專(zhuān)利名稱(chēng)：液滴噴出裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液滴噴出裝置。
背景技術(shù)：
以往，液晶顯示裝置或場(chǎng)致發(fā)光顯示裝置這樣的顯示裝置具備用于顯示圖像的襯底。在該種襯底上以質(zhì)量管理或制造管理為目的而形成有顯示包括其制造廠或制品號(hào)碼的制造信息的識(shí)別代碼(例如，二維代碼)。識(shí)別代碼由以形成規(guī)定的圖案的方式配置的多個(gè)點(diǎn)構(gòu)成。作為識(shí)別代碼的制造方法，特開(kāi)平11-77340號(hào)公報(bào)提出了對(duì)金屬箔照射激光而將點(diǎn)濺射成膜的激光濺射法，特開(kāi)2003-127537號(hào)公報(bào)提出了將含有拋光材的水向襯底等噴射，從而將點(diǎn)刻印于該襯底上的射水(water jet)法。
在所述激光濺射法中，為了得到希望尺寸的點(diǎn)，必須將金屬箔和襯底的間隙調(diào)整為數(shù)μm～數(shù)十μm。因此，要求襯底的表面和金屬箔的表面具有高的平坦性，而且，必須以μm級(jí)的精度調(diào)整襯底和金屬箔的間隙。因此，能夠應(yīng)用激光濺射法的襯底的對(duì)象范圍受到限制，該方法的通用性差。另外，在射水法中，在向襯底刻印時(shí)，有時(shí)水或塵埃、拋光劑等飛散，從而污染襯底。
因而，近年，作為消除所述生產(chǎn)上的問(wèn)題的制造方法，噴墨法受到注目。在噴墨法中，將含有金屬微粒子的液滴從液滴噴出頭朝向襯底從噴嘴噴出，并使該液滴干燥，由此在襯底上形成點(diǎn)。因此，能夠應(yīng)用該方法的襯底的應(yīng)用范圍比較大，另外，能夠在不污染襯底的情況下形成識(shí)別代碼。
在噴墨法中，彈附于襯底上的液滴根據(jù)襯底的表面狀態(tài)或液滴的表面張力等，沿襯底的表面立即浸潤(rùn)擴(kuò)展。因此，若液滴的干燥需要時(shí)間(例如，若需要100毫秒以上的時(shí)間)，則彈附的液滴在襯底的表面過(guò)剩地浸潤(rùn)擴(kuò)展，從而從希望的點(diǎn)形成區(qū)域溢出。
通過(guò)朝向彈附的液滴照射激光，來(lái)瞬時(shí)固化彈附的液滴，由此解決所述問(wèn)題。另一方面，若照射激光固化液滴，則來(lái)自液滴的蒸發(fā)成分附著于用于發(fā)射激光的光學(xué)系統(tǒng)，從而存在污染該光學(xué)系統(tǒng)之虞。因此，需要在具備照射激光的激光頭的液滴噴出裝置上設(shè)置吸入蒸發(fā)成分的吸入裝置，通過(guò)吸入裝置吸入在激光頭的周邊浮游的蒸發(fā)成分，從而從激光頭的周邊除去蒸發(fā)成分。
以往，提出了通過(guò)吸入裝置吸入在液滴噴出頭的周邊浮游的蒸發(fā)成分，從而抑制液滴產(chǎn)生滲出、或避免在液滴噴出頭周邊產(chǎn)生結(jié)露的技術(shù)。
例如，特開(kāi)2003-136689號(hào)公報(bào)提出了將彈附的液滴暴露于由風(fēng)扇或真空吸入設(shè)備產(chǎn)生的空氣流，從而促進(jìn)液滴的干燥的液滴噴出裝置。特開(kāi)2005-22194號(hào)公報(bào)提出了通過(guò)在液滴噴出頭的上側(cè)周邊設(shè)置的吸入裝置，將在液滴噴出頭的下面周邊浮游之流的揮發(fā)性物質(zhì)與液滴噴出頭的下面周邊的空氣一起吸入排除的液滴噴出裝置。特開(kāi)2003-145737號(hào)公報(bào)提出了在印刷用紙的兩側(cè)、或照射紫外線的區(qū)域的印刷用紙的輸送方向的下游側(cè)進(jìn)行吸入動(dòng)作，吸入伴隨紫外照射而從液滴產(chǎn)生的蒸發(fā)成分的液滴噴出裝置。
但是，在特開(kāi)2003-136689號(hào)公報(bào)及特開(kāi)2005-22194號(hào)公報(bào)中，為了防止液滴的滲出或防止結(jié)露的產(chǎn)生，而吸入彈附的液滴周邊或液滴噴出頭周邊的蒸發(fā)成分，但是并未研究被吸入的蒸發(fā)成分的流動(dòng)路徑和光學(xué)系統(tǒng)的配置位置之間的關(guān)系。另外，在特開(kāi)2003-145737號(hào)公報(bào)中，設(shè)置有包括用于將來(lái)自紫外線燈的紫外光向外部陰道的電磁輻射線透射板、及用于反射來(lái)自紫外線燈的紫外光而使其照射液滴的反射板的光學(xué)系統(tǒng)，目的在于保護(hù)該電磁輻射線透射板或反射板那樣的光學(xué)系統(tǒng)。但是，由于在電磁輻射裝置的正下方蒸發(fā)的蒸發(fā)成分從印刷用紙的兩側(cè)或照射區(qū)域的下游側(cè)被吸入，因此吸入過(guò)程中的蒸發(fā)成分通過(guò)電磁輻射裝置的正下方，蒸發(fā)成分的一部分附著于光學(xué)系統(tǒng)上從而污染光學(xué)系統(tǒng)。
因而，所述現(xiàn)有的液滴噴出裝置不能夠防止液滴噴出頭或激光的光學(xué)系統(tǒng)被伴隨激光照射而產(chǎn)生的液滴的蒸發(fā)成分污染的情況。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠使照射于液滴的激光的光學(xué)特性穩(wěn)定的液滴噴出裝置。
為了達(dá)成所述目的，本發(fā)明的一方式提供一種液滴噴出裝置。該液滴噴出裝置具備液滴噴出頭、激光照射裝置和吸入裝置。液滴噴出頭向?qū)ο笪飮姵鲆旱?。激光照射裝置對(duì)與所述液滴噴出頭相對(duì)置的所述對(duì)象物的區(qū)域照射激光。吸入裝置設(shè)于所述激光照射裝置和被所述激光照射的所述對(duì)象物上的照射位置之間并吸入從所述液滴產(chǎn)生的蒸發(fā)成分。


圖1是表示液晶顯示裝置的俯視圖；圖1A是圖1中用圓1A圍住的部分的放大圖；圖2是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的液滴噴出裝置的概略立體圖；圖3是表示圖2的液滴噴出裝置的概略俯視圖；圖4是表示圖2的液滴噴出裝置的頭組件的圖；圖5是表示液滴噴出頭的圖；圖6是說(shuō)明頭組件的圖；圖7是表示液滴噴出裝置的電結(jié)構(gòu)的框圖。
具體實(shí)施例方式
以下，參照?qǐng)D1～圖7說(shuō)明具體化了本發(fā)明的一實(shí)施方式。首先，說(shuō)明液晶顯示裝置1，該液晶顯示裝置1具有利用本發(fā)明的液滴噴出裝置20而形成的識(shí)別代碼10。
在圖1中，在透明襯底2的一側(cè)面(表面2a)的大致中央位置形成有封入了液晶分子的四邊形狀的顯示部3。在顯示部3的外側(cè)形成有掃描線驅(qū)動(dòng)電路4及數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路5。液晶顯示裝置1基于這些掃描線驅(qū)動(dòng)電路4所生成的掃描信號(hào)和數(shù)據(jù)線驅(qū)動(dòng)電路5所生成的數(shù)據(jù)信號(hào)，控制所述顯示部3內(nèi)的液晶分子的取向狀態(tài)。通過(guò)液晶分子的取向狀態(tài)來(lái)調(diào)制來(lái)自未圖示的照明裝置的平面光，由此液晶顯示裝置1在顯示部3的區(qū)域顯示希望的圖像。
在表面2a的左側(cè)的下角形成有一邊約是1mm的正方形的代碼區(qū)域S。該代碼區(qū)域S假想地分割為構(gòu)成16行×16列的矩陣的多個(gè)數(shù)據(jù)單元C。在被選擇的數(shù)據(jù)單元C上分別形成作為標(biāo)記的點(diǎn)D，通過(guò)這些點(diǎn)D，構(gòu)成液晶顯示裝置1的識(shí)別代碼10。在本實(shí)施方式中，設(shè)需要形成點(diǎn)D的數(shù)據(jù)單元C的中心位置為目標(biāo)噴出位置P，并設(shè)各數(shù)據(jù)單元C的一邊的長(zhǎng)度為“單元寬度W”。
各點(diǎn)D是半球狀的標(biāo)記，其外徑與各數(shù)據(jù)單元C的一邊的長(zhǎng)度(所述“單元寬度W”)相等。由使金屬微粒子(例如，鎳微粒子或錳微粒子)分散于分散劑中而得到的液狀體F(參照?qǐng)D5)構(gòu)成的液滴Fb朝向數(shù)據(jù)單元C噴出，并彈附于數(shù)據(jù)單元C。點(diǎn)D通過(guò)干燥及燒固已彈附的液滴Fb而形成。已彈附的液滴Fb的干燥及燒固通過(guò)對(duì)液滴Fb照射激光B(參照?qǐng)D5)而進(jìn)行。
識(shí)別代碼10可通過(guò)對(duì)應(yīng)于各數(shù)據(jù)單元C內(nèi)的點(diǎn)D的有無(wú)而確定的點(diǎn)的配置圖案，再現(xiàn)液晶顯示裝置1的制品號(hào)碼或批號(hào)碼等。在圖1～圖5的本實(shí)施方式中，將所述透明襯底2的長(zhǎng)度方向定義為X方向，將與襯底2平行的面內(nèi)的與X方向正交的方向定義為Y方向。另外，將與X方向及Y方向的雙方正交的方向定義為Z方向。尤其，設(shè)圖中用箭頭表示的方向?yàn)?X方向、+Y方向、+Z方向，并設(shè)與它們相反的方向分別為-X方向、-Y方向、-Z方向。
接著，基于圖2說(shuō)明用于形成識(shí)別代碼10的液滴噴出裝置20。在本實(shí)施方式中，說(shuō)明在多個(gè)成為透明襯底2的母材的母襯底2M上分散地形成與各透明襯底2對(duì)應(yīng)的識(shí)別代碼10的情況。母襯底2M是液滴噴出裝置20噴出液滴的對(duì)象物。
在圖2中，液滴噴出裝置20具備形成為大致長(zhǎng)方體形狀的基臺(tái)21。在基臺(tái)21的一側(cè)(X方向的一側(cè)部)配置有收容多個(gè)母襯底2M的襯底儲(chǔ)料器22。襯底儲(chǔ)料器22沿圖2的上下方向(+Z方向及-Z方向)移動(dòng)，將收容于襯底儲(chǔ)料器22中的各母襯底2M向基臺(tái)21上輸出，或?qū)⒒_(tái)21上的母襯底2M向襯底儲(chǔ)料器22的槽內(nèi)輸入。
在基臺(tái)21的上面21a的靠近所述襯底儲(chǔ)料器22的部位配置有沿Y方向延伸的行走裝置23。行走裝置23在其內(nèi)部具有行走電動(dòng)機(jī)MS(參照?qǐng)D7)，使與行走電動(dòng)機(jī)MS的輸出軸連結(jié)的輸送裝置沿Y方向行走。輸送裝置24是具有可吸附并保持母襯底2M的背面2Mb的輸送臂24a的水平多關(guān)節(jié)機(jī)器人。輸送裝置24在其內(nèi)部具有輸送電動(dòng)機(jī)MT(參照?qǐng)D7)，在XY平面上伸縮自如地轉(zhuǎn)動(dòng)與輸送電動(dòng)機(jī)MT的輸出軸驅(qū)動(dòng)連結(jié)的輸送臂并在上下方向上移動(dòng)。
在基臺(tái)21的上面21a的Y方向的兩側(cè)并設(shè)有載置母襯底2M的一對(duì)載置臺(tái)25R、25L。一對(duì)載置臺(tái)25R、25L分別在以表面2Ma為上側(cè)而載置的母襯底2M的背面2Mb劃定插拔輸送臂24a的空間(凹部25a)。輸送臂24a在凹部25a的內(nèi)部上運(yùn)動(dòng)或下運(yùn)動(dòng)，將母襯底2M從各載置臺(tái)25R、25L提升或載置于各載置臺(tái)25R、25L上。
當(dāng)行走電動(dòng)機(jī)MS及輸送電動(dòng)機(jī)MT接受到規(guī)定的控制信號(hào)時(shí)，行走裝置23及輸送裝置24輸出所述襯底儲(chǔ)料器22內(nèi)的母襯底2M并將母襯底2M載置于載置臺(tái)25R、25L中的任一個(gè)上。另外，行走裝置23及輸送裝置24將載置于載置臺(tái)25R、25L上的母襯底2M輸入襯底儲(chǔ)料器22的規(guī)定的槽內(nèi)，進(jìn)行母襯底2M的回收。
在本實(shí)施方式中，如圖3所示，載置于各載置臺(tái)25R、25L上的母襯底2M的代碼區(qū)域S朝向-X方向依次、即從圖3的上側(cè)朝向下側(cè)依次定義為第一行代碼區(qū)域S1、第二行代碼區(qū)域S2、……、第五行代碼區(qū)域S5。
在圖2中，在基臺(tái)21的上面21a的所述一對(duì)載置臺(tái)25R、25L之間配置有作為移動(dòng)裝置的多關(guān)節(jié)機(jī)器人(以下，稱(chēng)為SCARA機(jī)器人)26。SCARA機(jī)器人26固定于基臺(tái)21的上面21a，并具備沿上方(+Z方向)延伸的主軸27。
在主軸27的上端設(shè)有第一臂28a。第一臂28a的基端部與在主軸27設(shè)置的第一電動(dòng)機(jī)M1(參照?qǐng)D7)的輸出軸連結(jié)，且可在水平面內(nèi)繞沿Z方向延伸的軸轉(zhuǎn)動(dòng)。在第一臂28a的前端部設(shè)置有第二電動(dòng)機(jī)M2(參照?qǐng)D7)。第二臂28b的基端部與該第二電動(dòng)機(jī)M2的輸出軸連結(jié)，第二臂28b可在水平面內(nèi)繞沿Z方向延伸的軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
在第二臂28b的前端部設(shè)置有第三電動(dòng)機(jī)M3(參照?qǐng)D7)。圓柱狀的第三臂28c與該第三電動(dòng)機(jī)M3的輸出軸連結(jié)。該第三臂28c可繞沿Z方向延伸的軸轉(zhuǎn)動(dòng)。在第三臂28c的下端配置有頭組件30。
頭組件30具備形成為箱狀體的盒31。在盒31的下側(cè)配置有液滴噴出頭(以下簡(jiǎn)稱(chēng)為噴出頭)32、和構(gòu)成吸入裝置的吸入口33。另外，在盒31的一側(cè)面配備有作為激光照射裝置的激光頭34。
當(dāng)?shù)谝?、第二及第三電?dòng)機(jī)M1、M2、M3接受規(guī)定的控制信號(hào)時(shí)，SCARA機(jī)器人26使對(duì)應(yīng)的第一、第二及第三臂28a、28b、28c轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使頭組件30在上面21a上的規(guī)定區(qū)域內(nèi)移動(dòng)。
若詳述，則如圖3所示，SCARA機(jī)器人基于各代碼區(qū)域S(各目標(biāo)噴出位置P)的位置坐標(biāo)生成“目標(biāo)軌跡R”，并使頭組件30移動(dòng)以沿該目標(biāo)軌跡R進(jìn)行掃描。即，在圖3中，如載置臺(tái)25L上的箭頭所示，SCARA機(jī)器人26首先使第一、第二及第三臂28a、28b、28c轉(zhuǎn)動(dòng)以使頭組件30(第三臂28c的前端)配置于第一行代碼區(qū)域S1的“始點(diǎn)SP”。在圖3中，始點(diǎn)SP相當(dāng)于第一行代碼區(qū)域S1的右端。此時(shí)，在頭組件30中，朝向+Y方向依次排列激光頭34、吸入口33、噴出頭32。
若頭組件30移動(dòng)到始點(diǎn)SP，則SCARA機(jī)器人26使頭組件30移動(dòng)，使噴出頭32相對(duì)吸入口33先行且吸入口33相對(duì)激光頭34先行。若頭組件30到達(dá)第一行代碼區(qū)域S1的終點(diǎn)，則SCARA機(jī)器人26使第一、第二及第三臂28a、28b、28c轉(zhuǎn)動(dòng)，由此，使頭組件30在母襯底2M的外側(cè)180度逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，同時(shí)移動(dòng)到第二行代碼區(qū)域S2的始點(diǎn)(圖3的左端)。此時(shí)，朝向-Y方向依次配置激光頭34、吸入口33、噴出頭32。
若頭組件30移動(dòng)到第二行代碼區(qū)域S2的始點(diǎn)，則SCARA機(jī)器人26使第一、第二及第三臂28a、28b、28c轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使頭組件30沿-Y方向掃描。即，與第一行代碼區(qū)域S1的掃描相同，SCARA機(jī)器人26使頭組件30移動(dòng)，使噴出頭32相對(duì)吸入口33先行且吸入口33相對(duì)激光頭34先行。以后同樣，SCARA機(jī)器人26按第三行、第四行、第五行代碼區(qū)域S3、S4、S5的順序，使頭組件30沿Y方向掃描，直至頭組件30到達(dá)第五行代碼區(qū)域S5的終點(diǎn)EP。
因而，SCARA機(jī)器人26在使頭組件30沿Z字狀的“目標(biāo)軌跡R”掃描期間，始終使吸入口33相對(duì)激光頭34先行。還有，在本實(shí)施方式中，將頭組件30的掃描方向定義為“掃描方向RA”。
圖4及圖5分別是表示頭組件30的圖，圖6是從母襯底2M觀察了頭組件30而得到的概略俯視圖。
如圖4所示，盒31具備收容液狀體F(參照?qǐng)D5)的液狀體罐35，在盒31的下側(cè)配置有液滴噴出頭32。液狀體F從液狀體罐35供給于噴出頭32。
如圖5所示，在噴出頭32的下側(cè)配備有噴嘴板36。在噴嘴板36的下面(噴嘴形成面36a)，開(kāi)口有沿母襯底2M的法線方向(Z方向)貫通噴嘴板36的多個(gè)圓形孔(噴嘴N)。如圖6所示，噴嘴N沿與頭組件30的掃描方向RA正交的方向排列，其排列間距與單元寬度W相同。還有，在本實(shí)施方式中，將與各噴嘴N相對(duì)置的母襯底2M上的位置稱(chēng)為彈附位置PF。
如圖5所示，噴出頭32在各噴嘴N的上側(cè)具有與液狀體罐35連通的腔37。腔37將從液狀體罐35導(dǎo)出液狀體F供給于對(duì)應(yīng)的噴嘴N。在各腔37的上側(cè)貼附有振動(dòng)膜38。各振動(dòng)膜38可沿上下方向振動(dòng)以使對(duì)應(yīng)的腔37內(nèi)的容積擴(kuò)大及縮小。在振動(dòng)膜38的上側(cè)配置有與噴嘴N分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)壓電元件PZ。各壓電元件PZ在彈附位置PF與目標(biāo)噴出位置P一致時(shí)，接受規(guī)定的驅(qū)動(dòng)信號(hào)(驅(qū)動(dòng)電壓COM1參照?qǐng)D7)而在上下方向上收縮及伸張，從而使振動(dòng)膜38振動(dòng)。若壓電元件PZ收縮及伸張，則對(duì)應(yīng)的噴嘴N的液狀體F的界面(彎月面)振動(dòng)，由此，與驅(qū)動(dòng)電壓COM1對(duì)應(yīng)的重量的液滴Fb從對(duì)應(yīng)的噴嘴N噴出。被噴出的液滴Fb朝向-Z方向在噴嘴板36和母襯底2M之間的空間(飛行區(qū)域FS)飛行，并彈附于對(duì)應(yīng)的彈附位置PF即目標(biāo)噴出位置P。彈附于目標(biāo)噴出位置P的液滴Fb在表面2Ma浸潤(rùn)擴(kuò)展使得其外徑變?yōu)閱卧獙挾萕相等。
在本實(shí)施方式中，設(shè)從液滴Fb的噴出動(dòng)作的開(kāi)始時(shí)至被噴出的液滴Fb的外徑變?yōu)閱卧獙挾萕的時(shí)間為照射待機(jī)時(shí)間。本實(shí)施方式的頭組件30在該待機(jī)時(shí)間期間只移動(dòng)單元寬度W的2倍的距離(照射待機(jī)距離Lw)。
如圖4所示，吸入口33呈箱體狀，且朝向下方開(kāi)口。吸入口33與在盒31內(nèi)延伸的吸入管39連結(jié)。吸入管39在第三臂28c、第二臂28b、第一臂28a及主軸27的內(nèi)部延伸，并與在基臺(tái)21上配置的吸入泵40(參照?qǐng)D2及圖3)連結(jié)。即，吸入口33經(jīng)由吸入管39與吸入泵40連結(jié)。
吸入泵40若接受吸入開(kāi)始信號(hào)則開(kāi)始吸入動(dòng)作。由此，存在于吸入口33和母襯底2M之間的空間中的氣體從吸入口33通過(guò)吸入管39而吸入吸入泵40中。由于噴出頭32和母襯底2M的間隙比較窄，因此在噴出頭32和母襯底2M之間的區(qū)域即所述飛行區(qū)域FS中，相對(duì)該飛行區(qū)域FS周?chē)膮^(qū)域，氣體的流動(dòng)阻力變大。因此，從吸入口33吸入氣體時(shí)，如圖6的箭頭所示，關(guān)于掃描方向RA而相對(duì)吸入口33存在于先行側(cè)的氣體避開(kāi)流動(dòng)阻力大的區(qū)域即飛行區(qū)域FS而被吸入吸入口33。因而，在吸入泵40吸入氣體時(shí)，飛行區(qū)域FS的氣體的流動(dòng)被抑制，從而從噴出頭32噴出的液滴Fb的飛行方向穩(wěn)定。
如圖4所示，在激光頭34的內(nèi)部沿噴嘴N的排列方向排列有與噴嘴N分別對(duì)應(yīng)的多個(gè)作為激光器的半導(dǎo)體激光器LD。各半導(dǎo)體激光器LD若接受驅(qū)動(dòng)信號(hào)(驅(qū)動(dòng)電壓COM2參照?qǐng)D7)，則沿Z方向朝向下方射出與液滴Fb的吸收波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)區(qū)域的激光B。在激光頭34的下端即半導(dǎo)體激光器LD的列的正下方，與半導(dǎo)體激光器LD的列對(duì)應(yīng)的作為光學(xué)系統(tǒng)的反射鏡M沿所述噴嘴N的排列方向延伸而設(shè)置。反射鏡M對(duì)來(lái)自各半導(dǎo)體激光器LD的激光B進(jìn)行全反射，并使已全反射的激光B相對(duì)頭組件30的掃描方向RA朝向斜下方。即，從各半導(dǎo)體激光器LD射出的激光B未被引導(dǎo)到該半導(dǎo)體激光器LD的正下方的母襯底2M上的位置，而是被引導(dǎo)到關(guān)于頭組件30的掃描方向RA而先行的一側(cè)的母襯底2MA上的位置。
如圖5所示，在本實(shí)施方式中，將母襯底2M的表面2Ma和朝向斜下方的激光B的光軸所交叉的位置定義為照射位置PT。照射位置PT和彈附位置PF之間的距離設(shè)定為所述照射待機(jī)距離Lw。即，若液滴Fb彈附于目標(biāo)噴出位置P后經(jīng)過(guò)所述照射待機(jī)時(shí)間，則照射位置PT到達(dá)彈附于目標(biāo)噴出位置P上的液滴Fb。
各半導(dǎo)體激光器LD在分別對(duì)應(yīng)的照射位置PT與目標(biāo)噴出位置P一致時(shí)，接受驅(qū)動(dòng)電壓COM2而射出激光B。激光B被反射鏡M全反射，照射存在于對(duì)應(yīng)的照射位置PT上的液滴Fb。激光B使液滴Fb中的溶劑或分散劑等作為蒸發(fā)成分蒸發(fā)，從而在照射位置PT燒固液滴Fb中的金屬微粒子。由此，在目標(biāo)噴出位置P形成具有與數(shù)據(jù)單元C的單元寬度W相等的外徑的點(diǎn)D。
如圖6所示，從母襯底2M的法線方向觀察，所述蒸發(fā)成分Ev在存在于噴嘴N和反射鏡M之間的照射位置PT的附近浮游。浮游的蒸發(fā)成分Ev被相對(duì)噴嘴N而位于掃描方向RA的后側(cè)的吸入口33朝向掃描方向RA的相反方向吸入。即，蒸發(fā)成分Ev被朝向噴嘴N的移動(dòng)方向的相反方向吸入，從而從噴嘴N離開(kāi)。吸入口33相對(duì)反射鏡M位于掃描方向RA的先行側(cè)。因而，浮游的蒸發(fā)成分Ev在反射鏡M(激光頭34)的移動(dòng)方向的前方被吸入口33吸入，從而反射鏡M不暴露于蒸發(fā)成分Ev中。
因而，可避免蒸發(fā)成分Ev附著于噴嘴N及反射鏡M上。因此，噴出頭32進(jìn)行的液滴Fb的噴出動(dòng)作穩(wěn)定，并且用于發(fā)射激光B的光學(xué)系統(tǒng)的光學(xué)特性穩(wěn)定，從而能夠?qū)⒓す釨以希望的強(qiáng)度適當(dāng)?shù)卣丈溆谙Ｍ牟课弧?br> 接著，參照?qǐng)D7說(shuō)明如上構(gòu)成的液滴噴出裝置20的電結(jié)構(gòu)。
如圖7所示，液滴噴出裝置20具備控制裝置51，該控制裝置51具有CPU、ROM及RAM?？刂蒲b置51按照第三臂28c的前端(噴出頭32)的目前位置及各種控制程序，驅(qū)動(dòng)行走裝置23、輸送裝置24及SCARA機(jī)器人26，并且驅(qū)動(dòng)噴出頭32及激光頭34。
在控制裝置51上連接有具有起動(dòng)開(kāi)關(guān)及停止開(kāi)關(guān)等操作開(kāi)關(guān)的輸入裝置52，關(guān)于識(shí)別代碼10的信息通過(guò)該輸入裝置52而作為既定的繪畫(huà)數(shù)據(jù)Ia輸入。控制裝置51處理來(lái)自輸入裝置52的繪畫(huà)數(shù)據(jù)Ia并生成位圖數(shù)據(jù)BMD，且基于位圖數(shù)據(jù)BMD生成各目標(biāo)噴出位置P的位置坐標(biāo)(示教坐標(biāo)Tp)。該位置坐標(biāo)(示教坐標(biāo)Tp)與正交坐標(biāo)系對(duì)應(yīng)。進(jìn)而，控制裝置51對(duì)繪畫(huà)數(shù)據(jù)Ia實(shí)施與位圖數(shù)據(jù)BMD不同的處理，從而生成相對(duì)壓電元件PZ的驅(qū)動(dòng)電壓COM1及相對(duì)半導(dǎo)體激光器LD的驅(qū)動(dòng)電壓COM2。
控制裝置51具備存儲(chǔ)部51A，在該存儲(chǔ)部51A中儲(chǔ)存有位圖數(shù)據(jù)BMD那樣的數(shù)據(jù)或用于制造識(shí)別代碼10的程序。
位圖數(shù)據(jù)BMD是在通過(guò)假想分割正交坐標(biāo)系的繪畫(huà)平面(母襯底2M的表面2Ma)而形成的各區(qū)域，分別表示是否噴出液滴Fb的數(shù)據(jù)。即，位圖數(shù)據(jù)BMD是用于根據(jù)其各位的值(0或1)來(lái)限定是否驅(qū)動(dòng)各壓電元件PZ的數(shù)據(jù)。即，位圖數(shù)據(jù)BMD是當(dāng)使噴出頭32在第各行代碼區(qū)域S1～S5上掃描時(shí)，用于限定是否從各噴嘴N噴出液滴Fb的數(shù)據(jù)。
控制裝置51將位圖數(shù)據(jù)BMD作為與規(guī)定的時(shí)鐘信號(hào)同步的噴出控制信號(hào)SI，依次串行傳送于噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56。
控制裝置51具備插補(bǔ)運(yùn)算部51B，該插補(bǔ)運(yùn)算部51B對(duì)相鄰的示教坐標(biāo)Tp之間的空間，以規(guī)定的插補(bǔ)周期實(shí)施插補(bǔ)處理(例如，直線插補(bǔ)或圓弧插補(bǔ)等)，運(yùn)算構(gòu)成目標(biāo)軌跡R的多個(gè)插補(bǔ)點(diǎn)的位置坐標(biāo)(插補(bǔ)坐標(biāo))。插補(bǔ)運(yùn)算部51B運(yùn)算包含示教坐標(biāo)Tp和插補(bǔ)坐標(biāo)的信息(軌跡信息TaI)，并將該軌跡信息TaI輸出到逆運(yùn)算部51C。
逆運(yùn)算部51C基于從插補(bǔ)運(yùn)算部51B輸出的軌跡信息TaI，依次運(yùn)算各電動(dòng)機(jī)M1、M2、M3的旋轉(zhuǎn)角等，使得第三臂28c的前端位置依次與示教坐標(biāo)Tp及插補(bǔ)坐標(biāo)一致。即，逆運(yùn)算部51C依次運(yùn)算能夠?qū)崿F(xiàn)在頭組件30沿目標(biāo)軌跡R移動(dòng)時(shí)吸入口33相對(duì)激光頭34在掃描方向RA上先行那樣的SCARA機(jī)器人26的姿勢(shì)的信息(臂轉(zhuǎn)動(dòng)信息θI)。逆運(yùn)算部51C將已運(yùn)算的臂轉(zhuǎn)動(dòng)信息θI輸出到SCARA機(jī)器人驅(qū)動(dòng)電路55。
在控制裝置51上連接有行走裝置驅(qū)動(dòng)電路53。行走裝置驅(qū)動(dòng)電路53與行走電動(dòng)機(jī)MS和行走電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器MSE連接。行走裝置驅(qū)動(dòng)電路53應(yīng)答來(lái)自控制裝置51的控制信號(hào)而使行走電動(dòng)機(jī)MS正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)，并基于來(lái)自行走電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器MSE的檢測(cè)信號(hào)運(yùn)算輸送裝置24的移動(dòng)方向及移動(dòng)量。
在控制裝置51上連接有SCARA機(jī)器人驅(qū)動(dòng)電路55。SCARA機(jī)器人驅(qū)動(dòng)電路55與第一電動(dòng)機(jī)M1、第二電動(dòng)機(jī)M2及第三電動(dòng)機(jī)M3連接，并應(yīng)答于來(lái)自控制裝置51的臂轉(zhuǎn)動(dòng)信息θI而使第一、第二及第三電動(dòng)機(jī)M1、M2、M3正轉(zhuǎn)或反轉(zhuǎn)。另外，SCARA機(jī)器人驅(qū)動(dòng)電路55與第一電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器M1E、第二電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器M2E及第三電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器M3E連接，并基于來(lái)自第一、第二及第三電動(dòng)機(jī)旋轉(zhuǎn)檢測(cè)器M1E、M2E、M3E的檢測(cè)信號(hào)運(yùn)算第三臂28c的前端(噴出頭32)的移動(dòng)方向及移動(dòng)量。
控制裝置51經(jīng)由SCARA機(jī)器人驅(qū)動(dòng)電路55使頭組件30沿目標(biāo)軌跡R呈Z字狀移動(dòng)?？刂蒲b置51基于來(lái)自SCARA機(jī)器人驅(qū)動(dòng)電路55的運(yùn)算結(jié)果(噴出頭32的目前位置)，輸出各種控制信號(hào)。
若詳述，則控制裝置51在開(kāi)始頭組件30的掃描的定時(shí)即噴出頭32位于始點(diǎn)SP的定時(shí)，生成用于驅(qū)動(dòng)吸入泵40的信號(hào)(開(kāi)始信號(hào)TP1)，輸出到吸入泵驅(qū)動(dòng)電路58。
另外，控制裝置51在噴出頭32(彈附位置PF)位于母襯底2M上的各代碼區(qū)域S(目標(biāo)噴出位置P)的定時(shí)，生成用于噴出液滴Fb的信號(hào)(噴出定時(shí)信號(hào)LP)，輸出到噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56。
進(jìn)而，控制裝置51在結(jié)束頭組件30的掃描的定時(shí)即噴出頭32位于終點(diǎn)EP的定時(shí)，生成用于停止吸入泵40的信號(hào)(結(jié)束信號(hào)TP2)，輸出到吸入泵驅(qū)動(dòng)電路58。
在控制電路51上連接有噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56?？刂蒲b置51將噴出定時(shí)信號(hào)LP輸出到噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56，并且將驅(qū)動(dòng)電壓COM1與噴出定時(shí)信號(hào)LP同步地輸出到噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56。進(jìn)而控制電路51將噴出控制信號(hào)SI串行傳送到噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56。噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56串行/并行轉(zhuǎn)換來(lái)自控制裝置51的噴出控制信號(hào)SI，使其與多個(gè)壓電元件PZ對(duì)應(yīng)。
另外，噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56若接受來(lái)自控制裝置51的噴出定時(shí)信號(hào)LP，則對(duì)基于已被串行/并行轉(zhuǎn)換的噴出控制信號(hào)SI而選擇的壓電元件PZ，分別供給驅(qū)動(dòng)電壓COM1。進(jìn)而，噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56若接受來(lái)自控制裝置51的噴出定時(shí)信號(hào)LP，則將已被串行/并行轉(zhuǎn)換的噴出控制信號(hào)SI輸出到激光頭驅(qū)動(dòng)電路57。
在控制裝置51上連接有激光頭驅(qū)動(dòng)電路57?？刂蒲b置51將驅(qū)動(dòng)電壓COM2與噴出定時(shí)信號(hào)LP同步地輸出到激光頭驅(qū)動(dòng)電路57。激光頭驅(qū)動(dòng)電路57若從噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56接受?chē)姵隹刂菩盘?hào)SI，則在待機(jī)了規(guī)定時(shí)間即所述照射待機(jī)時(shí)間后，向與噴出控制信號(hào)SI對(duì)應(yīng)的半導(dǎo)體激光器LD分別供給驅(qū)動(dòng)電壓COM2。
若激光頭驅(qū)動(dòng)電路57接受?chē)姵隹刂菩盘?hào)SI，則控制裝置51使激光頭驅(qū)動(dòng)電路57待機(jī)照射待機(jī)時(shí)間，并使頭組件30在照射待機(jī)時(shí)間期間掃描。而且，若經(jīng)過(guò)照射待機(jī)時(shí)間，照射位置PT與對(duì)應(yīng)的目標(biāo)彈附位置P一致，則控制裝置51控制激光頭驅(qū)動(dòng)電路57，從激光頭34朝向目標(biāo)彈附位置P的液滴Fb射出激光B。
在控制裝置51上連接有吸入泵驅(qū)動(dòng)電路58?？刂蒲b置51輸出與吸入泵驅(qū)動(dòng)電路58對(duì)應(yīng)的控制信號(hào)(所述開(kāi)始信號(hào)TP1及結(jié)束信號(hào)TP2)。吸入泵驅(qū)動(dòng)電路58與吸入泵40連接。吸入泵驅(qū)動(dòng)電路58應(yīng)答來(lái)自控制裝置51的開(kāi)始信號(hào)TP1而使吸入泵40開(kāi)始吸入，并且應(yīng)答來(lái)自控制裝置51的結(jié)束信號(hào)TP2而使吸入泵40停止吸入?？刂蒲b置51在使頭組件30沿目標(biāo)軌跡R移動(dòng)的期間，驅(qū)動(dòng)吸入泵40使吸入口33繼續(xù)進(jìn)行吸入。
接著，說(shuō)明使用液滴噴出裝置20形成識(shí)別代碼10的順序。
首先，操作輸入裝置52將繪畫(huà)數(shù)據(jù)Ia輸入控制裝置51。于是，控制裝置51驅(qū)動(dòng)行走裝置23及輸送裝置24從襯底儲(chǔ)料器22中輸出母襯底2M，并將該母襯底2M載置于載置臺(tái)25R(或載置臺(tái)25L)。另外，控制裝置51處理來(lái)自輸入裝置52的繪畫(huà)數(shù)據(jù)Ia，生成位圖數(shù)據(jù)BMD和示教坐標(biāo)Tp?？刂蒲b置51將這些位圖數(shù)據(jù)BMD和示教坐標(biāo)Tp儲(chǔ)存于存儲(chǔ)部51A中。
然后，控制裝置51控制SCARA機(jī)器人驅(qū)動(dòng)電路55，使第三臂28c的前端位置移動(dòng)到始點(diǎn)SP。在此期間，插補(bǔ)運(yùn)算部51B以第一行代碼區(qū)域S1的始點(diǎn)SP為起點(diǎn)，依次運(yùn)算對(duì)各示教坐標(biāo)Tp和其后續(xù)的示教坐標(biāo)Tp之間進(jìn)行插補(bǔ)的插補(bǔ)坐標(biāo)?？刂蒲b置51將由插補(bǔ)坐標(biāo)和示教坐標(biāo)Tp構(gòu)成的軌跡信息TaI輸出到逆運(yùn)算部51C。逆運(yùn)算部51C依次生成分別與插補(bǔ)坐標(biāo)及示教坐標(biāo)Tp對(duì)應(yīng)的臂轉(zhuǎn)動(dòng)信息θI。
若第三臂28c的前端(噴出頭32)配置于始點(diǎn)SP，則控制裝置51將開(kāi)始信號(hào)TP1輸出到吸入泵驅(qū)動(dòng)電路58，利用吸入泵40從吸入口33開(kāi)始吸入。
另外，若噴出頭32配置于始點(diǎn)SP，則控制裝置51經(jīng)由逆運(yùn)算部51C將所述臂轉(zhuǎn)動(dòng)信息θI依次輸出到SCARA機(jī)器人驅(qū)動(dòng)電路55，使頭組件30開(kāi)始掃描。此時(shí)，控制裝置51維持吸入口33在掃描方向RA上配置于激光頭34和液滴噴出頭32之間的狀態(tài)，同時(shí)使頭組件30從始點(diǎn)SP沿目標(biāo)軌跡R開(kāi)始掃描。
控制裝置51基于從SCARA機(jī)器人驅(qū)動(dòng)電路55得到的運(yùn)算結(jié)果，判斷彈附位置PF是否到達(dá)了第一行代碼區(qū)域S1的開(kāi)頭的目標(biāo)噴出位置P。開(kāi)頭的目標(biāo)噴出位置P與圖3的第一行代碼區(qū)域S1中位于最右側(cè)的代碼區(qū)域S中的、位于最右側(cè)的一列量的數(shù)據(jù)單元C對(duì)應(yīng)。另外，控制裝置51對(duì)噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56輸出噴出控制信號(hào)SI和驅(qū)動(dòng)電壓COM1，并且對(duì)激光頭驅(qū)動(dòng)電路57輸出驅(qū)動(dòng)電壓COM2。
若彈附位置PF到達(dá)第一行代碼區(qū)域S1的開(kāi)頭的目標(biāo)噴出位置P，則控制裝置51對(duì)噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56輸出噴出定時(shí)信號(hào)LP，并對(duì)基于噴出控制信號(hào)SI而選擇的壓電元件PZ分別供給驅(qū)動(dòng)電壓COM1?；趪姵隹刂菩盘?hào)SI而選擇的噴嘴N分別接受驅(qū)動(dòng)電壓COM1，一齊噴出液滴Fb。被噴出的各液滴Fb在飛行區(qū)域FS中飛行，并彈附于母襯底2M的表面2Ma。
此時(shí)，由于飛行區(qū)域FS內(nèi)的氣體的流動(dòng)被抑制，因此被噴出的各液滴Fb在不引起飛行彎曲的情況下彈附于對(duì)應(yīng)的目標(biāo)噴出位置P。已彈附于目標(biāo)噴出位置P上的液滴Fb在對(duì)應(yīng)的數(shù)據(jù)單元C內(nèi)浸潤(rùn)擴(kuò)展，使得從噴出動(dòng)作的開(kāi)始到照射待機(jī)時(shí)間后變?yōu)榕c單元寬度W相等的外徑。
控制裝置51經(jīng)由噴出頭驅(qū)動(dòng)電路56將已被串行/并行轉(zhuǎn)換的噴出控制信號(hào)SI輸出到激光頭驅(qū)動(dòng)電路57。然后，若伴隨著從噴出動(dòng)作的開(kāi)始經(jīng)過(guò)照射待機(jī)時(shí)間，照射位置PT變?yōu)榕c目標(biāo)噴出位置P一致，則控制裝置51對(duì)基于噴出控制信號(hào)SI而選擇的半導(dǎo)體激光器LD分別供給驅(qū)動(dòng)電壓COM2。被選擇的半導(dǎo)體激光器LD分別接受驅(qū)動(dòng)電壓COM2，一齊射出激光B。被射出的激光B被反射鏡M全反射，從而照射在對(duì)應(yīng)的照射位置PT即目標(biāo)噴出位置P具有與單元寬度W相等的外徑的液滴Fb。被照射了激光B的液滴Fb由于該液滴Fb中的溶劑或分散劑等作為蒸發(fā)成分Ev而蒸發(fā)(干燥)并且該液滴中Fb的金屬微粒子被燒固，因此作為具有與單元寬度W相等的外徑的點(diǎn)D而固定于表面2Ma上。由此，形成與單元寬度W匹配的點(diǎn)D。
此時(shí)，在照射位置PT的附近浮游的蒸發(fā)成分Ev被相對(duì)噴嘴N而位于掃描方向RA的后側(cè)且相對(duì)反射鏡M而位于掃描方向RA的先行側(cè)的吸入口33吸入。因此，在照射位置PT的附近浮游的蒸發(fā)成分Ev在不到達(dá)噴嘴N(噴出頭32)及反射鏡M(激光頭34)的情況下，從這些噴嘴N(噴出頭32)和反射鏡M(激光頭34)之間被除去。
以后，以所述情況相同，控制裝置51在使吸入口33在掃描方向RA上位于激光頭34和液滴噴出頭32之間的狀態(tài)下，使頭組件30沿目標(biāo)軌跡R移動(dòng)。而且，控制裝置51在每次各彈附位置PF到達(dá)目標(biāo)噴出位置P時(shí)，從被選擇的噴嘴N噴出液滴Fb，而且在已彈附的液滴Fb的外徑變?yōu)榕c單元寬度W相等的定時(shí)，對(duì)該液滴Fb照射激光B。由此，避免噴嘴N(噴出頭32)和反射鏡M(激光頭34)被蒸發(fā)成分Ev污染，同時(shí)在母襯底2M上的各代碼區(qū)域S形成點(diǎn)D使得其具有規(guī)定的配線圖案。
若點(diǎn)D在母襯底2M上的形成結(jié)束，頭組件30到達(dá)終點(diǎn)EP，則控制裝置51將吸入結(jié)束信號(hào)TP2輸出到吸入泵驅(qū)動(dòng)電路58，使利用吸入泵40從吸入口33進(jìn)行的吸入停止。若從吸入口33進(jìn)行的吸入停止，則控制裝置51控制行走裝置23及輸送裝置24，將形成有點(diǎn)D的母襯底2M輸入襯底儲(chǔ)料器22中，從而結(jié)束識(shí)別代碼10在母襯底2M上的形成動(dòng)作。
接著，說(shuō)明本實(shí)施方式的優(yōu)點(diǎn)。
(1)相對(duì)激光頭34(反射鏡M)在掃描方向RA的先行側(cè)配置有吸入蒸發(fā)成分Ev的吸入口33。因而，能夠相對(duì)激光頭34(反射鏡M)在掃描方向RA的先行側(cè)吸入因激光B的照射而從液滴Fb產(chǎn)生的蒸發(fā)成分Ev。其結(jié)果是，能夠避免蒸發(fā)成分Ev附著于激光頭34(反射鏡M)上，能夠避免蒸發(fā)成分Ev污染反射鏡M，從而使反射鏡M的光學(xué)特性穩(wěn)定。這使由液滴Fb構(gòu)成的點(diǎn)D的形狀控制性提高。
(2)在激光頭34(反射鏡M)和照射位置PT之間配置了吸入口33。因而，與相對(duì)照射位置PT在掃描方向RA的先行側(cè)配置吸入口33的情況相比，能夠?qū)⒊蚍瓷溏RM的蒸發(fā)成分Ev在到達(dá)反射鏡M之前可靠地吸入。其結(jié)果是，能夠使反射鏡M的光學(xué)特性更穩(wěn)定。
(3)在與噴出頭32相對(duì)置的位置設(shè)定有激光B的照射位置PT，并在噴出頭32和激光頭34之間配置有吸入口33。因而，能夠從吸入口33可靠地吸入朝向噴出頭32(噴嘴N)的蒸發(fā)成分Ev，從而避免蒸發(fā)成分Ev污染噴出頭32(噴嘴N)。其結(jié)果是，能夠?qū)崿F(xiàn)液滴噴出動(dòng)作的穩(wěn)定性。
(4)利用飛行區(qū)域FS增高了從母襯底2M朝向吸入口33的氣體的流動(dòng)阻力。因而，在從吸入口33吸入蒸發(fā)成分Ev時(shí)，能夠抑制飛行區(qū)域FS中的氣體的流動(dòng)，從而能夠使從噴出頭32噴出的液滴Fb的飛行方向穩(wěn)定。
(5)當(dāng)頭組件30在掃描方向RA上移動(dòng)時(shí)，被激光B照射的液滴Fb在與吸入口33相對(duì)置后與激光頭34相對(duì)置。因而，被激光B照射的液滴Fb在該液滴Fb位于激光頭34的正下方前，可靠地位于吸入口33的正下方。其結(jié)果是，蒸發(fā)成分Ev在到達(dá)激光頭34(反射鏡M)前，通過(guò)吸入口33的吸入而被可靠地除去。因而，能夠在不使反射鏡M的光學(xué)特性變動(dòng)的情況下，使吸入口33和激光頭34在母襯底2M上移動(dòng)。因此，能夠提高識(shí)別代碼10的生產(chǎn)率。
(6)當(dāng)頭組件30在掃描方向RA上移動(dòng)時(shí)，來(lái)自被激光B照射的液滴Fb的蒸發(fā)成分Ev被位于噴出頭32的后側(cè)的吸入口33吸入。因而，來(lái)自液滴Fb的蒸發(fā)成分Ev朝向噴嘴N的移動(dòng)方向的相反方向被吸入。因此，能夠使蒸發(fā)成分Ev更快地從噴嘴N離開(kāi)，能夠進(jìn)一步可靠地避免蒸發(fā)成分Ev污染噴嘴N，從而能夠?qū)崿F(xiàn)液滴噴出動(dòng)作的穩(wěn)定化。
所述實(shí)施方式也可以如下變更。
在所述實(shí)施方式中，噴出頭32、吸入口33及激光頭34相對(duì)母襯底2M移動(dòng)，不過(guò)并不限定于此，例如，也可以構(gòu)成為固定噴出頭32、吸入口33及激光頭34，使母襯底2M(具體而言，載置母襯底2M的載置臺(tái)25L、25R)相對(duì)它們移動(dòng)。
另外，噴出頭32、吸入口33及激光頭34不需要作為一個(gè)頭組件30而構(gòu)成，也可以相互獨(dú)立地構(gòu)成。總之，只要構(gòu)成為在噴出頭32、吸入口33及激光頭34的各自和母襯底2M之間產(chǎn)生相對(duì)移動(dòng)即可。
在所述實(shí)施方式中，吸入口33配置于激光頭34和照射位置PT之間。但是并不限定于此，例如，吸入口33也可以配置于照射位置PT的正上方。
在所述實(shí)施方式中，移動(dòng)裝置(移動(dòng)機(jī)構(gòu))具體化為SCARA機(jī)器人26。但是并不限定于此，例如，移動(dòng)裝置也可以具體化為使載置的母襯底2M相對(duì)激光頭34移動(dòng)的載置臺(tái)，或也可以具體化為使搭載的激光頭34相對(duì)母襯底2M移動(dòng)的承載器等。即，移動(dòng)裝置只要是在吸入口33和母襯底2M之間、或激光頭34和母襯底2M之間產(chǎn)生相對(duì)移動(dòng)的裝置即可。
在所述實(shí)施方式中，通過(guò)激光B干燥及燒固了液滴Fb。但是并不限定于此，例如，也可以通過(guò)照射的激光B的能量使液滴Fb在希望的方向上流動(dòng)，或也可以只對(duì)液滴Fb的外緣照射激光B從而使液滴Fb固定。即，只要通過(guò)激光B形成由液滴Fb構(gòu)成的標(biāo)記即可。
在所述實(shí)施方式中，一個(gè)點(diǎn)D是半球狀，不過(guò)并不限定于此，例如，也可以形成橢圓形狀的點(diǎn)或線狀的標(biāo)記。
在所述實(shí)施方式中，通過(guò)被噴出的液滴Fb形成了構(gòu)成識(shí)別代碼10的點(diǎn)D。但是并不限定于此，例如，也可以形成具備使液晶顯示裝置1或熒光物質(zhì)發(fā)光的平面狀的電子釋放元件的場(chǎng)效應(yīng)型裝置(FED或SED等)等各種顯示裝置所設(shè)置的各種薄膜、金屬配線、濾色鏡等。即，液滴噴出裝置只要是能夠通過(guò)已彈附的液滴Fb形成標(biāo)記的裝置即可。
在所述實(shí)施方式中，將需要噴出液滴的對(duì)象物具體化為母襯底2M。但是并不限定于此，例如也可以將對(duì)象物具體化為硅襯底或撓性襯底、或金屬襯底。即，需要噴出液滴的對(duì)象物只要是通過(guò)已彈附的液滴Fb形成標(biāo)記的對(duì)象物即可。
權(quán)利要求
1.一種液滴噴出裝置，其特征在于，具備液滴噴出頭，其向?qū)ο笪飮姵鲆旱危患す庹丈溲b置，其對(duì)與所述液滴噴出頭相對(duì)置的所述對(duì)象物的區(qū)域照射激光；吸入裝置，其設(shè)于所述激光照射裝置和被所述激光照射的所述對(duì)象物上的照射位置之間，且吸入從所述液滴產(chǎn)生的蒸發(fā)成分。
2.如權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，還具備移動(dòng)裝置，所述移動(dòng)裝置使所述對(duì)象物及所述激光照射裝置中的至少一個(gè)相對(duì)另一個(gè)移動(dòng)，以使已彈附于所述對(duì)象物上的所述液滴配置于所述照射位置上，并且使所述對(duì)象物及所述吸入裝置中的至少一個(gè)相對(duì)另一個(gè)移動(dòng)，以使在所述照射位置被所述激光照射的所述液滴配置于與所述吸入裝置相對(duì)置的位置上。
3.如權(quán)利要求2所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述移動(dòng)裝置實(shí)施相對(duì)移動(dòng)，以使被所述激光照射的所述液滴在與所述吸入裝置相對(duì)置后與所述激光照射裝置相對(duì)置。
4.如權(quán)利要求2所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述移動(dòng)裝置是使所述吸入裝置、所述激光照射裝置及所述液滴噴出頭中的至少任一個(gè)在所述對(duì)象物上移動(dòng)的多關(guān)節(jié)機(jī)器人。
5.如權(quán)利要求1所述的液滴噴出裝置，其特征在于，還具備搭載有所述液滴噴出頭、所述吸入裝置及所述激光照射裝置的頭組件，所述吸入裝置配置于所述液滴噴出頭和所述激光照射裝置之間。
6.如權(quán)利要求5所述的液滴噴出裝置，其特征在于，還具備移動(dòng)裝置，所述移動(dòng)裝置使所述頭組件在所述對(duì)象物上移動(dòng)，使所述液滴噴出頭相對(duì)所述吸入裝置先行且所述吸入裝置相對(duì)所述激光照射裝置先行。
7.如權(quán)利要求1～6中的任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述激光照射裝置包括射出所述激光的激光器；使從所述激光器射出的所述激光偏向而朝向所述照射位置的光學(xué)系統(tǒng)。
8.如權(quán)利要求1～6中的任一項(xiàng)所述的液滴噴出裝置，其特征在于，所述液滴噴出頭和所述對(duì)象物之間的區(qū)域的氣體的流動(dòng)阻力比該區(qū)域周?chē)臍怏w的流動(dòng)阻力大。
全文摘要
液滴噴出裝置具備液滴噴出頭、激光照射裝置和吸入裝置。液滴噴出頭向?qū)ο笪飮姵鲆旱?。激光照射裝置對(duì)與所述液滴噴出頭相對(duì)置的所述對(duì)象物的區(qū)域照射激光。吸入裝置設(shè)于所述激光照射裝置和被所述激光照射的所述對(duì)象物上的照射位置之間并吸入從所述液滴產(chǎn)生的蒸發(fā)成分。
文檔編號(hào)B41J3/407GK1974215SQ200610160488
公開(kāi)日2007年6月6日 申請(qǐng)日期2006年11月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月29日
發(fā)明者三浦弘綱 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社