專(zhuān)利名稱(chēng)：標(biāo)記裝置、制造裝置及標(biāo)記方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及標(biāo)記裝置、制造裝置及標(biāo)記方法。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，利用通過(guò)紫外線照射而固化的紫外線固化型墨液在記錄介質(zhì)形成圖像或圖形的液滴排出裝置備受注目。紫外線固化型墨液具有照射紫外線前固化非常地緩慢而若照射紫外線則急速地固化的所謂作為印刷墨液優(yōu)選的特性。并且，因?yàn)楫?dāng)固化時(shí)不會(huì)使溶劑揮發(fā)，所以還有環(huán)境負(fù)擔(dān)輕的優(yōu)點(diǎn)。而且，紫外線固化型墨液由于載色劑的組成而在各種的記錄介質(zhì)發(fā)揮高的附著性。并且，具有固化之后化學(xué)性能穩(wěn)定，粘接性、耐藥劑性、耐氣候性、耐摩擦性等高，又耐室外環(huán)境等優(yōu)異的特性。因此，除了紙、樹(shù)脂膜、金屬箔等的薄片狀的記錄介質(zhì)之外，對(duì)于記錄介質(zhì)的標(biāo)記面、紡織制品等具有某種程度的立體性表面形狀的介質(zhì)也能夠形成圖像。以下技術(shù)已被公開(kāi)將上述的紫外線固化型墨液以液滴排出方式使制造批號(hào)和/或制造公司等的屬性信息印刷于基板上的IC(例如，專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。當(dāng)對(duì)于上述的基板實(shí)施印刷處理時(shí)，基板依次輸送于液滴排出裝置、預(yù)處理裝置等關(guān)聯(lián)于印刷的各種處理裝置，例如采用吸附墊保持而進(jìn)行處理?？墒牵诓捎梦綁|的情況下，當(dāng)從墊剝離基板時(shí)有可能帶電，并且若供給于具有導(dǎo)電性的工作臺(tái)則電流流動(dòng)而使IC損壞。于是，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2，公開(kāi)了在多個(gè)處理部的各自設(shè)置離子發(fā)生器(除電器)的技術(shù)。并且，在專(zhuān)利文獻(xiàn)3，公開(kāi)了在對(duì)基板進(jìn)行輸送的輸送裝置設(shè)置除電器的技術(shù)。專(zhuān)利文獻(xiàn)I :日本特開(kāi)2003-080687號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)2 日本特開(kāi)2007-152438號(hào)公報(bào)專(zhuān)利文獻(xiàn)3 :日本特開(kāi)2007-280914號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
可是，在如上述的現(xiàn)有技術(shù)中，存在如以下的問(wèn)題。在記載于專(zhuān)利文獻(xiàn)2的技術(shù)中，需要多個(gè)除電器而招致裝置的成本增加及大型化。并且，在記載于專(zhuān)利文獻(xiàn)3的技術(shù)中，用于對(duì)除電器穩(wěn)定地進(jìn)行支持而產(chǎn)生使輸送裝置高剛性化的需要，并且關(guān)于輸送裝置的輸送路徑，也產(chǎn)生在全部的輸送路徑確保除電器的移動(dòng)空間的需要而避免不了裝置的大型化。本發(fā)明考慮如以上的問(wèn)題點(diǎn)所作出，目的在于提供能夠有助于裝置的小型化及基材的穩(wěn)定輸送的印刷裝置及制造裝置。用于達(dá)到上述的目的本發(fā)明采用以下構(gòu)成。本發(fā)明的標(biāo)記裝置特征為具有對(duì)基材進(jìn)行處理的多個(gè)處理裝置和在前述多個(gè)處理裝置之間輸送前述基材的輸送部；具備除電部和控制部，所述除電部面臨(面對(duì)、面向或臨近)基于前述輸送部的前述基材的輸送路徑而設(shè)置，所述控制部對(duì)前述輸送部進(jìn)行控制，當(dāng)將前述基材輸送于前述處理裝置時(shí)，使前述輸送部沿著經(jīng)由前述除電部的輸送路徑。從而，在本發(fā)明的標(biāo)記裝置中，因?yàn)楫?dāng)基材的輸送時(shí)經(jīng)由除電部，所以能夠在消除剝離帶電的狀態(tài)下將基材穩(wěn)定地輸送于輸送目的的處理裝置。因?yàn)楸景l(fā)明中的除電部并非設(shè)置于各處理裝置，而是設(shè)置于基材的輸送路徑，并且不必在輸送路徑整體確保除電部的設(shè)置空間，所以能夠避免裝置的成本增加及大型化。還有，所謂“經(jīng)由除電部”包括以如下方式進(jìn)行控制，使輸送部通過(guò)與除電部對(duì)置的位置；和/或以如下方式進(jìn)行控制，使之直接接觸除電部。并且，只要除電部使離子等的除電物質(zhì)產(chǎn)生即可，可以以如下方式進(jìn)行控制，輸送部通過(guò)該除電物質(zhì)所處的空間。并且，前述輸送部能夠合適地采用作為標(biāo)量(scalar)型機(jī)器人(robot)的構(gòu)成。作為前述控制部，能夠合適地采用以下構(gòu)成使前述除電部中的前述基材的輸送速度比到達(dá)該除電部為止時(shí)的輸送速度低。
由此，在本發(fā)明中，可以穩(wěn)定且可靠地實(shí)施對(duì)于基材的除電處理。并且，在本發(fā)明中，能夠合適地采用以下構(gòu)成由前述除電部在前述基材保持于前述處理裝置的面?zhèn)冗M(jìn)行除電處理。由此，在本發(fā)明中，可以對(duì)在基材中容易產(chǎn)生帶電的面有效地進(jìn)行除電。作為前述輸送部，能夠合地采用具備以懸臂把持前述基材的一端緣的把持部的構(gòu)成。由此，在本發(fā)明中，可以除了基材的端緣之外有效地在基本整面進(jìn)行除電處理。并且，在本發(fā)明中，能夠合適地采用以下構(gòu)成前述處理裝置包括在設(shè)置于前述基材的表面的半導(dǎo)體裝置涂敷液滴的涂敷裝置。由此，在本發(fā)明中，對(duì)于半導(dǎo)體裝置不損壞地穩(wěn)定輸送的基材，能夠?qū)Ρ硎景雽?dǎo)體裝置的屬性信息等的印刷圖形以預(yù)定的印刷質(zhì)量及低成本進(jìn)行成膜、印刷。在上述構(gòu)成中，能夠合適地采用以下構(gòu)成前述涂敷裝置相對(duì)于前述輸送部所輸送的基材排出因激活光線而固化的液體的液滴。從而，在本發(fā)明的標(biāo)記裝置中，可以實(shí)現(xiàn)裝置的小型化及低價(jià)格化，并消除由于帶電引起的不良影響而實(shí)施穩(wěn)定的標(biāo)記處理。并且，本發(fā)明的制造裝置特征為具有多個(gè)處理裝置和在前述多個(gè)處理裝置之間輸送基材的輸送部；具備除電部和控制部，所述除電部面臨基于前述輸送部的前述基材的輸送路徑而設(shè)置，所述控制部對(duì)前述輸送部進(jìn)行控制，當(dāng)將前述基材輸送于前述處理裝置時(shí)，使前述輸送部沿著經(jīng)由前述除電部的輸送路徑。并且，前述輸送部能夠合適地采用作為標(biāo)量型機(jī)器人的構(gòu)成。并且，本發(fā)明的標(biāo)記方法特征為具有對(duì)基材料進(jìn)行處理的多個(gè)處理裝置、在前述多個(gè)處理裝置之間輸送前述基材的輸送部和除電部，所述除電部面臨基于前述輸送部的前述基材的輸送路徑而設(shè)置；當(dāng)通過(guò)前述輸送部將前述基材輸送于前述處理裝置時(shí)，使前述輸送部沿著經(jīng)由前述除電部的輸送路徑。還有，關(guān)于本說(shuō)明書(shū)中的相對(duì)移動(dòng)方向和/或相正交的方向，也包括由于通過(guò)制造、組裝引起的誤差等而偏離的范圍。


圖1(a)是表示半導(dǎo)體基板的示意俯視圖，(b)是表示液滴排出裝置的示意俯視圖。圖2是表示供給部的示意圖。圖3(a)是表示涂敷部的構(gòu)成的概要立體圖，(b)是表示滑架的示意側(cè)視圖。圖4(a)是表示頭單元的示意俯視圖，(b)是用于對(duì)液滴排出頭的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的要部示意剖視圖。 圖5是表示收置部的示意圖。圖6是表示輸送部的構(gòu)成的圖。圖7是表不輸送部、載置部和槽部的構(gòu)成的圖。圖8是表示輸送部及除電部的位置關(guān)系的主視圖。圖9是表不半導(dǎo)體基板I的輸送路徑的圖。圖10是表示控制系統(tǒng)的框圖。圖11是用于表不印刷方法的流程圖。符號(hào)的說(shuō)明I...半導(dǎo)體基板(基材)，3...半導(dǎo)體裝置，7...印刷裝置，9...預(yù)處理部，10...涂敷部(印刷部、排出裝置)，13a...把持部，20...除電部，45...滑架(移動(dòng)單元)，48...固化單元(照射部)，49...液滴排出頭(排出頭)，52...噴嘴，54...功能液(液體)，57...液滴，93...保持裝置，96...固定構(gòu)件，97...連接構(gòu)件，97b...頭部(把持部)，105. .夾持板(第I把持部)，106. .叉部(支持部)，112.把持板(第2把持部)，140...載置部，141...槽部，C0NT...控制部
具體實(shí)施例方式以下，對(duì)本發(fā)明的印刷裝置及制造裝置的實(shí)施方式參照?qǐng)DI 圖11進(jìn)行說(shuō)明。還有，以下的實(shí)施方式表示本發(fā)明的一個(gè)方式，并非對(duì)該發(fā)明進(jìn)行限定，在本發(fā)明的技術(shù)性思想的范圍內(nèi)可以任意地變更。并且，在以下的附圖中，用于使各構(gòu)成容易理解，使各結(jié)構(gòu)中的比例尺和/或數(shù)量等與實(shí)際的結(jié)構(gòu)不同。(半導(dǎo)體基板)首先，關(guān)于作為采用印刷裝置進(jìn)行描繪(印刷)的對(duì)象之一例的半導(dǎo)體基板進(jìn)行說(shuō)明。圖1(a)是表示半導(dǎo)體基板的示意俯視圖。如示于圖1(a)地，作為基材的半導(dǎo)體基板I具備基板2。基板2只要具有耐熱性且可以安裝半導(dǎo)體裝置3即可，在基板2能夠采用玻璃環(huán)氧基板、紙苯酚基板和紙環(huán)氧基板等。在基板2上安裝半導(dǎo)體裝置3。而且，在半導(dǎo)體裝置3上描繪公司名稱(chēng)標(biāo)記4、機(jī)型碼5、制造批號(hào)6等的標(biāo)記(印刷圖形、預(yù)定圖形)。這些標(biāo)記通過(guò)后述的印刷裝置而描
O(印刷裝置)圖1(b)是表示印刷裝置的示意俯視圖。如示于圖I (b)地，印刷裝置7主要包括進(jìn)行關(guān)聯(lián)于各種印刷的處理的多個(gè)處理裝置供給部8、預(yù)處理部9、涂敷部(印刷部)10、冷卻部11、收置部12、輸送部13、后處理部14、除電部20及控制部CONT (參照?qǐng)D10)。還有，以供給部8、收置部12排列的方向及預(yù)處理部9、冷卻部11和后處理部14排列的方向?yàn)閄方向。以與X方向相正交的方向?yàn)閅方向，在Y方向排列配置涂敷部10、冷卻部11和輸送部13。而且，以鉛垂方向?yàn)閆方向。供給部8具備收置多個(gè)半導(dǎo)體基板I的收置容器。而且，供給部8具備中繼部位8a，從收置容器向中繼部位8a供給半導(dǎo)體基板I。在中繼部位8a，在X方向延伸的一對(duì)導(dǎo)軌8b與從收置容器送出的半導(dǎo)體基板I的高度設(shè)置為基本相同的高度。預(yù)處理部9具有對(duì)半導(dǎo)體裝置3的表面邊進(jìn)行加熱邊使其改性的功能。通過(guò)預(yù)處理部9半導(dǎo)體裝置3調(diào)整所排出的液滴的擴(kuò)展?fàn)顩r及進(jìn)行印刷的標(biāo)記的緊貼性。預(yù)處理部9具備第I中繼部位9a及第2中繼部位％，將處理前的半導(dǎo)體基板I從第I中繼部位9a或第2中繼部位9b取入而進(jìn)行表面的改性。然后，預(yù)處理部9將處理后的半導(dǎo)體基板I移 動(dòng)到第I中繼部位9a或第2中繼部位％，使半導(dǎo)體基板I待機(jī)。使第I中繼部位9a及第2中繼部位9b合并成為中繼部位9c。而且，以在預(yù)處理部9的內(nèi)部進(jìn)行預(yù)處理的部位為處理部位9d。 冷卻部11配置于涂敷部10的中繼部位，具有對(duì)以預(yù)處理部9進(jìn)行加熱及表面改性的半導(dǎo)體基板I進(jìn)行冷卻的功能。冷卻部11分別具有對(duì)半導(dǎo)體基板I進(jìn)行保持而冷卻的處理部位11a、lib。處理部位11a、Ilb適當(dāng)?shù)亟y(tǒng)稱(chēng)為處理部位11c。涂敷部10具有在半導(dǎo)體裝置3排出液滴而描繪(印刷)標(biāo)記并使所描繪的標(biāo)記固化的功能。涂敷部10使描繪前的半導(dǎo)體基板I從作為中繼部位的冷卻部11移動(dòng)而進(jìn)行描繪處理及固化處理。然后，涂敷部10使描繪后的半導(dǎo)體基板I移動(dòng)到冷卻部11，使半導(dǎo)體基板I待機(jī)。后處理部14在以涂敷部10實(shí)施了描繪處理之后，作為后處理對(duì)于載置于冷卻部11的半導(dǎo)體基板I進(jìn)行再加熱處理。后處理部14具備第I中繼部位14a及第2中繼部位14b。使第I中繼部位14a及第2中繼部位14b合并成為中繼部位14c。收置部12具備可以收置多個(gè)半導(dǎo)體基板I的收置容器。而且，收置部12具備中繼部位12a，從中繼部位12a向收置容器收置半導(dǎo)體基板I。在中繼部位12a，在X方向延伸的一對(duì)導(dǎo)軌12b設(shè)置為與收置半導(dǎo)體基板I的收置容器基本相同的高度。操作者將收置有半導(dǎo)體基板I的收置容器從印刷裝置7搬出。在印刷裝置7的中央的部位，配置輸送部13。輸送部13采用具備臂部13b的標(biāo)量型機(jī)器人。而且，在臂部13b的前端設(shè)置對(duì)半導(dǎo)體基板I從背面(底面)進(jìn)行支持并對(duì)側(cè)緣以懸臂進(jìn)行把持的保持部13a。中繼部位8a、9c、ll、14c、12a位于把持部13a的移動(dòng)范圍內(nèi)。從而，把持部13a能夠使半導(dǎo)體基板在中繼部位8a、9c、11、14c、12a間移動(dòng)。除電部20對(duì)于通過(guò)輸送部13所輸送的半導(dǎo)體基板I進(jìn)行除電處理(靜電去除處理)，包括離子發(fā)生器和/或軟X射線照射器等，如示于圖I (b)地，設(shè)置于由預(yù)處理部9、冷卻部11、后處理部14、供給部8、收置部12所包圍的位置(詳情后述)?？刂撇緾ONT是對(duì)印刷裝置7的整體的工作進(jìn)行控制的裝置，對(duì)印刷裝置7的各部分的工作狀況進(jìn)行管理。而且，輸出使半導(dǎo)體基板I移動(dòng)到輸送部13的指示信號(hào)。由此，半導(dǎo)體基板I依次通過(guò)各部分而被描繪。以下，關(guān)于各部分的詳情進(jìn)行說(shuō)明。(供給部)
圖2 (a)是表示供給部的示意主視圖，圖2 (b)及圖2 (C)是表示供給部的示意側(cè)視圖。如示于圖2(a)及圖2(b)地，供給部8具備基座15。在基座15的內(nèi)部設(shè)置升降裝置16。升降裝置16具備在Z方向進(jìn)行工作的直動(dòng)機(jī)構(gòu)。該直動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠采用滾珠絲杠與旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)的組合和/或油壓缸與油泵的組合等的機(jī)構(gòu)。在本實(shí)施方式中，例如采用通過(guò)滾珠絲杠與步進(jìn)電動(dòng)機(jī)形成的機(jī)構(gòu)。在基座15的上側(cè)與升降裝置16相連接而設(shè)置升降板17。而且，升降板17通過(guò)升降裝置16僅可以升降 預(yù)定的移動(dòng)量。在升降板17之上設(shè)置長(zhǎng)方體狀的收置容器18，在收置容器18之中收置多個(gè)半導(dǎo)體基板I。收置容器18在X方向的兩面形成開(kāi)口部18a，半導(dǎo)體基板I可以從開(kāi)口部18a放進(jìn)取出。在收置容器18的位于Y方向的兩側(cè)的側(cè)面18b的內(nèi)側(cè)形成凸?fàn)畹膶?dǎo)軌18c，導(dǎo)軌18c在X方向延伸而配置。導(dǎo)軌18在Z方向等間隔地排列多個(gè)。通過(guò)沿該導(dǎo)軌18c從X方向或-X方向插進(jìn)半導(dǎo)體基板1，半導(dǎo)體基板I排列于Z方向而被收置。在基座15的X方向側(cè)介由支持構(gòu)件21及支持臺(tái)22而設(shè)置推出裝置23。在推出裝置23，設(shè)置推出銷(xiāo)23a，該推出銷(xiāo)23a通過(guò)與升降裝置16同樣的直動(dòng)機(jī)構(gòu)突出于X方向而朝向?qū)к?b推出半導(dǎo)體基板I。從而，推出銷(xiāo)23a設(shè)置為與導(dǎo)軌8b基本相同的高度。如示于圖2(c)地，通過(guò)推出裝置23中的推出銷(xiāo)23a突出于+X方向，從收置容器18推出位于比導(dǎo)軌18c稍靠+Z側(cè)的高度處的半導(dǎo)體基板1，在導(dǎo)軌Sb上移動(dòng)而被支持。在半導(dǎo)體基板I移動(dòng)到導(dǎo)軌8b上之后，推出銷(xiāo)23a返回到示于圖2(b)的待機(jī)位置。接下來(lái)，升降裝置16使收置容器18下降，使接著處理的半導(dǎo)體基板I移動(dòng)到與推出銷(xiāo)23a對(duì)置的高度。然后，與上述同樣地，使推出銷(xiāo)23a突出而使半導(dǎo)體基板I移動(dòng)到導(dǎo)軌Sb上。供給部8如此地依次使半導(dǎo)體基板I從收置容器18移動(dòng)到導(dǎo)軌Sb上。在使收置容器18內(nèi)的半導(dǎo)體基板I全部移動(dòng)到導(dǎo)軌Sb上之后，操作者替換騰空的收置容器18與收置有半導(dǎo)體基板I的收置容器18。由此，能夠?qū)雽?dǎo)體基板I供給于供給部8。(預(yù)處理部)預(yù)處理部9對(duì)于輸送到中繼部位9a、9b的半導(dǎo)體基板I，在處理部位9d中進(jìn)行預(yù)處理。作為預(yù)處理，能夠例示在加熱的狀態(tài)下通過(guò)例如低壓水銀燈、氫燃燒器、受激準(zhǔn)分子激光器、等離子放電部、電暈放電部等產(chǎn)生的激活光線的照射。在采用水銀燈的情況下，通過(guò)在半導(dǎo)體基板照射紫外線，能夠使半導(dǎo)體基板I的表面的疏液性進(jìn)行改性。在采用氫燃燒器的情況下，通過(guò)使半導(dǎo)體基板I的氧化了的表面部分還原能夠使表面粗糙化；在采用受激準(zhǔn)分子激光器的情況下，能夠使半導(dǎo)體基板I的表面通過(guò)部分熔化固化而粗糙化；在采用等離子放電或電暈放電的情況下，能夠使半導(dǎo)體基板I的表面通過(guò)機(jī)械性地切削而粗糙化。在本實(shí)施方式中，例如采用水銀燈。在預(yù)處理結(jié)束之后，預(yù)處理部9使半導(dǎo)體基板I移動(dòng)到中繼部位9c。接著，輸送部13從中繼部位9c除去半導(dǎo)體基板I。(冷卻部)冷卻部11分別設(shè)置于各處理部位lla、llb，具有頂面成為半導(dǎo)體裝置I的吸附保持面的散熱片等的冷卻板110a、110b。處理部位11a、Ilb (冷卻板110a、IlOb)位于把持部13a的工作范圍內(nèi)，冷卻板110a、IlOb在處理部位IlaUlb中顯露出來(lái)。從而，輸送部13能夠容易地將半導(dǎo)體基板I載置于冷卻板110a、110b。在對(duì)半導(dǎo)體基板I進(jìn)行了冷卻處理之后，半導(dǎo)體基板I在位于處理部位Ila的冷卻板IlOa上或位于處理部位Ilb的冷卻板IlOa上待機(jī)。從而，輸送部13的把持部13a能夠容易地把持半導(dǎo)體基板I使之移動(dòng)。(涂敷部)接下來(lái)，關(guān)于在半導(dǎo)體基板I排出液滴而形成標(biāo)記的涂敷部10按照?qǐng)D3 圖6進(jìn)行說(shuō)明。關(guān)于排出液滴的裝置雖然存在各種類(lèi)型的裝置，但是優(yōu)選采用噴墨法的裝置。噴墨法因?yàn)榭梢耘懦鑫⑿〉囊旱危赃m于精細(xì)加工。圖3 (a)是表示涂敷部的構(gòu)成的概要立體圖。通過(guò)涂敷部10在半導(dǎo)體基板I排出液滴。如示于圖3(a)地，在涂敷部10，具備形成為長(zhǎng)方體形狀的基座37。以當(dāng)排出液滴時(shí) 液滴排出頭與被排出物進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的方向?yàn)橹鲯呙璺较?。而且，以與主掃描方向相正交的方向?yàn)楦睊呙璺较?。副掃描方向?yàn)楫?dāng)進(jìn)行換行時(shí)使液滴排出頭與被排出物進(jìn)行相對(duì)移動(dòng)的方向。在本實(shí)施方式中以Y方向(第2方向)為主掃描方向，并以X方向(第I方向)為副掃描方向。在基座37的頂面37a，在X方向整個(gè)寬度范圍凸出設(shè)置在X方向延伸的一對(duì)導(dǎo)引軌38。在該基座37的上側(cè)，安裝有具備對(duì)應(yīng)于一對(duì)導(dǎo)引軌38的未圖示的直動(dòng)機(jī)構(gòu)的載物臺(tái)39。該載物臺(tái)39的直動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠采用線性電動(dòng)機(jī)和/或螺紋式直動(dòng)機(jī)構(gòu)等。在本實(shí)施方式中，例如采用線性電動(dòng)機(jī)。而且，載物臺(tái)39沿X方向以預(yù)定的速度進(jìn)行往動(dòng)(去往移動(dòng))或返動(dòng)(返回移動(dòng))。將反復(fù)進(jìn)行往動(dòng)與返動(dòng)稱(chēng)為掃描移動(dòng)。而且，在基座37的頂面37a，與導(dǎo)引軌38平行地配置副掃描位置檢測(cè)裝置40，通過(guò)副掃描位置檢測(cè)裝置40檢測(cè)載物臺(tái)39的位置。在該載物臺(tái)39的頂面形成載置面41，在該載置面41設(shè)置未圖示的吸附式的基板卡盤(pán)機(jī)構(gòu)。在半導(dǎo)體基板I載置于載置面41上之后，半導(dǎo)體基板I通過(guò)基板卡盤(pán)機(jī)構(gòu)固定于載置面41。載物臺(tái)39例如位于+X側(cè)時(shí)的載置面41的部位成為半導(dǎo)體基板I的載置位置或卸載位置的中繼部位。該載置面41設(shè)置為，在把持部13a的工作范圍內(nèi)顯露出來(lái)。從而，輸送部13能夠容易地將半導(dǎo)體基板I載置于載置面41。在向半導(dǎo)體基板I進(jìn)行了涂敷(標(biāo)記描繪)之后，半導(dǎo)體基板I在作為中繼部位的載置面41上待機(jī)。從而，輸送部13的把持部13a能夠容易地把持半導(dǎo)體基板I而進(jìn)行移動(dòng)。在基座37的Y方向兩側(cè)直立設(shè)置一對(duì)支持臺(tái)42，在該一對(duì)支持臺(tái)42架設(shè)在Y方向延伸的導(dǎo)引構(gòu)件43。在導(dǎo)引構(gòu)件43的下側(cè)在Y方向整個(gè)寬度范圍凸出設(shè)置在Y方向延伸的導(dǎo)引軌44。安裝為可以沿導(dǎo)引軌44移動(dòng)的滑架(移動(dòng)單元)45形成為基本長(zhǎng)方體形狀。該滑架45具備直動(dòng)機(jī)構(gòu)，該直動(dòng)機(jī)構(gòu)例如能夠采用與載物臺(tái)39具備的直動(dòng)機(jī)構(gòu)同樣的機(jī)構(gòu)。而且，滑架45沿Y方向進(jìn)行掃描移動(dòng)。在導(dǎo)引構(gòu)件43與滑架45之間配置主掃描位置檢測(cè)裝置46，測(cè)量滑架45的位置。在滑架45的下側(cè)設(shè)置頭單元47，在頭單元47的載物臺(tái)39側(cè)的面凸出設(shè)置未圖示的液滴排出頭。圖3(b)是表示滑架的示意側(cè)視圖。如示于圖3(b)地在滑架45的半導(dǎo)體基板I側(cè)關(guān)于Y方向從滑架45的中心分別以等間隔配置頭單元47和作為一對(duì)照射部的固化單元48。在頭單元47的半導(dǎo)體基板I側(cè)凸出設(shè)置排出液滴的液滴排出頭(排出頭)49。在滑架45的附圖上側(cè)配置收置箱50，在收置箱50收置功能液。液滴排出頭49與收置箱50通過(guò)未圖示的軟管相連接，收置箱50內(nèi)的功能液經(jīng)由軟管供給于液滴排出頭49。功能液以樹(shù)脂材料、作為固化劑的光聚合起始劑、溶劑或分散劑為主要材料。通過(guò)在該主材料添加顏料或染料等的色素和/或親液性或疏液性等的表面改性材料等的功能性材料能夠形成具有固有的功能的功能液。在本實(shí)施方式中，例如添加白色的顏料。功能液的樹(shù)脂材料為形成樹(shù)脂膜的材料。作為樹(shù)脂材料，只要在常溫下為液狀且通過(guò)聚合成為聚合物的材料即可并無(wú)特別限定。而且，優(yōu)選粘性小的樹(shù)脂材料，優(yōu)選低聚物的形態(tài)。如果是單體的形態(tài)則更加優(yōu)選。光聚合起始劑為作用于聚合物交聯(lián)基而使交聯(lián)反應(yīng)進(jìn)行的添加齊U，例如作為光聚合起始劑能夠采用安息香雙甲醚(Benzil Dimethylketal)等。溶劑或分散劑對(duì)樹(shù)脂材料的粘度進(jìn)行調(diào)整。通過(guò)使功能液成為容易從液滴排出頭排出的粘度，液滴排出頭能夠穩(wěn)定地排出功能液。圖4 (a)是表示頭單元的示意俯視圖。如示于圖4(a)地，在頭單元47，在副掃描方向(X方向)留有間隔地配置2個(gè)液滴排出頭49，在各液滴排出頭49的表面分別配置噴嘴板51 (參照?qǐng)D4(b))。在各噴嘴板51排列形成多個(gè)噴嘴52。在本實(shí)施方式中，在各噴嘴板 51，在Y方向留有間隔地配置沿副掃描方向配置15個(gè)噴嘴52的噴嘴列60B 60E。并且，2個(gè)液滴排出頭49中的各噴嘴列60B 60E沿X方向配置于直線上。噴嘴列60B、60E關(guān)于Y方向從滑架45的中心以等間隔而配置。同樣地，噴嘴列60C、60D關(guān)于Y方向從滑架45的中心以等間隔而配置。從而，+Y側(cè)的固化單元48與噴嘴列60B的距離和-Y側(cè)的固化單元48與噴嘴列60E的距離變得相同。并且，+Y側(cè)的固化單元48與噴嘴列60C的距離和-Y側(cè)的固化單元48與噴嘴列60D的距離變得相同。圖4(b)是用于對(duì)液滴排出頭的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明的要部示意剖視圖。如示于圖4(b)地，液滴排出頭49具備噴嘴板51，在噴嘴板51形成噴嘴52。在位于噴嘴板51的上側(cè)且與噴嘴52相對(duì)的位置形成與噴嘴52相連通的空腔53。而且，在液滴排出頭49的空腔53供給功能液(液體)54。在空腔53的上側(cè)設(shè)置在上下方向振動(dòng)而使空腔53內(nèi)的容積擴(kuò)大縮小的振動(dòng)板55。在振動(dòng)板55的上側(cè)與空腔53對(duì)置的部位配設(shè)在上下方向伸縮而使振動(dòng)板55振動(dòng)的壓電兀件56。壓電兀件56在上下方向伸縮對(duì)振動(dòng)板55進(jìn)行加壓使之振動(dòng),振動(dòng)板55使空腔53內(nèi)的容積擴(kuò)大縮小而對(duì)空腔53進(jìn)行加壓。由此，空腔53內(nèi)的壓力變動(dòng)，供給于空腔53內(nèi)的功能液54通過(guò)噴嘴52排出。固化單元48如示于圖3(b)及圖4(a)地，在主掃描方向(相對(duì)移動(dòng)方向)上配置于夾持頭單元47的兩側(cè)的位置。在固化單元48的內(nèi)部配置照射使排出的液滴固化的紫外線的照射裝置。照射裝置包括發(fā)光單元與散熱板等。在發(fā)光單元排列設(shè)置多個(gè)LED (LightEmitting Diode,發(fā)光二極管)。該LED元件為接受電力的供給而發(fā)出作為紫外線的光的紫外光的元件。在固化單元48的底面，形成照射口 48a。而且，照射裝置發(fā)出的紫外光從照射口 48a朝向半導(dǎo)體基板I照射。若液滴排出頭49接受到用于對(duì)壓電元件56進(jìn)行控制驅(qū)動(dòng)的噴嘴驅(qū)動(dòng)信號(hào)，則壓電元件56伸展，振動(dòng)板55使空腔53內(nèi)的容積縮小。其結(jié)果，縮小的容積量的功能液54成為液滴57而從液滴排出頭49的噴嘴52排出。對(duì)于涂敷有功能液54的半導(dǎo)體基板1，從照射口 48a照射紫外光，使包括固化劑的功能液54固化。(收置部)
圖5(a)是表示收置部的示意主視圖，圖5(b)及圖5(c)是表示收置部的示意側(cè)視圖。如示于圖5(a)及圖5(b)地，收置部12具備基座74。在基座47的內(nèi)部設(shè)置升降裝置75。升降裝置75能夠采用與設(shè)置于供給部8的升降裝置16同樣的裝置。在基座74的上側(cè)與升降裝置75相連接而設(shè)置升降板。而且，通過(guò)升降裝置75而使升降板76升降。在升降板76之上設(shè)置長(zhǎng)方體狀的收置容器18，在收置容器18之中收置半導(dǎo)體基板I。收置容器18采用與設(shè)置于供給部8的收置容器18相同的容器。通過(guò)輸送部13載置于作為中繼部位的導(dǎo)軌12b的半導(dǎo)體基板I通過(guò)該輸送部13從導(dǎo)軌12b移動(dòng)到收置容器18?；蛘撸部梢詷?gòu)成為在通過(guò)輸送部13從導(dǎo)軌12b向收置容器18移動(dòng)到中途之后，例如，如示于圖5(c)地，在導(dǎo)軌12b的下方，在Y方向上位于導(dǎo)軌12b、12b間，設(shè)置推出裝置80，該推出裝置80具有與上述推出裝置23同樣的構(gòu)成，并通過(guò)未圖示的升降裝置可以上升到與位于上述的中途位置的半導(dǎo)體基板I對(duì)置的位置，通過(guò)當(dāng)輸送部13將半導(dǎo)體基板I載置于導(dǎo)軌12b時(shí)使推出裝置80在導(dǎo)軌12b的下方待機(jī)，當(dāng)輸送部13從導(dǎo)軌12b后退時(shí)，使推出裝置80上升與半導(dǎo)體基板I的側(cè)面對(duì)置，使推出銷(xiāo)23a突出于+X方向，使半導(dǎo)體基板I移動(dòng)到收置容器18。
如上述地，重復(fù)進(jìn)行半導(dǎo)體基板I向收置容器18的收置和通過(guò)升降裝置75進(jìn)行的收置容器18的向Z方向的移動(dòng)，在預(yù)定塊數(shù)的半導(dǎo)體基板I收置于收置容器18內(nèi)之后，操作者將收置有半導(dǎo)體基板I的收置容器18與騰空的收置容器18替換。由此，操作者能夠?qū)⒍鄠€(gè)半導(dǎo)體基板I集中搬運(yùn)到下一工序。(輸送部)接下來(lái)，關(guān)于對(duì)半導(dǎo)體基板I進(jìn)行輸送的輸送部13按照?qǐng)DI、圖6 圖7進(jìn)行說(shuō)明。輸送部13具備設(shè)置于裝置內(nèi)的頂部的支持體83，在支持體83的內(nèi)部設(shè)置包括電動(dòng)機(jī)、角度檢測(cè)器、減速機(jī)等的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。而且，電動(dòng)機(jī)的輸出軸與減速機(jī)相連接，減速機(jī)的輸出軸與配置于支持體83的下側(cè)的第I臂部84相連接。并且，與電動(dòng)機(jī)的輸出軸相連接而設(shè)置角度檢測(cè)器，角度檢測(cè)器對(duì)電動(dòng)機(jī)的輸出軸繞與Z方向(第3方向)平行的軸線的旋轉(zhuǎn)角度進(jìn)行檢測(cè)。由此，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)能夠?qū)Φ贗臂部84的旋轉(zhuǎn)角度進(jìn)行檢測(cè)，使之旋轉(zhuǎn)預(yù)期的角度為止。在第I臂部84上與支持體83相反側(cè)的端設(shè)置旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)85。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)85通過(guò)電動(dòng)機(jī)、角度檢測(cè)器、減速機(jī)等所構(gòu)成，具備與設(shè)置于支持體83的內(nèi)部的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)同樣的功能。而且，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)85的輸出軸與第2臂部86相連接。由此，旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)85能夠?qū)Φ?臂部86的旋轉(zhuǎn)角度進(jìn)行檢測(cè)，使之旋轉(zhuǎn)預(yù)期的角度為止。在第2臂部86上與旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)85相反側(cè)的端配置升降裝置87及旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(驅(qū)動(dòng)部)88。升降裝置87具備直動(dòng)機(jī)構(gòu)，通過(guò)對(duì)直動(dòng)機(jī)構(gòu)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)使之在Z方向伸縮，能夠使把持部13a相對(duì)于第2臂部86升降。該直動(dòng)機(jī)構(gòu)例如能夠采用與供給部8的升降裝置16同樣的機(jī)構(gòu)。旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)88具有與上述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)85同樣的構(gòu)成，使把持部13a相對(duì)于第2臂部86繞與Z方向平行的軸線13c (參照?qǐng)D6(c))旋轉(zhuǎn)。圖6 (a)是在臂部13b的-Z側(cè)設(shè)置把持部13a的主視圖，圖6 (b)是俯視圖(但是，臂部13b未圖示)，圖6(c)是左側(cè)視圖。還有，把持部13a設(shè)置為，通過(guò)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)88可以相對(duì)于臂部13b在9 Z方向(繞Z軸的旋轉(zhuǎn)方向)旋轉(zhuǎn)移動(dòng)，因?yàn)閄Y平面上的位置變動(dòng)，所以在以下的說(shuō)明中為了方便，以與XY平面平行的一個(gè)方向?yàn)閄方向，以與XY平面平行且與X方向相正交的方向?yàn)閥方向進(jìn)行說(shuō)明(Z方向相同)。把持部13a具備固定部100和移動(dòng)部110，所述固定部可以相對(duì)于臂部13b在0 Z方向旋轉(zhuǎn)，且把持半導(dǎo)體基板I時(shí)以固定狀態(tài)使用；所述移動(dòng)部110設(shè)置為，相對(duì)于固定部100在Z方向移動(dòng)自如。固定部100以Z軸構(gòu)件101、懸架構(gòu)件102、連接構(gòu)件103、連接板104、夾持板(第I把持部)105、叉部(支持部)106為主體而構(gòu)成。Z軸構(gòu)件101在Z方向延伸并以可繞Z軸旋轉(zhuǎn)的方式設(shè)置在臂部13b。懸架構(gòu)件102形成為在X方向延伸的板狀，在X方向的中央部固定于Z軸構(gòu)件101的下端。連接板104與懸架構(gòu)件102平行地互相留有間隔而配置，在X方向兩端側(cè)通過(guò)連接構(gòu)件103與該懸架構(gòu)件102相連接。夾持板105形成為在X方向延伸的板狀，如示于圖6(c)地，以+Z側(cè)的表面上的+y側(cè)的端緣固定于連接板104的下端。 而且,夾持板105中的+Z側(cè)的表面之中的_y側(cè)的端緣側(cè)成為對(duì)半導(dǎo)體基板I進(jìn)行夾持時(shí)的夾持面105a。叉部106從下方對(duì)以?shī)A持面105a所夾持的半導(dǎo)體基板I的底面(_Z側(cè)的面)進(jìn)行支持，從夾持板105的_y側(cè)的側(cè)面在y方向延伸，且在X方向留有間隔地設(shè)置多個(gè)(在此4個(gè))。叉部106的配置間隔及數(shù)量即使在半導(dǎo)體基板I的長(zhǎng)度相應(yīng)于機(jī)型等而變動(dòng)的情況下，也至少在長(zhǎng)度方向在I處部位、優(yōu)選2處部位以上可以支持地設(shè)定。移動(dòng)部110以升降部111、把持板(第2把持部)112為主體所構(gòu)成。升降部111以氣缸機(jī)構(gòu)等所構(gòu)成，沿Z軸構(gòu)件101升降。把持板112設(shè)置為可以與升降部111 一體地升降，一體地形成插入部112a和夾持板112b，所述插入部112a具有比連接構(gòu)件103、103間的X方向的間隙長(zhǎng)度短且比懸架構(gòu)件102與連接板104之間的間隙窄的寬度，并在Z方向可移動(dòng)地插入這些連接構(gòu)件103、103間的間隙和懸架構(gòu)件102與連接板104之間的間隙；所述夾持板12b位于比插入部112a靠下方，并在比懸架構(gòu)件102靠下方以與夾持板105基本相同的長(zhǎng)度在X方向延伸。包括上述插入部112a及夾持板112b的把持板112相應(yīng)于升降部111的升降而一體地在Z方向移動(dòng)。當(dāng)把持板112下降時(shí),在與夾持板105之間夾持半導(dǎo)體基板I的一端緣而可以把持；當(dāng)把持板112上升時(shí)，通過(guò)從夾持板105離開(kāi)而解除對(duì)半導(dǎo)體基板I的把持?？梢园殉职雽?dǎo)體基板I的這些夾持板105及把持板112在對(duì)置的間隙以該夾持板105及把持板112范圍內(nèi)的長(zhǎng)度形成在X方向連續(xù)延伸的把持區(qū)域13d。如示于圖6(b)地，夾持板105及把持板112以及把持區(qū)域13d的長(zhǎng)度LI形成為，比上述叉部106的長(zhǎng)度L2要長(zhǎng)。并且，在本實(shí)施方式中，把持部13a通過(guò)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)88旋轉(zhuǎn)時(shí)的旋轉(zhuǎn)中心軸線(軸線)13c設(shè)定為，關(guān)于作為叉部106的長(zhǎng)度方向的y方向，如示于圖6 (c)地，位于配置叉部106的區(qū)域。并且，旋轉(zhuǎn)中心軸線13c關(guān)于作為夾持板105及把持板112的長(zhǎng)度方向的X方向，如示于圖6(a)地，配置于把持區(qū)域13d的基本中央。在由上述輸送部13對(duì)半導(dǎo)體基板I進(jìn)行輸送時(shí)，叉部106從下方對(duì)半導(dǎo)體基板I進(jìn)行支持，因此，在所輸送的半導(dǎo)體基板I載置于表面的預(yù)處理部9的第I、第2中繼部位9a、9b、冷卻部11的處理部位I la、I lb、后處理部14的第I、第2中繼部位14a、14b (以下總稱(chēng)為載置部)，在與輸送時(shí)的叉部106相對(duì)應(yīng)的位置，如示于圖7地，設(shè)置槽部141。并且，在載置部141中的槽部140的附近，配置多個(gè)用于對(duì)載置于載置部140的半導(dǎo)體基板I進(jìn)行吸附保持的吸附部142。而且，通過(guò)輸入配置于輸送部13的檢測(cè)器的輸出而對(duì)把持部13a的位置與姿態(tài)進(jìn)行檢測(cè)，并對(duì)旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)85等進(jìn)行驅(qū)動(dòng)而使把持部13a移動(dòng)到預(yù)定的位置，能夠?qū)⒂砂殉植?3a把持的半導(dǎo)體基板I輸送到預(yù)定的處理部。除電部20如示于圖8地，在基于輸送部13的半導(dǎo)體基板I的輸送路徑的下方，與該輸送路徑留有間隔而設(shè)置，通過(guò)將離子化的空氣供給于半導(dǎo)體基板I的底面(-Z側(cè)的面)，在半導(dǎo)體基板I中和帶電的靜電而除電。如后述地，輸送部13當(dāng)將半導(dǎo)體基板I輸送于各處理裝置時(shí)，如示于圖9地，該半導(dǎo)體基板I必定沿著經(jīng)由除電部20的上方的輸送路徑進(jìn)行輸送。

如示于圖1(b)及圖6(c)地，優(yōu)選作為輸送部13的標(biāo)量型機(jī)器人處于從設(shè)置于裝置內(nèi)的頂部的支持體83垂下的狀態(tài)，在標(biāo)量型機(jī)器人及其可動(dòng)范圍的下方，具備除電部20。如此一來(lái)，能夠不干擾標(biāo)量型機(jī)器人的工作地，配置各處理部及除電部20。圖10是印刷裝置7涉及的控制系統(tǒng)的框圖。如示于圖10地，通過(guò)控制部CONT統(tǒng)一控制上述的供給部8、預(yù)處理部9、涂敷部
10、后處理部14、收置部12和輸送部13的工作。(印刷方法)其次，關(guān)于采用上述的印刷裝置7的印刷方法以圖11進(jìn)行說(shuō)明。圖11是用于表示印刷方法的流程圖。如示于圖11的流程圖地，印刷方法主要包括將半導(dǎo)體基板I從收置容器18送入的送入工序SI ;對(duì)于所送入的半導(dǎo)體基板I的表面實(shí)施預(yù)處理的預(yù)處理工序S2 ;對(duì)在預(yù)處理工序S2中溫度上升的半導(dǎo)體基板I進(jìn)行冷卻的冷卻工序S3 ;對(duì)于冷卻的半導(dǎo)體基板I描繪印刷各種標(biāo)記的印刷工序S4 ;對(duì)于印刷有各種標(biāo)記的半導(dǎo)體基板I實(shí)施后處理的后處理工序S5 ;將實(shí)施了后處理的半導(dǎo)體基板I收置于收置容器19的收置工序S6。當(dāng)以上述的各工序?qū)Π雽?dǎo)體基板I進(jìn)行處理時(shí)，首先，通過(guò)邊以輸送部13中的把持部13a對(duì)半導(dǎo)體基板I的一側(cè)緣進(jìn)行夾持邊以叉部106從下方進(jìn)行支持而對(duì)半導(dǎo)體基板I進(jìn)行把持。具體地，如示于圖6(c)地，在通過(guò)升降部111而使把持板112相對(duì)于夾持板105離開(kāi)的狀態(tài)下，如示于圖7 (a)地，在以使半導(dǎo)體基板I載置于夾持板105及叉部106上的高度且使把持部13a移動(dòng)到叉部106可以進(jìn)入槽部141的位置之后，使把持部13a朝向載置部140移動(dòng)，使半導(dǎo)體基板I支持于夾持板105及叉部106上。然后，通過(guò)升降部111使把持板112下降而在與夾持板105之間夾持半導(dǎo)體基板I的側(cè)緣而把持。而且，通過(guò)由升降裝置87使把持部13a移動(dòng)到預(yù)定高度，使半導(dǎo)體基板I從載置部140剝離，朝向進(jìn)行下一工序的處理的處理裝置進(jìn)行輸送。此時(shí)，由于剝離帶電，主要在半導(dǎo)體基板I的背面(-Z側(cè)的面)帶有靜電。因此，控制部CONT使半導(dǎo)體基板I沿著經(jīng)由除電部20的輸送路徑即通向下一工序的處理裝置的輸送路徑而送至輸送部13。S卩，如示于圖9地示，例如在將半導(dǎo)體基板I從供給部8的中繼部位8a輸送到預(yù)處理部9的中繼部位9c的情況下，以經(jīng)由除電部20的輸送路徑Rl進(jìn)行輸送。同樣地，在將半導(dǎo)體基板I從預(yù)處理部9輸送到冷卻部11的情況下以輸送路徑R2、在從冷卻部11輸送到涂敷部10的情況下以輸送路徑R3、在從涂敷部10輸送到后處理部14的情況下以輸送路徑R4、在從后處理部14輸送到收置部12的情況下以輸送路徑R5全都經(jīng)由除電部20進(jìn)行輸送。在各輸送路徑Rl R5中，如果半導(dǎo)體基板I到達(dá)除電部20則使輸送速度暫時(shí)降低或停止。而且，對(duì)于半導(dǎo)體基板1，如示于圖8地，通過(guò)離子化的空氣從除電部20供給于背面?zhèn)?，所帶的靜電被中和而除電。此時(shí)，因?yàn)榘雽?dǎo)體基板I處于涉及輸送的移動(dòng)速度降低或停止的狀態(tài)，所以供給于半導(dǎo)體基板I的離子化的空氣的總量增多，可有效地通過(guò)除電部20進(jìn)行除電處理。并且，因?yàn)榘雽?dǎo)體基板I主要在帶電的背面?zhèn)冗M(jìn)行除電處理，所以可進(jìn)行更加有效的除電處理。在進(jìn)行了半導(dǎo)體基板I的除電處理之后，將半導(dǎo)體基板I輸送到與進(jìn)行下一工序的處理的載置部140對(duì)置的位置為止的輸送部13，通過(guò)升降裝置87的驅(qū)動(dòng)而使把持部13a下降，如示于圖7(a)地，在載置部140的表面交付半導(dǎo)體基板I。此時(shí)，因?yàn)樵谳d置部140，以對(duì)應(yīng)于叉部106的位置及大小形成槽部141，所以在半導(dǎo)體基板I的交接時(shí)叉部106進(jìn)入槽部141，可避免與載置部140相干涉。并且，因?yàn)轭A(yù)先在半導(dǎo)體基板I進(jìn)行除電處理，所以 即使在載置部140具有導(dǎo)電性的情況下也不會(huì)產(chǎn)生放電而對(duì)半導(dǎo)體裝置3產(chǎn)生不良影響。交付于載置部140的表面的半導(dǎo)體基板I在通過(guò)吸附部142吸附保持于載置部140的表面上的狀態(tài)下實(shí)施預(yù)定的處理(例如，冷卻處理)，或輸送到進(jìn)行涂敷處理和/或預(yù)處理的載物臺(tái)。以上述的輸送部13所輸送的半導(dǎo)體基板I在預(yù)處理工序S2中實(shí)施半導(dǎo)體基板I的預(yù)處理(在加熱的狀態(tài)下表面的改性處理)，在冷卻工序S3中冷卻了之后，在印刷工序S4中在半導(dǎo)體裝置3上進(jìn)行各種標(biāo)記的印刷處理。進(jìn)行了各種標(biāo)記的印刷處理的半導(dǎo)體基板I在后處理工序S5中實(shí)施了后處理之后在收置工序S6中收置于收置容器18，經(jīng)由收置容器18而送出。如以上說(shuō)明地，在本實(shí)施方式中，因?yàn)槊媾R(面對(duì)、面向或臨近)輸送部13的輸送路徑而設(shè)置除電部20，當(dāng)對(duì)半導(dǎo)體基板I進(jìn)行輸送時(shí)，以經(jīng)由除電部20的輸送路徑進(jìn)行輸送，所以不用設(shè)置多個(gè)除電部，并且，可以不產(chǎn)生確保除電部的移動(dòng)空間的需要地對(duì)半導(dǎo)體基板I進(jìn)行除電，能夠避免伴隨于除電的裝置的成本增加及大型化。并且，在本實(shí)施方式中，因?yàn)槭钩姴?0中的半導(dǎo)體基板I的輸送速度降低，所以能夠更有效地進(jìn)行對(duì)于半導(dǎo)體基板I的除電處理。而且，在本實(shí)施方式中，因?yàn)槌姴?0設(shè)置于半導(dǎo)體基板I的輸送路徑的下方，所以可以對(duì)容易產(chǎn)生剝離帶電的半導(dǎo)體基板I的背面(底面)集中性地進(jìn)行除電而能夠?qū)嵤┯行У某娞幚?。而且在本?shí)施方式中，因?yàn)檩斔筒?3的把持部13a對(duì)半導(dǎo)體基板I的側(cè)緣進(jìn)行把持，所以能夠?qū)Π雽?dǎo)體基板I的底面基本整面地進(jìn)行除電，能夠?qū)崿F(xiàn)更高效的除電處理。以上，雖然一邊參照附圖一邊關(guān)于本發(fā)明涉及的具體實(shí)施方式

進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明當(dāng)然并非限定于涉及例。在上述的例中示出的各構(gòu)成構(gòu)件的諸形狀和/或組合等為一例，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)可以基于設(shè)計(jì)需求等進(jìn)行各種改變。例如，以上述實(shí)施方式示出的除電部20的平面性配置為一例，雖然只要是通過(guò)輸送部13可以進(jìn)行輸送的位置則可以為任何位置，但是優(yōu)選例如關(guān)于可以設(shè)置除電部20的位置進(jìn)行總輸送路徑長(zhǎng)度的模擬，在輸送路徑長(zhǎng)度變得最短的位置設(shè)置除電部20。
雖然在上述實(shí)施方式中，除電部20設(shè)置于由涂敷部10、預(yù)處理部9、冷卻部11、后處理部14、供給部8、收置部12所包圍的位置，但是并不限于此，優(yōu)選除電部20設(shè)置于通過(guò)輸送部13形成的半導(dǎo)體基板I的輸送路徑。除電部20既可以配置于由各處理部的至少2個(gè)所夾持的位置，也可以配置于接近至少2個(gè)處理部的位置。此外，雖然在上述實(shí)施方式中，對(duì)將除電部20設(shè)置于半導(dǎo)體基板I的輸送路徑的下方的構(gòu)成進(jìn)行了例示，但是并非限定于此，在存在空間的限制等情況下也可以為設(shè)置于輸送路徑的上方的構(gòu)成。該情況下，例如也可以構(gòu)成為除電部20成為照射軟X射線的構(gòu)成，并將使從除電部20所照射的軟X射線反射到半導(dǎo)體基板I的底面的薄的鏡構(gòu)件設(shè)置于例如輸送路徑的下方，通過(guò)經(jīng)由鏡構(gòu)件而將軟X線照射于半導(dǎo)體基板I的底面，使該底面附近的空氣離子化而除電。而且，關(guān)于輸送部13中的夾持板105及把 持板112，也可以使至少一方以接地的導(dǎo)電材料形成。該情況下，能夠更加有效地消除對(duì)于半導(dǎo)體基板I的靜電的不良影響，可以避免半導(dǎo)體裝置3等的由于靜電引起的損傷。關(guān)于夾持板105及把持板112，既可以使至少一方以金屬構(gòu)成，又可以以導(dǎo)電性膜形成于表面，也可以以導(dǎo)電性橡膠構(gòu)成。并且，也可以以預(yù)定的材料實(shí)施導(dǎo)電處理。并且，雖然在上述實(shí)施方式中，作為UV墨液采用了紫外線固化型墨液，但是本發(fā)明并非限定于此，能夠采用可以將紫外線用作固化光的各種激活光線固化型墨液。并且，光源也同樣地，能夠采用射出可見(jiàn)光等的激活光的各種激活光光源，也就是說(shuō)能夠采用激活光線照射部。在此，在本發(fā)明中所謂“激活光線”只要能夠通過(guò)其照射給予在墨液中可使起始種子產(chǎn)生的能量即可，并無(wú)特別限制，廣泛包括a射線、Y射線、X射線、紫外線、可見(jiàn)光、電子束等。其中，從固化靈敏度及裝置的入手容易度的觀點(diǎn)看，優(yōu)選紫外線及電子束，尤其優(yōu)選紫外線。從而，作為激活光線固化型墨液，如本實(shí)施方式地，優(yōu)選采用通過(guò)照射紫外線可以固化的紫外線固化型墨液。并且，雖然在上述實(shí)施方式中，作為處理部，具有涂敷部10、預(yù)處理部9、冷卻部
11、后處理部14、供給部8、收置部12，但是只要具有其中至少任意2個(gè)處理部即可。并且，雖然在上述實(shí)施方式中，具有涂敷部10，但是并不限于此，既可以為對(duì)半導(dǎo)體裝置進(jìn)行檢查的檢查部，又可以為用于形成預(yù)定的膜的制膜裝置，還可以為對(duì)預(yù)定的膜進(jìn)行蝕刻的蝕刻
>J-U裝直。
權(quán)利要求
1.一種標(biāo)記裝置，其特征在于 具有多個(gè)處理裝置和輸送部，所述多個(gè)處理裝置對(duì)基材進(jìn)行處理，所述輸送部在前述多個(gè)處理裝置之間輸送前述基材； 具備除電部和控制部， 所述除電部面臨基于前述輸送部的前述基材的輸送路徑而設(shè)置， 所述控制部對(duì)前述輸送部進(jìn)行控制，當(dāng)將前述基材輸送于前述處理裝置時(shí)，使前述輸送部沿著經(jīng)由前述除電部的輸送路徑。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的標(biāo)記裝置，其特征在于 前述輸送部為標(biāo)量型機(jī)器人。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的標(biāo)記裝置，其特征在于 前述控制部使前述除電部中的前述基材的輸送速度比到達(dá)該除電部為止時(shí)的輸送速度低。
4.根據(jù)權(quán)利要求I 3中任一項(xiàng)所述的標(biāo)記裝置，其特征在于 由前述除電部，在前述基材保持于前述處理裝置的面?zhèn)冗M(jìn)行除電處理。
5.根據(jù)權(quán)利要求I 4中任一項(xiàng)所述的標(biāo)記裝置，其特征在于 前述輸送部具備以懸臂把持前述基材的一端緣的把持部。
6.根據(jù)權(quán)利要求I 5中任一項(xiàng)所述的標(biāo)記裝置，其特征在于 前述處理裝置包括在設(shè)置于前述基材的表面的半導(dǎo)體裝置涂敷液滴的涂敷裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的標(biāo)記裝置，其特征在于 前述涂敷裝置相對(duì)于前述輸送部所輸送的基材排出因激活光線而固化的液體的液滴。
8.—種制造裝置，其特征在于 具有多個(gè)處理裝置和輸送部，所述輸送部在前述多個(gè)處理裝置之間輸送基材； 具備除電部和控制部， 所述除電部面臨基于前述輸送部的前述基材的輸送路徑而設(shè)置， 所述控制部對(duì)前述輸送部進(jìn)行控制，當(dāng)將前述基材輸送于前述處理裝置時(shí)，使前述輸送部沿著經(jīng)由前述除電部的輸送路徑。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制造裝置，其特征在于 前述輸送部為標(biāo)量型機(jī)器人。
10.一種標(biāo)記方法，其特征在于，具有 多個(gè)處理裝置，其對(duì)基材進(jìn)行處理， 輸送部，其在前述多個(gè)處理裝置之間輸送前述基材，和 除電部，其面臨基于前述輸送部的前述基材的輸送路徑而設(shè)置； 當(dāng)通過(guò)前述輸送部將前述基材輸送于前述處理裝置時(shí)，使前述輸送部沿著經(jīng)由前述除電部的輸送路徑。
全文摘要
本發(fā)明涉及標(biāo)記裝置、制造裝置及標(biāo)記方法。提供能夠有助于裝置的小型化及基材的穩(wěn)定輸送的標(biāo)記裝置。具有多個(gè)處理裝置和在多個(gè)處理裝置之間輸送基材的輸送部。具備面臨基于輸送部的基材的輸送路徑而設(shè)置的除電部(20)和控制部，該控制部對(duì)輸送部進(jìn)行控制，當(dāng)將基材輸送于處理裝置時(shí)，使輸送部沿著經(jīng)由除電部的輸送路徑(R1～R5)。
文檔編號(hào)B41M5/00GK102673137SQ2012100665
公開(kāi)日2012年9月19日 申請(qǐng)日期2012年3月14日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月18日
發(fā)明者橫澤敏浩 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社