專利名稱：帶紅外線截止濾波器的透鏡及其制造方法和小型照相機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及裝配在移動(dòng)電話等中的小型照相機(jī)使用的帶紅外線截止濾波器的透鏡及其制造方法、以及使用該帶紅外線截止濾波器的透鏡的小型照相機(jī)。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，將小型照相機(jī)裝配在移動(dòng)電話或筆記本電腦等信息設(shè)備中，可以獲得用小型照相機(jī)拍攝的圖像信息。圖11表示這種小型照相機(jī)的一個(gè)結(jié)構(gòu)示例。
如圖11所示，該小型照相機(jī)100在基板101上安裝有電子部件102和固體攝像元件模塊103，在鏡筒104上裝配了IR(紅外線)截止濾波器105的殼體106被安裝在基板101上，覆蓋著固體攝像元件模塊103的周圍。外筒部件109旋入刻在鏡筒104外面的螺紋槽中，該外筒部件109在一端側(cè)具有具備光闌功能的開口部107，裝配有聚光透鏡108，內(nèi)面刻有螺紋槽。通過(guò)調(diào)節(jié)外筒部件109的旋入量，可以調(diào)節(jié)聚光透鏡108和固體攝像元件模塊103之間的距離，以便進(jìn)行聚焦。調(diào)節(jié)后用粘接劑固定。開口部107、鏡筒104、聚光透鏡108、紅外線截止濾波器105、固體攝像元件模塊103沿著光軸配置。
該小型照相機(jī)100通過(guò)聚光透鏡108將從開口部107入射的光聚光在固體攝像元件模塊103上，通過(guò)紅外線截止濾波器105將阻斷了紅外線的光成像于固體攝像元件模塊103上，把固體攝像元件模塊103感光后的光變換為電信號(hào)，通過(guò)電子部件102變換為圖像信號(hào)并輸出。
固體攝像元件模塊103不僅對(duì)可見光，對(duì)紅外線也具有良好的感光度，所感光的紅外線會(huì)導(dǎo)致清晰度降低或圖像劣化。因此，為了使紅外線不入射到固體攝像元件模塊103，在固體攝像元件模塊103的入射側(cè)配置有紅外線截止濾波器105。
現(xiàn)在的信息設(shè)備對(duì)小型化的要求很強(qiáng)烈。小型照相機(jī)也不例外，必須進(jìn)一步小型化。因此，特開平5-207350號(hào)公報(bào)提出了以下方案直接在透鏡108上設(shè)置構(gòu)成紅外線截止濾波器105的電介質(zhì)多層膜，廢棄作為部件的紅外線截止濾波器105，以實(shí)現(xiàn)小型化。
但是，為了減輕重量和降低成本，小型照相機(jī)中使用的聚光透鏡108幾乎都是通過(guò)注射模塑成形制造的塑料制品。在安裝電子部件和固體攝像元件模塊時(shí)，具有在約290℃的高溫爐中使焊錫熔化的被稱為回流(reflow)的焊接工序。塑料制透鏡不具有耐回流焊接的高溫的耐熱性，所以在回流焊接之后安裝透鏡。因此，具有組裝生產(chǎn)效率降低的問(wèn)題，從組裝效率方面考慮期望玻璃制透鏡。
專利文獻(xiàn)1提出的帶紅外線截止濾波器的透鏡是兩面為凸面的雙凸透鏡。由于為了用玻璃制造這種兩面為凸面的透鏡，在成形時(shí)需要精密地對(duì)準(zhǔn)兩面的光軸，所以具有要求高精度的制造技術(shù)且成本高的問(wèn)題。
另外，電介質(zhì)多層膜的成膜需要進(jìn)行以下這種花費(fèi)工時(shí)的作業(yè)將每一個(gè)凸透鏡配置在真空蒸鍍裝置等的圓頂狀基板座上，在進(jìn)行真空蒸鍍等之后，再?gòu)幕遄现饌€(gè)取出，所以具有電介質(zhì)多層膜的成膜成本增加的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明就是鑒于上述情況而提出的，其目的是提供一種帶紅外線截止濾波器的透鏡，在用玻璃制造用于小型照相機(jī)的聚光透鏡等的帶紅外線截止濾波器的透鏡時(shí)，可以降低成為問(wèn)題的制造成本。
另外，本發(fā)明的目的是提供能夠以低成本制造玻璃制的帶紅外線截止濾波器的透鏡的制造方法。
此外，本發(fā)明的目的是提供使用了低成本的玻璃制的帶紅外線截止濾波器的透鏡的小型照相機(jī)。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明之一提供一種帶紅外線截止濾波器的透鏡，其特征在于，在一個(gè)折射表面為平面、相反側(cè)的折射表面為凸面的玻璃平凸透鏡的任一面上，設(shè)有截止紅外線的紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜。
通過(guò)做成所謂的平凸透鏡，在成形玻璃透鏡時(shí)，平的面的折射表面不需要對(duì)準(zhǔn)光軸。所以，使用空腔的相互相對(duì)的面中的一個(gè)面是平面、相對(duì)的另一個(gè)面具有在平面上形成凸面的折射表面的多個(gè)凹面的模具，可以將連接有多個(gè)一個(gè)折射表面為平面、另一個(gè)折射表面為凸面的玻璃平凸透鏡的可獲取多個(gè)透鏡的成形體成形為一體。因此，可以使用簡(jiǎn)單的模具高效集中地成形多個(gè)透鏡，所以能夠以低成本進(jìn)行生產(chǎn)。
如果對(duì)該可獲取多個(gè)透鏡的成形體進(jìn)行電介質(zhì)多層膜的成膜，可以利用真空蒸鍍等成膜方法集中地對(duì)多個(gè)透鏡進(jìn)行統(tǒng)一成膜。因此，能夠降低電介質(zhì)多層膜的成膜成本。
另外，通過(guò)切割，把設(shè)有紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜的可獲取多個(gè)透鏡的成形體切斷成各個(gè)透鏡，可以高效地生產(chǎn)多個(gè)玻璃制平凸透鏡，所以能夠以低成本進(jìn)行生產(chǎn)。
本發(fā)明之二提供一種帶紅外線截止濾波器的透鏡，其特征在于，在所述本發(fā)明之一的帶紅外線截止濾波器的透鏡中，所述玻璃平凸透鏡具有在平板的一面上一體地設(shè)有構(gòu)成凸透鏡的凸面的凸部的結(jié)構(gòu)。
通過(guò)切割，把在平板的一面上一體地設(shè)有具有凸透鏡的凸面的折射表面的多個(gè)凸部的可獲取多個(gè)透鏡的成形體，按每個(gè)凸部進(jìn)行切斷，由此獲得的低成本的平凸透鏡具有在平板的一面上一體地設(shè)有構(gòu)成凸透鏡的凸面的凸部的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明之三提供一種帶紅外線截止濾波器的透鏡，其特征在于，在所述本發(fā)明之一或之二的帶紅外線截止濾波器的透鏡中，所述凸面的折射表面是曲率隨著離開光軸而變小的軸對(duì)稱非球面。
通過(guò)使平凸透鏡的凸透鏡形成這種曲面的軸對(duì)稱非球面形狀，可以形成對(duì)各種像差進(jìn)行了良好校正的凸透鏡，能夠獲得良好的圖像。
本發(fā)明之四提供一種帶紅外線截止濾波器的透鏡，其特征在于，在所述本發(fā)明之二的帶紅外線截止濾波器的透鏡中，所述平板的外形的幾何學(xué)中心與所述凸透鏡的光軸一致。
通過(guò)使透鏡的外形的幾何學(xué)中心與凸透鏡的光軸一致，以透鏡的外形尺寸為基準(zhǔn)，對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)的光軸把透鏡裝配到小型照相機(jī)上等時(shí)，可以使透鏡的光軸自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)小型照相機(jī)的光軸，與將透鏡的光軸對(duì)準(zhǔn)照相機(jī)的光軸來(lái)進(jìn)行裝配的情況相比，透鏡的裝配作業(yè)變得簡(jiǎn)單。
本發(fā)明之五提供一種帶紅外線截止濾波器的透鏡的制造方法，其特征在于，具有成形工序利用玻璃來(lái)成形可獲取多個(gè)透鏡的成形體，該可獲取多個(gè)透鏡的成形體在平板的表面上一體地設(shè)有構(gòu)成凸透鏡的凸面折射表面的多個(gè)凸部；成膜工序在所述可獲取多個(gè)透鏡的成形體的任一面上設(shè)置截止紅外線的紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜；和切斷工序按照所述每個(gè)凸部來(lái)切斷設(shè)有所述紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜的可獲取多個(gè)透鏡的成形體的所述平板部分。
通過(guò)將連接有多個(gè)一個(gè)折射表面為平面、另一個(gè)折射表面為凸面的玻璃平凸透鏡的可獲取多個(gè)透鏡的成形體成形為一體，可以使用簡(jiǎn)單的模具高效集中地成形多個(gè)透鏡，所以能夠以低成本進(jìn)行生產(chǎn)。
通過(guò)對(duì)該可獲取多個(gè)透鏡的成形體進(jìn)行電介質(zhì)多層膜的成膜，可以利用真空蒸鍍等成膜方法集中地對(duì)多個(gè)透鏡進(jìn)行統(tǒng)一成膜。因此，能夠降低電介質(zhì)多層膜的成膜成本。
另外，通過(guò)切割，把設(shè)有紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜的可獲取多個(gè)透鏡的成形體切斷成各個(gè)透鏡，可以高效地生產(chǎn)多個(gè)玻璃平凸透鏡，所以能夠以低成本進(jìn)行生產(chǎn)。
本發(fā)明之六提供一種帶紅外線截止濾波器的透鏡的制造方法，其特征在于，在本發(fā)明之五的帶紅外線截止濾波器的透鏡的制造方法中，所述可獲取多個(gè)透鏡的成形體具有形狀相互不同的所述凸部。
通過(guò)在一個(gè)可獲取多個(gè)透鏡的成形體上設(shè)置形狀相互不同的凸部，可以在一次成形中制造多種平凸透鏡。
本發(fā)明之七提供一種帶紅外線截止濾波器的透鏡的制造方法，其特征在于，在本發(fā)明之五或之六的帶紅外線截止濾波器的透鏡的制造方法中，在所述成形工序中，將定位用的校準(zhǔn)標(biāo)記復(fù)制(転 )到所述可獲取多個(gè)透鏡的成形體的所述平板表面上。
通過(guò)設(shè)置校準(zhǔn)標(biāo)記，可以把校準(zhǔn)標(biāo)記作為切斷時(shí)的位置基準(zhǔn)，使透鏡的光軸和外形的幾何學(xué)中心一致，按照每個(gè)凸部進(jìn)行正確切斷。因此，在把所獲得的平凸透鏡裝配到小型照相機(jī)上時(shí)，可以根據(jù)外形基準(zhǔn)進(jìn)行裝配，使裝配作業(yè)變得容易。
本發(fā)明之八提供一種帶紅外線截止濾波器的透鏡的制造方法，其特征在于，在本發(fā)明之七的帶紅外線截止濾波器的透鏡的制造方法中，將所述校準(zhǔn)標(biāo)記沿著要切斷的切斷線，并且在所述平板的平面?zhèn)鹊谋砻嫔闲纬山孛鏋閂字狀的槽，所述切斷工序利用切割刀片保留所述V字狀槽的兩端邊緣附近來(lái)進(jìn)行切斷。
如果把校準(zhǔn)標(biāo)記設(shè)在例如可獲取多個(gè)透鏡的成形體的角部，則設(shè)有校準(zhǔn)標(biāo)記的部分成為與透鏡部分不同的其他多余部分，在玻璃材料中產(chǎn)生浪費(fèi)。通過(guò)沿著切斷線形成校準(zhǔn)標(biāo)記，不需要另外設(shè)置校準(zhǔn)標(biāo)記的地方，不會(huì)在玻璃材料中產(chǎn)生無(wú)用的部分。
另外，把校準(zhǔn)標(biāo)記作為截面為V字狀的槽復(fù)制在平板的平面?zhèn)?，利用比該槽的寬度窄的切割刀片從凸部?cè)進(jìn)行切斷，切割刀片切斷V字狀槽的錐面，因此，在玻璃切斷面上不會(huì)產(chǎn)生崩邊(chipping)，提高制造成品率。
本發(fā)明之九提供一種小型照相機(jī)，其特征在于，具有把所感光的光變換為電信號(hào)的固體攝像元件；覆蓋所述固體攝像元件的周圍并具有開口部的殼體；和帶紅外線截止濾波器的透鏡，該透鏡作為使從所述開口部入射的光聚光于所述固體攝像元件的透鏡系統(tǒng)的全部或一部分，在一個(gè)折射表面為平面、相反側(cè)的折射表面為凸面的玻璃平凸透鏡的任一個(gè)面上，設(shè)有截止紅外線的紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜。
該小型照相機(jī)使用設(shè)有紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜的帶紅外線截止濾波器的透鏡，所以能夠省略作為部件的紅外線截止濾波器，容易做到小型化，并且由于使用玻璃透鏡，所以能夠在安裝著透鏡的狀態(tài)下進(jìn)行回流焊接，裝配效率良好。


圖1表示本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器的透鏡，(a)～(c)是其剖面圖，(d)是(c)的透鏡的平面圖。
圖2是表示非球面形狀的一例的曲線圖，(a)表示半徑方向的曲率變化，(b)表示半徑方向的形狀。
圖3的(a)表示球面凸透鏡的光路圖，(b)表示非球面凸透鏡的光路圖。
圖4是表示非球面凸透鏡的一例的各種像差的曲線圖。
圖5是表示使用了本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器的透鏡的本發(fā)明的小型照相機(jī)的一個(gè)示例結(jié)構(gòu)的剖面圖。
圖6是表示成膜于本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器的透鏡上的紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜的透過(guò)率特性的一例的曲線圖。
圖7的(1)～(5)是表示本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器的透鏡的制造工序的流程圖，(a)是所獲得的透鏡的平面圖，(b)是所獲得的透鏡的剖面圖。
圖8是表示在一個(gè)可獲取多個(gè)透鏡的成形體上設(shè)有形狀不同的凸部的示例的平面圖。
圖9是表示在可獲取多個(gè)透鏡的成形體上設(shè)有校準(zhǔn)標(biāo)記的一例的平面圖，(a)表示設(shè)在角部的示例，(b)表示沿著切斷線設(shè)置的示例。
圖10的(a)～(d)是表示設(shè)有V字狀槽的校準(zhǔn)標(biāo)記時(shí)的切斷工序的流程圖。
圖11是表示以往的小型照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的剖面圖。
具體實(shí)施例方式
以下，說(shuō)明本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器的透鏡及其制造方法和小型照相機(jī)的實(shí)施方式，但本發(fā)明不限于以下實(shí)施方式。
本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器的透鏡在一個(gè)折射表面為平面、相反側(cè)的折射表面為凸面的玻璃平凸透鏡的任一個(gè)面上，設(shè)有截止紅外線的紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜。
本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器的透鏡的主要用途是構(gòu)成使在裝配在移動(dòng)電話、筆記本電腦、PDA(Personal Digital Assistant)等信息設(shè)備上的小型照相機(jī)、監(jiān)視用的攝像機(jī)等的固體攝像元件上成像的透鏡系統(tǒng)的全部或一部分的聚光透鏡。
圖1表示本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器的透鏡的結(jié)構(gòu)。圖1(a)的剖面圖所示的帶紅外線截止濾波器的透鏡1a具有如下結(jié)構(gòu)在一般形狀的玻璃平凸透鏡2a的一個(gè)平面的折射表面21上設(shè)有截止紅外線的紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3，在相反側(cè)的凸面的折射表面22上設(shè)有減反射膜4。圖1(b)的剖面圖所示的帶紅外線截止濾波器的透鏡1b具有如下結(jié)構(gòu)在一般形狀的玻璃平凸透鏡2a的一個(gè)平面的折射表面21上設(shè)有減反射膜4，在相反側(cè)的凸面的折射表面22上設(shè)有截止紅外線的紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3。
另外，圖1(c)的剖面圖和圖1(d)的平面圖所示的帶紅外線截止濾波器的透鏡1c使用了玻璃平凸透鏡2c，該玻璃平凸透鏡2c在玻璃制的大致正方形狀的平板23的一個(gè)面的中央部上一體地設(shè)有構(gòu)成凸透鏡的凸面的折射表面22的圓頂狀玻璃制凸部24。在該玻璃平凸透鏡2c的平板23的未設(shè)凸部的一側(cè)的平面上設(shè)有紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3，在相反側(cè)的凸部24和平板23的表面上設(shè)有減反射膜4。
該玻璃平凸透鏡2c優(yōu)選具有使平板23的大致正方形狀的外形幾何學(xué)中心GC和凸透鏡22的光軸(光學(xué)中心)OC一致的結(jié)構(gòu)。所謂一致并不意味著完全一致，包括可允許程度的誤差。
這種結(jié)構(gòu)的帶紅外線截止濾波器的透鏡1a、1b、1c由于在一個(gè)面上具有紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3，所以可以省略作為部件的紅外線截止濾波器，可以通過(guò)減少照相機(jī)的部件數(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)低成本和小型化。
圖1(a)和圖1(c)所示的帶紅外線截止濾波器的透鏡1a、1c，在平面的折射表面21上設(shè)有截止紅外線的紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3。由于紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3利用層間的多重干涉而起到濾波器的作用，所以，如果入射角依賴性變大、入射角變大，則紅外線阻斷效率變差。在入射了斜光線時(shí)，如果是凸面，則有時(shí)相對(duì)于凸面法線的光線入射角因凸面部位而變得極大，極端情況下會(huì)接近切線?？墒?，在入射了斜光線時(shí)，如果是平面，則入射角與部位無(wú)關(guān)，是一定的。因此，通過(guò)在平面的折射表面21上設(shè)置截止紅外線的紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3，可以將紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3的入射角依賴性控制在最小限度。
另外，一般來(lái)說(shuō)，對(duì)于曲率大的曲面，紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3的均勻成膜很困難。在本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器的透鏡1a、1c中，由于在平面上設(shè)有紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3，所以能夠形成特性優(yōu)良的紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3。并且，設(shè)有紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3的平凸透鏡是耐高溫的玻璃制品。與塑料等軟化點(diǎn)溫度較低的透鏡不同，在用物理成膜方法在平凸透鏡上進(jìn)行紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3的成膜時(shí)，可以使玻璃平凸透鏡保持高溫，所以能夠形成高品質(zhì)的紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3。
另外，由于是玻璃制的平凸透鏡，所以能夠承受在安裝電子部件和固體攝像元件模塊時(shí)的被稱為回流的在高溫爐中使焊錫熔化的焊接工序的高溫。因此，可以在把透鏡安裝在小型照相機(jī)的狀態(tài)下進(jìn)行回流焊接，所以能夠提高裝配工序的效率，實(shí)現(xiàn)低成本化。
另外，圖1(c)和圖1(d)所示的帶紅外線截止濾波器的透鏡1c可以用后述的本發(fā)明的制造方法進(jìn)行制造，所以能夠利用低成本的成形工序和低成本的成膜工序進(jìn)行制造，因此能夠以低成本進(jìn)行制造。
構(gòu)成凸透鏡的凸面折射表面22可以是球面，也可以是軸對(duì)稱非球面。為了良好地校正各種像差，優(yōu)選軸對(duì)稱非球面。軸對(duì)稱非球面的曲面一般用下述公式(1)的高次多項(xiàng)式來(lái)表示。
公式(1)Z=cr21+1-(1+K)c2r2+ΣnAnrn---(1)]]>其中，z表示透鏡的光軸方向的坐標(biāo)，r表示在透鏡的半徑方向上到光軸的坐標(biāo)，c表示透鏡頂點(diǎn)的曲率，K、An表示非球面系數(shù)。
軸對(duì)稱非球面的曲率優(yōu)選如圖2(a)所示那樣隨著離開光軸而變小。這種軸對(duì)稱非球面形狀如圖2(b)所示，與用虛線表示的球面相比，用實(shí)線表示的非球面隨著離開光軸，離開球面的距離變大，非球面量變大。
實(shí)際上，設(shè)想分別使用折射率Nd＝1.5168，阿貝數(shù)νd＝64.2的玻璃，具有厚度為0.90mm的平板、且具有折射表面為球面的凸透鏡的平凸透鏡30，和具有折射表面為軸對(duì)稱非球面的凸透鏡的平凸透鏡1d，并對(duì)二者的光學(xué)性能進(jìn)行比較。球面的曲率半徑為-0.8943。設(shè)軸對(duì)稱非球面的各非球面系數(shù)為K＝-0.06002、A4＝0.09393、A6＝0.04028、A8＝0.52930、A10＝0.38733、A12＝0.22400。設(shè)光闌到平凸透鏡的平板的平面的距離為0.15mm。
圖3(a)表示球面透鏡30的光路圖，圖3(b)表示軸對(duì)稱非球面透鏡1d的光路圖。圖4表示非球面透鏡1d的球面像差、像散和畸變像差。從圖3(a)可以確認(rèn)到球面透鏡30由于像差，光線在焦點(diǎn)面擴(kuò)散，產(chǎn)生大的模糊范圍。
與此相對(duì)，從圖4可以確認(rèn)到，軸對(duì)稱非球面透鏡1d對(duì)球面像差、像散、畸變像差等進(jìn)行了良好校正，結(jié)果如圖3(b)所示，光線在焦點(diǎn)面聚焦，能夠獲得良好的像質(zhì)。
圖5表示把本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器的透鏡1c用作聚光透鏡的小型照相機(jī)10的概略剖面結(jié)構(gòu)。該小型照相機(jī)10在基板101上安裝有電子部件102和固體攝像元件模塊103，具有在外面刻有螺紋的鏡筒104的殼體110被安裝在基板101上，覆蓋固體攝像元件模塊103的周圍。外筒部件109旋入刻在鏡筒104外面的螺紋槽中，該外筒部件109的一端側(cè)具有具備光闌功能的開口部107，裝配有本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器1c作為聚光透鏡，內(nèi)面刻有螺紋槽。通過(guò)調(diào)節(jié)外筒部件109的旋入量，可以調(diào)節(jié)聚光透鏡1c與固體攝像元件模塊103的感光面的距離，調(diào)節(jié)后用粘接劑進(jìn)行固定使其不能移動(dòng)。開口部107、鏡筒104、聚光透鏡1c、固體攝像元件模塊103沿著光軸配置。另外，圖5所示的小型照相機(jī)10的透鏡系統(tǒng)只用聚光透鏡1c來(lái)構(gòu)成，但也可以裝配聚光透鏡1c以外的透鏡，聚光透鏡1c構(gòu)成透鏡系統(tǒng)的全部或一部分。
固體攝像元件模塊103由未圖示的微型透鏡、濾色器、CCD和CMOS等固體攝像元件等構(gòu)成。這些微型透鏡、濾色器、CCD和CMOS等固體攝像元件等被排列成矩陣狀。微型透鏡將通過(guò)聚光透鏡1c將被聚光的光線聚光到各攝像元件上，濾色器將光線分解成三原色，固體攝像元件將感光后的光變換為電信號(hào)。
在圖5所示的小型照相機(jī)10中，可以把本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器1c作為聚光透鏡，配置成使設(shè)有紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3的平面?zhèn)瘸蛉肷鋫?cè)配置，使凸面?zhèn)瘸蚬腆w攝像元件模塊103側(cè)。與此相反，即使配置成使凸面?zhèn)瘸蛉肷鋫?cè)配置，使設(shè)有紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3的平面?zhèn)瘸蚬腆w攝像元件模塊103側(cè)，對(duì)功能也沒(méi)有影響。
該小型照相機(jī)10利用設(shè)在作為透鏡系統(tǒng)的聚光透鏡1c的平面上的紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3，對(duì)從開口部107入射的光進(jìn)行紅外線阻斷，聚光透鏡1c使阻斷了紅外線的光成像于固體攝像元件模塊103上，固體攝像元件模塊103把感光后的光變換為電信號(hào)，通過(guò)電子部件102生成圖像信號(hào)并輸出。
作為聚光透鏡的帶紅外線截止濾波器的透鏡1c除了作為透鏡的功能，還被附加了阻斷紅外線的功能，所以該小型照相機(jī)10可以省略作為部件的紅外線截止濾波器。結(jié)果，可以實(shí)現(xiàn)低成本、小型化。另外，由于聚光透鏡1c是玻璃制品，所以能夠在裝配了聚光透鏡1c的狀態(tài)下進(jìn)行回流焊接。因此，可以提高裝配工序的效率。并且，由于可以使聚光透鏡1c的平面?zhèn)染o貼于外筒部件109的開口部107上，所以沒(méi)必要對(duì)開口部107特別采取防塵對(duì)策。
另外，帶紅外線截止濾波器的透鏡1c如圖1(d)所示，外形的幾何學(xué)中心GC和凸透鏡22的光軸OC一致。所以，通過(guò)把帶紅外線截止濾波器的透鏡1c以其外形尺寸為基準(zhǔn)裝配到外筒部件109上，可以使凸透鏡的光軸與小型照相機(jī)10的光軸一致。因此，如果形成用來(lái)嵌入帶紅外線截止濾波器的透鏡1c的平板23的凹部等定位用的結(jié)構(gòu)，則只要將帶紅外線截止濾波器的透鏡1c嵌入該凹部就可以對(duì)準(zhǔn)光軸。所以，極大地提高了裝配效率。如果外形的幾何學(xué)中心GC與凸透鏡的光軸OC不一致，由于在裝配透鏡時(shí)，必須針對(duì)每個(gè)透鏡來(lái)對(duì)準(zhǔn)光軸，所以裝配作業(yè)煩雜，生產(chǎn)率差。
圖6表示設(shè)在本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器的透鏡的一面上的紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3的透過(guò)率特性的一例。在圖6中，用實(shí)線A和虛線B表示兩種紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜的透過(guò)率特性。
透過(guò)率特性A和透過(guò)率特性B具有以下共同點(diǎn)在400～600nm的可見光區(qū)域中，透過(guò)率大致大于等于95％；半值大致為650nm；在725～1000nm的紅外線區(qū)域中，幾乎可以全部阻斷。
但是，透過(guò)率特性A在650nm附近的下降特性與透過(guò)率特性B相比，傾斜變緩。具體而言，在半值為600～700nm的范圍內(nèi)，透過(guò)率從90％減少到10％時(shí)的波長(zhǎng)寬度優(yōu)選大于等于40nm，特別優(yōu)選大于等于50nm，最好大于等于60nm，并小于等于100nm。如透過(guò)率特性A所示，如果使半值附近的下降特性變緩，則可以減弱可見光中的長(zhǎng)波長(zhǎng)光，形成接近表示實(shí)際的眼睛感光度的視覺頻譜感光度的透過(guò)率特性。
下面，參照?qǐng)D7的流程圖說(shuō)明本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器的透鏡的制造方法。如圖7(1)所示，作為成形模具，使用在閉合時(shí)構(gòu)成空腔的兩個(gè)模具的可獲取多個(gè)成形物的模具204，其中一個(gè)模具是構(gòu)成空腔的面為平面的平面模具201，另一個(gè)模具是構(gòu)成空腔的面具有在平面上形成透鏡的凸面的折射表面的多個(gè)凹面202的凹窩(dimple)模具203。將凹窩模具203和平面模具201拼合后的空腔具有凸部在平板上排列成矩陣狀的形狀。凹窩模具203的凹面優(yōu)選形成可以復(fù)制上述的軸對(duì)稱非球面的形狀。
在成形工序中，如圖7(1)所示，打開模具201、203，向空腔中投入熔化后的光學(xué)玻璃材料205。光學(xué)玻璃材料205可以考慮折射率和阿貝數(shù)來(lái)選擇。
然后，如圖7(2)所示，閉合平面模具201和凹窩模具203，使光學(xué)玻璃材料205在空腔內(nèi)延展，在該狀態(tài)下將光學(xué)玻璃材料205冷卻并凝固。被復(fù)制了空腔形狀的成形物如圖7(3)所示，是凸部24在大的平板25上排列成矩陣狀的形狀，是各凸部24之間通過(guò)平板25而連接的可獲取多個(gè)透鏡的成形體26。
然后，如圖7(3)所示，打開模具201、203，取出成形后的可獲取多個(gè)透鏡的成形體26。然后，如圖7(4)所示，對(duì)該可獲取多個(gè)透鏡的成形體26，在一個(gè)面上進(jìn)行紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3的成膜，在另一個(gè)面上進(jìn)行未圖示的減反射膜的成膜。
紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3具有在可獲取多個(gè)透鏡的成形體26上交替層疊高折射率層和低折射率層的結(jié)構(gòu)。
作為構(gòu)成紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3的高折射率層的材料，使用TiO2(n＝2.4)、Ta2O5(n＝2.1)、Nb2O5(n＝2.2)、ZrO2(n＝2.05)、Ta2O5(n＝2.1)等，作為低折射率層的材料，使用SiO2(n＝1.46)、Al2O3(n＝1.63)、MgF2(n＝1.38)等。折射率因波長(zhǎng)而異，上述折射率n的值為500nm。
膜厚的基本設(shè)計(jì)一般是作為分別以相同的光學(xué)膜厚將高折射率層和低折射率層交替重復(fù)層疊而成的重復(fù)交替層，表示為(0.5H、1L、0.5H)s。其中，把想阻斷的波長(zhǎng)的中心附近的波長(zhǎng)設(shè)為設(shè)計(jì)波長(zhǎng)λ，設(shè)光學(xué)膜厚nd＝1/4λ為1個(gè)單位，把高折射率層(H)的膜厚表示為1H，同樣把低折射率層(L)的膜厚設(shè)為1L。S表示被稱為層疊數(shù)的重復(fù)次數(shù)，表示周期性地重復(fù)括弧內(nèi)的結(jié)構(gòu)。實(shí)際層疊的層數(shù)為2S+1，如果增大S值，可以使從反射變化到透過(guò)的上升特性(陡峭程度)變陡。S值從大約3到20的范圍內(nèi)選定。根據(jù)該重復(fù)交替層，決定被阻斷的特定的波長(zhǎng)。
為了提高透過(guò)區(qū)域的透過(guò)率，使被稱為脈動(dòng)的光透過(guò)率的凹凸變?yōu)槠教固匦?，在重?fù)交替層的基板附近、介質(zhì)附近，每數(shù)層改變一次膜厚，來(lái)進(jìn)行最佳設(shè)計(jì)。因此，將基板表示為|0.5LH…HL(HL)SHL…H、0.5L。另外，在高折射率層使用TiO2等時(shí)，多數(shù)情況下，不用高折射率層來(lái)結(jié)束最外層，而是在最外層中追加耐環(huán)境特性更加良好的SiO2進(jìn)行設(shè)計(jì)。接觸基板的層的特性有時(shí)也因TiO2與基板反應(yīng)而劣化，所以有時(shí)也在第1層上追加化學(xué)性能穩(wěn)定的SiO2。這種多層膜截止濾波器的設(shè)計(jì)在理論上可以使用市場(chǎng)銷售的軟件來(lái)進(jìn)行(參考文獻(xiàn)OPTRONICS雜志1999 No.5p.175-190)。
為了將高折射率層和低折射率層交替成膜于光透過(guò)性基板上，一般使用物理成膜法，也可以使用普通的真空蒸鍍法，但優(yōu)選使用可以進(jìn)行膜的折射率的穩(wěn)定控制、能夠制造因保存/使用環(huán)境變化造成的分光特性的隨時(shí)間變化小的膜的離子加速蒸鍍或離子電鍍法、濺射法。真空蒸鍍法是在高度真空中使薄膜材料加熱蒸發(fā)，將該蒸發(fā)顆粒堆積在基板上來(lái)形成薄膜的方法。離子電鍍法是使蒸鍍顆粒離子化，通過(guò)電場(chǎng)對(duì)其加速使其附著在基板上的方法，有APS(Advanced Plasma Source)、EBEP(Electron Beam Excited Plasma)法、RF(Radio Frequency)直接基板施加法(在使成膜室內(nèi)產(chǎn)生高頻氣體等離子的狀態(tài)下進(jìn)行反應(yīng)性真空蒸鍍的方法)等。濺射法是利用使通過(guò)電場(chǎng)加速后的離子沖擊薄膜材料并擊打薄膜材料的濺射方式使薄膜材料蒸發(fā)，將蒸發(fā)顆粒堆積在基板上的薄膜形成方法。由于被成膜的層的折射率等的光學(xué)常數(shù)因成膜方法、成膜條件等而不同，所以需要在制造前正確測(cè)定被成膜的層的光學(xué)常數(shù)。
減反射膜由單層或多層的無(wú)機(jī)覆膜、有機(jī)覆膜構(gòu)成。也可以是無(wú)機(jī)覆膜和有機(jī)覆膜的多層結(jié)構(gòu)。作為無(wú)機(jī)覆膜的材質(zhì)，可以列舉出SiO2、SiO、ZrO2、TiO2、TiO、Ti2O3、Ti2O5、Al2O3、Ta2O5、CeO2、MgO、Y2O3、SnO2、MgF2、WO3等無(wú)機(jī)物，可以單獨(dú)使用這些無(wú)機(jī)物或同時(shí)使用兩種或更多種。本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器的透鏡是基體材料具有耐熱性的玻璃，所以無(wú)機(jī)覆膜的材質(zhì)種類沒(méi)有限制。另外，在采用多層膜結(jié)構(gòu)的情況下，最外層優(yōu)選SiO2。
作為無(wú)機(jī)覆膜的多層膜，可以示例出從基體材料側(cè)起ZrO2層和SiO2層的合計(jì)光學(xué)膜厚為λ/4、ZrO2層的光學(xué)膜厚為λ/4、最上層的SiO2層的光學(xué)膜厚為λ/4的4層結(jié)構(gòu)。其中，λ為設(shè)計(jì)波長(zhǎng)，通常采用520nm。
無(wú)機(jī)覆膜的成膜方法，例如可以采用真空蒸鍍法、離子電鍍法、濺射法、CVD法、通過(guò)在飽和溶液中的化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行析出的方法等。
有機(jī)覆膜的材質(zhì)，例如可以列舉出FFP(四氟乙烯-六氟丙稀共聚合體)、PTFE(聚四氟乙烯)、ETFE(乙烯-四氟乙烯共聚合體)等，可以考慮玻璃罩基體材料和硬涂膜的折射率來(lái)選定。成膜方法除真空蒸鍍法外，可以用旋轉(zhuǎn)涂覆法、浸漬涂覆法等批量生產(chǎn)性良好的涂覆方法進(jìn)行成膜。
在成膜紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3和減反射膜之后，如圖7(5)所示，在切斷工序中，利用未圖示的切割裝置的切割刀片切斷各凸透鏡24之間的平板25，使其分離成各個(gè)平凸透鏡。由此，可以獲得圖1(c)和(d)所示的本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器的透鏡1c。
根據(jù)這種帶紅外線截止濾波器的透鏡的制造方法，可以將在平板表面上一體地設(shè)有構(gòu)成凸透鏡的凸面的折射表面的多個(gè)凸部的可獲取多個(gè)透鏡的成形體26成形為一體。由于平凸透鏡的一個(gè)面是平面，沒(méi)必要與凸面的軸對(duì)準(zhǔn)，所以能夠成形這種可獲取多個(gè)透鏡的成形體26。因此，可以使用簡(jiǎn)單的模具高效地集中成形多個(gè)透鏡，所以能夠以低成本進(jìn)行生產(chǎn)。
另外，由于對(duì)一體成形的可獲取多個(gè)透鏡的成形體進(jìn)行電介質(zhì)多層膜的成膜，所以能夠迅速搬入、設(shè)置或搬出成膜裝置等，提高生產(chǎn)率，因此能夠降低電介質(zhì)多層膜的成膜成本。
作為上述可獲取多個(gè)成形物的模具204，也可以為了使凸部24的面形狀相互不同，而逐個(gè)改變凹窩型203的凹面形狀，把多種凸透鏡形成于一個(gè)可獲取多個(gè)透鏡的成形體26上。為了使凸透鏡的形狀不同，可以改變非球面的形狀和外徑。
如圖8所示，例如，通過(guò)把用虛線31表示的范圍的凸部作為第1非球面形狀的凸透鏡，把用虛線32表示的范圍的凸部作為第2非球面形狀的凸透鏡，把用虛線33表示的范圍的凸部作為第3非球面形狀的凸透鏡，把用虛線34表示的范圍的凸部作為第4非球面形狀的凸透鏡，把用虛線35表示的范圍的凸部作為第5非球面形狀的凸透鏡，可以在一個(gè)可獲取多個(gè)透鏡的成形體26上形成5種不同設(shè)計(jì)的凸透鏡。通過(guò)將它們按每個(gè)凸部切斷，可以通過(guò)一次成形來(lái)形成多種平凸透鏡。
另外，可以在可獲取多個(gè)成形物的模具204中，形成在切斷工序進(jìn)行定位所需的校準(zhǔn)標(biāo)記，通過(guò)復(fù)制在可獲取多個(gè)透鏡的成形體26的平板25上形成校準(zhǔn)標(biāo)記。
如圖9(a)所示，可以在作為可獲取多個(gè)透鏡的成形體26的透鏡所需的部分的平板外周形成空白，通過(guò)從模具進(jìn)行復(fù)制，在該空白的角部上，至少設(shè)置兩處例如十字形的校準(zhǔn)標(biāo)記41。該情況下，作為復(fù)制校準(zhǔn)標(biāo)記41的模具，可以是平面模具201和凹窩模具203中的任何一方。所復(fù)制的校準(zhǔn)標(biāo)記41可以是突起狀也可以是槽狀。
通過(guò)在可獲取多個(gè)透鏡的成形體26上設(shè)置校準(zhǔn)標(biāo)記41，可以利用未圖示的切割裝置自動(dòng)地按每個(gè)凸透鏡進(jìn)行正確切出。設(shè)在未圖示的切割裝置上的校準(zhǔn)標(biāo)記檢測(cè)單元利用CCD等攝像元件對(duì)在平面?zhèn)日迟N了粘膠帶的可獲取多個(gè)透鏡的成形體26從其上方進(jìn)行攝影，根據(jù)所獲得的圖像數(shù)據(jù)檢測(cè)校準(zhǔn)標(biāo)記41。然后，切割裝置把該校準(zhǔn)標(biāo)記41作為切割坐標(biāo)的基準(zhǔn)點(diǎn)，對(duì)切割裝置在各個(gè)凸部的光軸與外形的幾何學(xué)中心一致的狀態(tài)下切離的圖9(a)中虛線表示的切斷線51進(jìn)行編程，用切割刀片沿該切斷線51自動(dòng)進(jìn)行切斷。
圖9(a)所示的校準(zhǔn)標(biāo)記41在平板25的外周部設(shè)有空白，所以在設(shè)有校準(zhǔn)標(biāo)記41的部分產(chǎn)生浪費(fèi)。因此，如圖9(b)所示，通過(guò)形成沿著切斷線51的校準(zhǔn)標(biāo)記42，可以不產(chǎn)生無(wú)用的空白。
在沿著切斷線51形成校準(zhǔn)標(biāo)記42時(shí)，復(fù)制該校準(zhǔn)標(biāo)記42的模具可以是凹窩模具203和平面模具201中的任何一方。但是，為了防止切割時(shí)的崩邊，優(yōu)選在平面模具201上設(shè)置可以復(fù)制比切割刀片的寬度略寬的V字狀槽的突起。
圖10是表示在平板的平面?zhèn)妊刂袛嗑€形成V字狀槽的校準(zhǔn)標(biāo)記時(shí)的切斷工序的流程圖。
如圖10(a)所示，在可獲得多個(gè)透鏡的成形體26上，通過(guò)從平面模具201進(jìn)行復(fù)制，在平板25的平面?zhèn)仍O(shè)有V字狀槽43的校準(zhǔn)標(biāo)記42。該校準(zhǔn)標(biāo)記42的V字狀槽43的中心的銳角的底部與將被切斷的切斷線51一致，以使外形的幾何學(xué)中心和凸透鏡的光軸一致。并且，V字狀槽43的最大寬度比切割刀片的寬度略寬。
如圖10(b)所示，在可獲得多個(gè)透鏡的成形體26的平面?zhèn)仍O(shè)置紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜3。
然后，如圖10(c)所示，在可獲得多個(gè)透鏡的成形體26的平面?zhèn)日迟N粘膠帶52，然后設(shè)置在未圖示的切割裝置上。切割裝置利用CCD等攝像元件從上方拍攝可獲取多個(gè)透鏡的成形體，根據(jù)所獲得的圖像數(shù)據(jù)檢測(cè)校準(zhǔn)標(biāo)記42，把所檢測(cè)的校準(zhǔn)標(biāo)記42的中心作為切斷線51進(jìn)行編程。然后，切割裝置用切割刀片53沿著該校準(zhǔn)標(biāo)記42的中心線(切斷線51)從凸透鏡側(cè)自動(dòng)進(jìn)行切斷。此時(shí)，切割刀片53的寬度比V字狀槽43的最大寬度窄，所以可以使切割刀片53的前端邊緣不到達(dá)粘膠帶52，在切割刀片53的前端邊緣突出到V字狀槽43中的狀態(tài)下進(jìn)行切割。通過(guò)切割，按每個(gè)凸部切斷后，從粘膠帶52剝離各凸透鏡，由此如圖10(d)所示，可以分離成各個(gè)凸透鏡1c。切割刀片53的寬度比V字狀槽43的最大寬度窄，所以V字狀槽43的兩端邊緣附近保留倒角43a的形狀。
通過(guò)進(jìn)行這種切割，切割刀片53的前端進(jìn)入V字狀槽43中來(lái)切斷平板。切割刀片的前端在一次切斷玻璃板時(shí)，切割刀片53的前端戳破玻璃板的平面時(shí)有時(shí)會(huì)在切斷面上產(chǎn)生缺口。在上述切割中，切割刀片53切斷呈錐狀的V字狀槽43，所以切斷面不易產(chǎn)生缺口，能夠抑制不合格品的產(chǎn)生，提高成品率。
另外，由于不在粘膠帶52上進(jìn)行切割，所以不會(huì)產(chǎn)生粘膠帶52的粘接劑附著在切割刀片53上而導(dǎo)致因附著玻璃切削片而損壞和弄臟平凸透鏡1c等不良情況。
只要上述的V字狀槽43的截面是大致V形，則產(chǎn)生上述效果，所以允許進(jìn)行V形變形。
本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器的透鏡可以用作移動(dòng)電話等使用的小型照相機(jī)的聚光透鏡。
本發(fā)明的帶紅外線截止濾波器的透鏡的制造方法，可以制造能夠作為移動(dòng)電話等使用的小型照相機(jī)的聚光透鏡使用的帶紅外線截止濾波器的透鏡。
本發(fā)明的小型照相機(jī)，例如可以應(yīng)用于移動(dòng)電話等。
權(quán)利要求
1.一種帶紅外線截止濾波器的透鏡，其特征在于，在一個(gè)折射表面為平面、相反側(cè)的折射表面為凸面的玻璃平凸透鏡的任一面上，設(shè)有截止紅外線的紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜。
2.權(quán)利要求1所述的帶紅外線截止濾波器的透鏡，其特征在于，所述玻璃平凸透鏡具有在平板的一面上一體地設(shè)有構(gòu)成凸透鏡的凸面的凸部的結(jié)構(gòu)。
3.權(quán)利要求1或2所述的帶紅外線截止濾波器的透鏡，其特征在于，所述凸面的折射表面是曲率隨著離開光軸而變小的軸對(duì)稱非球面。
4.權(quán)利要求2所述的帶紅外線截止濾波器的透鏡，其特征在于，所述平板的外形的幾何學(xué)中心與所述凸透鏡的光軸一致。
5.一種帶紅外線截止濾波器的透鏡的制造方法，其特征在于，具有成形工序利用玻璃來(lái)成形可獲取多個(gè)透鏡的成形體，該可獲取多個(gè)透鏡的成形體在平板的表面上一體地設(shè)有構(gòu)成凸透鏡的凸面折射表面的多個(gè)凸部；成膜工序在所述可獲取多個(gè)透鏡的成形體的任一面上設(shè)置截止紅外線的紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜；和切斷工序按照所述每個(gè)凸部來(lái)切斷設(shè)有所述紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜的可獲取多個(gè)透鏡的成形體的所述平板部分。
6.權(quán)利要求5所述的帶紅外線截止濾波器的透鏡的制造方法，其特征在于，所述可獲取多個(gè)透鏡的成形體具有形狀相互不同的所述凸部。
7.權(quán)利要求5或6所述的帶紅外線截止濾波器的透鏡的制造方法，其特征在于，在所述成形工序中，將定位用校準(zhǔn)標(biāo)記復(fù)制到所述可獲取多個(gè)透鏡的成形體的所述平板的表面上。
8.權(quán)利要求7所述的帶紅外線截止濾波器的透鏡的制造方法，其特征在于，將所述校準(zhǔn)標(biāo)記沿著在所述切斷工序要切斷的切斷線并且作為截面為V字狀的槽復(fù)制在所述平板的平面?zhèn)鹊谋砻嫔希銮袛喙ば蚶们懈畹镀Ａ羲鯲字狀槽的兩端邊緣附近進(jìn)行切斷。
9.一種小型照相機(jī)，其特征在于，具有把所感光的光變換為電氣信號(hào)的固體攝像元件；覆蓋所述固體攝像元件的周圍并具有開口部的殼體；和帶紅外線截止濾波器的透鏡，該透鏡作為使從所述開口部入射的光聚光于所述固體攝像元件的透鏡系統(tǒng)的全部或一部分，其在一個(gè)折射表面為平面、相反側(cè)的折射表面為凸面的玻璃平凸透鏡的任一個(gè)面上，設(shè)有截止紅外線的紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜。
全文摘要
本發(fā)明提供一種帶紅外線截止濾波器的透鏡及其制造方法，在用玻璃制造用于小型照相機(jī)的聚光透鏡等的帶紅外線截止濾波器的透鏡時(shí)可以降低成本。在一個(gè)折射表面為平面(21)、相反側(cè)的折射表面為凸面(22)的玻璃平凸透鏡(2a、2c)的任一面上設(shè)置截止紅外線的紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜(3)。用玻璃來(lái)成形在平板(25)的表面上一體地設(shè)有凸透鏡的凸部(24)的可獲取多個(gè)透鏡的成形體(26)，在可獲取多個(gè)透鏡的成形體(26)的任一面上設(shè)置紅外線阻斷電介質(zhì)多層膜(3)，將設(shè)有電介質(zhì)多層膜(3)的可獲取多個(gè)透鏡的成形體(26)的平板(25)的部分按每個(gè)凸部(24)切斷。得到的帶紅外線截止濾波器的透鏡(1c)可用作小型照相機(jī)的聚光透鏡。
文檔編號(hào)G02B5/26GK1596373SQ03801618
公開日2005年3月16日 申請(qǐng)日期2003年9月22日 優(yōu)先權(quán)日2002年9月25日
發(fā)明者清水敏彥, 大西一郎, 小松朗, 小島博志 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社