專利名稱：曝光系統(tǒng)的制作方法
技術領域：
本發(fā)明與曝光系統(tǒng)有關，特別地，關系到一種安裝在曝光系統(tǒng)內部用于制作液晶顯示(LCD)裝置的光源裝置.
以下結合

圖1對采用光刻工藝制造LCD的一個曝光系統(tǒng)給予詳細說明。
如圖1所示，在將要進行曝光處理的暗箱底部安裝一個用于支撐LCD基板15的基座20。在基座20之上設置一個光掩膜25(或者一個分劃板(reticle))并正對LCD基板15。其中，光掩膜25可以包括幾個光阻模25a。
數個燈光裝置30設置在暗室10外表面的上部。燈光裝置30包括一個光源35，一個包圍光源的機架37，以及一個介于機架37和暗室外表面上部之間的透明窗，將暗室的外壁封閉以密封暗室。其中，一個曝光系統(tǒng)需要安裝多個燈光裝置，以同時對LCD基板15發(fā)射均勻的光線，該基板是大于一個通常的半導體基板。
然而，由于燈光裝置30所包括的機架37成本昂貴，多個燈光裝置30的設置增大了生產成本。
本發(fā)明提供了一個曝光系統(tǒng)，即使在采用單一燈光裝置的情況下，通過該曝光系統(tǒng)，光線也可以均勻地照射在基板上，因而降低了生產成本。
本發(fā)明的一方面，所提供的曝光系統(tǒng)包括一個暗室，提供進行曝光工藝過程的空間，以及一個燈光裝置，該配件設置在暗室之上，并且以一確定的方向移動，以便發(fā)射光線到暗室內部。
暗室包括一個用以支撐即將進行曝光處理的基板的基座，以及一個光掩膜，用于使基座的頂部成模。此外，暗室的上部包括一個透明蓋，燈光裝置通過該透明蓋而對暗室內部發(fā)射光線。
燈光裝置包括一個光源，一個包圍光源的光源機架，一個透明窗，設置于光源機架的底部，以及一個移動單元，使燈光裝置以確定的方向，即垂直于所發(fā)射的光線的方向而往復運動。其中，為便于移動，優(yōu)選地，燈光裝置與暗室間隔以確定的距離。
相應于本發(fā)明的另一方面，提供一個曝光系統(tǒng)，包括一個暗室，該暗室確定了一個對LCD基板進行曝光處理的空間，并且具有一個頂部開口，一個透明蓋，封閉暗室的頂部開口，以密封暗室，以及一個燈光裝置，該裝置與暗室的上部間隔以確定的距離，并且以確定的方向移動以向暗室的內部發(fā)射光線。
圖1所示為常用曝光裝置的剖面視圖；圖2所示為本發(fā)明的曝光系統(tǒng)的剖面視圖；圖3所示為本發(fā)明的曝光系統(tǒng)的頂部平面視圖。
首先，如圖2所示，曝光系統(tǒng)200包括一個暗室100。該暗室，具有一個頂部開口，確定一個對LCD基板110進行曝光處理的空間。一個基座120，用以支撐LCD基板110，安裝在暗室100之內。其中，LCD基板110可以采用，例如，一個玻璃基板，并且包括一個成模層(末示)以及一個光阻層(末示)，順序安裝于其上。
在暗室之內正對LCD基板110的位置設置一個光掩膜130，并與LCD基板110間隔一個固定距離。光掩膜130包括大量光阻模130a，用于對光阻層進行曝光。光阻模130a設置于光掩膜130的表面上正對LCD基板110的位置。
透明蓋140設置于暗室的頂部而使暗室密封。透明蓋140制作成片狀以遮蓋暗室100的頂部開口。其中，透明蓋140可以采用例如右英等透光材料而制作。
在暗室100上面設置單一的燈光裝置150。燈光裝置150包括一個光源152，一個包圍光源的機架154，以及一個安裝在機架154底部的透明窗156。燈光裝置150進而包括一個移動單元158，通過該移動單元158燈光裝置150可以在確定的方向上而往復移動。其中，盡管燈光裝置150的大小與現有燈光裝置150的大小相等，但是本發(fā)明的燈光裝置150可以由移動單元158而移動。因此，光線可以均勻地照射到整個LCD基板110的表面。并且，由于燈光裝置150與暗室100相隔以確定的距離，所以燈光裝置150可以自由移動。其中，燈光裝置150的底部以及暗室100的頂部，是由透明材料制成的，有助于光線的發(fā)射而不吸收光線。
以下將對本發(fā)明的曝光系統(tǒng)200的工作過程給予說明。
燈光裝置150以確定的方向而移動，例如，沿基板長度的方向，并且發(fā)射光線到暗室100內部。其中，移動單元158以恒定速度移動燈光裝置150，從而使燈光裝置150可以均勻地將光線照射到暗室100內的光掩膜130。而且，由于在燈光裝置150的底部設置了一個透明窗156，光線可以照射到光掩膜130上而不被吸收。當光線到達光掩膜130之后，部分光線被光阻模130a而吸收而部分透射出去。因此，光線均勻地傳輸到LCD基板110。
其中，當燈光裝置150移動并發(fā)射光線時，只采用一個燈光裝置足以進行曝光。因此，由于不需要安裝其他的燈光裝置150而使成本大大降低。
如上所述，相應于本發(fā)明，一個曝光系統(tǒng)在暗室之上包括一個具有一個移動單元的單一燈光裝置，移動單元允許燈光裝置往復移動。因此，通過移動燈光裝置可以進行曝光處理，并且可以減少燈光裝置的數目。由于不需要設置幾個昂貴的機架，所以可以大大降低曝光系統(tǒng)的生產成本。
本發(fā)明結合其優(yōu)選實施例給予了具體說明，但是本領域的技術人員應明確，在不違反由以下權利要求所限定的本發(fā)明的精神和范圍的情況下，可以對本發(fā)明進行各種形式和細節(jié)的改變。
權利要求
1.一個曝光系統(tǒng)包括一個暗室，確定為進行曝光工藝過程的空間，其特征在于，該暗室包括一個基座，用以支撐即將曝光的基板，以及一個光掩膜，用以對基座的上部成模；以及一個燈光裝置，設置于暗室之上并且以確定的方向移動并發(fā)射光線到暗室內部。
2.如權利要求1所述的曝光系統(tǒng)，其特征在于，暗室的頂部包括一個透明蓋，燈光裝置通過該透明蓋將光線發(fā)射到暗室之內。
3.如權利要求1所述的曝光系統(tǒng)，其特征在于，燈光裝置包括一個光源，一個包圍光源的光源機架，一個透明窗位于光源機架的底部，以及一個移動單元，使燈光裝置以垂直于發(fā)射光線的方向而往復運動。
4.如權利要求3所述的曝光系統(tǒng)，其特征在于，燈光裝置和暗室以固定距離而間隔設置。
5.一個曝光系統(tǒng)包括一個暗室，確定為液晶顯示器基板經歷曝光處理的空間，并且具有一個頂部開口；一個透明窗，封閉暗室的頂部開口以密封暗室；以及一個燈光裝置，與暗室的上部相距確定的距離并且以確定的方向而發(fā)射光線到暗室內部。
6.如權利要求5所述的曝光系統(tǒng)，其特征在于，燈光裝置包括一個光源，一個包圍光源的光源機架，一個設置于光源機架底部的透明窗，以及一個移動單元，以固定的方向而往復移動燈光裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種曝光系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以在即使只采用單一燈光裝置的情況下，而使光線均勻地照射到基板上，因此降低了生產成本。曝光系統(tǒng)包括一個暗室，提供一個LCD基板經歷曝光工藝處理的空間，并且具有一個頂部開口，一個封閉頂部開口的透明窗，以密封暗室，以及一個燈光裝置，與暗室的頂部間隔一個固定的距離，并且以固定的方向發(fā)射光線到暗室內部。
文檔編號G03F7/20GK1452013SQ0310937
公開日2003年10月29日 申請日期2003年4月8日 優(yōu)先權日2002年4月18日
發(fā)明者樸庸碩, 趙漢范 申請人:顯像制造服務股份有限公司