光性塑料形成的大面積母原料基板的表面上利用影印法形成液晶板102的多個份的反射膜112。并且，在其上利用眾所周知的成膜法形成絕緣膜113(工藝P1)。接著，利用影印法形成第一電極114a、引出配電線114c、114d和金屬配電線114e、114f(工藝P2)。
然后，在第一電極114a上涂敷、印刷等方法形成定向膜116a(工藝P3)，并對其定向膜116a進行摩擦處理而決定液晶的初始定向(工藝P4)。接著，例如，通過網(wǎng)板印刷等方法環(huán)狀形成密封件108(工藝P5)，并在其上面分散撐檔119(工藝P6)。由以上，形成具有多個份液晶板102第一基板107a上型板的大面積第一母基板。
和以上的制造第一基板工藝分開，另外實施制造第二基板的工藝(圖18的P11～P14)。首先準備透光性玻璃、透光性塑料形成的大面積母基板原料，在其表面上形成液晶板102的多個份的彩色濾光片118(工藝P11)。該形成彩色濾光片118的工藝，利用圖7所示的制造方法，其制造方法中的R(紅)、G(綠)、B(蘭)各色的濾光元件的形成是利用圖8的液滴噴出裝置16，按照圖1至圖5所示的噴墨頭22的控制方法實行。這些彩色濾光片118的制造方法和噴墨頭22的控制方法相同于已經(jīng)說明的內(nèi)容，在此省略其說明。
如圖7(d)所示，母基板12即母基板原料上形成彩色濾光片1即彩色濾光片118之后，接著，利用影印法形成第二電極114b(工藝P12)。再利用涂敷、印刷等方法形成定向膜116b(工藝P13)。然后，對定向膜116b實施摩擦處理，決定液晶的初始定向(工藝P14)。通過以上，形成具有多個份液晶板102的第二基板107b上型板的大面積第二母基板。
由以上制作大面積第一母基板和第二母基板之后，把密封件108夾在這些母基板之間，校準定位之后互相粘接(工藝P21)。由此，形成包含多個份液晶板的板部分的、還沒有封入液晶狀態(tài)的空板結構體。
接著，在已制作的空的板結構體的所定位置上形成劃線槽，即形成切斷用槽，在此劃線槽為基準斷開板結構體，即切斷(工藝P22)。由此，形成各液晶板部分的密封件108的液晶注入用孔110(參考圖19)露出于外部狀態(tài)的所謂薄長方形的空板結構體。
然后，通過液晶注入用孔110往各液晶板內(nèi)部注入液晶L之后利用樹脂等來封液晶注入用孔110(工藝P23)。一般的液晶注入處理是在存留容器內(nèi)存留液晶之后把存留液晶的存留容器和薄長方形的空板結構體放入箱盒。使箱盒處于真空狀態(tài)之后，在箱盒中把薄長方形的空板結構體浸泡在液晶中。然后，把箱盒開放在大氣壓中。此時，空板內(nèi)部為真空狀態(tài)，所以由大氣壓加壓的液晶通過液晶注入用孔進入到板的內(nèi)部。注入液晶后的液晶板結構體周圍附著液晶，因此，液晶注入處理后的薄長方形板在P24中進行洗滌處理。
其后，液晶注入和清洗后的薄長方形母基板，再度在所定位置形成劃線槽。并且，以其劃線槽為基準切斷薄長方形板。由此，切出多個液晶板102(工藝P25)。如圖19所示，對這樣制作的各個液晶板102安裝液晶驅(qū)動用IC103a、103b，安裝照明裝置106作為后燈，再安裝FPC104，由此，完成所目標的液晶裝置101(工藝P26)。
以上所說明的液晶裝置的制造方法及其制造裝置在制造彩色濾光片1階段中具有如下特征。即，圖6(a)所示彩色濾光片1即圖20的彩色濾光片118內(nèi)的各個濾光元件3不是噴墨頭22(參考圖1)的一次的主掃描X來形成，而每一個濾光元件3是由不同組的多個噴嘴27的n次，如四次的重復的墨水噴出來形成所要厚度膜。因此，即使是多個噴嘴27的墨水噴出量存在不均勻，可以防止多個濾光元件3間的膜厚度不均勻，因此，使彩色濾光片1的光透過性能在平面上均勻。這也就是說明，在圖20的液晶裝置101中可以獲得無色斑的顏色均勻的鮮明的彩色顯示。
另外，本實施例的液晶裝置制造方法及其制造裝置中，利用圖9所示的液滴噴出裝置16，利用噴墨頭22的墨水噴出而形成濾光元件3，因此，沒有必要經(jīng)過影印法等的復雜的工藝，還可以減少材料的浪費。
(利用彩色濾光片的光電裝置的其他例)下面，作為具備上述實施例彩色濾光片的光電裝置的一例，舉出有源矩陣型彩色液晶裝置來進行如下說明。圖54是具備上述實施例彩色濾光片的光電裝置的結構剖面圖。
該實施例的液晶裝置700是由互相面對排列的彩色濾光片基板741和有源元件基板701、夾持在這些的液晶層702、安裝在彩色濾光片基板741上面的相位差板715a、偏光板716a、安裝在有源元件基板701下面的相位差板715b、偏光板716b等的液晶板750為主體而構成的。該液晶板750上安裝液晶驅(qū)動用驅(qū)動芯片、傳送電信號的電線、支撐體等來組成最終產(chǎn)品的液晶裝置。
彩色濾光片基板741是具有透光性基板(基板)742的，面向觀測者安裝的表面一側(cè)的基板，有源元件基板701是安裝在另一側(cè)的，換句話說是安裝在里側(cè)的基板。
彩色濾光片基板741是塑料薄膜或厚度為300μm(0.3mm)左右的玻璃基板制作的透光性基板742和形成在該個基板742下面(換句話說液晶層一側(cè)的面)的彩色濾光片基板751為主體而構成的。
彩色濾光片基板751是由形成在其下面(換句話說液晶層一側(cè)的面)的隔壁706、濾光元件703…、覆蓋隔壁706和濾光元件703…的保護膜704而構成。
隔壁706是分別包圍形成各個濾光元件703的帶色區(qū)域-濾光元件形成區(qū)域707的格子狀東西，形成在基板742的一面742a上。隔壁706具有多個孔706c。每一個孔706c內(nèi)露出基板742。并且，由隔壁706的內(nèi)壁(孔706c的壁面)和基板742所劃分形成濾光元件形成區(qū)域707…。
隔壁706由黑色感光性樹脂膜組成，作為該黑色感光性樹脂膜最好是利用如普通的感光膠正片型或負片型的感光性樹脂和至少含有碳黑等黑色的無機顏料或有機顏料。因為該隔壁706含有黑色的無機顏料或有機顏料，并形成在濾光元件703…形成位置以外的部分，所以可以遮斷濾光元件703…之間的透光，從而該隔壁706具有遮光膜的功能。
濾光元件703…是橫跨隔壁706內(nèi)壁和基板742設置的濾光元件形成區(qū)域707內(nèi)，利用噴墨法收容噴墨R(紅)、G(綠)、B(蘭)各濾光元件材料的，即噴出后干燥的方法所形成的。
還有，保護膜704下面(液晶層一側(cè))，由ITO(銦錫氧化物)等的透明導電材料制作的液晶驅(qū)動用電極層705橫跨保護膜704全面而形成。還有，覆蓋該液晶驅(qū)動用電極層705，在液晶層一側(cè)設有定向膜719a，另外，在另一側(cè)的有源元件基板701一側(cè)，以后要敘述的像素元件732上面也設有定向膜719b。
有源元件基板701是在透光性基板(基板)714上面形成圖中未示的絕緣層，并在該絕緣層上面作為TFT型轉(zhuǎn)換開關元件的薄膜晶體管T和像素電極732的部件。另外，形成在基板714上的絕緣層上面還形成實際上為矩陣狀多個掃描線和多個信號線，在這些掃描線和信號線包圍的每一個區(qū)域內(nèi)設有上述的像素電極732，每一個像素電極732與掃描電極和信號線電連接的位置上收容晶體管T，對掃描線和信號線施加信號來開、關薄膜晶體管T，可以進行像素電極732的通電控制。另外，形成在面對一側(cè)的彩色濾光片基板741一側(cè)的電極層705在本實施例中是覆蓋像素區(qū)域全面的全面電極。另外，TFT配線電路或像素電極形狀上，可以利用種種形式。
有源元件基板701和彩色濾光片基板741之間是通過沿彩色濾光片基板741外圍形成的密封件755隔一定間隙粘接在一起的。另外，符號756是為了保持兩個基板之間間隔(元件間隙)的在基板內(nèi)部的隔板。其結果，有源元件基板701和彩色濾光片基板741之間形成由省略其俯視圖的額邊緣形狀密封件755劃分成矩形的液晶封入?yún)^(qū)域，在該液晶封入?yún)^(qū)域內(nèi)封入液晶。
如圖54，彩色濾光片基板741小于有源元件基板701，有源元件基板701的周圍部分露出于彩色濾光片基板741外圍的狀態(tài)粘接的。從而，有源元件基板701中密封件755外圍區(qū)域可以形成像素轉(zhuǎn)換開關用薄膜晶體管T和驅(qū)動電路用TFT，還可以安裝掃描線驅(qū)動電路、數(shù)據(jù)線驅(qū)動電路。
該液晶板750中，有源元件基板701和彩色濾光片基板741的光入射和光出射面的上面，按照正規(guī)白色方式/正規(guī)黑色方式來配置上述的偏光板716a、偏光板716b，使其面向所定的方向。
在這樣構成的液晶板750中的有源元件基板701中，根據(jù)通過數(shù)據(jù)線(圖中未示)和薄膜晶體管T施加在像素電極732的顯示信號，在像素電極732和面向電極718之間，對每一個像素進行定向狀態(tài)的控制，進行對應于顯示信號的所定的顯示。例如，利用TN方式構成液晶板750情形時，一對基板之間(有源元件基板701和彩色濾光片基板741)各自形成的定向膜719a、719b進行摩擦處理時，設定為互相垂直進行摩擦處理，則液晶在基板之間具有90度角度扭轉(zhuǎn)定向。這樣的扭轉(zhuǎn)定向由于在基板之間液晶層702上施加電場而被解放。從而，從外部是否施加電場而可以使液晶的定向狀態(tài)控制在像素電極732所形成的每一個區(qū)域(每一個像素)。
因此，把液晶板750作為透過性液晶板利用時，通過入射側(cè)的偏光板716b使配置在有源元件基板701下面的照明裝置(圖中未示)所發(fā)出的光一致，成為直線偏光之后，通過相位差板715b、有源元件基板701射入到液晶層702，通過有些區(qū)域的直線偏光使其透過偏光軸被扭轉(zhuǎn)而射出以外，通過其他區(qū)域的直線偏光其透過偏光軸沒有被扭轉(zhuǎn)而射出。因此，如果配置入射一側(cè)的偏光板716b和射出一側(cè)的偏光板716a，使其透過偏光軸互相垂直(正規(guī)白色)，則通過配置在液晶板750射出一側(cè)的偏光板716a的只是由液晶透過偏光軸被扭的直線偏光的光。與此相反，如果配置偏光板716a，使其射入一側(cè)的偏光板716b和透過偏光軸平行(正規(guī)黑色)，則通過配置在液晶板750射出一側(cè)的偏光板716a的只是由液晶透過偏光軸沒有被扭的直線偏光的光。因此，只要對每一個像素控制液晶層702定向狀態(tài)，可以顯示任何信息。
在上述結構的液晶裝置700中，彩色濾光片基板741的各個濾光元件703…由上述實施例敘述的噴墨方式所形成。即其形成時，各個濾光元件703…不是噴墨頭的一次主掃描來形成，而是各個屬于不同噴嘴組的多個噴嘴的n次，例如四次重復的噴出來形成所定的膜厚度。因此，即使是噴嘴之間存在墨水噴出量的不均勻，也可以防止多個濾光元件之間的膜厚度不均勻，因此，彩色濾光片基板741的光透過特性在平面上均勻。由此，可以獲得沒有顏色不均勻的顯示。
上述中，說明了把彩色濾光片適用于液晶裝置的例子，但是有關本發(fā)明的彩色濾光片當然可以適用于上述以外的用途。例如，彩色濾光片可以適用于白色有機EL。即白色有機EL前面(有機EL的光射出一側(cè))配置上述的方法形成的彩色濾光片。通過這樣的結構，可以不僅利用了白色有機EL，還可以提供進行彩色顯示的有機EL裝置。
另外，光受到如下控制。有機EL是使其形成白色光源，由設置在每一個像素的晶體管所控制，調(diào)整發(fā)光量，進一步使光通過彩色濾光片，顯示所希望的顏色。
(有關利用EL元件的光電裝置制造方法及其制造裝置的實施例)圖21是表示有關本發(fā)明的作為光電裝置一例的EL裝置的制造方法實施例。另外，圖22是表示其制造方法主要工藝和最后獲得的EL裝置的主要結構剖面圖。如圖22(d)所示，EL裝置201在透明基板204上面形成像素電極202，在各個像素電極202之間形成從箭頭G方向看時格子狀存儲元件205。在那些格子狀凹面中形成空穴注入層220，在各個格子狀凹面中形成R(紅)色的發(fā)光層203R、G(綠)色的發(fā)光層203G、B(蘭)色的發(fā)光層203B，以使從箭頭G方向看時帶狀排列的所定排列。還有，在其上面形成面向電極213來形成EL裝置201。
把上述像素電極202利用TFD(薄膜二極管)元件等的兩個接頭有源元件來驅(qū)動時，上述面向電極213以箭頭G方向看時形成帶狀。另外，使像素電極202利用TFT(薄膜晶體管)等的三個接頭型的有源元件來驅(qū)動時，上述面向電極213形成單一的面電極。
被各個夾在像素電極202與面向電極213的區(qū)域變?yōu)橐粋€像素，R(紅)、G(綠)、B(蘭)三色的像素成為一個單元形成一個像素。控制通過各個像素的電流來選擇多個像素中的所希望像素，由此，可以在箭頭H方向上顯示所希望的全色圖像。
上述EL裝置201可以如圖21所示的制造方法來制造。即工藝P51和圖22(a)所示，在透明基板204表面上形成TFD元件或TFT元件等的能動元件，進一步形成像素電極202。作為形成的方法，例如，可以利用影印法、真空粘接法、濺射法、熔溶膠法等。作為像素電極202材料可以利用ITO(銦錫氧化物)、氧化錫、氧化銦、氧化鋅等的復合氧化物接著，工藝P52和如圖22(a)所示，利用眾所周知的形成圖案法如影印法來形成隔壁即存儲元件205，通過該存儲元件205充填各個透明的像素電極202之間。由此，可以提高對比度，可以防止發(fā)光材料的混色，可以防止像素和像素之間的漏光。作為存儲元件205的材料只要具有對EL發(fā)光材料溶劑的抗溶性，就沒有特定的限制，但最好是利用碳氟化合物氣體等離子處理來可以特氟隆化的，如丙烯樹脂、環(huán)氧樹脂、感光性聚酰亞胺等的有機材料。
然后，在涂敷作為功能性液狀體狀的空穴注入層用墨水之前，對透明基板204連續(xù)進行氧氣和碳氟化合物氣體等離子處理(工藝P53)。由此，聚酰亞胺表面得到疏水化，而ITO表面得到親水化，可以控制為了液滴的微細化而形成圖案的基板一側(cè)的濕潤性。作為發(fā)生等離子的裝置可以利用真空中發(fā)生的裝置或大氣中發(fā)生等離子的裝置。
接著，工藝P54和如圖22(a)所示，從圖9的液滴噴出裝置16的噴墨頭22噴出空穴注入層用墨水，在各個像素電極202上進行形成圖案涂敷。具體的噴墨頭22的控制方法利用圖1至圖5所示的方法中的任何一種。其涂敷后，在真空(1乇)中、室溫和20分鐘的條件下去掉溶劑(工藝P55)。此后，利用在大氣中、20℃(熱板上)、10分鐘的熱處理的方法來形成與發(fā)光性墨水不相溶的空穴注入層220(工藝P56)。在上述條件下的膜厚度為40nm。
接著，工藝P57和如圖22(b)所示，在各個濾光元件形成區(qū)域7內(nèi)的空穴注入層220上面，利用影印法涂敷作為功能性液狀體EL發(fā)光材料的R(紅)發(fā)光層用墨水和功能性液狀體EL發(fā)光材料的G(綠)發(fā)光層用墨水。在這里，各個發(fā)光層用墨水也利用圖9所示的液滴噴出裝置16的噴墨頭22來噴出。噴墨頭22的控制方法可以利用圖1至圖5所示的任何一種方法。利用噴墨方式在短時間內(nèi)簡單進行微細的形成圖案。另外，改變墨水組合物的固體成分濃度和噴出量來可以改變膜的厚度。
涂敷發(fā)光層用墨水之后，在真空中(1乇)、室溫、20分鐘條件下去掉溶劑(工藝P58)。接著，氮氣中、150℃、4小時的熱處理來進行共軛化，來形成R(紅)色的發(fā)光層203R和G(綠)色的發(fā)光層203G(工藝P59)。由上述條件，膜厚度為50nm。由熱處理而共軛化的發(fā)光層不溶解于溶劑中。
另外，在形成發(fā)光層之前，對空穴注入層220也可以進行連續(xù)的碳氟化合物氣體等離子處理。由此，在空穴注入層220上面形成氟化合物層，離子化電勢位變高，可以提高空穴注入效率，可以提供發(fā)光效率高的有機EL裝置。
接著，如工藝P60和圖22(c)所示，在R(紅)色的203R、G(綠)色的發(fā)光層203G和空穴注入層220上面重復形成作為功能性液狀體狀EL發(fā)光材料的B(蘭)色的發(fā)光層203B。由此，不僅形成R(紅)、G(綠)、B(蘭)三原色，還可以充填R(紅)色的203R、G(綠)發(fā)光層203G和存儲元件205的臺階而獲得平坦化。由此，可以可靠防止上下電極間的短路。利用調(diào)整B(蘭)色的發(fā)光層203B膜厚的方法來使R(紅)色的203R和G(綠)色的發(fā)光層203G疊層結構中，只起電子注入輸送層的作用，而不發(fā)光B色。
形成以上所述的B(蘭)色發(fā)光層203B的方法，可以采用例如濕式法的一般的旋轉(zhuǎn)涂敷法，或可以采用形成R(紅)色的203R和G(綠)色的發(fā)光層203G相同的噴墨法。
然后，如工藝P61和圖22(d)所示，形成面向電極213的方法來制造所目標的EL裝置201。如果面向電極213為面電極時，可以利用例如Mg、Ag、Al、Li等的材料，利用蒸鍍法、濺射法等成膜法來形成。另外，面向電極213為帶狀電極時，把已形成的電極層可以利用影印法等的形成圖案方法來形成。
根據(jù)以上所說明的EL裝置201的制造方法及其制造裝置，作為噴墨頭控制方法可以采用圖1至圖5所示的任何一種控制方法，因此，圖22中的各個像素內(nèi)的空穴注入層220和R(紅)、G(綠)、B(蘭)各色的發(fā)光層203R、203G、203B不是由噴墨頭(參考圖1)的一次主掃描方向X的掃描來形成，而一個像素內(nèi)的空穴注入層和/或各色發(fā)光層是利用屬于不同噴嘴組的多個噴嘴27的n次，如四次重復的噴出來形成所所定的膜厚度。因此，即使是多個噴嘴27中的墨水噴出量存在不均勻，也可以防止多個像素間產(chǎn)生膜厚度的不均勻，因此，EL裝置201的發(fā)光面的發(fā)光分布特性在平面上均勻。這意味著圖22(d)的EL裝置201中，可以獲得沒有色斑的、鮮明的彩色顯示。
另外，本實施例的EL裝置制造方法及其制造裝置中，利用圖9所示的液滴噴出裝置16，使用噴墨頭22的墨水噴出方法來形成R(紅)、G(綠)、B(蘭)各色的像素，而沒有必要經(jīng)過影印法等的復雜的工藝，還可以不浪費材料。
(有關彩色濾光片的制造方法及其制造裝置的實施例)下面結合

本發(fā)明的有關彩色濾光片的制造方法及其制造裝置的實施例。在說明該彩色濾光片制造裝置之前，首先說明已制造出來的彩色濾光片。圖35是表示彩色濾光片的局部放大圖，圖35(A)是俯視圖，圖35(B)是圖35(A)的X-X線剖面圖。另外，這個圖35所示的彩色濾光片中，對于和圖6、圖7所示實施例的彩色濾光片1相同的構成，附以相同的符號來進行說明。
(彩色濾光片的構成)圖35(A)中，彩色濾光片1具有矩陣狀排列的像素1A。這些像素1A的境界有隔壁6所區(qū)分。像素1A的一個一個里收容作為R(紅)、G(綠)、B(蘭)中的一種墨水的液狀體的彩色濾光片材料即濾光元件材料13。這個圖35所示的彩色濾光片的紅、綠、蘭色的排列為所謂的嵌鑲排列，但也可以適用于帶狀排列或三角形排列。
如圖35(B)所示，彩色濾光片1具有透光性基板12、透光性隔壁6。沒有形成隔壁6的部分即被去掉的部分構成上述像素1A。收容在該像素1A的各色的濾光元件材料13構成著色層的濾光元件3。隔壁6和濾光元件3的上面形成作為保護層的保護膜4和電極層5。
(彩色濾光片制造裝置的結構)下面，結合圖說明制造上述彩色濾光片的制造裝置的結構。圖23是有關本發(fā)明彩色濾光片的制造裝置的液滴噴出處理裝置部分立體圖。
彩色濾光片制造裝置是制造作為光電裝置的構成彩色液晶板的彩色濾光片。該彩色濾光片制造裝置具有圖中未示的液滴噴出裝置。
(液滴噴出處理裝置結構)液滴噴出裝置和上述的各實施例的液滴噴出裝置相同，具有圖23所示的三臺液滴噴出處理裝置405R、405G、405B。這些液滴噴出處理裝置405R、405G、405B分別對應于向母基板12噴出液狀體狀墨水即彩色濾光片材料，例如R、G、B濾光元件材料13的R、G、B三色。另外，這些液滴噴出處理裝置405R、405G、405B排列成近似直線而構成液滴噴出裝置。還有，每一個液滴噴出處理裝置405R、405G、405B上設有控制各構成部件的圖中未示的控制裝置。
另外，每一個液滴噴出處理裝置405R、405G、405B分別連接向這些液滴噴出處理裝置405R、405G、405B輸入和輸出母基板12的圖中未示的輸送機器手。另外，每一個液滴噴出處理裝置405R、405G、405B上連接可以容納六個母基板12的可以對母基板12進行熱處理，例如在120℃、加熱五分鐘已噴出的濾光元件材料13而進行干燥的圖中未示的多層烘干爐。
還有，如圖23所示，每一個滴噴出處理裝置405R、405G、405B具有中空箱子形狀的主體外罩的熱清洗箱422。該熱清洗箱422內(nèi)可以調(diào)整溫度20±0.5℃并不能從外部進入灰塵，以便獲得穩(wěn)定、良好的得到噴墨方式的描繪。該熱清洗箱422內(nèi)設有液滴噴出處理裝置主體423。
如圖23所示，液滴噴出處理裝置主體423具有X軸氣動滑板臺424。該X軸氣動滑板臺424上設有圖中未示的具備電動機的主掃描驅(qū)動裝置425。該主掃描驅(qū)動裝置425具有可以吸引保持母基板12的圖中未示的臺座部，可以使臺座部向X軸方向的相對母基板12的主掃描方向移動。
如圖23所示，液滴噴出處理裝置主體423的上方設有位于X軸氣動滑板臺424的作為Y軸臺子的副掃描驅(qū)動裝置427。該副掃描驅(qū)動裝置427是可以使沿著上下方向噴出濾光元件材料13的頭部部件420相對于母基板12副掃描移動方向Y軸方向移動。另外，圖23中，為了明確位置關系，頭部部件420利用浮在空中狀態(tài)的實線來表示。
還有，液滴噴出處理裝置主體423上，為了控制噴墨頭421位置和母基板12位置而設有識別位置的位置識別裝置的圖中未示的各種照相機。另外，頭部部件420、臺座部的位置控制可以是利用脈沖電機的位置控制，也可以是利用伺服電機的反饋控制或其他任何控制方法來實現(xiàn)。
另外，如圖23所示，液滴噴出處理裝置主體423上設有擦干凈頭部部件420中的濾光元件材料13的摩擦部件481。該摩擦部件481是適當卷繞如布和橡膠板疊層為一體的圖中未示摩擦部件的一端，按順序使新的一面來擦凈濾光元件材料13噴出面的結構。由此進行擦凈附著在噴出面的濾光元件材料13工作，保證后述的噴嘴孔的不堵塞。
還有，如圖23所示，液滴噴出處理裝置主體423上設有墨水系統(tǒng)482。該墨水系統(tǒng)482包括存留濾光元件材料13的墨盒483、可以流通濾光元件材料13的輸送管478和從墨盒483通過輸送管478向頭部部件420供應墨水的圖中未示的泵。另外，圖23中，輸送管478的配置為模式性的，配置在副掃描驅(qū)動裝置427的一側(cè)，以便不影響從墨盒483到頭部部件420的移動，并且，從掃描副頭部部件420的掃描驅(qū)動裝置427的上方給頭部部件420供應濾光元件材料13。
另外，液滴噴出處理裝置主體423上設有檢測從頭部部件420噴出的濾光元件材料13噴出量的重量檢測裝置485。
還有，液滴噴出處理裝置主體423上配置一對具有圖中未示的光傳感器并檢測頭部部件420的濾光元件材料13噴出狀態(tài)的點丟失檢測部件487。該點丟失檢測部件487交差于頭部部件420的液狀體噴出方向，例如圖中未示的光傳感器光源和接收光部，沿著X軸方向夾住頭部部件420的噴出液狀體的通過空間，而互相面對配置。另外，配置在頭部部件420輸送方向的Y軸方向一側(cè)的位置，為了噴出濾光元件材料13使頭部部件420進行一次副掃描移動后的噴出狀態(tài)的檢測，而進行點丟失檢測。
另外，后面要詳細敘述，頭部部件420上配置兩列噴出濾光元件材料13的頭部裝置433。因此點丟失檢測部件487對每一個頭部裝置進行點丟失檢測而設置一對。
(頭部部件的結構)下面說明頭部部件420的結構。圖24是表示安裝在滴噴出處理裝置405R、405G、405B上的頭部部件420的俯視圖。圖25是頭部部件420的側(cè)視圖。圖26是頭部部件420的主視圖。圖27是頭部部件420的剖面圖。
如圖24至圖27所示，頭部部件420具有頭部主體部430和墨水供應部431。另外，頭部主體部430包括平板狀滑架426和安裝在該滑架426的實質(zhì)上大致相同形狀的頭部裝置433。
(頭部裝置的結構)圖28是表示安裝在頭部部件420的頭部裝置433的分解立體圖。
如圖28所示，頭部裝置433具有窄條形狀的打印基板435。該打印基板435上安裝各種電氣零件436，有配電電線。另外，打印基板435的長度方向的一端(圖28中的右側(cè))貫通形成窗口部437。還有，打印基板435的窗口部437兩側(cè)位置設有作為墨水的濾光元件材料13的流通路438。
還有，位于該打印基板435的一面，其長度方向的一端(圖28中的右側(cè))，通過連接部件440安裝噴墨頭421。該噴墨頭421形成為細長矩形形狀，其長度方向沿著打印基板435的長度方向安裝。另外，各頭部裝置433中的噴墨頭421實質(zhì)上具有大致相同形狀，即所定的規(guī)格產(chǎn)品，只要選擇所定質(zhì)量的產(chǎn)品就可以。具體地，這些噴墨頭421最好是具有后面要敘述的相同個數(shù)的噴嘴，并噴嘴的形成位置相同，以有利于噴墨頭421在滑架426的安裝和提高安裝精度。還利用通過相同的制造、組裝工藝的產(chǎn)品，則沒有必要制造專用產(chǎn)品，可以降低成本。
另外，打印基板435的另一面(圖28的上面)上，其長度方向的一端(圖28中的左側(cè))位置作為一體，裝有利用電氣配線442電連接噴墨頭421的接線柱441。如圖23模式所示，為了對頭部部件420的移動不給予影響，這些接線柱441上連接配電在副掃描驅(qū)動裝置427的電氣配線442(包括電源配線、信號配線)。該電氣配線442是連接圖中未示的控制裝置和頭部部件420的。即，如圖24和圖27中利用雙點劃線的箭頭模式所示，這些電氣配線442是從副掃描驅(qū)動裝置427向頭部部件420兩列頭部裝置433的排列方向兩側(cè)的頭部部件420外圍配線，連接在接線柱441，不至于發(fā)生電氣噪聲。
還有，打印基板435的另一面(圖28中的上面一側(cè))，其長度方向的大概一端(圖28中的右側(cè))上，對應于噴墨頭421裝有墨水導入部443。該墨水導入部443包括配合設在安裝部件440并穿過打印基板435的定位銷的近似圓筒狀的定位圓筒部445、配合打印基板435的配合爪部446。
另外，墨水導入部443上凸出一對前端部分變細的圓筒狀的聯(lián)接部448。這些聯(lián)接部448，在作為打印基板435的基礎端部上具有近似密封狀態(tài)連通于打印基板435的連通路438的圖中未示的孔，在前端部具有可以流通濾光元件材料13的圖中未示的孔。
還有，如圖25至圖28所示，這些聯(lián)接部448裝有位于前端部的密封聯(lián)接部450。這些密封聯(lián)接部450，在內(nèi)部面形成使聯(lián)接部448近似密封液體狀態(tài)配合的近似圓筒狀，在前端設有密封件449。
(噴墨頭的結構)圖29是表示噴墨頭421的分解立體圖。圖30是把噴墨頭421噴出濾光元件材料13動作對應于噴墨頭421斷面而說明的模式圖，圖30(A)是噴出濾光元件材料13之前的狀態(tài)，圖30(B)是收縮壓電振動器452而噴出濾光元件材料13的狀態(tài)，圖30(C)是噴出濾光元件材料13之后的狀態(tài)。圖31是說明噴墨頭421中的濾光元件材料13噴出量的說明圖。圖32是模式說明噴墨頭421配置狀態(tài)的大體模式圖。圖33是圖32的局部放大圖。
如圖29所示，噴墨頭421具有近似矩形形狀的座451。該座451在沿著長度方向設有兩列，例如180個壓電元件等的壓電振動器452。另外，座451上，連通于打印基板435的連通路438，位于長度方向兩側(cè)的近似中央位置，分別設有流通作為墨水的濾光元件材料13的通孔453。
另外，如圖29所示，座451的位于壓電振動器452一面的上面，作為一體設有利用合成樹脂板狀形成的彈性板455。該彈性板455上分別設有連通通孔453的通孔456。并在彈性板455上設有配合座451上表面四角上凸出的定位爪部457的配合孔458，定位在座451上表面作為一體安裝。
還有，彈性板455上設有平板狀流路形成板460。該流路形成板460上面，以座451的寬度方向為長度，對應于壓電振動器452的座451長度方向，設有180個直線兩列的噴嘴槽461；噴嘴槽461一側(cè)的座的長度方向為長度方向設有開口部462；設有連接彈性板455的連通孔456的流通孔463。還有，彈性板455上設有與凸出在座451上表面大致四角落定位爪部457配合的配合孔458，并和彈性板455一起定位而安裝在座451上表面。
還有，流路形成板460上表面設有近似平板狀的噴嘴板465。該噴嘴板465上對應于流路形成板460的噴嘴槽461并近似圓形的噴嘴466以座451的長度方向25.4mm范圍內(nèi)設有180個串聯(lián)兩列。另外，噴嘴板465上設有與凸出在座451上表面四角落定位爪部457配合的配合孔458，并和彈性板455、流路形成板460一起定位而安裝在座451上表面。
還有，如圖30模式所示，通過疊層的彈性板455、流路形成板460和噴嘴板465，在流路形成板460的開口部462上面等被劃分為液狀體容器467的同時，該液狀體容器467通過液狀體供應通路468連接在噴嘴槽461。由此，噴墨頭421通過壓電振動器452的動作，使噴嘴槽461內(nèi)的壓力增大，從噴嘴噴出2～13pl的濾光元件材料13，例如以7±2m/s速度噴出10pl的濾光元件材料13。即，如圖30所示，對壓電振動器452施加脈沖的所定的電壓Vh，使成為圖30(A)、(B)、(C)順序，使壓電振動器452向箭頭Q方向適當伸縮而加壓作為墨水的濾光元件材料13，從噴嘴466噴出所定量液滴8。
另外，該噴墨頭421，如上述實施例所說明，有圖31所示的排列方向兩端部分的噴出量變多的噴出量不均勻。由此，控制噴出量不均勻度為5％以內(nèi)范圍的噴嘴466，即，使兩個端部的各十個噴嘴466不讓噴出濾光元件材料13。
還有，如圖23至圖27所示，構成頭部部件420的頭部主體部430由具有噴墨頭421的多個頭部裝置433并列排列而構成。該頭部裝置433在滑架426的配置如圖32和模式圖33所示，傾斜、偏置于副掃描方向的Y軸方向和垂直于Y軸方向的主掃描方向的X軸方向的排列狀態(tài)。即從副掃描方向的Y軸方向稍微傾斜的方向上排列配置六個，多數(shù)列排列這樣的列，如兩列。這是頭部裝置433的寬度比噴墨頭421寬，而互相鄰接的噴墨頭421之間的配置間隔不能變窄，但噴嘴466的列在Y軸方向非要連續(xù)配置不可的情況下，想出的配置方法。
還有，頭部主體部430是使頭部裝置433傾斜于噴墨頭421的長度方向交叉X軸方向的方向狀態(tài)，且接線柱441位于互相面對方向的另一側(cè)狀態(tài)下，近似點對稱配置。該頭部裝置433的傾斜配置狀態(tài)使噴墨頭421長度方向的噴嘴466排列方向相對于X軸方向傾斜57.1°還有，頭部裝置433配置成近似“之”字形即相對于排列方向不是平行排列。即如圖24至27和圖32所示，噴墨頭421兩列排列且其Y軸方向的排列順序互相錯開配置，以便使十二個噴墨頭421的噴嘴466在Y軸方向連續(xù)排列。
具體地，結合圖32和圖33進一步詳細說明。這里噴墨頭421的長度方向的噴嘴466傾斜于X軸方向。因此，設在噴墨頭421的兩列噴嘴466的一列中，噴出濾光元件材料13第十一個噴嘴466所位于的X軸方向直線上，存在第二列噴嘴466的另一方不噴出的十個以內(nèi)位置的區(qū)域A(非噴出噴嘴區(qū)域)(圖33中的A)。即一個噴墨頭421中產(chǎn)生X軸方向直線上不存在兩個噴嘴466的區(qū)域A。
從而，如圖32和圖33所示，一個噴墨頭421上，X軸方向直線上存在兩個噴嘴466的區(qū)域B(圖33中的B)中，組成列的頭部裝置433不位于X軸方向上并列狀態(tài)的位置。還有，組成一列的頭部裝置433的X軸方向直線上只位于一個的區(qū)域A和組成另一列的頭部裝置433的X軸方向直線上只位于一個的區(qū)域A在X軸方向上互相并列排列的狀態(tài)；由于一方的列的噴墨頭421和另一方列的噴墨頭421，在X軸方向直線上位于兩個噴嘴466的狀態(tài)。
即排列噴墨頭421的區(qū)域中，“之”字形(互相錯開)排列兩列，以便不論哪一個位置在X軸方向直線上一定要有共計兩個噴嘴466的狀態(tài)。另外，不噴出濾光元件材料13的噴嘴466的區(qū)域X是不能以該X軸方向直線上的兩個噴嘴466的個數(shù)來算數(shù)。
這樣，對主掃描的X軸方向噴出墨水的噴嘴466兩個位于沿著主掃描方向的假想的直線上(直線自體并不存在)，如后述，這兩個噴嘴466向一個地點噴出墨水。如果一個噴嘴466的噴出來構成一個元件，則噴嘴466之間的噴出量不均勻會導致元件特性的不均勻或成品率的下降，如果不同的噴嘴466的噴出而形成一個元件，則可以分散噴嘴466之間的噴出量不均勻，使元件特性均勻和提高成品率。
還有，利用這樣的多個噴墨頭421的排列，使多個噴出噴嘴位于主掃描方向的假想的直線上，排列多個噴墨頭421的狀態(tài)中，垂直于主掃描方向的噴嘴排列來看，其噴嘴466的排列實際上連續(xù)，因此，可以進行制造利用長尺寸噴墨頭421的同樣的液滴噴出。另外，安裝多個噴墨頭421的噴出裝置的主掃描，可以利用圖1至圖5所示的方法(區(qū)別傾斜或不傾斜頭部)來進行。
另外，如圖34所示，配置該噴墨頭421時，把噴墨頭421其長度方向?qū)τ谥鲯呙璺较騒傾斜圖34(a)所示的所定角度θ1的狀態(tài)、或圖34(b)所示的所定角度θ2的狀態(tài)，以便與作為頭部部件420描繪時相對于母基板12移動方向的主掃描方向互相垂直的副掃描方向Y軸方向中的噴嘴466的節(jié)距成為描繪的濾光元件形成區(qū)域7的副掃描方向Y中的元件之間的節(jié)距。該狀態(tài)中，沿著掃描方向X的直線上，位于多個噴嘴466即噴嘴466排列數(shù)的兩個的狀態(tài)下，利用對應于橫向長的噴嘴槽461開口區(qū)域的區(qū)域內(nèi)形成開口的噴嘴板465。
(墨水供應部的結構)如圖24至圖27所示，墨水供應部431包括分別設在對應頭部主體部430的兩列的一對平板狀的安裝板471和安裝在這些安裝板471的多個供應主體部472。還有，供應主體部472具有近似細長圓筒狀的進退部474。該進退部474利用安裝調(diào)整件473在貫通安裝板471的狀態(tài)下，沿軸向可以移動。另外，通過螺旋彈簧475，供應主體部472的進退部474承受從安裝板471向頭部裝置433方向推進的力而安裝。另外，圖24中，為了說明的方便，墨水供應部431只表示兩列頭部裝置433中的一列，省略了另一列。
該進退部474的面對頭部裝置433的端部上設有凸緣部476。該凸緣部476在進退部474的外圍，以軸環(huán)形狀凸出，克服螺旋彈簧475的推力，端面近似液狀體密封狀態(tài)接觸于頭部裝置433的墨水導入部443的密封部件449。另外，進退部474的形成凸緣部476的另一側(cè)端面上設有聯(lián)軸節(jié)477。該聯(lián)軸節(jié)477如圖23模式所示，連接在流通濾光元件材料13的供應管478的一端。
如上述，如圖23模式所示，該供應管478的電線配在副掃描驅(qū)動裝置427，以便不影響頭部部件420的移動，如圖24和圖6的點劃線箭頭模式地所示，配置(供應管)在從副掃描驅(qū)動裝置427到兩列排列在頭部部件420上方的墨水供應部431之間的近似中央位置，并輻射狀配置的前端連接在墨水供應部431的聯(lián)軸節(jié)477。
還有，墨水供應部431把通過輸送管478流通的濾光元件材料13供給頭部裝置433的墨水導入部443。另外，供應到墨水導入部443的濾光元件材料13又供到噴墨頭421，由電控制的噴墨頭421的各噴嘴466噴出適當液滴狀。
(彩色濾光片的制造工作)(前處理)下面，結合

利用上述實施例的彩色濾光片制造裝置來制造彩色濾光片1的工作。圖36是說明利用上述彩色濾光片制造裝置來制造彩色濾光片1順序的制造工藝剖面圖。
首先，利用熱濃硫酸加過氧化氫1％(質(zhì)量濃度)的清洗液來清洗膜厚尺寸為0.7mm、長度為38cm、寬度為30cm的無堿玻璃的作為透明基板的母基板12的表面。該清洗后，用純水漂洗之后，進行空氣干燥，獲得干凈的表面。利用濺射法在該母基板12表面上形成平均厚度為0.2μm的鉻膜，獲得金屬層6a(圖36中的順序S1)。
把該母基板12在熱板上80℃溫度下干燥五分鐘以后，在金屬層6a的表面上利用旋轉(zhuǎn)鍍層法形成圖中未示的感光膠層。在該母基板12的表面上貼緊描繪矩陣形狀的圖中未示的罩薄膜，利用紫外線暴光。然后把暴光的母基板12利用例如氫氧化鉀為8質(zhì)量％的堿性顯影液中浸泡，除去未暴光部分的感光膠，進行保護膜層的形成圖案。接著，把露出的金屬層6a利用鹽酸為主要成分的浸蝕液來浸蝕除去。這樣，可以獲得具有所定矩陣形狀的黑色矩陣的遮光層6b(圖36中的順序S2)。另外，遮光層6b的膜厚度大約為0.2μm，遮光層6b的寬度為大約22μm。
形成遮光層6b的母基板12上面，例如用旋轉(zhuǎn)涂敷法涂敷形成負片型透明丙烯系的感光性樹脂組合物6c(圖36中的順序S3)。把設有該感光性樹脂組合物6c的母基板12，在100℃條件下預烤20分鐘之后，利用描繪所定的矩陣形狀的圖中未示的罩膜進行紫外線暴光。然后，把沒有暴光部分的樹脂例如用堿性顯影液來顯影，并用純水漂洗之后進行旋轉(zhuǎn)干燥。作為最后干燥在200℃下進行30分鐘，充分硬化樹脂部分，形成存儲元件層6d。該存儲元件層6d的平均膜厚度大約為2.7μm、寬度尺寸大約為14μm。用該存儲元件層6d和遮光層6b等來形成隔壁6(圖36中的順序S4)。
為了改善由上述獲得的遮光層6b和存儲元件層6d所劃分的著色層形成區(qū)域的濾光元件形成區(qū)域7(特別是母基板12的露出表面)的濕潤性，進行干蝕即等離子處理。具體地，對氦氣里加20％氧氣的混合氣體施加高壓電，用等離子處理形成刻蝕點，通過形成母基板12的刻蝕點下面，進行浸蝕，實施母基板12的預處理。
(彩色濾光片材料的噴出)接著，在上述實施預處理的母基板12的以隔壁6劃分所形成的濾光元件形成區(qū)域7內(nèi)，用噴墨法收容即噴出R(紅)、G(綠)、B(蘭)各色的濾光元件材料13(圖36中的順序S5)。
利用噴墨法噴出濾光元件材料13時，預先組裝好具有上述條件所定噴嘴板465的頭部部件420。然后液滴噴出裝置的每一個液滴噴出處理裝置405R、405G、405B中，調(diào)整從各噴墨頭421中的一個噴嘴466的噴出濾光元件材料13的噴出量為10pl程度。另一方面，在母基板12的一個面上預先形成格子狀形狀的隔壁6。
然后，把上述前處理的母基板12通過圖中未示的輸送機械手先輸送到R(紅)色的液滴噴出處理裝置405R內(nèi)，放置在液滴噴出處理裝置405R內(nèi)的臺座部。放置在該臺座部的母基板12利用吸引定位保持。于是，保持母基板12的臺座部被各種相機確認其位置，控制移動主掃描驅(qū)動裝置425以便位于適當?shù)乃ㄎ恢?。另外，利用副掃描?qū)動裝置427適當移動頭部部件420識別其位置。之后，把頭部部件420向副掃描方向移動，利用點丟失檢測部件487來檢測噴嘴466的噴出狀態(tài)，確認沒有不良噴出狀態(tài)之后，向初始位置移動。
這以后，由主掃描驅(qū)動裝置425對保持在可移動臺座部的母基板12向X方向掃描，頭部部件420相對于母基板12移動的同時，由適當?shù)膰娔^421的所定噴嘴466噴出適當?shù)臑V光元件材料13，充填隔壁6所劃分的母基板12的凹面內(nèi)。該噴嘴466的噴出是由圖中未示的控制裝置來控制位于圖32所示噴嘴466排列方向兩個端部所定區(qū)域X，例如控制兩端各十個噴嘴466不噴出濾光元件材料13，而使位于中間部分的噴出量比較均勻的160個噴嘴進行噴出。
另外，噴嘴466的噴出是由于主掃描直線上，即掃描線上存在兩個噴嘴466，所以移動中，一個噴嘴466對一個凹面噴出兩點，更詳細說就是從一個噴嘴466作為一點噴出兩個液滴份，共噴出八個液滴。對每一次掃描利用點丟失檢測部件487檢測其噴出狀態(tài)，確認有沒有發(fā)生點丟失。
不確認點丟失時，使頭部部件420向副掃描方向移動，再度把保持母基板12的臺座部向主掃描方向移動的同時，重復濾光元件材料13的噴出動作，在所定的彩色濾光片形成區(qū)域11的所定的濾光元件形成區(qū)域7內(nèi)形濾光元件3。
(干燥、硬化)然后，R(紅)色的濾光元件材料13被噴出的母基板12，通過圖中未示的輸送機械手從滴噴出處理裝置405R取出，利用圖中未示的多層烘干爐把濾光元件材料13，例如在120℃溫度下干燥5分鐘。這個干燥后，利用輸送機械手從多層烘干爐取出母基板12，一邊冷卻一邊輸送。之后，從液滴噴出處理裝置405R按順序輸送到G(綠)色液滴噴出處理裝置405G、B(蘭)色液滴噴出裝置405B，和R(紅)色的情形相同，按順序在所定的濾光元件形成區(qū)域7內(nèi)噴出G(綠)色和B(蘭)色的濾光元件材料13。然后，回收噴出、干燥各三色濾光元件材料13的母基板12，進行熱處理即加熱固化保持濾光元件材料13(圖36中的順序S6)。
(彩色濾光片的形成)這以后，形成濾光元件3的母基板12全面上形成保護膜4。還利用ITO在該保護膜4的上表面形成所要形式的電極層5。這以后，按每一個彩色濾光片形成區(qū)域11切斷，切出形成多個彩色濾光片1(圖36中的順序S7)。形成彩色濾光片1的基板如上述實施例所說明，作為圖19所示的液晶裝置中的一對基板中的一個來利用。
(彩色濾光片制造裝置的效果)根據(jù)圖23至圖35所示的實施例，除了上述說明的各個實施例作用效果以外，還具有如下的效果。
即，具有流動性的液狀體，例如墨水的濾光元件材料13作為液滴噴出的多個噴嘴466排列在一個面的噴墨頭421，設有噴墨頭421的噴嘴466的一面面對被噴出物的母基板12表面隔一定距離的狀態(tài)下，沿著母基板12表面相對移動，位于該相對移動方向直線上的多個噴嘴，例如兩個噴嘴466噴出濾光元件材料13。因此，可以獲得兩個不同的噴嘴466重復噴出的結構，即使是多個噴嘴466之間的噴出量存在不均勻，被噴出的濾光元件材料13平均化而可以防止不均勻，可以獲得對彩色濾光元件的均勻噴出，可以獲得相同顏色的濾光元件之間質(zhì)量均勻、良好特性的光電裝置。
另外，位于相對移動方向上的假想直線上的多個噴墨頭421的噴嘴466噴出濾光元件材料13，因此，同樣可以獲得不同的兩個噴嘴466重復噴出濾光元件材料13的結構，被噴出的濾光元件材料13平均化而可以防止不均勻，可以獲得質(zhì)量均勻的良好特性的光電裝置。
還有，使噴嘴466沿著長度方向多列如兩列設置的噴墨頭421，其長度方向傾斜于相對移動方向，且互相錯開排列，在排列噴墨頭421的區(qū)域中，必然存在兩個噴嘴的排列，因此可以可靠地獲得上述不同的兩個噴嘴466在同一位置重復噴出的結構。
還有，噴出濾光元件材料13的噴嘴466使一面位于近似直線上的噴墨頭421排列，這些設有噴墨頭421的噴嘴466的一面，距離作為被噴出物的母基板12表面一定距離面對的狀態(tài)，沿著母基板12表面上相對移動，噴墨頭421的各噴嘴466中的位于噴嘴466排列方向的兩個端部所定區(qū)域XX的，例如兩側(cè)各十個噴嘴466(非噴出噴嘴)不噴出，而位于所定區(qū)域XX以外的中間部分噴嘴466向母基板12表面噴出濾光元件材料13。由于這樣的結構，噴出量特別多的位于噴嘴466排列方向兩端所定區(qū)域的兩端各十個噴嘴466不噴出液滴，而利用噴出量比較均勻的中間部分的噴嘴466來噴出濾光元件材料13，因此，在母基板12的表面可以得到平面均勻的噴出，可以獲得平面質(zhì)量均勻的彩色濾光片1，利用該彩色濾光片1的光電裝置的顯示裝置可以獲得良好的顯示。
還有，濾光元件材料13的噴出量比平均值多一成(10％)的噴嘴466不噴出，因此，彩色濾光片1利用濾光元件材料13、EL發(fā)光材料、含電荷粒子的電氣遷移裝置用等功能性液狀體作為液狀體時，其特性上也不發(fā)生不均勻，可以可靠地獲得良好特性的液晶裝置、EL裝置等的光電裝置。
還有，利用直線上等間隔排列噴嘴466的噴墨頭421，可以容易進行例如帶狀型、嵌鑲型、三角型等所規(guī)格結構的描繪。
還有，直線上等間隔排列噴嘴466的噴墨頭421結構中，細長矩形狀的噴墨頭421的長度方向上等間隔直線安裝噴嘴466，因此，可以實現(xiàn)噴墨頭421的小型化，可以防止相鄰噴墨頭421之間或其他部位的干擾，容易實現(xiàn)小型化。
另外，使噴墨頭421相對于噴嘴466排列方向交叉移動，因此，噴嘴466的排列方向傾斜于移動方向，作為濾光元件材料13的噴出間隔的元件之間的節(jié)距變窄，只要適當設定傾斜狀態(tài)就容易對應母基板12表面上點狀噴出時的所要單元節(jié)距，因此沒有必要專門制作對應于元件節(jié)距的噴墨頭421，提高了通用性。
還有，噴出具有流動性液狀體狀的墨水即濾光元件材料13的噴嘴466，使在一個面設有多個噴墨頭421的其設有噴嘴466的噴墨頭421一個面，距離作為被噴出物的母基板12表面一定距離而面對的狀態(tài)下，沿著母基板12表面上面相對移動，多個噴墨頭421的各噴嘴466對母基板12表面噴出相同的濾光元件材料13。因此，例如利用具有相同數(shù)目的相同規(guī)格的噴墨頭421，可以在寬的范圍內(nèi)噴出濾光元件材料13，沒有必要使用長度(長度尺寸)特殊的噴墨頭，可以利用多個以往的規(guī)格產(chǎn)品，可以降低成本。
還有，例如適當設定排列噴墨頭421的排列方向的數(shù)目來可以對應濾光元件材料13的噴出區(qū)域，提高通用性。沒有必要使用長度(長度尺寸)特殊的噴墨頭，可以用多個以往的規(guī)格產(chǎn)品來替用，可以降低成本。長尺寸的噴墨頭，由于其制造成品率很低，成為價格高的零件，和其比較短尺寸的噴墨頭的成品率高，因此本發(fā)明中利用多個這個來使其排列成為長度尺寸長的，因此，可以大大降低成本。
還有，利用適當設定并列排列的配置方向、用于噴出的噴嘴數(shù)、間隔(使用一個或隔幾個來可以調(diào)節(jié)為像素節(jié)距)，可以對應于不同尺寸、不同像素節(jié)距、不同排列的彩色濾光片的濾光元件材料13的噴出區(qū)域，可以提高通用性。另外，把噴墨頭傾斜排列成交叉于主掃描方向的方向，因此，噴墨頭列和保持滑架不變?yōu)榇笮?，液滴噴出裝置的裝置整體也不變?yōu)榇笮汀?br> 還有，由于排列了多個噴墨頭421，在母基板12表面上噴出的區(qū)域?qū)挼那樾位蛲坏攸c重復噴出的情形下，也沒有必要多次移動噴墨頭421，也沒有必要形成特殊的噴墨頭，可以利用簡單的結構來噴出濾光元件材料13。還有，不是使滑架426的整體傾斜，而各個噴墨頭421分別傾斜的狀態(tài)，因此，接近母基板12一側(cè)的噴嘴466和遠離母基板12一側(cè)的噴嘴466的距離比使滑架426整體傾斜情形相比就變小，可以縮短利用滑架426來沿著母基板12移動的掃描時間。
還有，作為多個噴墨頭421，利用具有相同數(shù)目、相同形狀的噴墨頭，即使利用一種類型的噴墨頭421，利用適當排列來也可以適應液狀體噴出區(qū)域，使結構簡單、提高制作性、降低成本。
還有，噴嘴466的排列方向分別近似平行狀態(tài)把噴墨頭421配置在滑架426而構成頭部部件420，因此，例如噴嘴466的排列方向以大致串聯(lián)狀平行時，噴嘴466的排列區(qū)域變寬，可以在寬的范圍內(nèi)噴出濾光元件材料13，并且，并列狀態(tài)平行于噴墨頭421的移動方向情形時，利用不同的噴墨頭421對一個地點可以重復噴出濾光元件材料13，容易使噴出區(qū)域的噴出量平均化，可以獲得良好的描繪。
還有，使多個噴墨頭421分別傾斜交叉于主掃描方向，并整個噴嘴466的排列方向互相平行地設在不同于噴墨頭421長度方向的方向上，因此，濾光元件材料13被噴出間隔的元件之間的節(jié)距小于噴嘴之間的節(jié)距，濾光元件材料13被噴出的母基板12利用于顯示裝置時，可以獲得更詳細的顯示。還可以防止相鄰噴墨頭421的干擾，容易實現(xiàn)小型化。還有，適當設定該傾斜角度來決定描繪點節(jié)距，可以提高通用性。
另外，把噴墨頭421排列成多個列如兩列交錯排列(之字形)，因此，沒有必要制造使用長度尺寸大的特殊的噴墨頭421，即使是使用已有的產(chǎn)品，也不發(fā)生相鄰噴墨頭421的干擾，又噴墨頭421之間不產(chǎn)生噴不到濾光元件材料13的區(qū)域，可以獲得連續(xù)、良好的濾光元件材料13的噴出即可以進行連續(xù)的描繪。
還有，設置點丟失檢測部件487，可以檢測噴嘴466的濾光元件材料13的噴出，因此，可以防止濾光元件材料13不均勻噴出，可以獲得可靠、良好的濾光元件材料13的噴出即描繪。
還有，在點丟失檢測部件487上設置光傳感器，利用這個光傳感器在交叉于濾光元件材料13噴出方向上可以檢測濾光元件材料13的經(jīng)過狀態(tài)，因此，利用簡單的結構識別可靠的濾光元件材料13的噴出狀態(tài)，可以防止濾光元件材料13不均勻噴出，可以獲得可靠、良好的濾光元件材料13的噴出即描繪。
進而，噴嘴466向母基板12噴出濾光元件材料13工藝前后，利用點丟失檢測部件487檢測噴出狀態(tài)，因此，可以進行為了描繪的噴出濾光元件材料13之前和之后的噴出狀態(tài)檢測，可以可靠識別噴出狀態(tài)，可靠防止點丟失，可以獲得良好的描繪。另外，還可以只進行一次檢測即噴出前或噴出后進行。
還有，把點丟失檢測部件487配置在頭部部件420的主掃描方向，因此，為了檢測濾光元件材料13噴出狀態(tài)的頭部部件420移動距離短，而且是一種可以繼續(xù)為了噴出的主掃描方向上的移動的簡單結構，可簡單、有效進行點丟失檢測。
還因為把噴墨頭421兩列點對稱排列，可以把供應濾光元件材料13的輸送管478集中在頭部部件420附近，使裝置的安裝和保養(yǎng)容易。還有，用于控制噴墨頭421的電氣配線442位于頭部部件420的兩側(cè)，可以防止電氣配線442所引起的噪聲，可以獲得良好、穩(wěn)定的描繪。
還有，把多個噴墨頭421排列在長方形的打印基板435的一端，而另一端設置接線柱441，因此，排列在多個直線上也不會發(fā)生接線柱441的干擾，不僅可以實現(xiàn)小型化，也不會發(fā)生主掃描方向上不存在噴嘴466的位置，可以獲得噴嘴466的連續(xù)排列，沒有必要使用長度特殊的噴墨頭。
還有，點對稱配置，以便接線柱441位于另一側(cè)，因此，可以防止接線柱441部位的電噪聲，可以獲得良好、穩(wěn)定的描繪。
另一方面，形成噴嘴板465保證如下情形垂直于母基板12表面相對移動掃描方向X的副掃描方向Y上的噴嘴節(jié)距等于噴在母基板12表面的點狀位置-濾光元件形成區(qū)域7中的副掃描方向Y方向上的節(jié)距狀態(tài)，使噴嘴主體464的長度方向相對于掃描方向X傾斜所定角度時，在沿著掃描方向X的直線上存在多個噴嘴466；因此，即使是對應傾斜于母基板12表面點狀描繪的濾光元件3節(jié)距，也可以只選擇使用沿著掃描方向X直線上所在的兩個噴嘴466的對應所定噴嘴板465，可以公用噴嘴主體464，沒有必要分別制造對應于描繪的噴墨頭421，可以降低成本。
另外，這些實施例的效果，只要具有和上述各實施例同樣的結構，則可以獲得對應的相同的效果。
(有關制造利用EL元件的光電裝置的制造方法的實施例)下面，結合圖說明本發(fā)明的光電裝置的制造方法。另外，作為光電裝置，說明利用EL顯示元件的有源矩陣型顯示裝置。另外，說明該顯示裝置的制造方法之前，說明制造出的顯示裝置構成。
(顯示裝置的構成)圖37是表示本發(fā)明光電裝置的制造裝置中的有機EL裝置一部分的電路圖。圖38是表示顯示裝置的像素區(qū)域平面結構的放大俯視圖。
即，圖37中，501是作為有機EL裝置的利用EL顯示元件的有源矩陣型顯示裝置，該顯示裝置501是作為基板的透明的顯示基板502上面具有多個掃描線503、交叉于這些掃描線503方向上延伸的多個信號線504、分別配有并列延伸這些信號線504的多個公用輸電線505。并且，掃描線503與信號線504的交叉點上設有像素區(qū)域501A。
至于信號線504，設置具有移位寄存器、電平移位器、視頻線路、模擬轉(zhuǎn)換器等的數(shù)據(jù)一側(cè)驅(qū)動電路507。另外，掃描線503上設有具有移位寄存器和電平移位器的掃描驅(qū)動電路508。還有，各個像素區(qū)域501A上設有通過掃描線503把掃描信號傳送到柵極的轉(zhuǎn)換薄膜晶體管509和通過該轉(zhuǎn)換薄膜晶體管509儲備保存信號線504傳送的像素信號的電容cap、由該電容cap保存的像素信號傳送到柵極的電流薄膜晶體管510、通過該電流薄膜晶體管510電連接在公用輸電線505時，從公用輸電線505流入驅(qū)動電流的像素電極511、夾在該像素電極511與反射電極512之間的發(fā)光元件513。
由于這樣的結構，掃描線503被驅(qū)動而接合(ON)轉(zhuǎn)換薄膜晶體管509，則，這時的信號線504的電位保存在電容cap。根據(jù)該電容cap狀態(tài)，決定電流薄膜晶體管510的接合或斷開狀態(tài)。于是，通過電流薄膜晶體管510，電流從公用輸電線505流入到像素電極511，并經(jīng)過發(fā)光元件513電流流入到反射電極512。由此，發(fā)光元件513根據(jù)通過的電流量發(fā)光。
這里，像素區(qū)域501A，如拆掉反射電極512、發(fā)光元件513狀態(tài)的放大俯視圖38所示，平面狀態(tài)為長方形的像素電極511的邊包圍在被信號線504、公用輸電線505、掃描線503和圖中未示的另一個像素電極511用掃描線503的狀態(tài)。
(顯示裝置的制造工藝)下面，說明制造使用上述EL顯示元件的有源矩陣型顯示裝置的制造工藝順序。圖39至圖41是表示制造使用上述EL顯示元件的有源(活動)矩陣型顯示裝置的制造工藝順序的制造工藝剖面圖。另外，至于利用液滴的噴出方法來形成EL發(fā)光層的液滴噴出裝置、掃描方法和在前所說明的實施例相同。
(預處理)首先，如圖39(A)所示，根據(jù)需要對透明的顯示基板502，四乙氧基硅烷(TEOS)或氧氣作為原料氣體，通過用等離子CVD(化學氣相沉積法)法形成厚度尺寸大約為2000～5000埃的硅氧化膜(圖中未示)的下面保護膜。接著，把顯示基板502的溫度設定為350℃，下面保護膜表面上利用等離子化學氣相沉積法形成厚度尺寸為大約300～700埃的非晶硅膜的半導體膜520a。此后，對半導體膜520a實施激光退火或固相成長法等的結晶化工藝，使半導體膜520a結晶為多晶硅膜。這里，激光退火中，例如激元激光器中利用光束尺寸為400nm的線路光束，輸出強度為大約200mJ/cm2。至于線路光束，線路光束掃描，以便使其短尺寸方向的激光強度的峰值的約90％相當部分重復在各區(qū)域。
然后，如圖39(B)所示，把半導體膜520a形成圖案，形成島狀半導體膜520b。在形成該半導體膜520b的顯示基板502的表面上，TEOS(四乙氧基硅烷)或氧氣作為原料氣體，利用等離子化學氣相沉積法形成厚度尺寸大約為600～1500埃的硅氧化膜或氮化膜的門絕緣膜521a。還有，半導體膜520b是電流薄膜晶體管510的通道區(qū)域和源漏區(qū)域，但在不同的斷面位置上形成轉(zhuǎn)換薄膜晶體管509通道區(qū)域和作為源漏區(qū)域的圖中未示的半導體膜。即，圖39至圖41所示的制造工藝中，同時形成兩種的轉(zhuǎn)換薄膜晶體管509和電流薄膜晶體管510，但是，因為同一順序上形成，所以在以下的說明中只說明電流薄膜晶體管510而省略轉(zhuǎn)換薄膜晶體管509的說明。
此后，如圖39(C)所示，利用濺射法形成鋁、鉭、鉬、鈦、鎢等金屬膜的導電膜之后，形成圖案，而形成圖38所示的柵極510A。在該狀態(tài)下打進高溫磷離子，在半導體膜520b上形成對柵極510A自己耦合的源漏區(qū)域510a、510b。另外，沒有收容不純物的部分成為通道區(qū)域510c。
接著，如圖39(D)所示，形成層間絕緣膜522之后，形成觸點孔523、524，在這些觸點孔523、524內(nèi)部埋入形成中繼電極526、527。
還有，如圖39(E)所示，層間絕緣膜522上形成信號線504、公用輸電線505和掃描線503(圖39中未示)。此時，信號線504、公用輸電線505和掃描線503的各配電線不是做成配電所需要的厚度尺寸而制作的充分厚。具體地，各配電線厚度制作成1～2μm左右的厚度也可以。這里中繼電極527和各配電線在同一工藝里形成也可以。此時，中繼電極526由后述的ITO膜法形成。
于是，形成覆蓋各配電線的層間絕緣膜530，在對應于中繼電極526的位置上形成觸點孔532。形成ITO膜以便埋設該觸點孔532內(nèi)部，把該ITO膜進行形成圖案，被圍在信號線504、公用輸電線505和掃描線503的所定位置上形成電連接于源漏區(qū)域510a的像素電極511。
這里，圖39(E)中，被夾在信號線504和公用輸電線505的部分相當于光學材料選擇性地被配置的部分。還有，其所定位置與其周圍之間由信號線504、公用輸電線505形成臺階535。具體地，所定位置低于其周圍，形成凹型的臺階535。
(EL發(fā)光材料的噴出)接著，實施上述預處理的顯示基板502上，利用噴墨法噴出作為功能性液狀體的EL發(fā)光材料。即，如圖40(A)所示，實施預處理的顯示基板502上表面面向上方的狀態(tài)下，為了形成相當于發(fā)光元件140下層部分的空穴注入層513A的溶解在功能性液狀體溶劑的前驅(qū)體光學材料540A，利用噴墨法即上述的各實施例裝置來噴出，有選擇性地涂敷在臺階535所包圍的所定位置內(nèi)部。
這個噴出的作為形成空穴注入層513A的光學材料540A，可以利用聚合物前驅(qū)體為聚四氫化硫苯基苯撐的聚苯乙烯、1，1雙(4-N，N-聯(lián)甲苯氨基苯基)環(huán)己烷、三(8-羥基喹啉基)鋁等。
另外，該噴出時，具有流動性的光學材料540A和上述各實施例隔壁上噴出濾光元件材料13同樣，因為流動性高，向平面方向擴展的趨勢，但是形成了包圍涂敷位置的臺階535，只要不是光學材料540A的一次噴出量很大的話，可以防止光學材料540A超越臺階535擴展到所定位置外側(cè)。
還有，如圖40(B)所示，加熱或照射光的方法使液態(tài)光學材料540A的溶劑蒸發(fā)，像素電極511上面形成薄的固體形空穴注入層513A。如圖40(C)所示，重復這個圖40(A)、(B)的工藝必要次數(shù)，形成充分厚度尺寸的空穴注入層513A。
接著，如圖40(A)所示，使顯示基板502的上表面面向上方狀態(tài)，在發(fā)光元件513的上層部分，為了形成有機半導體513B的溶解在功能性液狀體溶劑的有機熒光材料的光學材料540B，利用噴墨法即上述的各實施例裝置來噴出，有選擇性地涂敷在臺階535所包圍的所定位置內(nèi)部。另外，至于該光學材料540B，如上所述，和光學材料540A的噴出同樣，可以防止超越臺階535擴展到所定位置外側(cè)。
作為噴出的形成有機半導體513B的光學材料540B，可以利用氰基聚苯乙烯、聚苯乙烯、聚烷基苯撐、2，3，6，7-四氫-11-氧-1H.5H.11H(1)苯并吡喃[6，7，8-ij]-奎諾酊-10-羧酸、1，1-雙(4-N，N-聯(lián)甲苯氨基苯基)環(huán)己烷、2-13.4二羥基苯基)-3，5，7三羥基-1-苯并嗯英全氯鹽、三(8-羥基喹啉基)鋁、2，3，6，7-四氫-9-甲基-11-氧-1H.5H.11H(1)苯并[6，7，8-ij]奎嗪、芳烴二胺衍生物(TDP)、二唑二聚物(OXD)、二唑二聚物衍生物(PBD)、丙炔鋼(DSA)、喹啉酚金屬絡合物、鈹苯喹啉絡合物(Bebq)、三苯胺衍生物(MTDATA)、聯(lián)苯乙烯衍生物、吡唑啉二聚物、紅熒烯、喹丫酮、三唑衍生物、取二苯、聚烷基芴、聚烷基噻吩、亞甲胺鋅絡合物、苯并唑鋅絡合物、聚哺啉鋅絡合物、苯并唑鋅絡合物、鄰菲繞啉銪絡合物等。
接著，如圖41(B)所示，通過加熱或光照射的方法蒸發(fā)光學材料540B的溶劑，在空穴注入層513A上面形成薄的固體有機半導體膜513B。重復必要次數(shù)的這個圖41(A)、(B)的工藝，如圖41(C)所示，形成充分厚度的有機半導體膜513B。利用空穴注入層膜513A和有機半導體513B構成發(fā)光元件513。最后，如圖41(D)所示，在顯示基板502整個表面或帶狀形成反射電極512，制作顯示裝置501。
該圖37至圖41所示的實施例中，也實施和上述各實施例相同的噴墨方式獲得同樣的效果。還有，選擇性涂敷功能性液狀體時，可以防止它們流出周圍，可以獲得高精度形成圖案。
另外，該圖37至圖41所示實施例中，說明了想要彩顯示的利用EL顯示元件的有源矩陣型顯示裝置，例如圖42所示，把圖37至圖41所示的構成也可以適用于單色顯示的顯示裝置。
即，顯示基板502全面上形成一樣的有機半導體膜513B也可以。但是，此時，為了防止串線，空穴注入層513A必須選擇性配置在各個所定位置，利用臺階差111的涂敷方法很有效。另外，在圖42中，和圖37至圖41實施例相同的結構附相同的符號。
還有，作為利用EL顯示元件的顯示裝置，不限于有源矩陣型，也可以是如圖43所示的無源矩陣型顯示裝置。圖43是本發(fā)明光電裝置制造裝置中的EL裝置，圖43(A)是表示多個第一總線配電線550、與其垂直配置配線的多個第二總線配電線560和它們之間配置關系的俯視圖，圖43(B)是圖43(A)的B-B線剖面圖。這個圖43中，對和圖37至圖41所示實施例相同結構部分附以相同的符號，省略其說明。還有，詳細的制造工藝和圖37至圖41所示實施例相同，省略其圖示和說明。
這個圖43所示實施例的顯示裝置，為了包圍發(fā)光元件513被配置的所定位置，配置例如SiO2等的絕緣膜570，由此形成所定位置和其周圍之間的臺階差535。因此，選擇性涂敷功能性液狀體時，可以防止它們流出周圍，可以獲得高精度形成圖案。
還有，有源矩陣型顯示裝置不限于圖37至圖41所示實施例的結構。即，也可以是如圖44所示的結構、如圖45所示的結構、如圖46所示的結構、如圖47所示的結構、如圖48所示的結構、如圖49所示的結構等任意結構。
圖44所示的顯示裝置是利用像素電極511形成臺階差535來獲得高精度地形成圖案的裝置。圖44是制造顯示裝置的制造工藝中的中間階段的剖面圖，其前后階段和圖37至圖41所示實施例大致相同，則省略其圖示和說明。
這個圖44所示的顯示裝置中，形成比通常厚的像素電極511，由此，形成其周圍之間的臺階差535。即，這個圖44所示的顯示裝置中，以后要涂敷光學材料的像素電極511形成比其周圍高的凸型臺階差。還有，和圖37至圖41所示實施例同樣，在像素電極511上表面，利用噴墨法噴出涂敷作為形成相當于發(fā)光元件513下層部分的空穴注入層513A的前驅(qū)體的光學材料540A。
但是，和上述的圖37至圖41所示實施例情形不同的是，顯示基板502上下翻過來的狀態(tài)，即，把涂敷光學材料540A的像素電極511的上表面面向下方狀態(tài)，噴出涂敷光學材料540A。由此，由于重力和表面張力，光學材料540A留在像素電極511的上表面(圖44中的下面)，不擴展到其周圍。因此，利用加熱或光照射來進行固化，可以形成如圖40(B)的薄的空穴注入層513A，重復進行該過程就可以形成空穴注入層513A。同樣的方法也可以形成有機半導體膜513B。因此，利用凸型臺階差可以高精度進行形成圖案。另外，不限于重力和表面張力，也可以利用離心力等的慣性力進行光學材料540A、540B量的調(diào)整。
圖45所示的顯示裝置也是有源矩陣型顯示裝置。圖45是制造顯示裝置的制造工藝中的中間階段的剖面圖，其前后階段和圖37至圖41所示實施例相同，省略其圖示和說明。
這個圖45所示的顯示裝置中，首先在顯示基板502上表面形成反射電極512，在該反射電極512上形成絕緣層570以便包圍以后要配置發(fā)光元件513的所定位置，由此，形成所定位置低于其周圍的凹型的臺階535。
然后，和圖37至圖41所示實施例同樣，在臺階差535所包圍的區(qū)域內(nèi)，利用噴墨方式選擇性地噴出涂敷功能性液狀體的光學材料540A、540B，形成發(fā)光元件513。
另一方面，剝離用基板580上使剝離層581介于中間形成掃描線503、信號線504、像素電極511、轉(zhuǎn)換薄膜晶體管509、電流薄膜晶體管510和層間絕緣膜530。最后，在顯示基板502上面復制從剝離用基板580上的剝離層581被剝離的結構。
這個圖45的實施例中，可以減輕由于涂敷形成光學材料540A、540B所引起的掃描線503、信號線504、像素電極511、轉(zhuǎn)換薄膜晶體管509、電流薄膜晶體管510和層間絕緣膜530的損失。另外，也可以適用于無源矩陣型顯示元件。
如圖46所示的顯示裝置也是有源矩陣型顯示裝置。圖46是制造顯示裝置的制造工藝中的中間階段的剖面圖，其前后階段和圖37至圖41所示實施例相同，省略其圖示和說明。
這個圖46所示的顯示裝置中，利用層間絕緣膜530形成凹型臺階差535的裝置。因此，不增加新的工藝，可以利用層間絕緣膜530，可以防止制造工藝的大幅度復雜化。另外，用SiO2來形成層間絕緣膜530的同時，在其表面上照射紫外線或O2、CF3、Ar等的等離子，然后，露出像素電極511表面，以后選擇性地噴出涂敷光學材料540A、540B也可以。由此，沿著層間絕緣膜530表面形成排液性強的分布，光學材料540A、540B在臺階差535和層間絕緣膜530的排液性的兩種作用而容易留在所定位置。
圖47所示的顯示裝置是使涂敷光學材料540A、540B的所定位置的親水性高于其周圍的親水性的方法防止涂敷的光學材料540A、540B擴展到其周圍的裝置。圖47是制造顯示裝置的制造工藝中的中間階段的剖面圖，其前后階段和圖37至圖41所示實施例相同，省略其圖示和說明。
這個圖47所示的裝置中，形成層間絕緣膜530以后，在其上面形成非晶硅酮層590。非晶硅酮層590比形成像素電極511的ITO相對地疏水性強，因此，這里形成像素電極511表面的親水性相對高于其周圍親水性的掩疏水性·親水性分布。于是，和上述的圖37至圖41所示實施例同樣，對像素電極511的上表面利用噴墨方式選擇性地噴出涂敷液狀體的光學材料540A、540B來形成發(fā)光元件513，最后形成反射電極512。
另外，這個圖47所示的實施例中也可以適用無源矩陣型顯示元件。如圖45所示的實施例，還可以包含把剝離用基板580上面使剝離層581介于中間形成的結構，復制在顯示基板502的工藝。
另外，疏水性·親水性的分布也可以利用金屬、正極氧化膜、聚酰亞胺或氧化硅酮等的絕緣膜或其他材料來形成。另外，如果是無源矩陣型顯示元件，利用第一總線配電線550來形成；如果是有源矩陣型顯示元件，則利用掃描線503、信號線504、像素電極511、層間絕緣膜530或遮光層6b來形成。
圖48所示的顯示裝置不是利用臺階535或疏水性、親水性來提高形成圖案的精度，而是利用電位的吸引力或排斥力來提高形成圖案的精度的。圖48是制造顯示裝置的制造工藝中的中間階段的剖面圖，其前后階段和圖37至圖41所示實施例相同，省略其圖示和說明。
這個圖48所示的顯示裝置中，驅(qū)動信號線504、公用輸電線505的同時，適當接合或斷開圖中未示的晶體管的方法，來形成使像素電極511處于負極電位而層間絕緣膜530處于正極電位的電位分布。于是利用噴墨方式選擇性噴出帶有正電的液狀體光學材料540A而形成涂敷。由此，因為光學材料540A帶電，不僅可以自行分極，還可以用于帶電荷，更能提高形成圖案精度。
另外，這個圖48所示的實施例，也可以適用于無源矩陣型顯示元件。如圖45所示的實施例，還可以包含把剝離用基板580上面使剝離層581介于中間形成的結構，復制在顯示基板502的工藝。
還有，在像素電極511和其周圍的層間絕緣膜530雙方都具有電位，但不限于這些，例如圖49所示，也可以不使像素電極511帶電，而只給層間絕緣膜530賦予正電，然后，使液狀的光學材料540A帶正電之后進行涂敷。
根據(jù)圖49所示的構成，液狀的光學材料540A涂敷后也維持帶有正電的狀態(tài)，利用周圍的層間絕緣膜530之間的排斥力，可以可靠地防止液狀的光學材料540A流出周圍。
(有關制造利用EL元件的光電裝置制造方法的其他實施例)下面，結合

本發(fā)明的光電裝置制造方法的其他實施例。下面，作為光電裝置適用了利用EL顯示元件的有源矩陣型顯示裝置的一點上和上述的實施例相同，其電路也和圖37所示的實施例的顯示裝置相同。
(顯示裝置的構成)圖55(a)是本實施例顯示裝置的俯視圖，圖55(b)是沿圖55(a)的A-B線的模式剖面圖。如這些圖所示，本實施例顯示裝置831包括由玻璃制作的透明顯示基板832、以矩陣狀配置的發(fā)光元件和密封基板。形成在基板832的發(fā)光元件由后述的像素電極、功能層、陰極842所形成。
基板832是如玻璃等制作的透明基板，分為位于基板832中央的顯示區(qū)域832a、位于基板832邊緣的顯示區(qū)域832a以外的非顯示區(qū)域832b。
顯示區(qū)域832a的矩陣狀配置的發(fā)光元件所形成的區(qū)域，也稱為有效顯示區(qū)域。另外，顯示區(qū)域的外圍形成非顯示區(qū)域832b。還有，非顯示區(qū)域832b里形成鄰接于顯示區(qū)域832a的虛設顯示區(qū)域832d。
還有，如圖55(b)所示，由發(fā)光元件和存儲單元部組成的發(fā)光元件部841與基體832之間設有電路元件部844，在該電路元件部844具備掃描線、信號線、保持容量、轉(zhuǎn)換薄膜晶體管、驅(qū)動用薄膜晶體管923。
還有，陰極842其一端連接形成在基體832的陰極用配電線842a，該配電線的一端連接在撓性基板835的配電線835a。另外，配電線835a連接在撓性基板835所具有的驅(qū)動IC836(驅(qū)動電路)。
還有，如圖55(a)和圖55(b)所示，電路元件部844的非顯示區(qū)域832b上有電源線903(903R、903G、903B)。
另外，顯示區(qū)域832a的圖55(a)的中間兩側(cè)配置上述的主掃描驅(qū)動電路905、905。該主掃描驅(qū)動電路905、905設在虛設顯示區(qū)域832d下面的電路元件部844內(nèi)部。在電路元件部844內(nèi)部還設有連接在主掃描驅(qū)動電路905、905的驅(qū)動電路用控制信號配電線905a和驅(qū)動電路用電源線905b。
還有，顯示區(qū)域832a的圖55(a)的中間上面配置檢測電路906。通過該檢測電路906進行制造過程中或輸送時，可以進行顯示裝置的質(zhì)量、缺陷等的檢查。
還有，如圖55(b)所示，發(fā)光元件部841上設有密封部833。該密封部833由涂敷在基體832的密封樹脂603a和罐狀密封基板604所構成。密封樹脂603由熱固性樹脂或紫外線固化樹脂制作，最好是利用熱固性樹脂一種的環(huán)氧樹脂制作。
該密封樹脂603在基體832周圍以環(huán)狀涂敷，例如利用微型分配器涂敷的。該密封樹脂603是接合基體832的密封罐604的東西，是防止水或氧氣從基體832與罐密封基板604之縫隙進入到罐密封基板604，從而防止陰極842或形成在發(fā)光元件部841的圖中未示的發(fā)光層的氧化。
罐密封基板604是由玻璃或金屬制作的，使密封樹脂603介于中間接合在基體832，其內(nèi)部設有收容顯示元件840的凹部604a。還有，凹部604a上粘接有吸收氧氣的吸氣劑605，吸收進入到罐密封基板604內(nèi)部的水或氧氣。另外，該吸氣劑605可以省略。
其次，圖56是擴大表示顯示裝置中的顯示區(qū)域的斷面結構的放大圖。這個圖56表示三個像素區(qū)域A。該顯示裝置831是在基體832上按順序疊層形成TFT等電路的電路元件部844、形成功能層910的發(fā)光元件部841而構成。
該顯示裝置831中，從功能層910向基體832發(fā)出的光透過電路元件部844和基體832射到基體832下面(觀測者一側(cè))的同時，從功能層910向基體832的另一側(cè)發(fā)出的光在陰極842反射，透過電路元件部844和基體832射到基體832下面(觀測者一側(cè))。
另外，作為陰極842利用透明的材料，使陰極發(fā)出的光可以射出。透明的材料可以利用ITO、Pt、Ir、Ni或Pd。膜的厚度最好是75nm程度的膜厚度，比這薄更好。
電路元件部844上，有基體832上由硅氧化膜形成的下層保護膜832c，該保護膜832c上面形成由硅氧化膜形成的島狀半導體膜941。另外，半導體膜941上射進高濃度P離子形成源區(qū)域941a和漏區(qū)域941b。另外，沒有導入P的部分是作為通道區(qū)域941c。
還有，電路元件部844上形成覆蓋下層保護膜和832c及半導體膜941的透明的門絕緣膜942，門絕緣膜942上形成由Al、Mo、Ta、Ti、W組成的柵極943(掃描線901)，柵極943和門絕緣膜942上形成透明的第一絕緣膜944a和第二絕緣膜944b。柵極943設在對應于半導體膜941的通道區(qū)域941c的區(qū)域。
還有，穿通第一絕緣膜944a和第二絕緣膜944b分別連接半導體膜941的源區(qū)域941a和漏區(qū)域941b的觸點孔945、946。
還有，第二絕緣膜944b上形成由ITO制作的透明像素電極911按所定形狀形成圖案，另一方的觸點孔945連接在該像素電極911。
另外，又另一方的觸點孔946連接在電源線903。
這樣，電路元件部844連接在各像素電極911的驅(qū)動用薄膜晶體管923。
另外，電路元件部844也形成上述的保持電容和轉(zhuǎn)換薄膜晶體管912，在圖56中省略了其圖示。
接著，如圖56所示，發(fā)光元件部841是由疊層在多個像素電極911…上的功能層910、形成在各個像素電極911和功能層910之間并劃分各功能層910的存儲單元部912、形成在功能層910上的陰極842為主體所構成。這些像素電極(第一電極)911、功能層910和陰極842(面向電極(電極))構成發(fā)光元件。
這里，像素電極911是由ITO形成，俯視圖上近似為矩形形成圖案。這個像素電極911的厚度最好是50～200nm范圍，尤其是150nm程度為好。該各像素電極911……之間具有存儲單元部912。
如圖56所示，存儲單元部912由位于基體832一側(cè)的無機物存儲單元層912a(第一存儲單元層)、位于離開832的有機物存儲單元層912b(第二存儲單元層)疊層而構成。
無機物存儲單元層912a、有機物存儲單元層912b形成得要搭上像素電極911邊緣的形狀。俯視圖上，像素電極911周圍和無機物存儲單元層912a重疊配置的結構。另外，有機物存儲單元層912b也同樣，與像素電極911的一部平面上重疊地配置。另外，無機物存儲單元層912a比有機物存儲單元層912b更靠近像素電極911中央一側(cè)而形成。這樣，無機物存儲單元層912a的每一個第一疊層部912e形成在像素電極911內(nèi)部，以在對應于像素電極911形成位置形成下部開口部912c。
另外，有機物存儲單元層912b上設有上部開口部912d。該上部開口部912d設在對應于像素電極911形成位置和下部開口部912c的位置。如圖56所示，上部開口部912d比下部開口部912c寬，而比像素電極911窄。另外，有時有上部開口部912d上部位置和像素電極911端部位于相同的位置的情形。此時，如圖56所示，有機物存儲單元層912b的上部開口部912d斷面為傾斜形狀。
還有，存儲單元部912上，使下部開口部912c和上部開口部912d連通的方法來形成穿通無機物存儲單元層912a和有機物存儲單元層912b的開口部912g。
另外，無機物存儲單元層912a最好是利用例如由SiO2、TiO2等的無機材料而成。該無機物存儲單元層912a膜厚最好是50～200nm范圍，尤其是150nm為好。膜厚小于50nm時，無機物存儲單元層912a比空穴注入/輸送層薄，不能確?？昭ㄗ⑷?輸送層的平坦性，因此，不夠理想。另外，膜厚大于200nm時，由下部開口部912c的臺階高差變大，不能確保正疊層在孔注入/輸送層的后述的發(fā)光層的平坦性，因此，也不夠理想。
還有，有機物存儲單元層912b由丙烯樹脂、聚酰亞胺樹脂等的具有耐熱性、耐溶劑性的材料形成。該有機物存儲單元層912b的厚度最好是0.1～3.5μm范圍、尤其是2μm程度為理想。厚度小于0.1μm時，有機物存儲單元層912b的厚度比后述的空穴注入/輸送層和發(fā)光層加起來的合計厚度薄，發(fā)光層從上部開口部912d溢出的可能，因此，不夠理想。另外，厚度超過3.5μm，則由上部開口部912d的臺階高差變大，不能確保形成在有機物存儲單元層912b的陰極842的有效步長，因此，也不夠理想。另外，有機物存儲單元層912b的厚度超過2μm，則可以提高驅(qū)動用薄膜晶體管923的絕緣性的點上是理想的。
另外，存儲單元部912上形成親水性區(qū)域和疏水性區(qū)域。
親水性區(qū)域是無機物存儲單元層912a的第一層疊部912e和像素電極911的電極面911a，這些區(qū)域是利用氧氣為處理氣體的等離子處理來親水性的表面處理。另外，疏水性區(qū)域是上部開口部912d壁面和存儲單元部912的上表面912f，這些區(qū)域是把四氟化甲烷、四氟甲烷或四氟化碳作為處理氣體的等離子處理獲得氟化處理(疏水性處理)的表面。另外，有機物存儲單元層也可以是由含有聚氟材料來形成。
其次，如圖56所示，功能層910是由疊層在像素電極911空穴注入/輸送層910a、鄰接于空穴注入/輸送層910a形成的發(fā)光層910b所組成。另外，鄰接于發(fā)光層910b還可以形成具有電子注入輸送層功能的另一個功能層。
空穴注入/輸送層910a是具有把空穴注入在發(fā)光層910b的功能的同時，還具有在空穴注入/輸送層910a內(nèi)部輸送空穴的功能。把這樣的空穴注入/輸送層910a設在像素電極911和發(fā)光層910b之間的方法來提高發(fā)光層910b的發(fā)光效率、壽命等的元件特性。還有，在發(fā)光層910b中，從空穴注入/輸送層910a注入的空穴和從陰極842注入的電子在發(fā)光層再結合，可以獲得發(fā)光。
空穴注入/輸送層910a是由位于下部開口部912c內(nèi)部形成在像素電極面911a的平坦部910a1和位于上部開口部912d內(nèi)部形成在無機物存儲單元層第一層疊部912e的邊緣部910a2所組成。另外，空穴注入/輸送層910a根據(jù)其結構，像素電極911上的只在無機物存儲單元層910a之間(下部開口部910c)形成。(只在上述的平坦部形成的形態(tài))。
該平坦部910a1其厚度一定，為50～70nm范圍內(nèi)形成。
形成邊緣部910a2的情形中，邊緣部910a2是位于第一層疊部912e的同時，緊貼在上部開口部912d的壁面，即有機物存儲單元層912b。另外，邊緣部910a2厚度在靠近電極面911a的一側(cè)為薄，沿著離開電極面911a方向變厚，靠近下部開口部912d壁面時最厚。
邊緣部910a2之所以如上述形狀形成的理由是因為空穴注入/輸送層910a是從開口部912噴出空穴注入/輸送層和包含極性溶劑的第一組合物以后去除而形成的，并極性溶劑的揮發(fā)性主要在無機物存儲單元層的第一層疊部912e所發(fā)生，形成空穴注入/輸送層的材料在該第一層疊部912e上集中濃縮、析出而形成的部件。
還有，發(fā)光層910b是跨越空穴注入/輸送層910a的平坦部910a1邊緣部910a2而形成，平坦部912a1上的厚度為50～80nm范圍。
發(fā)光層910b包括發(fā)射紅色(R)光的紅色發(fā)光層910b1、發(fā)射綠色(G)光的綠色發(fā)光層910b2、發(fā)射蘭色(B)光的蘭色發(fā)光層910b3三種，各發(fā)光層910b1～910b3以帶狀配置。
如上述，因為空穴注入/輸送層910a的邊緣部910a2密接于上部開口部912d的壁面(有機物存儲單元層912b)，發(fā)光層910b不會直接接觸于有機物存儲單元層912b。從而，利用邊緣部910a2可以阻止包含在有機物存儲單元層912b不純物的水移動到發(fā)光層910b的一側(cè)，可以防止發(fā)光層910b的氧化。
另外，因為無機物存儲單元層的第一層疊部912e上形成厚度不均勻的邊緣部910a2，由第一層疊部912e使邊緣部910a2與像素電極911成為絕緣狀態(tài)，空穴不會從邊緣部910a2注入到發(fā)光層910b。由此，像素電極911的電流只能流到平坦部912a1，可以把空穴從平坦部912a1均勻輸送到發(fā)光層910b，不僅可以只使發(fā)光層910b中央部分發(fā)光，還可以使發(fā)光層910b的發(fā)光量一定。
還有，因為無機物存儲單元層912a比有機物存儲單元層912b更延伸到像素電極911中央，利用該無機物存儲單元層912a，可以修理像素電極911與平坦部910a1之間接合部形狀，可以限制各發(fā)光層910b之間的發(fā)光強度的不均勻。
另外，因為像素電極911的電極面911a和無機物存儲單元層的第一層疊部912e為親水性，功能層910密接于像素電極911和無機物存儲單元層912a，在無機物存儲單元層912a上功能層910不會極端變薄，可以防止像素電極911與陰極842短路。
還有，因為有機物存儲單元層912b的上表面912f和上部開口部912d壁面為疏水性，功能層910與有機物存儲單元層912b的密接性變低，功能層910不會溢出開口部912g而形成。
另外，作為空穴注入/輸送層材料可以利用聚乙烯二羥基噻吩等的聚噻吩衍生物和聚苯乙烯磺酸等的混合物(PEDOT/PSS)的分散液。還有，作為發(fā)光層910b材料可以利用例如聚芴衍生物、聚苯撐衍生物、聚乙烯咔唑、聚噻吩衍生物或這些高分子材料里滲雜紫蘇烯色素、香豆素系色素、紅丹系色素，例如紅熒素、紫蘇烯、9，10-二苯蒽、四苯基丁二烯、尼羅紅、香豆素6、奎寧氪等。
陰極842是形成在發(fā)光元件部841的全面，和像素電極911成為一對起著使電流通過功能層910的作用。該陰極842例如由鈣層和鋁層疊加而構成。此時，靠近發(fā)光層的陰極上設置功函數(shù)低的比較理想，特別是在本實施例中直接接觸于發(fā)光層910b起向發(fā)光層910b注入電子的作用。還因為氟化鋰的發(fā)光層材料可以有效發(fā)光，有時在發(fā)光層910和陰極842之間形成LiF的情形。
另外，紅色和綠色的發(fā)光層910b1、910b2不限于氟化鋰，也可以利用其他材料。從而，此時，只是在蘭色(B)的發(fā)光層910b3上形成氟化鋰層，而其他的紅色和綠色的發(fā)光層910b1、910b2上形成氟化鋰以外的材料疊層，也是可以的。
另外，氟化鋰厚度最好是2～5nm的范圍，尤其2nm程度為理想。還有，鈣的厚度例如為2～50nm范圍為好，尤其20nm程度為理想。
還有，形成陰極842的鋁是使發(fā)光層910b發(fā)射光反射到基體832一側(cè)的部件，除了Al膜以外最好是利用Ag膜、Al和Ag的疊層膜。其厚度為100～1000nm范圍為好，尤其是200nm為理想。
進而也可以設置由SiO、SiO2、SiN等而成的抗氧化的保護層。
還把這樣形成的發(fā)光元件上面配置密封罐604。如圖55(b)所示，利用密封樹脂粘接密封罐604，形成顯示裝置831。
(顯示裝置的制造方法)下面，結合圖說明本實施例顯示裝置的制造方法。
本實施例顯示裝置831的制造方法包括例如，(1)存儲單元部形成工藝、(2)等離子處理工藝(包括親液狀體化工藝和排液狀體化工藝)、(3)空穴注入/輸送層形成工藝(功能層形成工藝)、(4)發(fā)光層形成工藝(功能層形成工藝)、(5)面向電極形成工藝、(6)密封工藝等。另外，制造方法不限于這些，根據(jù)需要可以增減其工藝。
(1)存儲單元部形成工藝存儲單元部形成工藝是基體832的所定位置上形成存儲單元部912的工藝。存儲單元部912上作為第一存儲單元層形成有無機物存儲單元層912a，作為第二存儲單元層形成有機物存儲單元層912b。下面說明其形成方法。
(1)-1無機物存儲單元層912a的形成首先，如圖57所示，基本上決定的位置上形成無機物存儲單元層912a。無機物存儲單元層912a的形成位置是第二層間絕緣膜144b上和電極(這里是像素電極)911上面。另外，第二層間絕緣膜144b是形成在配置薄膜晶體管、掃描線、信號線等的電路元件部844上面。
無機物存儲單元層912a可以利用如SiO2、TiO2等的無機物膜作為材料。這些材料可以利用CVD法、涂敷法、濺射法、蒸鍍法等而形成。
還有，無機物存儲單元層912a的厚度50～200nm為好，尤其是150nm為理想。
無機物存儲單元層912a是層間絕緣層914和像素電極911的全面上形成無機物膜，其后把無機物膜利用影印法形成圖案，形成具有開口部的無機物存儲單元層912a。開口部是對應于像素電極911的電極面911a形成位置，如圖57所示，作為下部開口部912c而形成。
此時，無機物存儲單元層912a重疊于像素電極911的邊緣部(一部分)。如圖57所示，因為形成無機物存儲單元層912a使其像素電極911的一部分和無機物存儲單元層912a重疊，可以控制發(fā)光層910的發(fā)光區(qū)域。
(1)-2有機物存儲單元層912b的形成接著，形成作為第二存儲單元層的有機物存儲單元層912b。
如圖58所示，在無機物存儲單元層912a上面形成有機物存儲單元層912b。作為有機物存儲單元層912b可以利用丙烯樹脂、聚酰亞胺樹脂等的耐熱、耐溶劑性材料。利用這些材料，通過影印技術使有機物存儲單元層912b形成圖案。另外，形成圖案時，在有機物存儲單元層912b上形成上部開口部912d。上部開口部912d設在對應于電極面911a和下部開口部912c的位置。
如圖58所示，上部開口部912d最好是比形成在無機物存儲單元層912a的下部開口部912c寬。進而，有機物存儲單元層912b具有錐度為好，有機物存儲單元層的開口部要比像素電極911寬度窄，有機物存儲單元層912b的最上表面形成和像素電極911寬度幾乎相同的有機物存儲單元層。由此，包圍無機物存儲單元層912a下部開口部912c的第一層疊部912e比有機物存儲單元層912b更伸出到像素電極911的中央部分。
這樣，通過連通形成在有機物存儲單元層912b的上部開口部912d和形成在無機物存儲單元層912a的下部開口部912c，形成穿通無機物存儲單元層912a和有機物存儲單元層912b的開口部912g。
另外，有機物存儲單元層912b的寬度最好為0.1～3.5μm范圍，而2μm為尤其理想。這樣取范圍，其理由如下。
即厚度小于0.1μm時，有機物存儲單元層912b比后述的空穴注入/輸送層和發(fā)光層的加起來的厚度還薄，發(fā)光層910b有可能從上部開口部912d溢出，因此不夠理想。另外，厚度超過3.5μm時，由上部開口部912d的臺階高差變大，不能確保上部開口部912d中的陰極842的步長有效區(qū)域，因此不夠理想。另外，如果有機物存儲單元層912b厚度超過2μm，則可以提高陰極842和驅(qū)動用薄膜晶體管123的絕緣，因此比較理想。
(2)等離子處理工藝接著，等離子處理工藝是為了使像素電極911表面活性化、表面處理存儲單元部912表面為目的而進行的。尤其活性化工藝是為了清洗像素電極911(ITO)、調(diào)整功函數(shù)為主要目的進行。還進行像素電極911表面的親水化處理(親液化工藝)、存儲單元部912表面的排液化處理(排液化工藝)。
該等離子處理工藝大體分為如(2)-1的預加熱工藝、(2)-2的活性化處理工藝(親液化工藝)、(2)-3的排液化處理(排液化工藝)以及(2)-4冷卻工藝。另外，不限于這些工藝，根據(jù)需要可以增減工藝。
首先，圖59是表示利用于等離子處理工藝的等離子處理裝置。
圖59所示的等離子處理裝置850由預加熱處理室851、第一等離子處理室852、第二離子處理室853、冷卻處理室854、往這些各處理室851～854里輸送基體832的輸送裝置855所組成。各個處理室851～854是以輸送裝置855為中心輻射狀配置。
首先，說明利用這些裝置的大體工藝。
預加熱工藝在圖59所示的預加熱處理室851里進行。然后，利用該預加熱處理室851，從存儲單元部形成工藝輸送的基體832加熱到所定溫度。
預加熱工藝后，進行親液化工藝和排液化處理工藝。即基體上按順序輸送到第一等離子處理室852、第二離子處理室853，并分別在第一等離子處理室852、第二離子處理室853中對存儲單元部912進行等離子處理，實現(xiàn)親液化。進行親液化處理之后進行排液化處理。排液化處理之后把基體輸送到冷卻處理室，在冷卻處理室854中把基體冷卻至室溫。該冷卻工藝后，由輸送裝置把基體輸送到下一個工藝的空穴注入/輸送層形成工藝。
(2)-1預加熱工藝預加熱工藝是在預加熱處理室851里進行。在該預加熱處理室851里把包括存儲單元部912的基體832加熱到所定溫度。
基體832的加熱方法，例如可以在處理室851內(nèi)部的放置基體832的臺子里面安裝加熱器，利用該加熱器采用對每一個臺子加熱基體832的方法。另外，也可以采用其他方法。
預加熱處理室851中，例如把基體832加熱到70℃～80℃范圍。該溫度是下一個工藝的等離子處理工藝的處理溫度，適應下一個工藝，預先加熱基體832，以達到消除基體832溫度不均勻為目的。
假設不進行預加熱工藝，從工藝開始到工藝結束的等離子處理工藝中，基體832從室溫加熱到上述的溫度，溫度總是變化的過程中進行處理。因此，基體溫度變化的過程中進行等離子處理有可能導致有機EL元件特性的不均勻。因此，為了保持均勻的處理條件獲得均勻的特性，進行預加熱。
于是，在等離子處理工藝中，把基體832放置在第一等離子處理室852、第二離子處理室853內(nèi)的狀態(tài)下進行親液化工藝或排液化工藝時，使預熱溫度與連續(xù)進行親液化工藝或排液化工藝的試料臺子856溫度一致為好。
于是，通過把基體832預熱到第一等離子處理室852、第二離子處理室853內(nèi)的試料臺子被升溫的溫度如70℃～80℃，這樣，即使是把多個基體進行連續(xù)的等離子處理，也可以保證處理剛開始和處理結束之前的等離子處理條件幾乎一定。由此，使基體832表面處理條件相同，可以實現(xiàn)對存儲單元部912組合物的濕潤性的均勻化，可以制造出具有一定質(zhì)量的顯示裝置。
另外，通過預熱基體832，可以縮短后面的等離子處理中的處理時間。
(2)-2活性化處理(親液化工藝)其次，在第一等離子處理室852中進行活性化處理?；钚曰幚戆ㄏ袼仉姌O911的功函數(shù)調(diào)整、控制、像素電極表面的清洗、像素電極表面的親液化工藝。
作為親液化工藝進行把空氣中的氧氣為處理氣體的等離子處理(O2等離子處理)。圖60是模式地表示第一等離子處理的圖。如圖60所示，包含存儲單元部912的基體832放置在內(nèi)部裝有加熱器的試料臺子856上面，與基體832的上面間隙距離為0.5～2nm，左右配置面向基體832的等離子放電電極857。基體832一邊被試料臺子856加熱，向圖示的箭頭方向按所定的速度輸送試料臺子856，在此期間對基板832照射等離子狀態(tài)的氧。
O2等離子處理條件為如等離子功率100～800KW、氧氣流量50～100ml/min、輸送速度0.5～10mm/sec、基體溫度70℃～90℃。另外，對試料臺子856的加熱是主要為了保溫已經(jīng)被加熱的基板832。
如圖61所示，由于該O2等離子處理，像素電極911的像素電極面911a、無機物存儲單元層912a的第一層疊部912e和有機物存儲單元層912b的上部開口部912d的壁面以及上面912f被親液化處理。由于該親液化處理，在這些面導入羥基而賦予親液性。
在圖61中以點劃線表示被親液化處理的部分。
另外，該O2等離子處理不僅賦予親液性，還可以兼作為如上所述的像素電極ITO的清洗和功函數(shù)的調(diào)整。
(2)-3排液處理工藝(排液化工藝)接著，在第二等離子處理室853中，作為排液化工藝，在大氣中以四氟甲烷為處理氣體進行等離子處理(CF4等離子處理)。第二等離子處理室853的內(nèi)部結構和圖60所示的第一等離子處理室852內(nèi)部結構相同。即，基板832一邊由試料臺子加熱，一邊按所定的輸送速度輸送，在此期間對基板832照射等離子狀態(tài)的四氟甲烷(四氟化碳)。
CF4等離子處理條件為例如等離子功率100～800KW、四氟甲烷流量50～100ml/min、基體輸送速度0.5～1020mm/sec、基體溫度70℃～90℃。另外，與第一等離子處理室852的情況相同，對試料臺子856的加熱是主要為了保溫已經(jīng)被加熱的基體832。
另外，處理氣體不限于四氟甲烷(四氟化碳)，可以利用氟代烴系的氣體。
如圖62所示，由于CF4等離子處理，上部開口部912d壁面和存儲單元部上面912f被排液化處理。通過該排液化處理，這些各面里導入氟基，賦予排液性。圖62中，利用雙點劃線表示排液性區(qū)域。構成有機物存儲單元層912b的丙烯樹脂、聚酰亞胺樹脂等的有機物被等離子狀態(tài)的氟代烴照射，容易變?yōu)榕乓夯Ａ硗?，利用O2等離子預處理的還容易被氟化的特點，因此本實施例中特別有效。
另外，像素電極911的電極面911a和無機物存儲單元層912a的第一層疊部912e也會受到CF4等離子處理的影響，但不會影響濕潤性。圖62中利用點劃線表示親液性區(qū)域。
(2)-4冷卻工藝接著，作為冷卻工藝，利用冷卻處理室854，為了把等離子處理而被加熱的基體832冷卻至管理溫度。這是為了冷卻至以后的液滴噴出工藝(功能層形成工藝)的管理溫度而進行的工藝。
該冷卻處理室854具有配置基體832的板，該板內(nèi)部裝有水冷裝置的結構，以便冷卻基體832。
另外，把等離子處理后的基體832冷卻至室溫或所定溫度(進行液滴噴出工藝的管理溫度)，在形成空穴注入/輸送層工藝中，基體832的溫度一定，可以在沒有基體832的溫度變化的均勻的溫度下，進行下一個工藝。因此，增加這樣的冷卻工藝，液滴噴出法等的噴出方法噴出的材料可以均勻。
例如，噴出包括用于形成空穴注入/輸送層材料的第一組合物時，可以把第一組合物一定容積、連續(xù)噴出，可以均勻形成空穴注入/輸送層。
上述的等離子處理工藝中，對材料性質(zhì)不同的有機物存儲單元層912b和無機物存儲單元層912a按順序進行O2等離子處理和CF4等離子處理的方法，可以在存儲單元部912上形成親液性區(qū)域和排液性區(qū)域。
另外，利用于等離子處理的等離子處理裝置不限于圖59所示的裝置，也可以利用圖63所示的等離子處理裝置860。
圖63所示的等離子處理裝置860由預加熱處理室861、第一等離子處理室862、第二等離子處理室863、冷卻處理室864和把基體832輸送的輸送裝置865所組成，各處理室861～865配置在輸送裝置865輸送方向兩側(cè)(圖中箭頭方向兩側(cè))的裝置。
該等離子處理裝置860和圖59所示的等離子處理裝置850相同，把形成存儲單元部工藝輸送的基體832按順序輸送到預加熱處理室861、第一等離子處理室862、第二等離子處理室863、冷卻處理室864，利用各處理室進行如上述相同的處理之后，把基體832輸送到下一個形成空穴注入/輸送層的工藝。
另外，上述等離子裝置不是大氣壓下的裝置，而可以利用真空下的等離子裝置。
(3)空穴注入/輸送層形成工藝(功能曾形成工藝)空穴注入/輸送層形成工藝中，作為液滴噴出，可以利用液滴噴出裝置來把包含空穴注入/輸送層形成材料的第一組合物噴出到電極面911a上。然后進行干燥處理和熱處理，在像素電極911和無機物存儲單元層912a上面形成空穴注入/輸送層910a。另外，在這里把形成空穴注入/輸送層910a的無機物存儲單元層912a稱為第一層疊部912e。
包括該空穴注入/輸送層形成工藝在內(nèi)的以后的工藝最好是在沒有水、氧氣的氣氛下進行為好。例如，氮氣氣氛、氬等惰性氣體氣氛下中進行為好。
另外，空穴注入/輸送層910a不是形成在第一層疊部912e上面的情形。即，只是在像素電極911上面形成空穴注入/輸送層的形態(tài)。
利用液滴噴出的制造方法如下。
本實施例顯示裝置制造方法所利用的最合適的液滴噴出頭，可以利用和上述圖23所示實施例頭部件420基本相同結構的頭部件920(參照圖64)還有，有關基體與上述頭部件920的配置，最好是配置成圖64所示那樣。
圖64所示的液滴噴出裝置，包括與圖23所示的基本相同結構的頭部件920。符號1115是裝載基體832的臺子，符號1116是把臺子1115向圖中的X軸方向(主掃描方向)導向的導軌。另外，頭部件920使保持部件1111介于中間由導軌1113導向，可以向圖中的Y軸方向(副掃描方向)移動，并且，頭部件920可以向圖中的θ軸方向轉(zhuǎn)動，使噴墨頭921相對主掃描方向傾斜所定的角度。
圖64所示的基體832是在母基板上配置多個芯片的結構。即，一個芯片區(qū)域相當于一個顯示裝置。這里，形成三個顯示區(qū)域832a，但不限于這些。例如，對基體832上面左側(cè)的顯示區(qū)域832a涂敷組合物時，通過導軌1113，使頭H向圖中的左側(cè)移動，與此同時，通過導軌1116使基體832向圖中的上面移動，在基體832上進行主掃描而進行涂敷。接著，使噴墨頭921移動到圖中的右側(cè)，對基體中央的顯示區(qū)域832a進行涂敷組合物。對于右端的顯示區(qū)域832a也如同上述。
另外，頭部件920和圖64所示的液滴噴出裝置不僅可以用于空穴注入/輸送層形成工藝，還可以利用于發(fā)光層形成工藝。
圖65表示噴墨頭921對基體832進行掃描的狀態(tài)。如圖65所示，噴墨頭921一邊沿著圖中的X軸方向相對移動，一邊噴出第一組合物，此時，噴嘴n的排列方向Z傾斜于主掃描方向(沿著X方向的方向)。這樣，利用噴墨頭921中的噴嘴n的排列方向Z傾斜于主掃描方向的方法，可以使噴嘴的節(jié)距對應于像素區(qū)域A的節(jié)距。另外，調(diào)整傾斜角度可以對應任何像素區(qū)域A的節(jié)距。
下面，說明使噴墨頭921進行掃描，在各像素區(qū)域A上形成空穴注入/輸送層910a的工藝。該工藝包括(1)使噴墨頭921一次掃描的方法、(2)使噴墨頭921掃描多次的方法并各掃描中利用多個噴嘴的方法、(3)使噴墨頭921掃描多次的方法并各掃描中利用別的噴嘴的方法等的三個工藝。下面按順序說明(1)～(3)的方法。
(1)使噴墨頭921一次掃描的方法圖66是噴墨頭921一次的掃描方法來在各像素區(qū)域A1上形成空穴注入/輸送層910a時的工藝的工藝圖。圖66(a)是噴墨頭921從圖65的位置沿著圖示的X方向掃描后的狀態(tài)，圖66(b)是噴墨頭921從圖66(a)所示的狀態(tài)沿著圖示的X方向僅僅掃描一點點的同時，向圖示的Y方向反向移位的狀態(tài)，圖66(c)是噴墨頭921從圖66(b)所示的狀態(tài)沿著圖示的X方向僅僅掃描一點點的同時，向圖示的Y方向移位的狀態(tài)。另外，圖69表示像素區(qū)域A和噴墨頭的剖面模式圖。圖66中表示設在噴墨頭921一部分的符號為n1a～nb3表示的六個噴嘴。六個噴嘴中的n1a、n2a、n3a三個噴嘴是配置在噴墨頭921沿著圖示的X方向移動時，使其分別位于各像素區(qū)域A1～A3，剩余的nb1、nb2、nb3三個噴嘴是配置在噴墨頭921沿著圖示的X方向移動時，使其分別位于各像素區(qū)域A1～A3之間的位置。
圖66(a)中，形成在噴墨頭921的各噴嘴中，從三個噴嘴n1a、n2a、n3a向像素區(qū)域A1～A3噴出包含空穴注入/輸送層形成材料的第一組合物。另外，本實施例中是利用噴墨頭921的掃描來噴出第一組合物，但掃描基體832的方法也是可以的。還可以利用噴墨頭921和基體832相對移動的方法使第一組合物噴出。另外，以下利用液滴噴出頭的工藝中，該點上也是相同的。
利用噴墨頭921的噴出如下。即，如圖66(a)和圖69所示，把形成在噴墨頭921噴嘴n1a～n3a配置在面向電極面911a，從噴嘴n1a～n3a噴出最初的第一組合物的液滴910c1。像素區(qū)域A1～A3由像素電極911和劃分該像素電極911周圍的存儲單元部912所組成，對這些像素區(qū)域A1～A3從噴嘴n1a～n3a控制其一個液滴噴出最初的第一組合物的液滴910c1。
接著，如圖66(b)所示，使噴墨頭921向圖示的X方向掃描一點點的同時，向圖示的Y方向的相反方向移位的方法，使噴嘴n1b～n3b位于各像素區(qū)域A1～A3位置。并各噴嘴n1b～n3b向各像素區(qū)域A1～A3噴出第二滴的第一組合物的液滴910c2。
進而如圖66(c)所示，使噴墨頭921向圖示的X方向掃描一點點的同時，向圖示的Y方向移位的方法，使噴嘴n1b～n3b再度位于各像素區(qū)域A1～A3位置。于是，各噴嘴n1a～n3a向像素區(qū)域A1～A3噴出第三滴的第一組合物的液滴910c3。
這樣，使噴墨頭921一邊向圖示的X方向掃描的同時，向圖示的Y方向移位一點點的方法，對一個像素區(qū)域A利用兩個噴嘴按順序噴出第一組合物的液滴。對一個像素區(qū)域A噴出的液滴的滴數(shù)可以6～20滴范圍，但是該滴數(shù)根據(jù)像素的面積而變化，滴數(shù)或多或少沒有關系。噴到各像素區(qū)域(電極面911a上)的第一組合物的全部量由下部、下部開口部912c、912d、需要形成的空穴注入/輸送層的厚度、第一組合物的空穴注入/輸送層形成材料所決定。
這樣，一次的掃描來形成空穴注入/輸送層時，每一次噴出第一組合物就進行轉(zhuǎn)換噴嘴，對各像素區(qū)域A1～A3由兩個噴嘴噴出第一組合物，因此，比以往的對一個像素區(qū)域A利用一個噴嘴多次噴出的情形，噴嘴之間的噴出量不均勻互相消除，因此，可以使各像素電極911中的第一組合物的噴出量的不均勻變小，可以形成相同膜厚的空穴注入/輸送層。由此，可以保持每一個像素的一定發(fā)光量，可以制造顯示質(zhì)量優(yōu)越的顯示裝置。
(2)多次進行噴墨頭921的掃描并各掃描中利用多個噴嘴的方法圖67是表示利用噴墨頭921的三次掃描來對各像素區(qū)域A1…形成空穴注入/輸送層910a時的工藝圖。圖67(a)是表示噴墨頭921第一次掃描后的狀態(tài)，圖67(b)是表示第二次掃描后的狀態(tài)，圖42(c)第三次掃描后的狀態(tài)。
第一次掃描中，圖66所示的噴墨頭921中各噴嘴中的噴嘴n1a～n3a對各像素區(qū)域A1～A3噴出第一組合物的最初的液滴910c1，還使噴墨頭921向副掃描方向移位一點點，使噴嘴n1b～n3b面向像素區(qū)域A1～A3噴出第二滴的第一組合物的液滴910c2。由此，如圖67(a)所示，各像素區(qū)域A1～A3上噴出兩個液滴910c1、910c2。各液滴910c1、910c2可以如圖67(a)所示互相隔一定間隔噴出，也可以重復噴出。
接著的第二次掃描中，和第一次掃描同樣，使噴嘴n1a～n3a面向像素區(qū)域A1～A3，噴出第一組合物的第三滴液滴910c3，還使噴墨頭921向副掃描方向移位一點點使噴嘴n1b～n3b噴出第四滴液滴910c4。由此，如圖67(b)所示，各像素區(qū)域A1～A3還噴出兩個液滴910c3、910c4。另外，如圖67(b)所示，第三和第四液滴910c3、910c4可以不重疊于910c1、910c2，也可以重疊于910c1、910c2。
還在第三次掃描中，和第一和第二掃描同樣，使噴嘴n1a～n3a面向各像素區(qū)域A1～A3噴出第五滴的第一組合物的液滴910c5，進而使噴墨頭921向副掃描方向移位一點點從噴嘴n1b～n3b噴出第六滴的第一組合物的液滴910c6。由此，如圖67(c)所示，在各像素區(qū)域A1～A3上還噴出兩個液滴910c5、910c6。另外，如圖67(c)所示，第五和第六液滴910c5、910c6可以不重疊于液滴910c1～910c4，也可以重疊于液滴910c1～910c4。
這樣，多次的掃描來形成空穴注入/輸送層時，各掃描中進行噴嘴的轉(zhuǎn)換，對各像素區(qū)域A1～A3各自兩個噴嘴噴出第一組合物，因此，和以往的對一個像素區(qū)域A利用一個噴嘴多次噴出的情形相比，噴嘴間的噴出量不均勻互相消除，各像素電極911…中的第一組合物的噴出量不均勻變小，可以形成相同膜厚的空穴注入/輸送層。由此，每一個像素的發(fā)光量可以保持一定，可以制造出顯示質(zhì)量優(yōu)越的顯示裝置。
(3)多次進行噴墨頭921的掃描并每一次掃描中利用別的噴嘴的方法。
圖68是表示噴墨頭921的兩次掃描來在各像素區(qū)域A1～A3形成空穴注入/輸送層910a時的工藝的工藝圖。圖68(a)是表示噴墨頭921第一次掃描后的狀態(tài)，圖68(b)是表示第二次掃描后的狀態(tài)，圖68(c)是第一次掃描、第二次掃描后的別的狀態(tài)。
在第一次掃描中，使圖66所示的噴墨頭921的各噴嘴中的噴嘴n1a～n3a面向各像素區(qū)域A1～A3，按順序噴出最初的液滴910c1、第二滴的液滴910c2、第三滴的液滴910c3。由此，如圖66(a)所示，在各像素區(qū)域A1～A3上噴出液滴910c1、910c2、910c3。各液滴910c1、910c2、910c3可以如圖68(a)所示一樣，隔一定間隔噴出，也可以互相重疊噴出。
其次，第二次的掃描中，使噴墨頭921向副掃描方向移位一點點使噴嘴n1b～n3b面向各像素區(qū)域A1～A3，按順序噴出第一組合物的第四、第五、第六滴的液滴910c4、910c5、910c6。由此，如圖68(b)所示，在各像素區(qū)域A1～A3上還噴出三個液滴910c4、910c5、910c6。另外，如圖68(b)所示，第四～第六液滴910c4、910c5、910c6可以填充第一～第三液滴910c1～910c3之間，也可以是重疊于第一～第三液滴910c1～910c3。
還有，圖68(c)是表示第一次掃描、第二次掃描后的別的狀態(tài)。圖68(c)中，掃描次數(shù)為兩次，在第一次掃描中噴出第一～第三液滴，在第二次掃描中使噴墨頭921移位后，利用別的噴嘴噴出第四～第六液滴的一點上和圖68(a)、圖68(b)所示的情形相同。和圖68(a)、圖68(b)之間的不同點是各個液滴的噴出位置不同。即在圖68(c)中，在第一次掃描中噴出各像素區(qū)域A1～A3的圖中的下半部區(qū)域液滴910c1～910c3，在第二次掃描中噴出各像素區(qū)域A1～A3的圖中的上半部區(qū)域液滴910c4～910c6。
另外，圖67和圖68中，對一個像素區(qū)域A噴出的液滴的滴數(shù)分別為六滴，但可以是6～20滴的范圍，該范圍可以根據(jù)像素的面積可以改變，在該范圍內(nèi)或多或少均可以。噴出在各像素區(qū)域(電極面911a)的第一組合物的全部量由下部開口部912c的大小、上部開口部912d的大小、要形成的空穴注入/輸送層的厚度、第一組合物中的空穴注入/輸送層形成材料所決定。
這樣，多次掃描來形成空穴注入/輸送層時，每一次掃描中進行噴嘴轉(zhuǎn)換，對各像素區(qū)域A1～A3各自兩個噴嘴噴出第一組合物，因此，和以往的對一個像素區(qū)域A利用一個噴嘴的多次噴出相比，噴嘴間的噴出量不均勻可以互相消除，所以各像素電極911…的第一組合物的噴出量不均勻變小，可以形成相同膜厚的空穴注入/輸送層。由此，每一個像素的發(fā)光量可以保持一定，可以制造出顯示質(zhì)量優(yōu)越的顯示裝置。
另外，多次進行噴墨頭921的掃描時，使噴墨頭921的掃描方向每一次相同方向或方向相反也可以。
如圖69所示，從噴墨頭921噴出的第一組合物的液滴910c，最終擴展在親液處理的電極面911a和第一層疊部912e上面，而充填下部開口部912c內(nèi)部、上部開口部912d內(nèi)部。即使是第一組合物的液滴910c偏離所定的噴出位置噴在上表面912f，上表面912f也不會被第一組合物的液滴910c濕潤，被排斥的第一組合物的液滴910c可以滑進下部開口部912c內(nèi)部、上部開口部912d內(nèi)部。
這里作為利用的第一組合物可以是把聚乙烯二羥基噻吩(PEDOT)等的聚噻吩衍生物和聚苯乙烯磺酸(PSS)等的混合物溶解在極性溶劑的組合物。作為極性溶劑可以舉例乙丙醇(IPA)、正丁醇、γ-丁內(nèi)酯、N-甲基吡咯烷酮(NMP)、1，3-二甲基-2-咪唑啉酮(DMI)和其衍生物、乙酸卡必醇酯、乙酸卡必醇丁酯等的乙二醇酯類。
作為更具體的第一組合物的組成有PEDOT/PSS混合物(PEDOT/PSS＝1∶20)22.4重量％、PSS1.44重量％、IPA10重量％、NMP27.0重量％、DMI50重量％的組合物。另外，第一組合物的粘度為2～20CPs為好，尤其是4～12cPs程度為好。
利用上述的第一組合物，H2不會發(fā)生堵塞，可以穩(wěn)定噴出。
另外，空穴注入/輸送層形成材料對紅(R)、綠(G)、蘭(B)各發(fā)光層910b1～910b3利用相同的材料，也可以對每一個發(fā)光層改變。
接著，進行圖70所示的干燥工藝。由于進行干燥工藝，對噴出后的第一組合物進行干燥處理，蒸發(fā)包含在第一組合物的極性溶劑，形成空穴注入/輸送層。
進行干燥處理，則包含在第一組合物的液滴910c的極性溶劑的蒸發(fā)主要發(fā)生在無機物存儲單元層912a和有機物存儲單元層912b附近，隨著極性溶劑的蒸發(fā)，空穴注入/輸送層形成材料濃縮而析出。
如圖70所示，由此在第一層疊部912e上面形成由空穴注入/輸送層形成材料所組成的邊緣部910a2。該邊緣部910a2密接在上部開口部912d的壁面(有機物存儲單元層912b)，其厚度在靠近電極面911a的一側(cè)變薄，離開電極面911a的一側(cè)即靠近有機物存儲單元層912b一側(cè)變厚。
另外，與此同時，由于干燥處理，電極面911a上面也發(fā)生極性溶劑的蒸發(fā)，由此，在電極面911a上面形成由空穴注入/輸送層形成材料所組成的平坦部910a1。因為在電極面911a上面的極性溶劑的蒸發(fā)速度幾乎相同，空穴注入/輸送層形成材料均勻濃縮在電極面911a上面，由此形成均勻厚度的平坦部910a1。
這樣，形成由邊緣部910a2和平坦部910a1所組成的空穴注入/輸送層910a。
另外，空穴注入/輸送層不在邊緣部910a2形成而只形成在電極面911a的形態(tài)也是可以的。
上述的干燥處理在氮氣氣氛下、室溫下、壓力為133.3～13.3Pa(1～0.1Torr)下進行。如果急劇下降壓力，則第一組合物的液滴910c突然蒸發(fā)，因此，不是理想的。另外，如果溫度為高溫，則極性溶劑的蒸發(fā)速度大，不能形成平坦的膜。因此，最好是30℃～80℃范圍為好。
干燥處理后，在氮氣中、最好是在真空中、200℃下加熱進行10分鐘的熱處理，以去除殘留在空穴注入/輸送層910a內(nèi)部的極性溶劑或水。
上述的形成空穴注入/輸送層的工藝中，噴出的第一組合物的液滴910c充滿在下部開口部912c、上部開口部912d內(nèi)部，在排液性處理的有機物存儲單元層912b，第一組合物被排斥滾進下部開口部912c、上部開口部912d內(nèi)部。由此，可以把第一組合物的液滴910c必定充填在下部開口部912c、上部開口部912d內(nèi)部，可以在電極面911a上面形成空穴注入/輸送層910a。
另外，根據(jù)上述的空穴注入/輸送層形成工藝，因為每一個像素區(qū)域A上最初噴出的第一組合物的液滴910c1接觸于有機物存儲單元層912b的壁面912h，該液滴從壁面912h滾進第一層疊部912e和電極面911a，因此，可以把第一組合物的液滴910c優(yōu)先擴展在像素電極911的周圍，可以均勻涂敷第一組合物，由此可以形成均勻膜厚的空穴注入/輸送層910a。
(4)發(fā)光層形成工藝發(fā)光層形成工藝由表面改質(zhì)工藝、發(fā)光層形成材料噴出工藝和干燥工藝所組成。
首先，為了進行空穴注入/輸送層910a表面的表面改質(zhì)，進行表面改質(zhì)工藝。對于該工藝下面詳細敘述。其次，和上述的空穴注入/輸送層形成工藝同樣，利用滴液噴出法在空穴注入/輸送層910a上面噴出第二組合物。然后，把噴出的第二組合物進行干燥處理(和熱處理)，在空穴注入/輸送層910a上面形成發(fā)光層910b。
作為發(fā)光層形成工藝，利用液滴噴出法，在空穴注入/輸送層910a上面噴出包含發(fā)光層形成材料的第二組合物之后，進行干燥處理，在空穴注入/輸送層910a上面形成發(fā)光層910b。
圖71表示液滴噴出方法的大體情況。如圖46所示，使噴墨頭431與基體832相對移動，形成在噴墨頭的噴嘴噴出包含各色的(例如這里為蘭色(B))發(fā)光層形成材料的第二組合物。
噴出時，使噴出噴嘴面向位于下部開口部912c、上部開口部912d內(nèi)部的空穴注入/輸送層910a，一邊使噴墨頭431與基體832相對移動，一邊噴出第二組合物。從噴出噴嘴所噴出的噴出量被控制在相當于一滴的液體量。這樣，液體量被控制的液滴(第二組合物的液滴910e)從噴嘴噴出，把該第二組合物的液滴910e噴在空穴注入/輸送層910a上面。
發(fā)光層形成工藝和空穴注入/輸送層形成工藝同樣，對一個像素區(qū)域利用多個噴嘴噴出第二組合物。
即，和圖66、圖67和圖68的情形同樣，使噴墨頭921進行掃描，在各個空穴注入/輸送層910a上面形成發(fā)光層910b。該工藝中有(4)噴墨頭921進行一次掃描來形成的方法、(5)噴墨頭921多次進行掃描并每一次掃描中利用多個噴嘴的方法、(6)噴墨頭921多次進行掃描并每一次掃描中利用別的噴嘴的方法等的三個工藝。下面，簡單說明(4)～(6)的方法。
(4)噴墨頭921進行一次掃描來形成的方法該方法中，和圖66情形同樣，利用噴墨頭921的一次掃描的方法，在像素區(qū)域(空穴注入/輸送層910a上面)形成發(fā)光層。即，和圖66(a)同樣，使噴墨頭921的噴嘴n1a～n3a排列成面向各個空穴注入/輸送層910a，從噴嘴n1a～n3a噴出最初的第二組合物液滴。接著，和圖66(b)同樣，使噴墨頭921向主掃描方向掃描一點點的同時，向副掃描方向相反方向移位的方法，使噴嘴n1b～n3b位于各個空穴注入/輸送層910a上面位置，各個噴嘴n1b～n3b噴出第二滴的第二組合物液滴。進而，和圖66(c)同樣，使液滴噴出頭H5向主掃描方向掃描一點點的同時，向副掃描方向移位的方法，使噴嘴n1a～n3a再度位于空穴注入/輸送層910a上面，從各個噴嘴n1a～n3a向空穴注入/輸送層910a上面噴出第三滴的第二組合物液滴。
這樣，使噴墨頭921沿著主掃描方向掃描的同時，沿著副掃描方向移位一點點的方法，兩個噴嘴對一個像素區(qū)域A(空穴注入/輸送層910a)按順序噴出第二組合物的液滴。對一個像素區(qū)域噴出的液滴的數(shù)目可以是6～20滴范圍，但該范圍根據(jù)像素的面積可以變化，該范圍或多或少均可以。噴在各個像素區(qū)域(空穴注入/輸送層910a)的第二組合物的全部量由下部開口部912c、上部開口部912d的大小、要形成的發(fā)光層的厚度、第二組合物的發(fā)光層形成材料濃度所決定。
這樣，一次掃描來形成發(fā)光層時，每一次噴出第二組合物進行噴嘴的轉(zhuǎn)換，利用兩個噴嘴對像素區(qū)域噴出第二組合物，因此，和以往的利用一個噴嘴對一個像素區(qū)域多次噴出的方法相比，噴嘴之間的噴出量不均勻可以互相消除，各個像素區(qū)域中的第二組合物噴出量不均勻可以變小，可以形成相同膜厚的發(fā)光層。由此，每一個像素的發(fā)光量可以保持一定，可以制造出顯示質(zhì)量優(yōu)越的顯示裝置。
(5)多次進行噴墨頭921的掃描并每一次掃描中利用多個噴嘴的方法該方法中，首先和圖67(a)同樣，作為第一次掃描，把噴嘴n1a～n3a面向各個像素區(qū)域噴出最初的第二組合物的液滴，進而使噴墨頭921向副掃描方向移位一點點，使噴嘴n1b～n3b面向各個像素區(qū)域噴出第二滴的第二組合物液滴。由此，和圖67(a)同樣，各像素區(qū)域上面噴出兩滴的第二組合物液滴。如圖67(a)所示，各液滴可以隔一定間隔噴出，也可以重疊噴出。
其次的第二次掃描中，和第一次掃描同樣，使噴嘴n1a～n3a面向各個像素區(qū)域，噴出第三滴的第二組合物的液滴，進而使噴墨頭921向副掃描方向移位一點點，使噴嘴n1b～n3b噴出第四滴的第二組合物液滴。由此，如圖67(b)同樣，各像素區(qū)域上還噴出兩滴液滴。另外，第三和第四液滴可以不重疊于第一和第二液滴，也可以重疊于第一和第二液滴。
第三次的掃描，和第一、第二次的掃描同樣，使噴嘴n1a～n3a面向各個像素區(qū)域，噴出第五滴的第二組合物的液滴，進而使噴墨頭921向副掃描方向移位一點點，使噴嘴n1b～n3b面向各個像素區(qū)域噴出第六滴的第二組合物液滴。由此，和如圖67(c)同樣，各像素區(qū)域上還噴出兩滴液滴。另外，第五和第六液滴可以不重疊于其他液滴，也可以重疊于其他液滴。
這樣，多次掃描來形成發(fā)光層時，因為各掃描中進行噴嘴的轉(zhuǎn)換，對各像素區(qū)域利用各自的噴嘴噴出第二組合物，和以往的對一個像素區(qū)域利用一個噴嘴多次噴出相比，噴嘴之間的噴出量不均勻互相消除，因此，第二組合物的噴出量不均勻變小，每一個像素發(fā)光量可以保持一定，可以制造出顯示質(zhì)量優(yōu)越的顯示裝置。
(6)多次進行噴墨頭921的掃描并每一次掃描中利用別的噴嘴的方法該方法中，首先和圖68(a)同樣，第一次掃描中，使噴墨頭921的噴嘴n1a～n3a面向各個像素區(qū)域噴出最初的和第二、第三滴的第二組合物的液滴。由此，和圖68(a)同樣，各像素區(qū)域上噴出三滴的液滴。各個液滴和圖68(a)同樣，可以隔一定間隔噴出，也可以重疊噴出。
其次，在第二次掃描中，使噴墨頭921向副掃描方向移位一點點，使噴嘴n1b～n3b面向各個像素區(qū)域按順序噴出第四、第五、第六滴液滴。由此，和圖68(b)同樣，在各個像素區(qū)域還噴出三滴的液滴。另外，第四～第六液滴可以充填第一～第三液滴之間，也可以重疊于第一～第三液滴。
還有，作為別的方法，和圖68(c)同樣，利用第一次掃描向各個像素區(qū)域的一半?yún)^(qū)域噴出液滴，利用第二次的掃描向各個像素區(qū)域的另一半?yún)^(qū)域噴出液滴。
另外，對一個像素區(qū)域的噴出第二組合物液滴的滴數(shù)分別為六滴，但可以是6～20滴的范圍，另外，該范圍根據(jù)像素的面積而變化，比該范圍或多或少均可以。向各像素區(qū)域(空穴注入/輸送層910a)噴出的第二組合物的全部量根據(jù)下部開口部912c大小、上部開口部912d大小、要形成的發(fā)光層的厚度、第二組合物中的發(fā)光層形成材料濃度所決定。
這樣，多次掃描的方法形成發(fā)光層時，因為每一次掃描中進行噴嘴的轉(zhuǎn)換，對各個像素區(qū)域利用各自的兩個噴嘴噴出第二組合物，和以往的對一個像素區(qū)域利用一個噴嘴的多次噴出相比，噴嘴之間的噴出量不均勻互相消除，因此，各個像素區(qū)域中的第二組合物噴出量不均勻變小，可以相同的膜厚形成發(fā)光層。由此，每一個像素的發(fā)光量可以保持一定，可以制造出顯示質(zhì)量優(yōu)越的顯示裝置。
另外，多次進行噴墨頭921的掃描時，和空穴注入/輸送層形成工藝同樣，噴墨頭921的掃描方向可以是每一次相同方向，也可以是每一次相反。
還有，作為發(fā)光層發(fā)光層910b的材料，例如，可以使用聚芴衍生物、聚苯撐衍生物、聚乙烯咔唑、聚噻吩衍生物、或這些高分子材料里滲雜紫蘇烯色素、香豆素系色素、紅丹系色素，例如紅熒素、紫蘇烯、9，10-聯(lián)二苯蒽、四苯基丁二烯、尼羅紅、香豆素6、喹吖酮等。
作為非極性溶劑，最好是不溶于空穴注入/輸送層910a的，可以利用如環(huán)己苯、二氫苯呋喃、三甲苯、四甲基對苯等。
由于利用這樣的非極性溶劑作為發(fā)光層910b的第二組合物，不溶解空穴注入/輸送層910a而可以涂敷第二組合物。
如圖71所示，噴出的第二組合物液滴910e擴散在空穴注入/輸送層910a上面，充滿下部開口部912c、上部開口部912d內(nèi)部。另一方面，排液處理的上面912f中，第一組合物液滴910e從所定的噴出位置被排斥，即使是噴在上面912f，上面912f，也不會被第二組合物液滴910e濕潤，而滾進下部開口部912c、上部開口部912d內(nèi)部。
接著，結束第二組合物的所定位置的噴出之后，對噴出后的第二組合物進行干燥處理，形成發(fā)光層910b3。即，利用干燥的方法蒸發(fā)包含在第二組合物的非極性溶劑，形成如圖72所示的發(fā)出蘭色(B)光的發(fā)光層910b3。另外，圖72中，只表示發(fā)出蘭色(B)光的一個發(fā)光層，但是從圖55或其他圖中可以清楚地看出一樣，原來是發(fā)光元件按矩陣狀形成的，形成有圖中未示的多個發(fā)光層(對應于蘭色)。
如圖73所示，接著利用上述的形成蘭色(B)發(fā)光層910b3的方法相同的工藝，形成紅色(R)發(fā)光層910b1，最后形成綠色(G)發(fā)光層910b12。
另外，發(fā)光層910b的形成順序不限于上述順序，怎樣的順序都可以。如根據(jù)發(fā)光層形成材料決定形成順序。
還有，發(fā)光層的第二組合物干燥條件是蘭色910b3的情況下，例如在氮氣氣氛下、室溫、壓力為133.3～13.3Pa(1～0.1Torr)左右下進行5～10分鐘。如果壓力過低，第二組合物突然蒸發(fā)，因此，不夠理想。另外，溫度為高溫，則非極性溶劑的蒸發(fā)速度增大，發(fā)光層形成材料大量附著在上部開口部912d壁面，因此不夠理想。最好是30℃～80℃范圍。
在綠色發(fā)光層910b2和紅色發(fā)光層b1的情形，因為發(fā)光層形成材料的成分較多，因此，最好是盡快干燥，例如40℃，吹氮氣5～10分鐘進行干燥。
作為其他的干燥方法可以利用遠紅外照射法、高溫氮氣吹出法等。
這樣，像素電極911上形成空穴注入/輸送層910a和發(fā)光層910b2。
(5)面向電極(陰極)的形成工藝如圖74所示，面向電極的形成工藝中，在發(fā)光層910b和有機物存儲單元層912b全面上形成陰極842(面向電極)。另外，陰極842可以利用疊層多個材料的方法形成。例如，靠近發(fā)光層的一側(cè)上，最好是利用功函數(shù)小的材料形成，例如可以利用Ca、Ba等材料，另外，根據(jù)材料有時也可以在下層形成薄的LiF。另外，上部一側(cè)(密封一側(cè))可以利用功函數(shù)高于下部一側(cè)的(功函數(shù))材料如用Al形成。
這些陰極842最好是利用蒸鍍法、濺射法、CVD法形成，尤其利用蒸鍍法形成的，具有可以防止由于熱引起的發(fā)光層910b損傷，因而是好的。
另外，氟化鋰可以只形成在發(fā)光層910b上面，而且可以對應所定的顏色而形成。例如只形成在蘭色(B)發(fā)光層910b3上面也可以。此時，使其他的紅色(R)發(fā)光層910b1和綠色(G)發(fā)光層910b2接觸于由鈣組成的上部陰極層12b。
陰極842的上面最好是通過蒸鍍法、濺射法、CVD法等方法形成Al膜、Ag膜。其厚度如100～1000nm范圍，尤其是200～500nm左右為理想。另外，還可以在陰極842上形成防止氧化的SiO2、SiN保護層。
(6)密封工藝最后的密封工藝是利用密封樹脂密封已形成發(fā)光元件的基體832和密封基板3b的工藝。例如，熱固性樹脂或紫外線固化樹脂組成的密封樹脂3a涂敷在基體832的全面，在密封樹脂3a上面疊放密封基板3b。由這樣的工藝在基體832上面形成密封部33。
密封工藝最好是在氮氣、氬、氦等的惰性氣體氣氛下進行。如果在大氣中進行，則在陰極842上產(chǎn)生氣孔等的缺陷時，水或氧氣從該缺陷侵入到陰極842而有氧化的可能，因此不好。
另外，還把陰極842連接在圖55例示的基板5的配電線35a的同時，把電路元件部44的配電線連接在驅(qū)動IC36，可以獲得本實施例的顯示裝置31。
在該實施例中，實施和上述的各實施例相同的噴墨方式，可以獲得同樣的效果。還有，選擇涂敷功能性液狀體時，對一個功能層利用多個噴嘴噴出液狀體，所以噴嘴間的噴出量不均勻互相消除，各個電極間的創(chuàng)建物質(zhì)量的不均勻變小，可以使各個功能層厚度整齊。由此，每一個像素的發(fā)光量均勻化，可以制造出顯示質(zhì)量優(yōu)越的顯示裝置。
(其他實施例)在上面，以理想的實施例來說明了本發(fā)明，但是本發(fā)明不限于上述的各個實施例，包括如下的變型，在達到本發(fā)明目的的范圍，可以設定其他的任何一種的具體的構造和形狀。
即，如圖9和圖10所示的彩色濾光片制造裝置中，通過使噴墨頭22向主掃描方向X方向移動而在母基板12上進行掃描，副掃描驅(qū)動裝置21移動母基板12的方法進行噴墨頭22對母基板12的掃描；但也可以與此相反，利用母基板12的移動進行主掃描，利用噴墨頭22的移動來進行副掃描。還可以不移動噴墨頭22而移動母基板12或使兩者相對反方向移動等的，至少相對移動任何一方的方法，使噴墨頭22沿著相對于母基板12表面移動的方法均可以。
另外，上述的實施例中，采用了壓電元件的彎曲變形來噴出墨水結構的噴墨頭421，但可以采用其他的任意結構的噴墨頭，例如利用加熱發(fā)生的發(fā)泡來噴出墨水方式的噴墨頭也是可以的。
還有，圖22至圖32的實施例中，作為噴墨頭421，把噴嘴466等間隔、近似直線上排列兩列的情形來說明，但是不限于兩列，可以是多列。另外，不是等間隔、不在直線上排列也是可以的。
還有，液滴噴出裝置16、401不限于制造彩色濾光片1、液晶裝置101、EL裝置201的制造，也可以利用于制造FED(域發(fā)射顯示)等的電子放射裝置、PDP(等離子顯示板)、電氣遷移裝置即把包含電荷粒子的功能性液狀體墨水噴在各個像素隔壁間的凹部，上下夾持各個像素而排列的電極間施加電壓，使帶電荷粒子向電極一側(cè)偏向而顯示各個像素的裝置、薄形顯象管、CTR(陰極線管)顯示器等的具有基板，在其上面區(qū)域形成所定的層工藝的各種各樣的光電裝置的制造。
本發(fā)明的裝置和方法，包括光電裝置的具有基板(基體)的器件，可以利用于包含向其基體材料上面噴出液滴工藝的各種器件的制造工藝。例如，為了形成打印電路基板的配電線，利用噴墨方式把液狀金屬或?qū)щ姴牧?、含有金屬涂料等噴出而形成金屬電線；把構成燃料電池的電極、離子傳導膜，利用噴墨方式噴出而形成；利用噴墨方式的噴出來形成基體材料上的微細物鏡的光學部件；利用噴墨方式噴出基板上涂敷的抗蝕劑，以使其只涂敷在必要部分的結構；利用噴墨方式的噴出，在塑料等的透光性基板上形成使光散射的凸部或微小白模式的光散射板；試藥檢查裝置中，利用噴墨方式向DNA(脫氧核酸核糖)芯片上矩陣狀排列的脈沖點的上面噴出RNA(核糖核酸)，而制作熒光標識測頭，以在DNA芯片上雜交等；利用噴墨方式向基體材料上劃分的點狀位置上面噴出試料或抗體、DNA而形成生物芯片的場合。
另外，液晶裝置101也可以適用于如下場合即在像素具備TFT等的晶體管或TFD有源元件的有源矩陣液晶板等，形成包圍像素電極的隔壁6，并在該隔壁6中形成的凹部里利用噴墨方式噴出墨水方法來形成彩色濾光片1的場合；利用噴墨方式向像素電極上面噴出作為墨水的顏色材料和導電材料的混合物，以在像素電極上形成作為導電性彩色濾光片的彩色濾光片1的場合；利用噴墨方式的噴出形成為了保持基板間間隙的隔板的微粒的場合等構成液晶裝置101的光電系統(tǒng)的任一部分。
還有，不限于彩色濾光片1，還可以適用于EL裝置201等的其他的任何光電裝置，作為EL裝置201，可以適用于對應于R、G、B三色的EL按帶狀形成的帶狀型或如上所述的具有對每一個像素可以控制通過發(fā)光層電流的晶體管的有源矩陣型顯示裝置或適應于無源(深測)矩陣型等。
還有，作為安裝上述各實施例光電裝置的電子器械，不限于如圖50所示的個人計算機490，還有圖51所示的手機、PHS(個人手機系統(tǒng))等的攜帶電話、電子手冊、尋呼機、POS(銷售點)終端、IC卡、微型光碟機、液晶投影儀、工程師工作站(Engineering Worv Scaition EWS)、文字處理器、電視、尋象機型或直觀型顯示器的錄象機、臺式電子計算機、光矯正器、具有觸發(fā)板的裝置、手表、游戲機等各種電子器械。
另外，例如在噴墨頭22上排列三列以上的噴嘴466，沿著掃描方向X的假想的直線上排列多個噴嘴466時，至少從兩個以上的噴嘴466噴出就可以。
另外，本發(fā)明中，位于噴墨頭22相對掃描方向假想直線上的多個噴嘴466沒有必要以相同的開口狀態(tài)位于假想直線上，而是假想直線上的噴嘴466開口部分交叉，也可以認為位于直線上。即，一個噴嘴466在偏于開口右側(cè)上交叉于假想直線，而其他噴嘴466在偏于開口左側(cè)上交叉于假想直線也是可以的。
即使是那樣偏離，偏離噴出的液滴溢出部分在以后工藝中有去除工藝，就沒有問題；即那樣偏離可能在以下情形下發(fā)生在被噴出物的預定地點噴出區(qū)域變寬，或不是預定噴出地點的部分被疏水處理而由于預定地點的疏水作用使偏離預定地點的液滴移動，或預定噴出地點被親水處理而使偏離的液滴移動，或預定噴出地點的境界上形成隔壁或預定地點形成凹部而是偏離的液滴移動到槽內(nèi)。但是最好是位于假想直線上的多個噴嘴其開口實質(zhì)性地相同形狀交叉于其直線上。
另外，本發(fā)明中，除了排列在噴墨頭421端部所定區(qū)域的非噴出噴嘴以外，位于中央?yún)^(qū)域的噴嘴群中也可以設定非噴出噴嘴。即，使頭部466傾斜，掃描方向上的噴嘴466的排列節(jié)距近似等于被噴出物預定噴出地點的排列節(jié)距、或整數(shù)倍關系時，可以把位于不合預定噴出地點的噴嘴466設定為非噴出噴嘴。例如，除了噴嘴列端部區(qū)域以外的中央?yún)^(qū)域中，也可以設定隔一個或隔兩個等的噴出噴嘴節(jié)距。至于非噴出噴嘴可以通過驅(qū)動它的壓電振子的個別驅(qū)動來控制。
另外，同樣把噴墨頭22排列三列以上，噴墨頭22的多個噴嘴位于沿著掃描方向X的直線上時，至少使兩個以上噴嘴466噴出就可以。
其他，實施本發(fā)明時的具體的構造和順序，只要可以達到本發(fā)明目的范圍的另外結構或順序均可以。
權利要求
1.一種光電裝置，包括設有多個電極的基板和對應于所述電極設在該基板上的多個EL發(fā)光層，其特征在于設有噴出含EL發(fā)光材料的液狀體的多個噴嘴的一個以上液滴噴出頭，使具有噴嘴的面面向所述基板的狀態(tài)下，相對于所述基板移動的同時，設在所述一個以上液滴噴出頭的噴嘴中的位于沿著所述相對移動方向的至少兩個以上不同的噴嘴對所述基板上面所定的同一像素位置噴出所述液狀體，而形成所述EL發(fā)光層。
2.一種包括基板和具有形成在該基板的不同顏色的彩色濾光片的光電裝置，其特征在于設有噴出含所定顏色濾光元件材料液狀體的多個噴嘴的一個以上液滴噴出頭，使具有噴嘴的面面向所述基板的狀態(tài)下，相對于該基板移動的同時，設在所述一個以上液滴噴出頭的噴嘴中的位于沿著所述相對移動方向的至少兩個以上不同的噴嘴對所述基板上面所定的同一位置噴出所述液狀體，而形成所述彩色濾光片。
3.一種使基板上面呈現(xiàn)不同顏色而形成在基板的彩色濾光片，其特征在于設有噴出包含所定顏色濾光元件材料液狀體的多個噴嘴的一個以上液滴噴出頭，使具有噴嘴的面面向所述基板的狀態(tài)下，相對于該基板移動的同時，設在所述一個以上液滴噴出頭的噴嘴中的位于沿著所述相對移動方向的至少兩個以上不同的噴嘴，對所述基板上面所定的同一位置噴出所述液狀體，而形成彩色濾光片。
4.一種噴出方法，其特征在于使具有噴出流動性液狀體的多個噴嘴的一個以上液滴噴出頭面向被噴出物的狀態(tài)下相對于所述被噴出物移動，設在所述一個以上液滴噴出頭的噴嘴中的位于沿著所述相對移動方向的至少兩個以上不同的噴嘴對所述被噴出物所定的同一位置噴出所述液狀體。
5.根據(jù)權利要求4所述的噴出方法，其特征在于所述液滴噴出頭配置成并列多列，至少兩個以上液滴噴出頭中的位于沿著所述相對移動方向的噴嘴對被噴出物所定的同一位置噴出液狀體。
6.一種噴出方法，其特征在于把具有噴出流動性液狀體的多個噴嘴的多個液滴噴出頭，使這些液滴噴出頭面向被噴出物的狀態(tài)下相對于所述被噴出物移動，所述多個液滴噴出頭的至少兩個以上不同的液滴噴出頭，使多個噴嘴的至少一部分噴嘴位于沿著所述相對移動方向上，該不同的噴嘴對所述被噴出物所定的同一位置分別噴出所述液狀體。
7.根據(jù)權利要求4或權利要求6所述的噴出方法，其特征在于所述液滴噴出頭是多個噴嘴多列排列配置，噴嘴列的至少位于中央部分的排列在不同列的噴嘴中的、用來噴出所述液狀體的噴嘴對所述被噴出物所定的同一位置分別噴出所述液狀體。
8.根據(jù)權利要求4或權利要求6所述的噴出方法，其特征在于所述液滴噴出頭中的噴嘴排列方向垂直交叉于所述相對移動方向的狀態(tài)下，液滴噴出頭的噴嘴對被噴出物噴出液狀體。
9.根據(jù)權利要求4或權利要求6所述的噴出方法，其特征在于至少兩個以上液滴噴出頭中的設在一個上的多個噴嘴排列在和其他液滴噴出頭上的多個噴嘴部分重疊于所述相對移動方向的狀態(tài)下，從液滴噴出頭的噴嘴對被噴出物噴出液狀體。
10.根據(jù)權利要求4或權利要求6所述的噴出方法，其特征在于排列在所述液滴噴出頭中的位于端部附近所定位置的噴嘴設定為非噴出噴嘴；把多個液滴噴出頭使所述液滴噴出頭的多個噴嘴排列成垂直交叉于相對于所述被噴出物的相對移動方向狀態(tài)下，沿著交叉于所述相對移動方向多列并列配置；所述多列液滴噴出頭中的一列內(nèi)的所述液滴噴出頭的非噴出噴嘴和配置在所述相對移動方向的其他列內(nèi)的液滴噴出頭中的液狀體噴出噴嘴同時位于所述相對移動方向的假想直線上狀態(tài)下；從液滴噴出頭的噴嘴對被噴出物噴出液狀體。
11.根據(jù)權利要求10所述的噴出方法，其特征在于所述液滴噴出頭的噴嘴多列排列；所述多個液滴噴出頭排列成一個液滴噴出頭的非噴出噴嘴和其他液滴噴出頭的多列噴出噴嘴位于所述相對移動方向假想直線上的狀態(tài)和一個液滴噴出頭的噴出噴嘴和非噴出噴嘴、其他液滴噴出頭的噴出噴嘴和非噴出噴嘴位于所述相對移動方向假想直線上的狀態(tài)下，從液滴噴出頭中的不同噴嘴分別對所述被噴出物噴出所述液狀體。
12.根據(jù)權利要求4或權利要求6所述的噴出方法，其特征在于垂直于所述相對移動方向的噴嘴排列節(jié)距等于或整數(shù)倍的位于垂直于所述相對移動方向的被噴出物上面預定噴出地點的節(jié)距狀態(tài)下；從液滴噴出頭的噴嘴對被噴出物噴出液狀體。
13.根據(jù)權利要求4或權利要求6所述的噴出方法，其特征在于多個液滴噴出頭沿著這些液滴噴出頭交叉于被噴出物相對移動方向的所定方向按順序保持在保持裝置的狀態(tài)下，并且多個液滴噴出頭分別在這些液滴噴出頭被配置的所定方向相反方向上垂直交叉于所述相對移動方向排列配置狀態(tài)下，從液滴噴出頭的噴嘴對被噴出物噴出液狀體。
14.根據(jù)權利要求4或權利要求6所述的噴出方法，其特征在于排列在所述液滴噴出頭的多個噴嘴中排列端部所定區(qū)域的噴嘴設定為非噴出噴嘴；多個液滴噴出頭多列并列配置；配置在一列內(nèi)的液滴噴出頭與配置在其他列內(nèi)的液滴噴出頭在所述相對移動方向上至少部分重疊的位置關系配置；所述多個液滴噴出頭配置成，使所述相對移動方向直線移動方向中的噴嘴排列在所述多個液滴噴出頭之間實質(zhì)上連續(xù)的狀態(tài)下，從液滴噴出頭的噴嘴對被噴出物噴出液狀體。
15.一種光電裝置的制造方法，是通過權利要求4或權利要求6所述的噴出方法噴出液狀體的光電裝置的制造方法，其特征在于所述液狀體含有EL發(fā)光材料；所述被噴出物為基板；使所述液滴噴出頭沿著所述基板表面狀態(tài)下相對移動的同時，從所述噴嘴向所述基板所定位置適量噴出所述液狀體而形成EL發(fā)光層。
16.一種光電裝置的制造方法，是通過權利要求4或權利要求6所述的噴出方法噴出液狀體的光電裝置的制造方法，其特征在于所述液狀體為含有彩色濾光片材料的液狀體；所述被噴出物為基板；使所述液滴噴出頭沿著所述基板表面狀態(tài)下相對移動的同時，從所述噴嘴向所述基板所定位置噴出適量所述液狀體而形成彩色濾光片。
17.一種光電裝置的制造方法，是通過權利要求4或權利要求6所述的噴出方法噴出液狀體的彩色濾光片制造方法，其特征在于所述液狀體為含有彩色濾光片材料的液狀體；所述被噴出物為基板；使所述液滴噴出頭沿著所述基板表面狀態(tài)下相對移動的同時，從所述噴嘴向所述基板所定位置適量噴出所述液狀體而形成彩色濾光片。
18.一種具有基體材料的器件，包括基體材料和具有在該基體材料上面噴出流動性液狀體而形成的所定層的器件，其特征在于設有噴出所述液狀體的多個噴嘴的液滴噴出頭，使設有所述噴嘴的面面向所述基體材料的狀態(tài)下，相對于該基體材料相對移動的同時，位于該相對移動方向上的所述一個以上液滴噴出頭的所述多個噴嘴中的至少兩個以上不同的噴嘴，向所述基體材料所定的同一位置噴出所述液狀體而形成所述所定層。
19.一種具有基體材料的器件的制造裝置，所述被噴出物為器件的基體材料，其特征在于所述基體材料上形成的工藝中，從所述多個液滴噴出頭向所述基體材料上面噴出液狀體而形成所定層。
20.一種具有基體材料器件的制造方法，其特征在于通過權利要求4或權利要求6所述的噴出方法，把所述被噴出物的基體材料上面噴出液狀體而在所述基體材料上面形成所定層。
全文摘要
制造彩色濾光片的噴墨裝置中，把多個噴嘴(27)列狀設置而構成噴嘴列(28)的噴墨頭(22)按直線形狀并列排列。從不同的噴嘴(27)，對母基板(12)利用多個噴嘴(27)的四次的重復噴出彩色濾光片材料而形成所定膜厚的一個濾光元件(3)?？梢苑乐苟鄠€濾光元件(3)之間產(chǎn)生膜厚的不均勻，可以使彩色濾光片(1)的透光特性在平面上均勻。
文檔編號B41J2/145GK1931581SQ2006100958
公開日2007年3月21日 申請日期2003年1月28日 優(yōu)先權日2002年1月30日
發(fā)明者中村真一, 山田善昭, 北原強 申請人:精工愛普生株式會社