網(wǎng)板印刷裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及通過(guò)使刮板在與基板接觸的掩膜上滑動(dòng)從而通過(guò)設(shè)于掩膜的圖案孔而向基板上印刷糊劑的網(wǎng)板印刷裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在網(wǎng)板印刷裝置中，作為用于防止掩膜與基板之間的位置錯(cuò)動(dòng)的基板的保持方法，優(yōu)選基于真空吸引的方法。以往，已知有在與基板的下表面接觸的構(gòu)件設(shè)置吸引孔而將其與真空吸引用配管連結(jié)，向真空吸引用配管供給真空壓力的結(jié)構(gòu)(例如，專(zhuān)利文獻(xiàn)I)。
[0003]【在先技術(shù)文獻(xiàn)】
[0004]【專(zhuān)利文獻(xiàn)】
[0005]【專(zhuān)利文獻(xiàn)I】日本特開(kāi)2003-224395號(hào)公報(bào)
[0006]【發(fā)明要解決的課題】
[0007]然而，在通過(guò)真空吸引來(lái)保持基板的結(jié)構(gòu)中，在基板存在翹曲等變形而發(fā)生泄漏的情況下，吸引力極端下降，存在基板的保持力變?nèi)醵赡馨l(fā)生印刷不良這樣的問(wèn)題點(diǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能夠抑制以基板的翹曲等變形為起因而產(chǎn)生的印刷不良的網(wǎng)板印刷裝置。
[0009]【用于解決課題的方案】
[0010]本發(fā)明的網(wǎng)板印刷裝置使刮板在與基板接觸的掩膜上滑動(dòng)，由此通過(guò)設(shè)置于所述掩膜的圖案孔而向所述基板上印刷糊劑，其中，所述網(wǎng)板印刷裝置具備:箱狀構(gòu)件，在與所述基板的下表面接觸的頂板部設(shè)置有第一吸引孔及第二吸引孔；鼓風(fēng)吸引用配管，與所述箱狀構(gòu)件的內(nèi)部空間連通而在所述箱狀構(gòu)件的外部延伸；鼓風(fēng)吸引源，通過(guò)所述鼓風(fēng)吸引用配管而吸出空氣，在所述第一吸引孔產(chǎn)生鼓風(fēng)吸引力；真空吸引用配管，與所述第二吸引孔連結(jié)，通過(guò)所述箱狀構(gòu)件的所述內(nèi)部空間而向所述箱狀構(gòu)件的外部延伸；及真空壓力供給單元，通過(guò)所述真空吸引用配管而向所述第二吸引孔供給真空壓力。
[0011]【發(fā)明效果】
[0012]根據(jù)本發(fā)明，能夠抑制以基板發(fā)生翹曲等變形為起因而產(chǎn)生的印刷不良。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1是本發(fā)明的一實(shí)施方式的網(wǎng)板印刷裝置的側(cè)視圖。
[0014]圖2是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的網(wǎng)板印刷裝置的控制系統(tǒng)的框圖。
[0015]圖3是本發(fā)明的一實(shí)施方式的網(wǎng)板印刷裝置具備的下承受箱及吸引機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。
[0016]圖4是本發(fā)明的一實(shí)施方式的網(wǎng)板印刷裝置具備的下承受箱的俯視圖。
[0017]圖5是表示本發(fā)明的一實(shí)施方式的網(wǎng)板印刷裝置具備的操作面板上顯示的操作畫(huà)面的一例的圖。
[0018]圖6是本發(fā)明的一實(shí)施方式的網(wǎng)板印刷裝置的側(cè)視圖。
[0019]【標(biāo)號(hào)說(shuō)明】
[0020]I網(wǎng)板印刷裝置
[0021]2 掩膜
[0022]2h圖案孔
[0023]3b 刮板
[0024]12下承受箱(箱狀構(gòu)件)
[0025]12S內(nèi)部空間
[0026]12a頂板部
[0027]21第一吸引孔
[0028]22第二吸引孔
[0029]23鼓風(fēng)吸引用配管
[0030]24鼓風(fēng)吸引源
[0031]27真空吸引用配管
[0032]28控制閥(真空壓力供給單元)
[0033]PB 基板
[0034]Pst 糊劑
【具體實(shí)施方式】
[0035]以下，參照附圖，說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1示出本發(fā)明的一實(shí)施方式的網(wǎng)板印刷裝置I。網(wǎng)板印刷裝置I具備掩膜2、刮板頭3及基板保持移動(dòng)部4。網(wǎng)板印刷裝置I的各部的動(dòng)作控制由控制裝置5進(jìn)行(圖2)。
[0036]掩膜2保持為水平姿勢(shì)，向上表面供給糊劑Pst。在掩膜上形成有與基板PB的電極配置對(duì)應(yīng)的圖案孔2h。刮板頭3具備通過(guò)刮板升降工作缸3a而升降的刮板3b。刮板頭3由頭移動(dòng)機(jī)構(gòu)3M驅(qū)動(dòng)而沿水平方向移動(dòng)。
[0037]基板保持移動(dòng)部4由保持基板PB的基板保持機(jī)構(gòu)部4a、使基板保持機(jī)構(gòu)部4a向水平面內(nèi)方向及上下方向移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)部4b構(gòu)成?；灞３謾C(jī)構(gòu)部4a具備搬運(yùn)輸送設(shè)備11、下承受箱12、夾緊件13及吸引機(jī)構(gòu)14。搬運(yùn)輸送設(shè)備11對(duì)基板PB進(jìn)行搬運(yùn)并定位，下承受箱12在上表面從下方承受搬運(yùn)輸送設(shè)備11定位了的基板PB。夾緊件13從側(cè)方夾緊下承受箱12從下方承受的基板PB。吸引機(jī)構(gòu)14吸引下承受箱12從下方承受的基板PB而保持于下承受箱12的上表面。
[0038]在圖3中，作為箱狀構(gòu)件的下承受箱12由上表面與基板PB的下表面接觸的頂板部12a和保持頂板部12a的支撐部12b構(gòu)成。頂板部12a相對(duì)于支撐部12b成為拆裝自如。在頂板部12a設(shè)有多個(gè)第一吸引孔21和多個(gè)第二吸引孔22。第一吸引孔21是用于對(duì)基板PB和掩膜2進(jìn)行鼓風(fēng)吸引的孔。因此，第一吸引孔21設(shè)置在與由夾緊件13夾緊的基板PB的下表面相對(duì)的位置及與基板PB的切口部K相對(duì)的位置(也參照?qǐng)D4)。在圖4中，設(shè)置在與基板PB的下表面相對(duì)的位置上的第一吸引孔21由標(biāo)號(hào)21a表示，設(shè)置在與基板PB的切口部K相對(duì)的位置上的第一吸引孔21由標(biāo)號(hào)21b表示。另一方面，第二吸引孔22是用于對(duì)基板PB進(jìn)行真空吸引的孔。因此，第二吸引孔22設(shè)置在由夾緊件13夾緊的基板PB的下表面中的避開(kāi)與切口部K相對(duì)的位置的位置(也參照?qǐng)D4)。
[0039]吸引機(jī)構(gòu)14由鼓風(fēng)吸引用配管23、鼓風(fēng)吸引源24、多個(gè)真空吸引用配管27及控制閥28構(gòu)成。在圖3中，鼓風(fēng)吸引用配管23與下承受箱12的內(nèi)部空間12S連通，在下承受箱12的外部延伸。鼓風(fēng)吸引源24與鼓風(fēng)吸引用配管23連接。鼓風(fēng)吸引源24構(gòu)成包括:通過(guò)鼓風(fēng)吸引用配管23吸出空氣，在第一吸引孔21產(chǎn)生鼓風(fēng)吸引力的電動(dòng)機(jī)25 ;及通過(guò)變更向電動(dòng)機(jī)25供給的電源的頻率而使電動(dòng)機(jī)25的轉(zhuǎn)速變化的逆變器26。
[0040]在圖3中，各真空吸引用配管27從頂板部12a的下表面?zhèn)冗B結(jié)于各第二吸引孔22。上述的真空吸引用配管27穿過(guò)下承受箱12的內(nèi)部空間12S而通過(guò)下承受箱12的側(cè)面的開(kāi)口部(該開(kāi)口部被密封)，向下承受箱12的外部延伸。多個(gè)真空吸引用配管27與真空源29連接?？刂崎y28夾裝在真空吸引用配管27與真空源29之間?？刂崎y28由控制裝置