專利名稱：：吸引裝置和包括其的液滴噴出裝置及電光學(xué)裝置及其制法的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及包括對噴墨方式的多個功能液滴噴出頭的噴嘴面可自由分離接觸地密接的多個噴頭帽(headcap)的吸引裝置、和包括其的液滴噴出裝置、以及電光學(xué)裝置的制造方法和電光學(xué)裝置。
背景技術(shù)：
：以往，己知對應(yīng)于裝載了12個功能液滴噴出頭的7臺滑架單元(carriageunit)而包括裝載了12個噴頭帽的7臺吸引單元的吸引裝置(參照特開2005-254798號公報)。各吸引單元包括將12個噴頭帽裝載在帽板上的帽單元；使12個噴頭帽隔著帽板與12個功能液滴噴出頭分離接觸的分離接觸機構(gòu)；與12個噴頭帽連通的廢液箱；將二次側(cè)連接到廢液箱而使吸引壓力作用于廢液箱的噴射器；以及連接12個噴頭帽和廢液箱的吸引流路。在使各噴頭帽緊貼到各功能液滴噴出頭時，若驅(qū)動噴射器以將壓縮空氣導(dǎo)入到一次側(cè)，則廢液箱的箱內(nèi)部及吸引流路成為負壓，通過12個噴頭帽從12個功能液滴噴出頭中吸引功能液。在這樣的吸引裝置中，即使在各吸引單元中，12個功能液滴噴出頭中有的因為孔眼堵塞而需要進行吸引，有的不需要，但也將它們一并進行吸引處理，所以存在浪費地消耗了功能液的問題。在這樣的情況下，考慮在各功能液滴噴出頭的單獨吸引流路中設(shè)置開關(guān)閥等，只對需要進行吸引的功能液滴噴出頭進行吸引。但是，推測出在這樣做時，供吸引的功能液滴噴出頭的個數(shù)變化時，各噴頭帽中的吸引力變化(吸引流量變化)了，不可能對于每一個功能液滴噴出頭適當(dāng)?shù)剡M行吸引。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的課題是提供一種即使同時進行吸引處理的噴頭帽的數(shù)量變化，也能夠在各噴頭帽中按照相同的吸引壓力進行吸引的吸引裝置和包括其的液滴噴出裝置、以及電光學(xué)裝置的制造方法和電光學(xué)裝置。本發(fā)明的吸引裝置設(shè)置在通過多個功能液滴噴出頭對工件進行描繪的噴墨方式的液滴噴出裝置中，與各功能液滴噴出頭的噴嘴面緊貼地吸引功能液，其特征在于包括與多個功能液滴噴出頭相對應(yīng)的多個噴頭帽；具有上游側(cè)被連接到多個噴頭帽的多個單獨流路、以及通過合流部分被連接到多個單獨流路的下游端的合流流路的吸引流路；插入設(shè)置在各單獨流路中，對各單獨流路進行開閉的多個流路開閉部件；連接合流流路的下游端并由密閉箱構(gòu)成的廢液箱；向一次側(cè)導(dǎo)入壓縮空氣，并且將二次側(cè)連接到廢液箱的上部空間的噴射器；對噴射器的一次側(cè)壓縮空氣的壓力進行調(diào)整的壓力調(diào)整部件；和對壓力調(diào)整部件進行控制的控制部件，控制部件根據(jù)多個流路開閉部件中開放的流路開閉部件的開放數(shù)目，控制壓力調(diào)整部件，以使多個噴頭帽中各自的吸引壓力為一定。通過該結(jié)構(gòu)，在多個功能液滴噴出頭中有進行吸引處理和不進行吸引處理的噴頭時，能夠通過各流路開閉部件的開閉來執(zhí)行，并且根據(jù)開放的流路開閉部件的開放數(shù)目來控制調(diào)節(jié)器，從而能夠保持各噴頭帽中的吸引壓力恒定。由此能夠保持各噴頭帽的吸引流量為一定量，能夠?qū)τ诿恳粋€功能液滴噴出頭進行適當(dāng)?shù)奈幚恚c進行吸引處理的功能液滴噴出頭的數(shù)目沒有關(guān)系。此外，通過使用噴射器作為吸引源，能夠構(gòu)筑對功能液的耐藥性優(yōu)異的系統(tǒng)。在該情況下，作為優(yōu)選，還包括對吸引時的各廢液箱的壓力進行檢測的壓力檢測部件，控制部件控制壓力調(diào)整部件，以使廢液箱內(nèi)的壓力成為與開放數(shù)目相對應(yīng)的規(guī)定壓力。同樣地，作為優(yōu)選，還包括流量檢測部件，其檢測通過吸引而流入到各廢液箱中的功能液流量，控制部件控制壓力控制部件，以使流入到廢液箱中的功能液流量成為與開放數(shù)目相對應(yīng)的規(guī)定的流量。根據(jù)這些結(jié)構(gòu)，可以高精度地進行控制，以在任何一個噴頭帽中，吸引壓力都始終一定，可以一邊考慮功能液的類別，同時適當(dāng)?shù)剡M行對功能液滴噴出頭的吸引處理。在這些情況下，作為優(yōu)選，多個功能液滴噴出頭裝載在一個噴頭板上，與此相對應(yīng)，多個噴頭帽裝載在一個帽板上。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，即使對于裝載在一個噴頭板上的多個功能液滴噴出頭，有進行吸引處理的噴頭和不進行吸引處理的噴頭，也能夠適當(dāng)?shù)剡M行吸引處理。同樣地，作為優(yōu)選，多個功能液滴噴出頭裝載在多個噴頭板上，與此相對應(yīng)，多個噴頭帽裝載在多個帽板上。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，即使對于裝載在多個噴頭板上的多個功能液滴噴出頭，有進行吸引處理的噴頭和不進行吸引處理的噴頭，也能夠適當(dāng)?shù)剡M行吸引處理。本發(fā)明的液滴噴出裝置的特征在于，包括一邊使噴墨方式的多個功能液滴噴出頭相對于工件移動，一邊從各功能液滴噴出頭中噴出功能液滴對工件進行描繪的描繪部件；和上述吸引裝置。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于能夠適當(dāng)?shù)剡M行多個功能液滴噴出頭的功能維持和功能恢復(fù)，所以能夠以高的描繪品質(zhì)對工件進行處理，能夠提高生產(chǎn)率。本發(fā)明的電光學(xué)裝置的制造方法的特征在于，使用上述液滴噴出裝置，在工件上形成由功能液滴形成的成膜部分。本發(fā)明的電光學(xué)裝置的特征在于，在工件上形成了由功能液滴形成的成膜部分。根據(jù)這些結(jié)構(gòu)，采用能夠高效率地進行功能液滴噴出頭的功能維持和功能恢復(fù)的液滴噴出裝置進行制造，能夠提高工件的生產(chǎn)率。再有，作為電光學(xué)裝置(平板顯示器；FPD)，考慮濾色器、液晶顯示裝置、有機EL裝置、PDP裝置、電子發(fā)射裝置等。再有，電子發(fā)射裝置是包括所謂的FED(FieldEmissionDisplay;場發(fā)射顯示器)、SED(Surface-conductionElectron-EmitterDisplay;表面導(dǎo)電電子發(fā)射顯示器)裝置等的概念。而且，作為電光學(xué)裝置，考慮包含形成金屬布線、形成透鏡、形成抗蝕劑和形成光擴散體等的裝置。圖1是實施方式涉及的液滴噴出裝置的立體圖。圖2是液滴噴出裝置的俯視圖。圖3是液滴噴出裝置的側(cè)視圖。圖4是噴頭單元的俯視圖。圖5是功能液滴噴出頭的外觀立體圖。圖6是吸引裝置的側(cè)視圖。圖7是吸引裝置的俯視圖。圖8是噴頭帽的剖視圖。圖9是吸引機構(gòu)的系統(tǒng)圖。圖IO是液滴噴出裝置的主控制系統(tǒng)(控制裝置)的框圖。圖11是第2實施方式涉及的吸引機構(gòu)的系統(tǒng)圖。圖12是說明濾色器制造工序的流程圖。圖13A圖13E是按照制造工序的順序表示的濾色器的示意剖視圖。圖14是表示使用了采用本發(fā)明的濾色器的液晶裝置的概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖。圖15是表示使用了采用本發(fā)明的濾色器的第2例子的液晶裝置的概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖。圖16是表示使用了采用本發(fā)明的濾色器的第3例子的液晶裝置的概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖。圖17是有機EL裝置、即顯示裝置的主要部分剖視圖。圖18是說明有機EL裝置、即顯示裝置的制造工序的流程圖。圖19是說明無機物圍堰(bank)層的形成的工序圖。圖20是說明有機物圍堰層的形成的工序圖。圖21是說明形成空穴注入/輸送層的過程的工序圖。圖22是說明形成了空穴注入/輸送層的狀態(tài)的工序圖。圖23是說明形成藍色的發(fā)光層的過程的工序圖。圖24是說明形成了藍色的發(fā)光層的狀態(tài)的工序圖。圖25是說明形成了各顏色的發(fā)光層的狀態(tài)的工序圖。圖26是說明陰極的形成的工序圖。圖27是等離子型顯示裝置(PDP裝置)即顯示裝置的主要部分分解立體圖。圖28是電子發(fā)射裝置(FED裝置)即顯示裝置的主要部分剖視圖。圖29A是顯示裝置的電子發(fā)射部分周圍的俯視圖，圖29B是表示其形成方法的俯視圖。圖中l(wèi)一液滴噴出裝置，9一控制裝置，15—吸引裝置，17—功能液滴噴出頭，53—噴頭板，97—噴嘴面，201—噴頭帽，202—帽板，203—帽單元，225—吸引流路，225a—單獨流路，225b—合流部分，225c—合流流路，281—廢液箱，327—流量計(流量檢測部件)，331—噴射器，333—開閉閥(流路開閉部件)，334—調(diào)節(jié)器，335—壓力傳感器，337—吸引部件，508—成膜部分，W—工件。具體實施方式以下，參照添加的附圖，說明采用了本發(fā)明的功能液供給裝置的液滴噴出裝置。該液滴噴出裝置被安裝在平板顯示器的制造生產(chǎn)線上，例如，使用導(dǎo)入了特殊的油墨或發(fā)光性的樹脂液即功能液的功能液滴噴出頭，形成作為液晶顯示裝置的濾色器和有機EL裝置的各像素的發(fā)光元件等。如圖l、圖2和圖3所示，液滴噴出裝置l包括X軸工作臺(table)11，其配置在支撐在石平臺上的X軸支撐基座(base)2，在作為主掃描方向的X軸方向上延伸，使工件W在X軸方向(主掃描方向)上移動；Y軸工作臺(移動工作臺)12，其配置在隔著多跟支柱4以跨越X軸工作臺11的一對(兩個)Y軸支撐基座3上，在作為副掃描方向的Y軸方向上延伸；以及10個滑架單元51，裝載了多個功能液滴噴出頭17，10個滑架單元51移動自如地吊設(shè)在Y軸工作臺12上。而且，液滴噴出裝置l包括將這些裝置容納在溫度和濕度受到管理的氣氛內(nèi)的小室(chamber)6;貫通小室6并具有從小室6的外部對內(nèi)部的功能液滴噴出頭17供給功能液的3組功能液供給裝置101的功能液供給單元7;和對這些構(gòu)成裝置都進行總括控制的控制裝置9(參照圖10)。通過與X軸工作臺11和Y軸工作臺12驅(qū)動同步地對功能液滴噴出頭17進行噴出驅(qū)動，從而可以噴出從功能液供給單元7供給的R、G、B三色功能液滴，在工件W上描繪規(guī)定的描繪圖案。此外，液滴噴出裝置1包括由沖洗單元14、多個(10臺)吸引裝置15、擦凈單元16、噴出性能檢查單元18構(gòu)成的維護裝置5，在功能液滴噴出頭17的保養(yǎng)中利用這些單元，從而實現(xiàn)功能液滴噴出頭17的功能維持和功能恢復(fù)。再有，在構(gòu)成維護裝置5的各單元中，沖洗單元14和噴出性能檢査單元18被裝載在X軸工作臺11上(嚴格地說，噴出性能檢査單元18將后述的載物臺單元77裝載在X軸工作臺11上，將照相機單元78支撐在Y軸支撐基座3上)。此外，多個(IO臺)吸引裝置15和擦凈單元16被設(shè)置在臺架39上，該臺架39從X軸工作臺11以直角延伸，并且通過Y軸工作臺12設(shè)置在滑架單元51可移動的位置上。沖洗單元14具有一對掃描前沖洗單元71、71;以及定期沖洗單元72，接受在功能液滴噴出頭17的噴出之前或工件W的重新設(shè)置時等的描繪處理停止時進行的功能液滴噴出頭17的廢棄噴出(沖洗)。多個(10臺)吸引裝置15從各功能液滴噴出頭17的噴出噴嘴98強制地吸引功能液，同時進行各功能液滴噴出頭17的壓蓋(capping)。擦凈單元16具有擦凈片75，擦干吸引后的功能液滴噴出頭17的噴嘴面97。噴出性能檢査單元18具有裝載了接受從功能液滴噴出頭17噴出的功能液滴的檢查片83的載物臺單元77;以及通過圖像識別來檢查載物臺77上的功能液滴的照相機單元78，該噴出性能檢査單元檢査功能液滴噴出頭17的噴出性能(有無噴出和彎曲飛行)。下面，簡單地說明液滴噴出裝置1的構(gòu)成要素。如圖2或圖3所示，X軸工作臺ll包括設(shè)置工件W的設(shè)置臺21;以在X軸方向上自由滑動的方式支撐設(shè)置臺21的X軸第l滑塊22;以在X軸方向上自由滑動的方式支撐上述沖洗單元14和載物臺單元77的X軸第2滑塊23;在X軸方向上延伸，通過X軸第1滑塊22使設(shè)置臺21(工件W)在X軸方向上移動，同時通過X軸第2滑塊23使沖洗單元14和載物臺單元77在X軸方向上移動的左右一對的X軸線性電機(省略圖示)；以及與X軸線性電機并排設(shè)置，引導(dǎo)X軸第1滑塊22和X軸第2滑塊23的移動的一對(兩個)X軸公用支撐基座24。設(shè)置臺21具有吸附設(shè)置工件W的吸附臺31;以及支撐吸附臺31，并用于在e軸方向上對設(shè)置在吸附臺3i上的工件w的位置進行校正的e臺32等。此外，在與設(shè)置臺21的Y軸方向平行的一對邊上，分別添設(shè)了上述描繪前沖洗單元71。Y軸工作臺12包括分別吊設(shè)了各10個滑架單元51的10個橋接板52;以雙支撐方式支撐10個橋接板52的10組Y軸滑塊(省略圖示)；以及設(shè)置在上述一對Y軸支撐基座3上，通過10組Y軸滑塊使橋接板52在Y軸方向上移動的一對Y軸線性電機(省略圖示)。此外，Y軸工作臺12除了通過各滑架單元51在描繪時對功能液滴噴出頭17進行副掃描以外，還使功能液滴噴出頭17面向維護裝置5(吸引裝置15和擦凈單元16)。(同步)驅(qū)動一對Y軸線性電動機時，各Y軸滑塊對一對Y軸支撐基座3進行導(dǎo)向，同時在Y軸方向平行移動。由此，橋接板52在Y軸方向移動，與此同時滑架單元51在Y軸方向上移動。再有，這種情況下，通過控制Y軸線性電動機的驅(qū)動，從而可以使各滑架單元51獨立并單獨移動，還可以使10個滑架單元51作為一體來移動。此外，在Y軸工作臺12的兩肋上，與其平行地設(shè)置電纜保持體81。兩個電纜保持體81的一端被固定在Y軸支撐基座3，并且另一端被固定在各橋接板52的一個上。該電纜保持體81中，收納有各滑架單元51用的電纜類、空氣管道類和功能液流路等。各滑架單元51包括有噴頭單元13，該單元由12個功能液滴噴出頭17和將12個功能液滴噴出頭17分為每組6個的兩組來支撐的噴頭板53構(gòu)成(參照圖4)。此外，各滑架單元5i包括以可e校正(的定轉(zhuǎn))的方式支撐噴頭單元13的郎定轉(zhuǎn)機構(gòu)61;以及通過的定轉(zhuǎn)機構(gòu)61，使噴頭單元13被支撐在Y軸工作臺12(各橋接板52)上的吊設(shè)構(gòu)件62。另外，各滑架單元51在其上部設(shè)置副箱121(實際上，設(shè)置在橋接板52上參照圖1)，利用自然水壓差，并且通過減壓閥(省略圖示)從該副箱121對各功能液滴噴出頭17供給功能液。如上所述，12個功能液滴噴出頭17，每組6個而被分為兩組，從而被支撐在噴頭板53上，各組6個功能液滴噴出頭17由R色功能液用的2個功能液滴噴出頭17、G色功能液用的2個功能液滴噴出頭17、和B色功能液用的2個功能液滴噴出頭17構(gòu)成。各顏色的2個功能液滴噴出頭17鄰接設(shè)置，連接實際描繪時使用的多個噴出噴嘴98(后述的有效噴嘴)，構(gòu)成部分描繪行。并且，2組各自的各顏色的部分描繪行在Y軸方向上間隔相當(dāng)于2份的部分描繪行的尺寸設(shè)置。因此，通過3次主掃描和期間的2次副掃描，對工件W實施希望的配色圖案的描繪。如圖5所示，功能液滴噴出頭17是所謂的雙聯(lián)噴頭，包括具有雙聯(lián)的連接針92的功能液導(dǎo)入部分91;與功能液導(dǎo)入部分91連接的雙聯(lián)的噴頭基板93;以及與功能液導(dǎo)入部分91的下方連接，在內(nèi)部形成了被功能液填滿的噴頭內(nèi)流路的噴頭主體94。連接針92被連接到功能液供給單元7(功能液供給裝置101)，向功能液導(dǎo)入部分91供給功能液。噴頭主體94由模腔(cavity)95(壓電元件)和具有開口了多個噴出噴嘴98的噴嘴面97的噴嘴板96構(gòu)成。在噴出驅(qū)動功能液滴噴出頭17時(在壓電元件上施加電壓)，通過模腔95的泵作用，功能液滴從噴出噴嘴98被噴出。再有，在噴嘴面97中，相互平行地形成有多個噴出噴嘴98組成的兩個噴嘴列99、99。而且，兩個噴嘴列99之間，位置相互錯開半個噴嘴節(jié)距。此外，各噴嘴列99的多個(180個)噴出噴嘴98，其兩端部的多個(10個)噴出噴嘴98在實際描繪時不使用，在實際描繪時，中央部的160個噴出噴嘴98作為有效噴嘴使用。以使內(nèi)部溫度和濕度保持一定的方式構(gòu)成小室6。g卩，液滴噴出裝置1對工件W的描繪在溫度和濕度被管理為一定值的氣氛中進行。并且，在小室6的側(cè)壁的一部分上，設(shè)置有用于容納與副箱121連接的箱單元122的箱柜(tankcabinet)84。再有，在制造有機EL裝置等時，優(yōu)選將小室6內(nèi)部用惰性氣體(氮氣)的氣氛構(gòu)成。如圖1和圖2所示，裝載了擦凈單元16和10臺(多個)吸引裝置15所設(shè)置的區(qū)域成為維護區(qū)域213，在液滴噴出裝置1的運行停止時，10個滑架單元51通過Y軸工作臺12移動到10臺吸引裝置15的位置，對所有功能液滴噴出頭17，進行所謂的壓蓋。另一方面，在運行開始時，對于所有功能液滴噴出頭17進行吸引處理，接著以滑架單元51為單位面對擦凈單元16進行擦凈處理，10臺滑架單元51依次移動到X軸工作臺11上的描繪區(qū)域214。此外，在運行中，例如由噴出性能檢查單元18在從維護區(qū)域213側(cè)起第3滑架單元51中檢測出噴出不良時，從第1至第3的三個滑架單元移動到描繪區(qū)域214側(cè)的3臺吸引裝置15上，在對應(yīng)的一個滑架單元51中，通過吸引裝置15進行吸引處理，在該期間其他兩個滑架單元51進行從各功能液滴噴出頭17對吸引裝置15的廢棄噴出(沖洗)。于是，10個滑架單元51被單獨地控制，與此同時，10臺吸引裝置15也被單獨地控制。艮卩，10臺吸引裝置15構(gòu)成本裝置的吸引系統(tǒng)。下面，參照圖6到圖8，說明各吸引裝置15。各吸引裝置15包括將與12個功能液滴噴出頭17相對應(yīng)的12個噴頭帽201裝載在帽板202上的帽單元203;與帽單元203連接的吸引機構(gòu)204;使帽單元203升降的升降機構(gòu)206;和調(diào)整后述的帽單元203的縱搖(e'7*>々')方向和橫搖(3-4>，')方向的傾斜度的傾斜度調(diào)整機構(gòu)207。如圖6所示，升降機構(gòu)206具有通過支撐構(gòu)件205使噴頭帽201升降的升降汽缸311;對升降汽缸311的升降進行導(dǎo)向的一對線性導(dǎo)軌314;以及支撐它們的基座部分341。升降汽缸311使帽單元203在吸引用的緊貼位置、沖洗用的分離位置、噴頭單元13的更換或帽單元203的消耗品更換(維護)用的更換位置之間三級地升降。支撐構(gòu)件205具有主體框343、設(shè)置在主體框343的上端部且支撐帽單元203的支撐框342、和在支撐框342的正下面的橫向上設(shè)置的開放框312。在開放框312上設(shè)置與后述的12個大氣開放閥208—起開放的12個工作爪307，通過與開放框312連結(jié)的一對汽缸345、345使大氣開放閥208開放(開閥)。如圖6和圖7所示，傾斜度調(diào)整機構(gòu)207由在上述的蓋板202的四個角上設(shè)置的4個高度調(diào)整機構(gòu)313構(gòu)成，各高度調(diào)整機構(gòu)313具有穿過支撐框342的調(diào)整螺栓、和貫通調(diào)整螺栓的軸心將蓋板202螺旋嚙合在支撐框342上的固定螺栓。S卩，通過使4根調(diào)整螺栓分別正反旋轉(zhuǎn)，調(diào)整噴頭帽201的縱搖方向和橫搖方向的傾斜度，然后將4根固定螺栓螺旋嚙合在支撐框342上進行固定，從而進行一連串的傾斜度調(diào)整。如圖8所示，噴頭帽201具有由帽集合221和集合基底222組成的帽主體223;和保持帽集合221的帽保持器224。帽集合由吸收材料保持器231、功能液吸收部件232、功能液吸收部件壓板233、密封構(gòu)件234、和框狀壓板構(gòu)件235組成，這些部件通過一對連結(jié)螺栓(省略圖示)被一體化。此外，在帽集合221和集合基底222之間插入設(shè)置液密密封構(gòu)件237和氣密密封構(gòu)件238(都是O環(huán))，以裝在吸收材料保持器231中形成的一對環(huán)狀槽253內(nèi)。而且，帽主體223通過從框狀壓板部件235側(cè)貫通帽集合221螺旋嚙合在集合基底222上的安裝螺栓242被一體化。帽保持器224包括帽保持器主體320;與帽保持器主體320—起保持帽主體223的一對保持擋塊321、321;以帽保持器主體320為支撐物將帽主體223向上方彈出的一對緊貼彈簧322、322。并且，在帽保持器主體320的中央部上形成插入同軸接頭226和大氣開放閥208的開口部分323。并且，與吸收材料保持器231的溝底連接的功能液流路251通過同軸接頭226連接到后述的吸引流路225。此外，大氣開放閥208連接到上述的工作爪307，通過一對汽缸345、345使其向下運動進行開閥。再有，通過在吸引操作結(jié)束之前開放大氣開放閥208，也能夠吸引噴頭帽201內(nèi)的功能液。如上所述，帽單元203按照與噴頭單元13的三種顏色(R、G和B)各4個、共計12個功能液滴噴出頭17相對應(yīng)的三種顏色各4個、共計12個噴頭帽201被保持在帽板202上的方式來構(gòu)成。即，裝載在帽單元203上的12個噴頭帽201與裝載在帽單元13上的功能液滴噴出頭17具有相同的排列圖案，12個噴頭帽201相對于12個功能液滴噴出頭17同時脫離/接觸(參照圖4和圖7)。接下來，參照圖9說明吸引機構(gòu)204。吸引機構(gòu)204與三種顏色(R、G和B)的功能液滴噴出頭17相對應(yīng)，由單獨的R色吸引機構(gòu)204R、G色吸引機構(gòu)204G和B色吸引機構(gòu)204B構(gòu)成。由于各色的吸引機構(gòu)204R、204G、204B的結(jié)構(gòu)和功能相同，所以在這里以R色吸引機構(gòu)204R為例在下面進行說明。再有，本實施方式中的各功能液，除了顏色外粘性也不同，通過按照不同的顏色構(gòu)成吸引結(jié)構(gòu)，可以抑制功能液的浪費的消耗，同時可以對于導(dǎo)入顏色不同的功能液的多個功能液滴噴出頭適當(dāng)?shù)剡M行功能維持和功能恢復(fù)。如圖9所示，R色吸引機構(gòu)204R具有通過R色的多個(4個)噴頭帽201吸引功能液的吸引部件337、和連接多個噴頭帽201和吸引部件337的吸引流路225。吸引流路225包括上游側(cè)連接到各噴頭帽201上的多個(4個)單獨流路225a;各單獨流路225a合流的合流部分225b(歧管)；和通過合流部分225b連接到多個單獨流路225a的下游側(cè)的合流流路225c。在各單獨流路225a中插入設(shè)置開閉閥(流路開閉部件)333和單獨壓力傳感器332，開閉閥333和單獨壓力傳感器332分別連接到控制裝置9(參照圖10)。合流流路225c設(shè)置在合流部分225b和后述的廢液箱281之間，其下游端深深地插入到廢液箱281的底部附近，以便一直位于廢液的液面以下。即，功能液(廢液)從通過同軸接頭226而連接到噴頭帽201的單獨流路225a，經(jīng)過合流部分225b和合流流路225d被吸引到廢液箱281中。此外，在合流流路225c的下游側(cè)設(shè)置檢測被吸引到廢液箱281內(nèi)的功能液(廢液)的流量的流量計(流量檢測部件實際上檢測流速)327。吸引部件337包括上述的流量計327;由所謂的密閉箱構(gòu)成的廢液箱281;—次側(cè)連接到壓縮空氣供給設(shè)備390的噴射器331;上游端連接到廢液箱281的上部空間，下游端連接到噴射器331的二次側(cè)的吸引管路328;插入設(shè)置在噴射器331和壓縮空氣供給設(shè)備390之間且調(diào)整向噴射器331供給的壓縮空氣的壓力的調(diào)節(jié)器(壓力調(diào)整部件)334;檢測廢液箱281的內(nèi)部壓力的壓力傳感器(壓力檢測部件)335;和控制調(diào)節(jié)器334的上述控制裝置9。噴射器331的二次側(cè)通過吸引管路328與廢液箱281連接，并且一次側(cè)通過壓縮空氣流路329與調(diào)節(jié)器334連接。g卩，噴射器331通過壓縮空氣流路329將壓縮空氣導(dǎo)入到一次側(cè)，從而在二次側(cè)中產(chǎn)生負壓，通過與功能液滴噴出頭17緊貼的噴頭帽201將功能液吸引到廢液箱281中。再有，通過了噴射器331的空氣被送入到排氣設(shè)備389中。調(diào)節(jié)器334由電動氣壓調(diào)節(jié)器構(gòu)成，通過控制裝置9，對從壓縮空氣供給設(shè)備390供給的壓縮空氣進行適當(dāng)減壓，提供給噴射器331。即，通過由調(diào)節(jié)器334調(diào)整壓縮空氣的空氣壓力，調(diào)整噴射器331的二次側(cè)壓力(吸引壓力負壓)。接下來，參照圖10說明液滴噴出裝置1的主控制系統(tǒng)。如圖10所示，液滴噴出裝置1包括具有噴頭單元13(功能液滴噴出頭17)的液滴噴出部分383;具有X軸工作臺ll并使工件W向X軸方向移動的工件移動部分384;具有Y軸工作臺12并使噴頭單元13向Y軸方向移動的噴頭移動部分388;具有維護部件的各單元的維護部分385;具有功能液供給單元7并給功能液滴噴出頭17供給功能液的功能液供給部分386;具有各種傳感器，以進行各種檢測的檢測部分387;具有驅(qū)動控制各部分的各種驅(qū)動器的驅(qū)動部分382;以及連接到各部分，進行液滴噴出裝置1整體的控制的控制部分(控制部件)381。并且由該驅(qū)動部分382和控制部分381構(gòu)成控制裝置9。控制部分381包括用于連接各部件的接口375;具有可臨時存儲的存儲區(qū)域，用作控制處理的作業(yè)區(qū)域的RAM372;具有各種存儲區(qū)域，存儲控制程序或控制數(shù)據(jù)的ROM373;存儲用于在工件W上描繪規(guī)定的描繪圖案的描繪數(shù)據(jù)、來自各部件的各種數(shù)據(jù)等，并且存儲用于處理各種數(shù)據(jù)的程序等的硬盤374;根據(jù)ROM373或硬盤374所存儲的程序等，對各種數(shù)據(jù)進行運算處理的CPU371;以及將它們相互連接的總線376。.而且，控制部分381通過接口375輸入來自各部件的各種數(shù)據(jù)，并且根據(jù)存儲在硬盤374中的(或通過CD-ROM驅(qū)動器等依次讀出的)程序，使CPU371進行運算處理，將其處理結(jié)果通過驅(qū)動部分382(各種驅(qū)動器)輸出到各部件。由此，整個裝置受到控制，進行液滴噴出裝置1的各種處理。接下來，說明上述控制裝置9對各吸引裝置15進行控制的方法。如上所述，實施方式的吸引裝置15具有從功能液滴噴出頭17中吸引功能液的吸引功能；接受來自功能液滴噴出頭17的廢棄噴出的受液功能；和壓蓋功能液滴噴出頭17的壓蓋功能。壓蓋功能是防止在裝置的非運行時噴出噴嘴98中的功能液干燥的功能，驅(qū)動升降機構(gòu)206，變成使噴頭蓋201(蓋單元203)相對于面向噴頭蓋201的正上部的功能液滴噴出頭17(噴頭單元B)緊貼(緊貼位置)的狀態(tài)。受液功能是接受用于例如擦凈處理等待等的待機狀態(tài)的功能液滴噴出頭17所實施的功能維持的廢棄噴出的功能，通過升降機構(gòu)206使噴頭帽201(帽單元203)移動到分離的位置上，接受功能液滴噴出頭17的廢棄噴出，同時驅(qū)動吸引機構(gòu)204吸引殘留在噴頭帽201中的功能液。在功能液滴噴出頭17的噴出驅(qū)動之前開始吸引，以使該情況下的吸引也能夠吸引廢棄噴出產(chǎn)生的功能液的霧(mist)。吸引功能是在裝置的運行開始時、或者在上述噴出性能檢測單元18發(fā)現(xiàn)噴出不好的情況下，從功能液滴噴出頭17吸引粘度增加了的功能液從而實現(xiàn)功能液滴噴出頭17的功能恢復(fù)的功能，通過升降機構(gòu)206使噴頭帽201(帽單元203)移動到緊貼位置之后，驅(qū)動吸引機構(gòu)204，通過噴頭帽201從功能液滴噴出頭17的全部噴出噴嘴98中吸引功能液。如上所述，因為在各吸引裝置15中設(shè)置顏色不同的R色吸引機構(gòu)204R、G色吸引機構(gòu)204G和B色吸引機構(gòu)204B，這3色功能液彼此粘性不同，所以在R色吸引機構(gòu)204R、G色吸引機構(gòu)204G、B色吸引機構(gòu)204B中，根據(jù)預(yù)先通過實驗求出的控制表，控制各調(diào)節(jié)器334以分別達到最佳的吸引壓力。此外，通過單獨的壓力傳感器332、壓力傳感器335和流量計327等監(jiān)視各吸引動作是否最佳地進行。再有，基于上述的受液功能的吸引(以弱的吸引力進行的吸引)也根據(jù)控制表控制各調(diào)節(jié)器334以分別達到最佳的吸引壓力。同樣，在功能液滴噴出頭17中初始填充功能液的情況下，為了排除各流路內(nèi)的氣泡，也進行在吸引初期以強的吸引壓力進行吸引，在吸引終期以弱的吸引壓力進行吸引等的控制(過程控制)。另一方面，由噴出性能檢測單元18進行檢査的結(jié)果是，在各顏色4個功能液滴噴出頭17中，有需要功能恢復(fù)的噴頭和不需要功能恢復(fù)的噴頭，在這樣的情況下，可以打開需要功能恢復(fù)的功能液滴噴出頭17的開閉閥333，關(guān)閉不需要功能恢復(fù)的功能液滴噴出頭17的開閉閥333，進行功能液的吸引操作(吸引功能)。并且，在該情況的控制中，即使需要進行吸引的功能液滴噴出頭17的個數(shù)變化，也可以進行下面的控制，以使各功能液滴噴出頭17的吸引壓力為一定(各單獨的壓力傳感器332的檢測值一定)。在該情況下，進行吸引操作的吸引壓力是預(yù)先算出的與開閉閥333的開放數(shù)目相對應(yīng)的最佳吸引壓力，在該吸引壓力下進行吸引操作。再有，作為優(yōu)選，最佳吸引壓力除了根據(jù)開放的開閉閥333的數(shù)目外，還根據(jù)功能液的粘性來求出控制表。此外，如上所述，由于在各噴頭帽201中設(shè)置了分別對應(yīng)的開閉閥333，所以只打開與要進行吸引操作的功能液滴噴出頭17相對應(yīng)的開閉閥333。與該情況相同，算出開放的開閉閥333的數(shù)目，根據(jù)控制表求出與該數(shù)目相對應(yīng)的吸引壓力。并且，控制裝置9根據(jù)開閉閥333的開放數(shù)目，參照控制表來控制調(diào)節(jié)器334。由此即使開閉閥333的開放數(shù)目變化，由單獨的傳感器332檢測的吸引壓力(負壓)也為一定。而且，除了根據(jù)該開閉閥333的數(shù)目進行壓力控制外，還進行調(diào)節(jié)器334的控制，以使設(shè)置在廢液箱281內(nèi)的壓力傳感器335所檢測的吸引壓力為規(guī)定的壓力(控制表)。在該情況下，同樣地也一邊控制調(diào)節(jié)器334一邊進行吸引操作，以使廢液箱281內(nèi)的吸引壓力為與開放的開閉閥333的數(shù)目相對應(yīng)的吸引壓力(反饋控制)。由此可以以更高的精度進行壓力控制。再有，在上述吸引操作中，使用根據(jù)壓力傳感器335的檢測值，對調(diào)節(jié)器334進行控制的方法作為控制方法，但是也可以使用如下的方法。在該控制方法中，代替上述的壓力傳感器335，由設(shè)置在合流流路225c的下游側(cè)的流量計327進行控制。在該情況下，事先算出與流入廢液箱281的最佳吸引流量相對應(yīng)的吸引壓力(控制表)。首先，算出與需要進行吸引的功能液滴噴出頭17相對應(yīng)的開閉閥333的開放數(shù)目。接下來，由控制部件340來控制調(diào)節(jié)器334以使流入廢液箱281的功能液的流量為與開放的開閉閥333的數(shù)目相對應(yīng)的吸引流量(反饋控制)。該情況與使用單獨的壓力傳感器332的情況相同，在任何一個噴頭帽201中都能夠?qū)⑽龎毫刂茷橐欢āＷ鳛閮?yōu)選，在該情況下控制表也是根據(jù)功能液的粘性求出的。在這樣的結(jié)構(gòu)中，由于能夠與不同顏色的粘性不同的功能液相對應(yīng)地分別調(diào)整功能液滴噴出頭17的吸引壓力，所以能夠以適當(dāng)?shù)膲毫M行各功能液滴噴出頭17的吸引。此外，在各種顏色的吸引機構(gòu)204中，由于能夠與需要進行吸引的功能液滴噴出頭17的個數(shù)相對應(yīng)地調(diào)整吸引壓力，所以能夠以一直一定的壓力進行功能液的吸引。從而能夠抑制功能液的消耗，同時適當(dāng)?shù)剡M行各功能液滴噴出頭17的功能恢復(fù)。可是，在上述初始填充中，在各單獨流路225a中設(shè)置液體檢測傳感器，液體檢測傳感器檢測到功能液時，作為完成了相當(dāng)?shù)墓δ芤旱螄姵鲱^17的初始填充的事實，進行關(guān)閉對應(yīng)的噴頭帽201的開閉閥333的控制，從而可以抑制功能液的浪費的消耗。在這樣的情況下，也可以根據(jù)開閉閥333的開放數(shù)目，進行上述控制。此外，在本實施方式中，使用包括具有10個帽單元51的液滴噴出裝置1的設(shè)備，但是帽單元51的個數(shù)和裝載在各帽單元51上的功能液滴噴出頭17的個數(shù)可以是任意的。接下來，參照圖11說明吸引裝置15關(guān)聯(lián)的第2實施方式。在該實施方式中，與第1實施方式相同，也與10個帽單元51相對應(yīng)，具有10臺帽單元203、10臺支撐構(gòu)件205、10臺升降機構(gòu)206，但是吸引機構(gòu)204與3色功能液滴噴出頭17相對應(yīng)，由3組吸引機構(gòu)204構(gòu)成。即，分別在10臺帽單元203中，相同顏色各4個噴頭帽201連接到對應(yīng)的吸引機構(gòu)204。換句話說，在第l實施方式中，給各噴頭帽203準備R色吸引機構(gòu)204R、G色吸引機構(gòu)204G和B色吸引機構(gòu)204B，而在第2實施方式中，對于10臺帽單元203準備R色吸引機構(gòu)204R、G色吸引機構(gòu)204G和B色吸引機構(gòu)204B。在該情況下，例如R色吸引機構(gòu)204R的吸引流路225包括與10個帽單元203中的R色各4個噴頭帽201(共計40個)連接的40個帽側(cè)流路401;對與共用的帽單元203相對應(yīng)的4個帽側(cè)流路401進行合流的10個帽側(cè)合流部分(歧管)402;上游側(cè)分別連接到10個帽側(cè)合流部分402，下游側(cè)連接到R色用廢液箱281的10組箱側(cè)流路403。此外，在各帽側(cè)流路401中插入設(shè)置用來單獨地對與噴頭帽301的連接進行開閉的單獨閥404。各箱側(cè)流路403包括上游側(cè)連接到10個帽側(cè)合流部分402的10個單獨流路225a;對10個單獨流路225a進行合流的箱側(cè)合流部分(歧管)225b;和上游側(cè)連接到箱側(cè)合流部分225b、下游側(cè)連接到廢液箱281的合流流路225c。即，在各顏色的各帽側(cè)合流部分402中，連接l個單獨流路225a，在該1個單獨流路225a的帽側(cè)合流部分附近(分支部分)插入設(shè)置開閉閥333。此外，由于由各顏色用的廢液箱281和噴射器334構(gòu)成的吸引部件337與第l實施方式相同，所以在此省略說明。在該實施方式中，以帽單元(噴頭單元13)51為單位，在有進行吸引的帽單元和不進行吸引的帽單元的情況下，與開閉閥333的開放個數(shù)相對應(yīng)，進行與第1實施方式相同的控制(參照第8頁第4行第9頁第11行)。再有，各顏色的每一個吸引機構(gòu)設(shè)置2組吸引部件337，可以同時進行吸引用的吸引處理和沖洗用的吸引處理。再有，這些實施方式使用采用了供給3色(R、G和B)功能液的功能液滴噴出頭17的裝置，但是供給的功能液的顏色種類和顏色數(shù)是任意的，例如，也可以與供給R(紅色)、G(綠色)、B(藍色)、C(青色)、M(品紅色)、Y(黃色)或者R、G、B、LR(淺紅色)、LG(淺綠色)、LB(淺藍色)六色的功能液的液滴噴出裝置1相對應(yīng)。在該情況下，可以通過增加廢液箱281和吸引機構(gòu)204的數(shù)目進行對應(yīng)。在該情況下，同樣地，如果功能液的粘度相同，就可以由單獨的吸引機構(gòu)進行吸引。接下來，作為使用本實施方式的液滴噴出裝置l制造的電光學(xué)裝置(平板顯示器)，以濾色器、液晶顯示裝置、有機EL裝置、等離子體顯示器(PDP裝置)、電子發(fā)射裝置(FED裝置、SED裝置)、以及在這些顯示裝置上形成的有源矩陣基板等為例，說明它們的結(jié)構(gòu)及其制造方法。再有，有源矩陣基板是指薄膜晶體管、形成了與薄膜晶體管電連接的電源線、數(shù)據(jù)線的基板。首先，說明液晶顯示裝置和有機EL裝置等中裝入的濾色器的制造方法。圖12是表示濾色器的制造工序的流程圖，圖13是以制造工序順序表示的本實施方式的濾色器500(濾色基板500A)的示意剖視圖。首先，如圖13A所示，在黑矩陣形成工序(S101)中，在基板(W)501上形成黑矩陣502。黑矩陣502通過金屬鉻、金屬鉻和氧化鉻的層疊體、或樹脂黑等形成。為了形成由金屬薄膜組成的黑矩陣502，可以使用濺射法或蒸鍍法等。此外，在形成由樹脂薄膜組成的黑矩陣502時，可以使用照相凹版印刷法、光刻法、熱轉(zhuǎn)印法等。接著，在圍堰形成工序(S102)中，在重疊在黑矩陣502上的狀態(tài)下形成圍堰503。SP，如圖13B所示，形成由負型的透明感光性樹脂組成的抗蝕劑層504，以覆蓋基板501和黑矩陣502。然后，在用黑矩陣圖案形狀所形成的掩膜(maskfilm)505將其上表面覆蓋的狀態(tài)下進行曝光處理。進而，如圖13C所示，通過對抗蝕劑層504的未曝光部分進行蝕刻處理，從而對抗蝕劑層504進行構(gòu)圖，形成圍堰503。再有，在由樹脂黑形成黑矩陣時，可將黑矩陣和圍堰兼用。該圍堰503和其下面的黑矩陣502成為劃分各像素區(qū)域507的隔壁部分507b，在后面的著色層形成工序中通過功能液滴噴出頭17在形成著色層(成膜部分)508R、508G、508B時規(guī)定功能液滴的射中區(qū)域。經(jīng)過以上的黑矩陣形成工序和圍堰形成工序，獲得上述濾色器基體500A。再有，在本實施方式中，作為圍堰503的材料，使用涂膜表面為疏液(疏水)性的樹脂材料。而且，由于基板(玻璃基板)501的表面有親液(親水)性，所以在后述的著色層形成工序中可以自動校正對圍堰503(隔壁部分507b)所包圍的各像素區(qū)域507a內(nèi)部的液滴的射中位置的偏差。接著，如圖13D所示，在著色層形成工序(S103)中，通過功能液滴噴出頭17噴出功能液滴并射到隔壁部分507b所包圍的各像素區(qū)域507a內(nèi)。這種情況下，使用功能液滴噴出頭17，導(dǎo)入R、G、B、三色的功能液(濾色材料)，進行功能液滴的噴出。再有，作為R、G、B三色的排列模式(pattern)，有直線排列、鑲嵌排列和三角形排列。然后，經(jīng)過干燥處理(加熱等處理)使功能液定影，形成三色的著色層508R、508G、508B。如果形成了著色層508R、508G、508B，則轉(zhuǎn)移到保護膜形成工序(S104)，如圖13E所示，形成保護膜509，以覆蓋基板501、隔壁部分507b、以及著色層508R、508G、508B的上表面。艮口，在基板501的形成了著色層508R、508G、508B的整個面上噴出保護膜用涂敷液后，經(jīng)過干燥處理而形成保護膜509。然后，在形成了保護膜509后，濾色器500轉(zhuǎn)移到下個工序的作為透明電極的ITO(IndiumTinOxide;氧化銦錫)等的貼膜工序。圖14是表示作為使用了上述濾色器500的液晶顯示裝置一例的無源矩陣型液晶裝置(液晶裝置)的概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖。在該液晶裝置520中，通過安裝液晶驅(qū)動用IC、背光燈、支撐體等輔助元件，可獲得作為最終制品的透過型液晶顯示裝置。再有，濾色器500與圖13A圖13E所示的濾色器相同，所以在對應(yīng)的部位附加相同的標號，并省略其說明。該液晶裝置520大致由濾色器500、玻璃基板等組成的對置基板521、以及夾置在它們之間的STN(SuperTwistedNematic;超扭曲向列)液晶組成物構(gòu)成的液晶層522構(gòu)成，將濾色器500配置在圖14中上側(cè)(觀測者側(cè))。再有，雖然未圖示，但在對置基板521和濾色器500的外面(與液晶層522側(cè)相反側(cè)的面)上分別設(shè)置偏振片，而在位于對置基板521側(cè)的偏振片的外側(cè)，設(shè)置背光燈。在濾色器500的保護膜509上(液晶層側(cè))，在圖14中左右方向上以規(guī)定的間隔形成多個細長的長條狀的第1電極523，并形成第1取向膜524，以覆蓋與該第1電極523的濾色器500側(cè)相反側(cè)的面。另一方面，在對置基板521的面對著濾色器500的面上，在與濾色器500的第1電極523正交的方向上以規(guī)定的間隔形成多個細長的長條狀的第2電極526，并形成第2取向膜527,以覆蓋該第2電極526的液晶層522側(cè)的面。這些第1電極523和第2電極526由ITO等透明導(dǎo)電材料形成。液晶層522內(nèi)部設(shè)置的隔離物528是用于使液晶層522的厚度(單元間隙)保持一定的構(gòu)件。此外，密封材料529是用于防止液晶層522內(nèi)部的液晶組成物向外部漏出的構(gòu)件。再有，第1電極523的一端作為環(huán)繞布線523a延長至密封材料529的外側(cè)。而且，第1電極523和第2電極526交叉的部分為像素，構(gòu)成為使濾色器500的著色層508R、508G、508B位于作為該像素的部分。在通常的制造工序中，在濾色器500中，進行第1電極523的構(gòu)圖和第1取向膜524的涂敷而形成濾色器500側(cè)的部分，并且在與其不同的對置基板521上，進行第2電極526的構(gòu)圖和第2取向膜527的涂敷而形成對置基板521側(cè)的部分。然后，在對置基板521側(cè)的部分中裝入隔離物528和密封材料529，在該狀態(tài)下粘貼濾色器500側(cè)的部分。接著，從密封材料529的灌入口將構(gòu)成液晶層522的液晶灌入，然后將灌入口封閉。然后，將兩個偏振片和背光燈進行層疊。實施方式的液滴噴出裝置1，例如在涂敷用于構(gòu)成上述單元間隙(cellgap)的隔離物材料(功能液)，同時在對置基板521側(cè)的部分上粘貼濾色器500側(cè)的部分之前，可以在用密封材料529包圍的區(qū)域中均勻地涂敷液晶(功能液)。此外，還可以用功能液滴噴出頭17進行上述密封材料529的印刷。而且，還可以用功能液滴噴出頭17進行第1、第2兩個取向膜524、527的涂敷。圖15是表示使用了在本實施方式中制造出的濾色器500的液晶裝置的第2例子的概略結(jié)構(gòu)的主要部分剖視圖。該液晶裝置530與上述液晶裝置520較大不同的方面是，將濾色器500配置在圖15中下側(cè)(與觀測者相反側(cè))。該液晶裝置530大致構(gòu)成為在濾色器500和玻璃基板等組成的對置基板531之間夾置STN液晶組成的液晶層532。再有，雖然未圖示，但在對置基板531和濾色器500的外面分別設(shè)置偏振片等。在濾色器500的保護膜509上(液晶層532側(cè))，在圖15中進深方向上以規(guī)定的間隔形成多個細長的長條狀的第1電極533，并形成第1取向膜534，以覆蓋該第1電極533的液晶層532側(cè)的面。在對置基板531的面對著濾色器500的面上，以規(guī)定的間隔形成多個在與濾色器500側(cè)的第1電極533正交的方向上延長的細長的長條狀的第2電極536，并形成第2取向膜537，以覆蓋該第2電極536的液晶層532、在液晶層532中，設(shè)置用于將該液晶層532的厚度保持一定的隔離物538，以及用于防止液晶層532內(nèi)部的液晶組成物向外部漏出的密封材料539。而且，與上述液晶裝置520同樣，第1電極533和第2電極536的交叉的部分為像素，構(gòu)成為使濾色器500的著色層508R、508G、508B位于作為該像素的部位。圖16是表示使用了適用本發(fā)明的濾色器500構(gòu)成液晶裝置的第3例子的圖，是表示透過型的TFT(ThinFilmTransistor;薄膜晶體管)型液晶裝置的概略結(jié)構(gòu)的分解立體圖。該液晶裝置550將濾色器500配置在圖16中的上側(cè)(觀測者側(cè))。該液晶裝置550由濾色器500、與其對置配置的對置基板551、夾置在它們之間的未圖示的液晶層、在濾色器500的上面?zhèn)?觀測者側(cè))配置的偏振片555、以及在對置基板551的下面?zhèn)仍O(shè)置的偏振片(未圖示)大致構(gòu)成。在濾色器500的保護膜509的表面(對置基板551側(cè)的面)上形成有液晶驅(qū)動用的電極556。該電極556由ITO等透明導(dǎo)電材料構(gòu)成，成為將形成后述的像素電極560的整個區(qū)域覆蓋的全面電極。此外，在覆蓋該電極556的與像素電極560相反側(cè)的面的狀態(tài)下設(shè)有取向膜557。在對置基板551的與濾色器500對置的面上形成絕緣層558，在該絕緣層558上，掃描線561和信號線562以相互正交的狀態(tài)被形成。然后，在這些掃描線561和信號線562所包圍的區(qū)域內(nèi)形成像素電極560。再有，在實際的液晶裝置中，在像素電極560上設(shè)有取向膜，但省略了圖示。此外，構(gòu)成為在像素電極560的缺口部分、掃描線561和信號線562所包圍的部分中裝入具備源電極、漏電極、半導(dǎo)體和柵電極的薄膜晶體管563。而且，構(gòu)成為通過對掃描線561和信號線562施加信號而使薄膜晶體管563導(dǎo)通/截止，從而可以進行對像素電極560的導(dǎo)電控制。再有，上述各例子的液晶裝置520、530、550形成了透過型的結(jié)構(gòu)，但也可以是設(shè)有反射層或半透過反射層，從而形成為反射型的液晶裝置或半透過反射型的液晶裝置。下面，圖17是有機EL裝置的顯示區(qū)域(以下，簡稱為顯示裝置600)的主要部分剖視圖。該顯示裝置600按照在基板(W)601上層疊了電路元件部分602、發(fā)光元件部分603和陰極604的狀態(tài)概略構(gòu)成。在該顯示裝置600中，從發(fā)光元件部分603發(fā)射到基板601側(cè)的光透過電路元件部分602和基板601而射出到觀測者側(cè)，并且從發(fā)光元件部分603發(fā)射到基板601的相反側(cè)的光被陰極604反射后，透過電路元件部分602和基板601被射出到觀測者側(cè)。在電路元件部分602和基板601之間形成由氧化硅膜組成的基底保護膜606，在該基底保護膜606上(發(fā)光元件部分603側(cè))形成有由多晶硅組成的島狀的半導(dǎo)體膜607。在該半導(dǎo)體膜607的左右區(qū)域中，通過高濃度陽離子注入而分別形成源區(qū)域607a和漏區(qū)域607b。而且，陽離子未注入的中央部分成為溝道區(qū)域607c。此外，在電路元件部分602中，形成有覆蓋基底保護膜606和半導(dǎo)體膜607的透明的柵極絕緣膜608，在該柵極絕緣膜608上的與半導(dǎo)體膜607的溝道區(qū)域607c相對應(yīng)的位置上，例如形成由A1、Mo、Ta、Ti、W等構(gòu)成的柵電極609。在該柵電極609和柵極絕緣膜608上，形成透明的第1層間絕緣膜611a和第2層間絕緣膜611b。此外，貫通第l、第2層間絕緣膜611a、611b，形成有分別連通到半導(dǎo)體膜607的源區(qū)域607a、漏區(qū)域607b的接觸孔(contacthole)612a、612b。然后，在第2層間絕緣膜611b上，由ITO等構(gòu)成的透明的像素電極613被按照規(guī)定的形狀構(gòu)圖形成，該像素電極613通過接觸孔612a連接到源區(qū)域607a。此外，在第1層間絕緣膜61la上預(yù)先設(shè)置有電源線614，該電源線614通過接觸孔612b連接到漏區(qū)域607b。于是，在電路元件部分602中，分別形成有連接到各像素電極613的驅(qū)動用的薄膜晶體管615。上述發(fā)光元件部分603由多個像素電極613上各自層疊的功能層617、配置在各像素電極613和功能層617之間來區(qū)分各功能層617的圍堰部分618概略構(gòu)成。通過這些像素電極613、功能層617和功能層617上設(shè)置的陰極604而構(gòu)成發(fā)光元件。再有，像素電極613被構(gòu)圖形成為平面看大致成矩形，在各像素電極613之間形成圍堰部分618。圍堰部分618例如由SiO、Si02、Ti02等無機材料形成的無機物圍堰層618a(第1圍堰層)、和層疊在該無機物圍堰層618a上且由丙烯樹脂、聚酰亞胺樹脂等耐熱性、抗溶劑性優(yōu)良的抗蝕劑形成的剖面梯形的有機物圍堰層618b(第2圍堰層)而構(gòu)成。該圍堰部分618的一部分以騎在像素電極613的邊緣部分上的狀態(tài)來形成。然后，在各圍堰部分618之間，形成有對于像素電極613向上方逐漸擴寬的開口部分619。上述功能層617由在開口部分619內(nèi)層疊于像素電極613上的狀態(tài)下形成的空穴注入/輸送層617a、形成于該空穴注入/輸送層617a上的發(fā)光層617b構(gòu)成。再有，也可以與該發(fā)光層617b鄰接形成具有其他功能的其他功能層。例如，也可以形成電子輸送層。空穴注入/輸送層617a具有從像素電極613側(cè)輸送空穴并將其注入到發(fā)光層617b的功能。該空穴注入/輸送層617a通過將包含空穴注入/輸送層形成材料的第1組成物(功能液)噴出而形成。作為空穴注入/輸送層形成材料，使用公知的材料。發(fā)光層617b發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、藍色(B)任何一種的光，通過將包含發(fā)光層形成材料(發(fā)光材料)的第2組成物(功能液)噴出而形成。作為第2組成物的溶劑(非極性溶劑)，優(yōu)選使用對于空穴注入/輸送層617a而言不溶解的公知的材料，通過將這樣的非極性溶劑用于發(fā)光層617b的第2組成物，可以形成發(fā)光層617b而不使空穴注入/輸送層617a再溶解。而且，發(fā)光層617b構(gòu)成為從空穴注入/輸送層617a注入的空穴與從陰極604注入的電子在發(fā)光層中再結(jié)合而發(fā)光。陰極604按照覆蓋發(fā)光元件部分603的整個面的狀態(tài)形成，與像素電極613成對而具有在功能層617中流過電流的作用。再有，在該陰極604的上部配置了未圖示的密封構(gòu)件。下面，參照圖18~圖26說明上述顯示裝置600的制造工序。如圖18所示，該顯示裝置600經(jīng)過圍堰部分形成工序(S111)、表面處理工序(S112)、空穴注入/輸送層形成工序(S113)、發(fā)光層形成工序(S114)、以及對置電極形成工序(S115)來制造。再有，制造工序不限于例示的工序，根據(jù)需要，有時除去其他工序，或有時追加其他工序。首先，在圍堰部分形成工序(S111)中，如圖19所示，在第2層間絕緣膜611b上形成無機物圍堰層618a。該無機物圍堰層618a是在形成位置形成了無機物膜后，通過將該無機物膜利用光刻技術(shù)等進行構(gòu)圖而形成的。此時，無機物圍堰層618a的一部分，以與像素電極613的邊緣部分重疊的方式形成。若形成了無機物圍堰層618a，則如圖20所示，在無機物圍堰層618a上形成有機物圍堰層618b。該有機物圍堰層618b也與無機物圍堰層618a同樣地利用光刻技術(shù)等進行構(gòu)圖而形成。由此，形成了圍堰部分618。伴隨該形成工序，在各圍堰部分618之間，形成相對于像素電極613而言在上方開口的開口部分619。該開口部分619規(guī)定像素區(qū)域。在表面處理工序(S112)中，進行親液化處理和疏液化處理。進行親液化處理的區(qū)域是無機物圍堰層618a的第1層疊部分618aa和像素電極613的電極面613a，這些區(qū)域例如通過將氧作為處理氣體的等離子體處理而被表面處理為親液性。該等離子體處理還兼用作像素電極613即ITO的清洗等。此外，疏液化處理對有'機物圍堰層618b的壁面618s和有機物圍堰層618b的上表面618t實施，通過例如將四氟化甲烷作為處理氣體的等離子體處理而進行表面氟化處理(處理為疏液性)。通過進行該表面處理工序，在使用功能液滴噴出頭17形成功能層617時，可以使功能液滴更可靠地射中像素區(qū)域。此外，可防止己射到像素區(qū)域中的功能液滴從開口部分619溢出。然后，通過經(jīng)過以上工序，獲得顯示裝置基體600A。該顯示裝置基體600A被裝載在圖1所示的液滴噴出裝置1的設(shè)置臺21上，進行以下的空穴注入/輸送層形成工序(S113)和發(fā)光層形成工序(S114)。如圖21所示，在空穴注入/輸送層形成工序(S113)中，將包含空穴注入/輸送層形成材料的第1組成物從功能液滴噴出頭17噴出到像素區(qū)域即各開口部分619內(nèi)。然后，如圖22所示，進行干燥處理和熱處理，使第1組成物所包含的極性溶劑蒸發(fā)，在像素電極(電極面613a)613上形成空穴注入/輸送層617a。下面說明發(fā)光層形成工序(S114)。在該發(fā)光層形成工序中，如上所述，為了防止空穴注入/輸送層617a的再溶解，作為發(fā)光層形成時使用的第2組成物的溶劑，使用對于空穴注入/輸送層617a而言不溶解的非極性溶劑。但是，在另一方面，空穴注入/輸送層617a對于非極性溶劑的親和性較低，所以即使將包含非極性溶劑的第2組成物噴出到空穴注入/輸送層617a上，也擔(dān)心不能使空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層617b緊貼，或者不能均勻地涂敷發(fā)光層617b。因此，為了提高空穴注入/輸送層617a對于非極性溶劑以及發(fā)光層形成材料的表面親和性，優(yōu)選是在發(fā)光層形成之前進行表面處理(表面改性處理)。該表面處理通過將發(fā)光層形成時使用的與第2組成物的非極性溶劑相同的溶劑或與其類似的溶劑即表面改性材料涂敷在空穴注入/輸送層617a上，并使其干燥來進行。通過實施這樣的處理，空穴注入/輸送層617a的表面不容易溶合在非極性溶劑中，在其后的工序中，可以將包含發(fā)光層形成材料的第2組成物均勻地涂敷在空穴注入/輸送層617a上。接著，如圖23所示，將含有與各種顏色中任何一個(在圖23的例子中為藍色(B))相對應(yīng)的發(fā)光層形成材料的第2組成物作為功能液滴在像素區(qū)域(開口部分619)內(nèi)灌入規(guī)定量。像素區(qū)域內(nèi)所灌入的第2組成物在空穴注入/輸送層617a上擴展而填滿開口部分619內(nèi)部。再有，即使在第2組成物萬一從像素區(qū)域漏到外部而射中了圍堰部分618的上表面618t的情況下，由于該上表面618t如上所述進行了疏液處理，所以第2組成物也容易滾入到開口部分619內(nèi)部。然后，通過進行干燥工序等，將噴出后的第2組成物迸行干燥處理，使第2組成物中包含的非極性溶劑蒸發(fā)，如圖24所示，在空穴注入/輸送層617a上形成發(fā)光層617b。圖24的情況下，形成有與藍色(B)相對應(yīng)的發(fā)光層617b。同樣地，使用功能液滴噴出頭17，如圖25所示，依次進行與上述藍色(B)相對應(yīng)的發(fā)光層617b的情況同樣的工序，形成與其他顏色(紅色(R)的綠色(G))相對應(yīng)的發(fā)光層617b。再有，發(fā)光層617b的形成順序不限于例示的順序，也可以按任何的順序形成。例如，也可以按照發(fā)光層形成材料來決定形成的順序。此外，作為R、G、B三色的排列模式，有直線排列、鑲嵌排列和三角形排列等。如上所述，在像素電極613上形成功能層617，即空穴注入/輸送層617a和發(fā)光層617b。然后，轉(zhuǎn)移到對置電極形成工序(S115)。在對置電極形成工序(SU5)中，如圖26所示，在發(fā)光層617b和有機物圍堰層618b的整個面上，例如通過蒸鍍法、濺射法、CVD法等形成陰極604(對置電極)。在本實施方式中，該陰極604例如通過層疊鈣層和鋁層而構(gòu)成。在該陰極604的上部，適當(dāng)設(shè)有作為電極的A1膜、Ag膜或用于防止其氧化的Si02、SiN等的保護層。由此形成了陰極604之后，通過進行將該陰極604的上部利用密封構(gòu)件進行密封的密封處理和布線處理等的其他處理，從而獲得顯示裝置600。下面，圖27是等離子體型顯示裝置(PDP裝置；以下，簡稱為顯示裝置700)的主要部分分解立體圖。再有，在圖27中以切除其一部分的狀態(tài)表示了顯示裝置700。該顯示裝置700包含相互對置配置的第1基板701、第2基板702、以及在它們之間形成的放電顯示部分703而概略構(gòu)成。放電顯示部分703由多個放電室705構(gòu)成。在這些多個放電室705中，配置為紅色放電室705R、綠色放電室705G、藍色放電室705B三個放電室705作為組而構(gòu)成一個像素。在第1基板701的上面以規(guī)定的間隔網(wǎng)狀地形成地址電極706，并形成電介質(zhì)層707，以覆蓋該地址電極706和第1基板701的上表面。在電介質(zhì)層707上，以位于各地址電極706之間且沿各地址電極706的方式直立設(shè)置有隔壁708。該隔壁708如圖所示，包括在地址電極706的寬度方向兩側(cè)延伸的部分和在與地址電極706正交的方向延伸設(shè)置的未圖示的部分。而且，通過該隔壁708隔開的區(qū)域成為放電室705。在放電室705內(nèi)部配置熒光體709。熒光體709是發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、藍色(B)中的任何一個顏色的熒光的熒光體，所以在紅色放電室705R的底部配置有紅色熒光體709R,在綠色放電室705G的底部配置有綠色熒光體709G，在藍色放電室705B的底部配置有藍色熒光體709B。在第2基板702的圖27中下側(cè)的面上，在與上述地址電極706正交的方向上以規(guī)定的間隔網(wǎng)狀地形成多個顯示電極711。而且，形成由電介質(zhì)層712和MgO等構(gòu)成的保護膜7B，以覆蓋它們。第1基板701和第2基板702在地址電極706和顯示電極711相互垂直的狀態(tài)下被對置粘結(jié)。再有，上述地址電極706和顯示電極711被連接到未圖示的交流電源。然后，通過對各電極706、711通電，放電顯示部分703中的熒光體709激勵發(fā)光，可進行彩色顯示。在本實施方式中，可以使用圖1所示的液滴噴出裝置1形成上述地址電極706、顯示電極711以及熒光體709。以下，例示第1基板701中的地址電極706的形成工序。這種情況下，在將第1基板701裝載在液滴噴出裝置1的設(shè)置臺21上的狀態(tài)下進行以下工序。首先，通過功能液滴噴出頭17，使含有導(dǎo)電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴射中地址電極形成區(qū)域。作為導(dǎo)電膜布線形成用材料，該液體材料是將金屬等的導(dǎo)電性微粒分散在分散劑中的液體材料。作為該導(dǎo)電性微粒，使用包含金、銀、銅、鈀、或鎳等的金屬微粒，或?qū)щ娦跃酆衔锏?。如果對于作為補充對象的所有地址電極形成區(qū)域的液體材料的補充結(jié)束了，則通過對噴出后的液體材料進行干燥處理，并使液體材料中所包含的分散劑菡發(fā)而形成他ii卜由,秘706可是，雖然上述中例示了地址電極706的形成，但對于上述顯示電極711和熒光體709，也可以經(jīng)過上述各工序而形成。在形成顯示電極711時，與地址電極706的情況同樣，使含有導(dǎo)電膜布線形成用材料的液體材料(功能液)作為功能液滴射中顯示電極形成區(qū)域。此外，在形成熒光體709時，將包含了與各顏色(R、G、B)相對應(yīng)的熒光材料的液體材料(功能液)從功能液滴噴出頭17作為液滴噴出，射中對應(yīng)的顏色的放電室705內(nèi)部。下面，圖28是電子發(fā)射裝置(也稱為FED裝置或SED裝置；以下簡稱為顯示裝置800)的主要部分剖視圖。再有，在圖28中將其一部分作為剖面來表示顯示裝置800。該顯示裝置800大致構(gòu)成為包括相互對置配置的第1基板801、第2基板802、以及在它們之間形成的電場發(fā)射顯示部分803。電場發(fā)射顯示部分803由矩陣狀配置的多個電子發(fā)射部分805構(gòu)成。在第1基板801的上表面，構(gòu)成陰極電極806的第1元件電極806a和第2元件電極806b以相互正交的方式形成。此外，在由第1元件電極806a和第2元件電極806b隔開的部分中，形成有形成了間隙808的導(dǎo)電膜807。即，由第l元件電極806a、第2元件電極806b和導(dǎo)電膜807構(gòu)成多個電子發(fā)射部分805。導(dǎo)電膜807例如由氧化鈀(PdO)等構(gòu)成，而間隙808在將導(dǎo)電膜807進行成膜后，以發(fā)泡等方式形成。在第2基板802的下表面上形成有與陰極電極806相對的陽極電極809。在陽極電極809的下表面上形成方格狀的圍堰部分811，在由該圍堰部分811包圍的向下的各開口部分812中配置熒光體813，以使其與電子發(fā)射部分805相對應(yīng)。熒光體813是發(fā)出紅色(R)、綠色(G)、藍色(B)中任何一種顏色的熒光的熒光體，在各開口部分812中，紅色熒光體813R、綠色熒光體813G和藍色熒光體813B按上述規(guī)定的圖形配置。然后，這樣構(gòu)成的第1基板801和第2基板802存有微小的間隙而被粘結(jié)。在該顯示裝置800中，通過導(dǎo)電膜(間隙808)807，將從陰極即第1元件電極806a或第2元件電極806b飛出的電子對準在陽極即陽極電極809上形成的熒光體813而激勵發(fā)光，從而可進行彩色顯示。這種情況下，也與其他實施方式同樣，可以使用液滴噴出裝置l形成第l元件電極806a、第2元件電極806b、導(dǎo)電膜807和陽極電極809，同時可以使用液滴噴出裝置1形成各種顏色的熒光體813R、813G、813B。第1元件電極806a、第2元件電極806b和導(dǎo)電膜807具有圖29A所示的平面形狀，在對它們進行成膜時，如圖29B所示，將預(yù)先形成了第l元件電極806a、第2元件電極806b和導(dǎo)電膜807的部分保留，從而形成圍堰部分BB(光刻法)。接著，在由圍堰部分BB構(gòu)成的溝槽部分內(nèi)，形成第1元件電極806a和第2元件電極806b(液滴噴出裝置1的噴墨法)，并使該溶劑干燥而進行了成膜后，形成導(dǎo)電膜807(液滴噴出裝置1的噴墨法)。然后，在將導(dǎo)電膜807成膜后，去除圍堰部分BB(研磨剝離處理)，進行到上述的發(fā)泡處理。再有，與上述有機EL裝置的情況同樣，優(yōu)選進行對于第1基板801和第2基板802的親液化處理，或?qū)τ趪卟糠?11、BB的疏液化處理。此外，作為其他電光學(xué)裝置，可考慮金屬布線形成、透鏡形成、抗蝕劑形成和光擴散體形成等的裝置。通過將上述的液滴噴出裝置1用于各種電光學(xué)裝置(器件)的制造，可以高效率地制造各種電光學(xué)裝置。權(quán)利要求1.一種吸引裝置，其設(shè)置在通過多個功能液滴噴出頭對工件進行描繪的噴墨方式的液滴噴出裝置中，與所述各功能液滴噴出頭的噴嘴面緊貼地吸引功能液，該吸引裝置包括與所述多個功能液滴噴出頭相對應(yīng)的多個噴頭帽；吸引流路，其具有上游側(cè)被連接到所述多個噴頭帽的多個單獨流路、以及通過合流部分被連接到所述多個單獨流路的下游端的合流流路；插入設(shè)置在所述各單獨流路中，并對所述各單獨流路進行開閉的多個流路開閉部件；連接所述合流流路的下游端且由密閉箱構(gòu)成的廢液箱；向一次側(cè)導(dǎo)入壓縮空氣、并且將二次側(cè)連接到所述廢液箱的上部空間的噴射器；對所述噴射器的所述一次側(cè)壓縮空氣的壓力進行調(diào)整的壓力調(diào)整部件；和對所述壓力調(diào)整部件進行控制的控制部件，所述控制部件根據(jù)所述多個流路開閉部件中開放的所述流路開閉部件的開放數(shù)目，控制所述壓力調(diào)整部件，以使所述多個噴頭帽各自的吸引壓力恒定。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸引裝置，其特征在于，該吸引裝置還包括對吸引時的所述各廢液箱的壓力進行檢測的壓力檢測部件，所述控制部件控制所述壓力調(diào)整部件，以使所述廢液箱內(nèi)的壓力成為與所述開放數(shù)目相對應(yīng)的規(guī)定壓力。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸引裝置，其特征在于，該吸引裝置還包括流量檢測部件，其檢測通過吸引而流入到所述各廢液箱中的功能液流量，所述控制部件控制所述壓力控制部件，以使流入到所述廢液箱中的功能液流量成為與所述開放數(shù)目相對應(yīng)的規(guī)定的流量。4.根據(jù)權(quán)利要求1到3中任何一項所述的吸引裝置，其特征在于，所述多個功能液滴噴出頭裝載在一個噴頭板上，與此相對應(yīng)，所述多個噴頭帽裝載在一個帽板上。5.根據(jù)權(quán)利要求1到3中任何一項所述的吸引裝置，其特征在于，所述多個功能液滴噴出頭裝載在多個噴頭板上，與此相對應(yīng)，所述多個噴頭帽裝載在多個帽板上。6.—種液滴噴出裝置，其包括.-描繪部件，其一邊使噴墨方式的多個功能液滴噴出頭相對于工件移動，一邊從所述各功能液滴噴出頭中噴出功能液滴對工件進行描繪；禾口權(quán)利要求1到5中任何一項所述的吸引裝置。7.—種電光學(xué)裝置的制造方法，其中使用權(quán)利要求6所述的液滴噴出裝置，在所述工件上形成由功能液滴形成的成膜部分。8.—種電光學(xué)裝置，其使用權(quán)利要求6所述的液滴噴出裝置，在所述工件上形成了由功能液滴形成的成膜部分。全文摘要提供吸引裝置和包括其的液滴噴出裝置、以及電光學(xué)裝置及其制法。吸引裝置設(shè)置在通過多個功能液滴噴出頭對工件進行描繪的噴墨方式的液滴噴出裝置中，與各功能液滴噴出頭的噴嘴面緊貼地吸引功能液，包括與多個功能液滴噴出頭對應(yīng)的多個噴頭帽；具有上游側(cè)被連接到多個噴頭帽的多個單獨流路、及通過合流部被連接到多個單獨流路的下游端的合流流路的吸引流路；插設(shè)在各單獨流路中對各單獨流路進行開閉的多個流路開閉部件；連接合流流路的下游端，由密閉箱構(gòu)成的廢液箱；向一次側(cè)導(dǎo)入壓縮空氣，并將二次側(cè)連接到廢液箱的上部空間的噴射器；對噴射器的一次側(cè)壓縮空氣的壓力進行調(diào)整的壓力調(diào)整部件；和對壓力調(diào)整部件進行控制的控制部件，控制部件根據(jù)開放的流路開閉部件的開放數(shù)目，控制壓力調(diào)整部件，以使多個噴頭帽各自的吸引壓力恒定。文檔編號H01L51/50GK101396919SQ20081017854公開日2009年4月1日申請日期2008年8月29日優(yōu)先權(quán)日2007年8月30日發(fā)明者井內(nèi)千惠子,林千良申請人:精工愛普生株式會社