專利名稱：液晶顯示裝置及其制造方法、搭載其的電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及液晶顯示裝置的制造方法、通過液晶顯示裝置的制造方法制造的液晶顯示裝置、以及搭載液晶顯示裝置的電子設(shè)備，尤其涉及在滴下液晶后，形成利用密封材將第一母基板和第二母基板粘在一起的、包含有多個(gè)液晶面板部分的大型面板結(jié)構(gòu)，并通過切斷該大型面板結(jié)構(gòu)而制造多個(gè)液晶面板的液晶顯示裝置的制造方法、通過液晶顯示裝置的制造方法制造的液晶顯示裝置、以及搭載液晶顯示裝置的電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
噴墨裝置等液滴噴出裝置利用于各種電子設(shè)備的成膜。液滴噴出裝置具備稱為液滴噴頭的液滴噴出機(jī)構(gòu)。該液滴噴頭上規(guī)則地形成有多個(gè)噴嘴。液滴噴出裝置通過從這些噴嘴噴出作為噴出材料(墨水)的液滴，在成為某些制品的構(gòu)成要素的基板上，描繪由噴出材料構(gòu)成的圖案。
液滴噴出裝置多采用以下方式，即，從液滴噴頭向基板噴出供給規(guī)定量的墨水，而作為噴出墨水的噴出機(jī)構(gòu)，在構(gòu)成墨水罐的壁面上形成多個(gè)噴嘴開口的同時(shí)，配置有以與各噴嘴開口相對的方式使伸縮方向一致的壓電元件。作為這種壓電元件，已提出了對電極和壓電材料進(jìn)行交互分層而疊層(三明治式)的壓電元件，且具有在液滴噴頭的空腔(墨水存儲(chǔ)室)內(nèi)的墨水根據(jù)壓電元件的變形生成的壓力波而進(jìn)行噴出的結(jié)構(gòu)。這種液滴噴頭，由于可噴出墨水的粘度有極限，因此很難噴出高粘度的墨水。因此，可以加熱墨水而降低其粘度，從而控制噴出量(專利文獻(xiàn)1)。
近年來，人們使用著將大型基板相互粘在一起而形成包含多個(gè)液晶面板的大型面板結(jié)構(gòu)，并切斷該大型面板結(jié)構(gòu)而制造多個(gè)液晶面板的方法(大面粘合法)。另外，為減少生產(chǎn)工序數(shù)，還使用著在形成未設(shè)置注入口的密封材之后，在其中央部滴下液晶，再用密封材粘合基板的液晶滴下法。
特開2003-19790號公報(bào)但是，在使用大型基板制造液晶面板的情況下，有可能出現(xiàn)以下問題，即，在這種情況下，需要使滴下到各單元的液晶的量一定，然而在使用上述的液滴噴出裝置的情況下，由于液滴噴頭的溫度的降低、或者伴隨液滴噴頭的換行動(dòng)作而造成的墨水供給流路的曲率變化等，液晶噴出量有可能減少，從而無法獲得目標(biāo)液晶涂敷量。液晶涂敷量少的單元成為不合格品。另外，如果存在液晶涂敷量少的單元，則還會(huì)出現(xiàn)以下問題，即，單元·間隔就會(huì)不均勻，從而無法以一定的壓力對基板整體加壓，產(chǎn)生多個(gè)不良液晶面板。具體地說，一旦加壓不均勻即在液晶面板中產(chǎn)生顯示不均等。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于以上的事實(shí)，其目的在于提供一種在對大型基板使用液晶滴下法制造液晶顯示裝置的情況下，可以降低液晶面板的不合格率的液晶顯示裝置的制造方法、通過液晶顯示裝置的制造方法制造的液晶顯示裝置、以及搭載液晶顯示裝置的電子設(shè)備。
為解決以上問題而完成本發(fā)明目的，本發(fā)明提供一種液晶顯示裝置的制造方法，在向第一母基板和第二母基板的至少一方滴下液晶之后，經(jīng)由密封材，粘合所述第一母基板和第二母基板而形成包含多個(gè)液晶面板部分的大型面板結(jié)構(gòu)，再切斷所述多個(gè)液晶面板，其特征是，包括在樣本基板的多個(gè)單元形成區(qū)域上，將液滴噴頭以規(guī)定掃描方向掃描，從而在一定的噴出條件下噴出液晶而涂敷液晶的預(yù)備液晶涂敷工序；分別測定涂敷在多個(gè)單元形成區(qū)域的液晶的膜厚的膜厚測定工序；基于所述膜厚測定工序的膜厚測定結(jié)果，算出從液滴噴頭向所述多個(gè)單元形成區(qū)域進(jìn)行噴出的液晶噴出條件的液晶噴出條件算出工序；按照在所述液滴噴出條件算出工序中算出的所述液晶噴出條件，在第一母基板和第二母基板的至少一方的多個(gè)單元形成區(qū)域，將液滴噴頭以規(guī)定掃描方向掃描，從而涂敷液晶的液晶涂敷工序。
由此，可以使母基板的各單元形成區(qū)域的液晶的膜厚一定，從而防止膜厚的參差不一，進(jìn)而能夠消除液晶涂敷量少的單元形成區(qū)域，另外，在用密封材粘合母基板間的情況下，可以使單元·間隔變得均勻，從而能以一定的壓力對母基板整體加壓，進(jìn)而能夠降低液晶面板的不合格率。其結(jié)果，在基于大型基板，并使用液晶滴下法制造液晶顯示裝置的情況下，可以提供降低液晶面板的不合格率的液晶顯示裝置的制造方法。
另外，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，優(yōu)選以下方式，即，在所述液晶噴出條件算出工序中，基于在所述膜厚測定工序中測定的所述多個(gè)單元形成區(qū)域的液晶的膜厚，在每個(gè)單元形成區(qū)域，獨(dú)立地算出在所述液滴噴頭的液晶噴出條件。根據(jù)該優(yōu)選方式，由于基于多個(gè)單元形成區(qū)域的測定的膜厚，在每個(gè)單元形成區(qū)域獨(dú)立地確定噴出量，因此在每個(gè)單元形成區(qū)域，可以高精度地補(bǔ)正理論值(目標(biāo)膜厚)與實(shí)測值(測定膜厚)之間的偏差。
另外，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，優(yōu)選以下方式，即，在所述液晶噴出條件算出工序中，解析在所述膜厚測定工序中測定的所述多個(gè)單元形成區(qū)域的液晶的膜厚的增減模式，并按照已解析的增減模式，算出用所述液滴噴頭向所述多個(gè)單元形成區(qū)域進(jìn)行噴出的液晶噴出條件。根據(jù)該優(yōu)選方式，可以對規(guī)則性的膜厚變化進(jìn)行簡單的補(bǔ)正，從而高精度地補(bǔ)正理論值(目標(biāo)膜厚)與實(shí)測值(測定膜厚)之間的偏差。
另外，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，優(yōu)選以下方式，即，所述液晶膜厚的增減模式的解析，是基于多個(gè)單元形成區(qū)域的整體、列單位、或者行單位進(jìn)行。根據(jù)該優(yōu)選方式，可以基于多個(gè)單元形成區(qū)域的整體、列單位、或者行單位，進(jìn)行所述液晶膜厚的增減模式的解析。
另外，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，優(yōu)選以下方式，即，所述噴出條件是所述液滴噴頭的驅(qū)動(dòng)電壓波形和液晶滴下次數(shù)。根據(jù)該優(yōu)選方式，可以簡單地變化從液滴噴頭噴出的液晶噴出量。
另外，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，優(yōu)選以下方式，即，用加熱機(jī)構(gòu)對所述液滴噴頭進(jìn)行加熱。根據(jù)該優(yōu)選方式，可以降低液晶的粘度，使液晶噴出量更加穩(wěn)定。
另外，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，液晶顯示裝置優(yōu)選由本發(fā)明的液晶顯示裝置的制造方法制造。由此，可以提供不合格率極小的液晶顯示裝置。
另外，根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，電子設(shè)備優(yōu)選搭載本發(fā)明的液晶顯示裝置。由此，可以提供搭在有不合格率極小的液晶顯示裝置的電子設(shè)備。


圖1是表示實(shí)施例的液滴噴出裝置的整體結(jié)構(gòu)的簡要立體圖。
圖2是表示實(shí)施例的噴頭的分解立體圖。
圖3是表示實(shí)施例的噴頭的截面圖。
圖4是表示實(shí)施例的液晶顯示裝置的截面結(jié)構(gòu)的圖。
圖5是表示實(shí)施例的液晶面板的制造工序的圖。
圖6-1是用于說明實(shí)施例的預(yù)備工序的說明圖。
圖6-2是用于說明實(shí)施例的預(yù)備工序的說明圖。
圖6-3是用于說明實(shí)施例的預(yù)備工序的說明圖。
圖7是表示樣本基板上的各單元形成區(qū)域的液晶的膜厚測定結(jié)果的一例的圖。
圖8-1是用于說明實(shí)施例的液晶面板的制造工序的說明圖。
圖8-2是用于說明實(shí)施例的液晶面板的制造工序的說明圖。
圖8-3是用于說明實(shí)施例的液晶面板的制造工序的說明圖。
圖8-4是用于說明實(shí)施例的液晶面板的制造工序的說明圖。
圖9-1是表示具備實(shí)施例的電光裝置的個(gè)人電腦的立體圖。
圖9-2是表示具備實(shí)施例的電光裝置的攜帶電話機(jī)的立體圖。
圖中1-液滴噴出裝置，2-涂敷液，11-液滴噴頭，12-膜厚測定機(jī)構(gòu)，13-液滴噴出機(jī)構(gòu)，14-移動(dòng)機(jī)構(gòu)，15-控制機(jī)構(gòu)，16-基板工作臺(tái)，17-噴頭支撐部，18-臺(tái)架，19-臺(tái)架驅(qū)動(dòng)部，20-θ軸臺(tái)架，21-臺(tái)架，22-管道，23-儲(chǔ)液罐，31-噴嘴板，32-振動(dòng)板，33-隔離構(gòu)件(存儲(chǔ)板)，34-空間，35-液體貯留室，36-供給口，37-噴嘴，37a-噴孔，38-壓電元件，39-電極，100-液晶顯示裝置，100a-液晶面板，101-上基板，102-下基板，103a、103b-透明電極膜(ITO膜)，104a、104b-配線膜，105-間隔件，106-密封材，107-液晶，108-相位基板，109a、109b-偏振片，110-背光燈，150-樣本基板，201-第一母基板，202-第二母基板，300-個(gè)人電腦，301-鍵盤，302-主體部，303-顯示部，400-攜帶電話機(jī)，401-操作按鈕，402-接聽口，403-發(fā)送口，404-顯示部。
具體實(shí)方式下面，參照著本發(fā)明的附圖，詳細(xì)說明本發(fā)明。另外，本發(fā)明并不是僅由該實(shí)施例所限定。另外，在下述實(shí)施例中的構(gòu)成要素中，還包含本領(lǐng)域技術(shù)人員容易想到的或者實(shí)質(zhì)上相同的發(fā)明。
另外，在以下的實(shí)施例中，關(guān)于無源矩陣型液晶顯示裝置進(jìn)行了例示說明，但本發(fā)明的液晶并不僅限于此。另外，在以下的實(shí)施例中，關(guān)于單色的液晶顯示裝置進(jìn)行了例示說明，但本發(fā)明的適用對象并不僅限于單色的液晶顯示裝置。
(實(shí)施例)[液滴噴出裝置]圖1是表示本發(fā)明的液滴噴出裝置1的整體結(jié)構(gòu)的簡要立體圖。如圖1所示，液滴噴出裝置1具備以下各部分備有在基板10的表面噴出例如液晶等涂敷液2的液滴噴頭11、和測定涂敷在基板10上的涂敷液2的膜厚的膜厚測定機(jī)構(gòu)12的液滴噴出機(jī)構(gòu)13；將液滴噴頭11和膜厚測定機(jī)構(gòu)12以相對于基板10的位置進(jìn)行移動(dòng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)14；控制液滴噴出裝置13和移動(dòng)機(jī)構(gòu)14的控制機(jī)構(gòu)15。為便于說明，該圖中放大圖示了液滴噴頭11和膜厚測定機(jī)構(gòu)12。
移動(dòng)機(jī)構(gòu)14由以下兩部分構(gòu)成在載置于工作臺(tái)16上的基板10的上方，將液滴噴頭11和膜厚測定機(jī)構(gòu)12朝下方側(cè)支撐的同時(shí)，通過移動(dòng)自由的臺(tái)架18，在X軸方向自由移動(dòng)的噴頭支撐部17；以及，相對于上方的液滴噴頭11，將基板10與工作臺(tái)16一同，在Y軸方向移動(dòng)的臺(tái)架驅(qū)動(dòng)部19。
噴頭支撐部17具備以下各機(jī)構(gòu)將液滴噴頭11和膜厚測定機(jī)構(gòu)12相對于基板10能在其垂直軸方向(Z軸)以任意移動(dòng)速度移動(dòng)且能確定位置的例如直線電動(dòng)機(jī)等機(jī)構(gòu)；通過以垂直軸為中心旋轉(zhuǎn)液滴噴頭11而能設(shè)定成相對于基板10成任意角度的步進(jìn)電動(dòng)機(jī)等機(jī)構(gòu)。
臺(tái)架驅(qū)動(dòng)部19具備以下各部分以垂直軸為中心旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)16，從而能設(shè)定成相對于上方的液滴噴頭11成任意角度的θ軸臺(tái)架20；將工作臺(tái)16相對于液滴噴頭11在水平方向(Y方向)移動(dòng)且確定位置的臺(tái)架21。另外，θ軸臺(tái)架20由步進(jìn)電動(dòng)機(jī)等構(gòu)成，臺(tái)架21由直線電動(dòng)機(jī)等構(gòu)成。
液滴噴出機(jī)構(gòu)13具備液滴噴頭11、和經(jīng)由管道22與其連接的儲(chǔ)液罐23。儲(chǔ)液罐23存儲(chǔ)涂敷液2，且經(jīng)由管道22將涂敷液2供給至液滴噴頭11。涂敷液2可使用液晶材料。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，液滴噴出機(jī)構(gòu)13從液滴噴頭11噴出儲(chǔ)存在儲(chǔ)液罐23的涂敷液2，且將該涂敷液2涂敷在基板10上。
液滴噴頭11是例如通過壓電元件壓縮液室，并由該壓力噴出液滴(液狀材料)，且具備排列成一列或者多列的多個(gè)噴嘴(噴孔)。下面，參照圖2，詳細(xì)說明液滴噴頭11的結(jié)構(gòu)。圖2是液滴噴頭11的分解立體圖，圖3是液滴噴頭11的截面圖。如圖2和圖3所示，液滴噴頭11具備例如不銹鋼制的噴嘴板31和振動(dòng)板32，且經(jīng)由隔離部件(儲(chǔ)備板)33接合這兩者。在噴嘴板33和振動(dòng)板32之間，基于隔離部件，形成有多個(gè)空間34和液體貯留室35。各空間34和液體貯留室35的內(nèi)部充滿涂敷液2(圖中未示出)，且各空間34和液體貯留室35經(jīng)由供給口36進(jìn)行連通。另外，在噴嘴板31上，形成有用于從各空間34噴射涂敷液2的微孔狀的噴嘴37。另一方面，在振動(dòng)板32上，形成有向液體貯留室35供給涂敷液2的孔37a。
如圖2和3所示，在振動(dòng)板32的與空間相對的面的相反側(cè)的面上，接合有壓電元件38。如圖2所示，該壓電元件38位于一對電極39、39之間，而當(dāng)通電時(shí)它就會(huì)以向外側(cè)突出的方式彎曲。并且在這種構(gòu)成中，接合有壓電元件38的振動(dòng)板32與壓電元件38形成一體并同時(shí)也向外側(cè)彎曲，由此，使空間34的內(nèi)部的容積增大。從而，相當(dāng)于增大的容積大小的涂敷液2，經(jīng)由供給口36，從液體貯留室35流入到空間34內(nèi)。另外，如果從該狀態(tài)下解除像壓電元件38的通電，則壓電元件38和振動(dòng)板32都恢復(fù)原形狀。從而，空間34也恢復(fù)原來的容積，使空間內(nèi)部的涂敷液2的壓力上升，進(jìn)而從噴嘴37朝向基板10噴出涂敷液2的噴霧狀液滴。
另外，在液滴噴頭11的內(nèi)部，設(shè)置有由加熱器和溫度傳感器構(gòu)成的圖中未示出的加熱機(jī)構(gòu)?？刂茩C(jī)構(gòu)15基于加熱機(jī)構(gòu)的溫度傳感器的輸出，以液滴噴頭11成規(guī)定溫度的方式，控制加熱機(jī)構(gòu)的加熱器的溫度。這樣，可以使從液滴噴頭11噴出的涂敷液2的粘度處于規(guī)定的低粘度狀態(tài)。
另外，作為液滴噴頭11的方式，還可以采用除上述的使用壓電元件的壓電噴出型以外的方式，例如，可以通過用超聲波發(fā)動(dòng)機(jī)、直線發(fā)動(dòng)機(jī)等引起振動(dòng)，或者在儲(chǔ)液罐內(nèi)施加壓力，從噴嘴37噴射出涂敷液2。
所述膜厚測定機(jī)構(gòu)12，通過液滴噴頭11，測定涂敷在基板10上的涂敷液2的膜厚，并將該膜厚測定結(jié)果輸出到控制機(jī)構(gòu)15。膜厚的測定方法可使用公知的方法，例如，可使用偏振光分析測定法(偏振光解析)的原理或者干涉式膜厚測定技術(shù)進(jìn)行測定。另外，關(guān)于測定膜厚時(shí)的測定點(diǎn)，可采用僅測定中心點(diǎn)的方法、或者采用測定包含中心點(diǎn)的多個(gè)點(diǎn)的膜厚再取平均值的方法等中的任何一個(gè)方法。
所述控制機(jī)構(gòu)15，由對裝置整體進(jìn)行控制的微處理器等的CPU、和具有各種信號的輸入輸出功能的計(jì)算機(jī)等構(gòu)成，且如圖1所示，分別與液滴噴出機(jī)構(gòu)13、移動(dòng)機(jī)構(gòu)14進(jìn)行電連接，并控制基于液滴噴出機(jī)構(gòu)13的噴出動(dòng)作、基于移動(dòng)機(jī)構(gòu)14的移動(dòng)動(dòng)作。另外，根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，調(diào)整涂敷液2的噴出條件(驅(qū)動(dòng)電壓波形、滴液體次數(shù))，控制形成的薄膜的涂敷量。
即，控制機(jī)構(gòu)15作為發(fā)揮控制所述涂敷量的功能的機(jī)構(gòu)，具備以下各功能調(diào)整對于基板10的涂敷液2的噴出間隔的控制功能；調(diào)整每一個(gè)點(diǎn)的液狀噴出液的噴出量的控制功能；調(diào)整噴嘴的排列方向與基于移動(dòng)機(jī)構(gòu)的移動(dòng)方向之間的角度(θ)的控制功能；將基板上分成多個(gè)區(qū)域并對各個(gè)區(qū)域設(shè)置噴出條件的控制功能。
另外，控制機(jī)構(gòu)15作為調(diào)整上述噴出間隔的控制機(jī)構(gòu)，具有以下功能，即，調(diào)整基板10與液滴噴出頭11之間的相對移動(dòng)速度而調(diào)整噴出間隔的控制功能；調(diào)整移動(dòng)機(jī)構(gòu)14上的噴出時(shí)間間隔而調(diào)整噴出間隔的控制功能；任意地設(shè)定多個(gè)噴嘴中同時(shí)噴出涂敷液2的噴嘴而調(diào)整噴出間隔的控制功能；控制液滴噴頭11內(nèi)的加熱機(jī)構(gòu)而將液滴噴頭11調(diào)整為規(guī)定溫度的控制功能。
下面，參照著圖4～圖8，對于使用所述液滴噴出裝置1制造液晶顯示裝置的情況進(jìn)行說明。圖4是表示本實(shí)施例的液晶顯示裝置的截面結(jié)構(gòu)的概略圖。
如圖4所示，液晶顯示裝置100的液晶面板100a由以下各部分構(gòu)成以玻璃基板為主體，在相對面形成透明導(dǎo)電膜(ITO膜)103a、103b以及取向膜104a、104b的上基板101和下基板102；夾持在該上下兩個(gè)基板101、102之間的多個(gè)間隔件105；密封上下兩個(gè)基板101、102之間的密封材106；填充在上下兩個(gè)基板101、102之間的液晶107。另外，液晶顯示裝置100，在該液晶面板100a的上基板101的背面疊層有相位基板108和偏振片109a，且在該下基板102的背面疊層有偏振片109b和背光燈110。
在本實(shí)施例中，對使用能制造多個(gè)基板的大面的玻璃基板(以下，稱為“母基板”)，一次大量制造多個(gè)液晶面板100a的實(shí)例，進(jìn)行說明。圖5是表示液晶面板100a的制造工序的圖；圖6是用于說明預(yù)備工序的說明圖；圖7是表示樣本基板上的各單元形成區(qū)域的液晶的膜厚測定結(jié)果的一例的圖；圖8是用于說明本制造工序的說明圖。參照圖5～圖8，說明液晶面板100a的制造方法。在本實(shí)施例中，關(guān)于由圖8-1和圖8-2所示的第一和第二母基板201、202制造26片液晶面板100a的情況，進(jìn)行說明。在第一和第二母基板201、202中，將形成液晶面板100a的區(qū)域稱為單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26。
圖5所示的液晶面板100a的制造工序由以下兩部分構(gòu)成，即用于確定在液滴噴頭11的液晶的噴出條件的預(yù)備工序(S1)；以及，按照預(yù)備工序(S1)確定的液晶的噴出條件，涂敷液晶而制造液晶面板100a的本制造工序(S2)。通常，在從液滴噴頭11噴出成為目標(biāo)膜厚(理論值)的液晶的噴出量的噴出條件下進(jìn)行噴出，則會(huì)形成目標(biāo)膜厚(理論值)，但如上所示有時(shí)由于液滴噴頭的溫度的降低、或者伴隨液滴噴頭11的換行動(dòng)作而造成的墨水供給流路的曲率變化等，而使液晶噴出量減少，進(jìn)而使實(shí)測的膜厚(實(shí)測值)與目標(biāo)膜厚(理論值)有所偏差。在本實(shí)施例中，為了通過補(bǔ)正理論值和實(shí)測值之間的偏差而獲得目標(biāo)厚度，進(jìn)行預(yù)備工序，從而算出液滴噴頭11的液晶的噴出條件。
首先說明預(yù)備工序(S1)。如圖5所示，預(yù)備工序(S1)由預(yù)備液晶涂敷工序(S11)、膜厚測定工序(S12)、液晶噴出條件算出工序(S13)構(gòu)成。在圖1的液滴噴出裝置1的工作臺(tái)16上，將具有與第一和第二母基板201、202相同大小的樣本基板150(參照圖6-1)，朝上水平載置而支撐。
而且，如圖6-2所示，液滴噴出裝置1的控制機(jī)構(gòu)15，在相同的條件(用于使噴出量X噴出的的噴出條件)下，從該液滴噴頭11朝向樣本基板150的表面的各單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26依次噴出液晶107(預(yù)備液晶涂敷工序S11)。從液滴噴頭11噴出的液晶107，以一定的厚度相同地分布。
此后，如圖6-3所示，控制機(jī)構(gòu)15通過膜厚測定機(jī)構(gòu)12，測定涂敷到樣本基板150的各單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的液晶107的厚度(膜厚測定工序S12)。在膜厚測定機(jī)構(gòu)12將樣本基板150的各單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的液晶107的厚度測定結(jié)果輸出到控制機(jī)構(gòu)15?？刂茩C(jī)構(gòu)15基于各單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的液晶107的膜厚測定結(jié)果，算出液滴噴頭11的各單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的液晶的噴出條件(噴出量)，并將該數(shù)據(jù)存儲(chǔ)(液晶噴出條件算出工序S13)。另外，在進(jìn)行膜厚測定時(shí)，最好使用多個(gè)樣本基板150，將它們的平均值作為膜厚測定結(jié)果。
算出各單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的液晶的噴出條件的方法有以下兩種，即，(1)在每個(gè)單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26，獨(dú)立地算出噴出條件、以及(2)解析在單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26內(nèi)的液晶的膜厚的增減模式，算出噴出條件。
以下進(jìn)一步說明這兩種方法。
(1)在每個(gè)單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26，獨(dú)立地算出噴出條件在每個(gè)單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26，基于測定的膜厚，獨(dú)立地算出液晶的噴出條件(噴出量)。例如，在目標(biāo)厚度是Aμm而測定膜厚是A+a1μm的情況下，確定為減少膜厚a1的噴出量X1，另外，在目標(biāo)厚度是Aμm而測定膜厚是A-a2μm的情況下，確定為增加膜厚a2的噴出量X2，最后，確定能夠噴出以上確定的噴出量的噴出條件(驅(qū)動(dòng)電壓波形、液滴噴出次數(shù))。根據(jù)該方法，由于基于各單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的已測定的膜厚，在每個(gè)單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26獨(dú)立地確定噴出量，因此在每個(gè)單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26，可以高精度地補(bǔ)正理論值與實(shí)測值之間的偏差。
(2)解析在單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26內(nèi)的液晶的膜厚的增減模式，算出噴出條件根據(jù)多變量解析，對涂敷在單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的液晶的膜厚的測定結(jié)果進(jìn)行解析，并按照解析結(jié)果，確定在液滴噴頭11的各單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的液晶的噴出條件。例如如果有膜厚變薄(噴出量減少)的傾向，則以噴出量逐次提高的方式控制；或者，在例如在液滴噴出頭11每次改行時(shí)具有膜厚增加(噴出量增加)的傾向，則在每次改行時(shí)以噴出量逐次減少的方式控制。具體地說，對涂敷在單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的液晶的測定膜厚進(jìn)行多變量解析，算出膜厚的重回歸式，并基于該重回歸式，算出使實(shí)測值成為目標(biāo)厚度的液晶噴出量，再基于該噴出量，確定各單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的液晶的噴出條件?；诟鲉卧纬蓞^(qū)域I1～I(xiàn)26的整體、列單位、或者行單位，算出所述液晶的測定膜厚的重回歸式。在需要以高精度管理膜厚時(shí)，最好基于列單位或者行單位進(jìn)行。
圖7是表示樣本基板150上的各單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的液晶的膜厚測定結(jié)果的一例的圖。該圖中的實(shí)例表示了每進(jìn)行液滴噴頭11的改進(jìn)時(shí)減少膜厚，且在同一列內(nèi)，也伴隨著噴出時(shí)間經(jīng)過而減少膜厚的情況。在該圖中，橫軸表示單元形成區(qū)域的No、縱軸表示膜厚(μm)，且目標(biāo)膜厚為2.9μm。在該圖中，表示了單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的整體的重回歸式(1)、單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的列單位的重回歸式(2)。在需要以高精度管理膜厚時(shí)，使用列單位的重回歸式(2)，在需要的精度要求沒那么高的情況下，使用整體的重回歸式(1)。
接著，參照上述圖5，說明本制造工序(S2)。如圖5所示本制造工序(S2)由透明電極形成工序(S21、S25)、取向膜形成工序(S22、S26)、密封印刷工序(S23)、液晶涂敷工序(S24)、間隔件涂敷工序(S27)、接合工序(S28)、切斷工序(S29)構(gòu)成。
首先，在如圖8-1所示的第一母基板201的表面的各單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26上形成透明電極103b(透明電極形成工序S21)，然后在透明電極103b上形成取向膜104b(取向膜形成工序S22)。
此后，如圖8-3所示，在第一母基板201的電極形成側(cè)的表面，沿各單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的周緣，以框狀印刷由光固化性樹脂構(gòu)成的密封材106(密封印刷工序S23)。該密封材的印刷，可以使用圖1所示的液滴噴出裝置1。
接著，在圖1所示的液滴噴出裝置1的工作臺(tái)16上，將第一母基板201以使設(shè)置有密封材106的表面朝上的方式水平載置而支撐。然后，如圖8-4所示，液滴噴出裝置的控制機(jī)構(gòu)15按照在上述的液晶噴出條件算出工序(S13)中算出的噴出條件，從其液滴噴頭11向第一母基板201的表面的各單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的密封材106的內(nèi)側(cè)區(qū)域，依次噴出液晶107(液晶涂敷工序S24)。從液滴噴頭11噴出的液晶107，在密封材106的內(nèi)側(cè)的整個(gè)區(qū)域以一定的厚度相同地分布。
另一方面，在第二母基板202的表面的各單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26上形成透明電極103a(透明電極形成工序S25)，然后在透明電極103a上形成取向膜104a(取向膜形成工序S26)。接著，在取向膜104a上的規(guī)定位置上，分散間隔件105而進(jìn)行固定(間隔件涂敷工序S27)。
然后，在第一母基板201之上，將第二母基板202以形成電極的表面朝下的方式相對地重合。接著，在第二母基板202的下方施加一定的壓力的同時(shí)，通過兩個(gè)母基板201、202之間的間隔件105保證均勻的隔離，并以該狀態(tài)向密封材106照射紫外線而進(jìn)行固化，通過該密封材106接合兩個(gè)母基板201、202，最終形成包含26個(gè)液晶面板100a的大型面板結(jié)構(gòu)(接合工序S28)?？紤]到在該接合工序中防止氣泡混入到液晶107內(nèi)，該工序最好在真空腔內(nèi)進(jìn)行。此后，切斷大型面板結(jié)構(gòu)，獲得26個(gè)液晶面板100a(切斷工序S29)。
另外，在上述實(shí)施例中，使用一個(gè)液滴噴出裝置1，進(jìn)行了預(yù)備液晶涂敷工序、液晶膜厚測定工序，但也可以用分別的裝置進(jìn)行各工序。更具體地說，使用第一液滴噴出裝置進(jìn)行液晶涂敷工序，且使用獨(dú)立設(shè)置的膜厚裝置進(jìn)行液晶膜厚測定工序。
另外，在上述實(shí)施例中，在涂敷液晶107的第一母基板201上形成了密封材106，但也可以在第二母基板202側(cè)形成，或者在兩個(gè)基板上都形成。另外，在上述實(shí)施例中，將間隔件105分散在第二母基板202側(cè)，但也可以將間隔件105分散在第一母基板201側(cè)。另外，在上述實(shí)施例中，將液晶107涂敷在第一母基板201側(cè)，但也可以將液晶107涂敷在第二母基板202側(cè)。
如以上說明，根據(jù)上述實(shí)施例，該制造工序包括以下各工序在樣本基板150的多個(gè)單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26上，將液滴噴頭11以規(guī)定掃描方向掃描，從而在一定的噴出條件下涂敷液晶107的預(yù)備液晶涂敷工序(S11)；分別測定涂敷在多個(gè)單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的液晶的膜厚的膜厚測定工序(S12)；基于膜厚測定工序(S12)的膜厚測定結(jié)果，算出用液滴噴頭11向多個(gè)單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26進(jìn)行噴出的液晶噴出條件的液晶噴出條件算出工序(S13)；按照在液晶噴出條件算出工序(S13)中算出的液晶噴出條件，在第一母基板201的多個(gè)單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26，將液滴噴頭11以規(guī)定掃描方向掃描，從而涂敷液晶的液晶涂敷工序(S24)。
由此，可以使在各單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的液晶的膜厚一定，從而防止膜厚的參差不一，且在用密封材106粘合基板間的情況下，可以使單元·間隔變得均勻，從而能以一定的壓力對整個(gè)基板加壓，進(jìn)而能夠降低液晶面板的不合格率。其結(jié)果，在使用大型基板粘合法和液晶滴下法制造液晶顯示裝置的情況下，可以提供降低液晶面板的不合格率的液晶顯示裝置的制造方法。
另外，根據(jù)上述實(shí)施例，在液晶噴出條件算出工序(S13)中，基于在膜厚測定工序(S12)測定的多個(gè)單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的液晶107的膜厚，對每個(gè)單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26獨(dú)立地進(jìn)行在液滴噴頭11的液晶107的噴出條件，因此可以對每個(gè)單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26，以高精度補(bǔ)正理論值(目標(biāo)厚度)和實(shí)測值(測定厚度)之間的偏差。
另外，根據(jù)所述的實(shí)施例，在液晶噴出條件算出工序(S13)中，解析在所述膜厚測定工序(S12)中測定的多個(gè)單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的液晶107的膜厚的增減模式，并按照已解析的增減模式，算出用所述液滴噴頭向多個(gè)單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26進(jìn)行噴出的液晶107的噴出條件，因此，可以對具有規(guī)則性的膜厚變化進(jìn)行簡單的補(bǔ)正，從而高精度地補(bǔ)正各單元形成區(qū)域I1～I(xiàn)26的理論值(目標(biāo)膜厚)與實(shí)測值(測定膜厚)之間的偏差。另外，根據(jù)上述選實(shí)施例，用加熱機(jī)構(gòu)對所述液滴噴頭11進(jìn)行加熱因此可以降低液晶的粘度，使液晶噴出量更加穩(wěn)定。
下面，參照圖9，說明可適用本發(fā)明的液晶顯示裝置的電子設(shè)備的具體例。圖9-1是表示將本發(fā)明的電光裝置使用于可移動(dòng)型個(gè)人電腦300(所謂筆記本電腦)的顯示部的立體圖。如該圖所示，個(gè)人電腦300具有具備了鍵盤301的主體部302、和適用本發(fā)明的液晶顯示裝置的顯示部303。圖9-2是表示將本發(fā)明的電光裝置適用于攜帶電話機(jī)的400的顯示部的立體圖。
如該圖所示，攜帶電話機(jī)400不僅具備多個(gè)操作按鈕401，還具備接聽口402、發(fā)送口403、以及適用本發(fā)明的電光裝置的顯示部404。
除了上述的攜帶電話機(jī)和筆記本電腦，本發(fā)明的電子設(shè)備還可以廣泛應(yīng)用于被稱為PDA(Personal Digital Assistants)的攜帶型信息設(shè)備、攜帶型個(gè)人電腦、個(gè)人電腦、工作站、數(shù)碼靜物照相機(jī)、車載用監(jiān)視器、數(shù)碼攝像機(jī)、液晶電視、取景型或者監(jiān)視直視型的錄像機(jī)、汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子筆記本、臺(tái)式電子計(jì)算器、文字處理器、工作站、電視電話機(jī)、以及POS終端機(jī)等電子設(shè)備。
本發(fā)明的液滴噴出裝置可廣泛利用于工業(yè)上各領(lǐng)域的成膜處理中。
另外，本發(fā)明的液晶顯示裝置，可利用于透射型、反射型、以及半透射型、單色、彩色的液晶顯示裝置。另外，本發(fā)明的液晶顯示裝置，可作為無源矩陣型液晶顯示裝置或者有源矩陣型液晶顯示裝置(例如，將TFT(薄膜晶體管)或者TFD(薄膜二極管)作為開關(guān)元件具備的液晶面板)利用。另外，搭載有本發(fā)明的液晶顯示裝置的電子設(shè)備，可廣泛利用于攜帶電話機(jī)、被稱為PDA(Personal Digital Assistants)的攜帶型信息設(shè)備、攜帶型個(gè)人電腦、個(gè)人電腦、工作站、數(shù)碼靜物照相機(jī)、車載用監(jiān)視器、數(shù)碼攝像機(jī)、液晶電視、取景型或者監(jiān)視直視型的錄像機(jī)、汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子筆記本、臺(tái)式電子計(jì)算器、文字處理器、工作站、電視電話機(jī)、以及POS終端機(jī)等電子設(shè)備。
權(quán)利要求
1.一種液晶顯示裝置的制造方法，在向第一母基板和第二母基板中的至少一方滴下液晶之后，經(jīng)由密封材，粘合所述第一母基板和所述第二母基板而形成包含多個(gè)液晶面板部分的大型面板結(jié)構(gòu)，然后，對所述多個(gè)液晶面板進(jìn)行切斷，其特征是，包括在樣本基板的多個(gè)單元形成區(qū)域，將液滴噴頭以規(guī)定掃描方向掃描，并以規(guī)定噴出條件使液晶噴出而涂敷液晶的預(yù)備液晶涂敷工序；分別測定涂敷在所述多個(gè)單元形成區(qū)域的液晶的膜厚的膜厚測定工序；基于所述膜厚測定工序的膜厚測定結(jié)果，算出從所述液滴噴頭向所述多個(gè)單元形成區(qū)域噴出的液晶噴出條件的液晶噴出條件算出工序；按照在所述液滴噴出條件算出工序中算出的液晶噴出條件，在所述第一母基板和第二母基板中的至少一方的多個(gè)單元形成區(qū)域，將所述液滴噴頭以所述規(guī)定掃描方向掃描而涂敷液晶的液晶涂敷工序。
2.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示裝置的制造方法，其特征是在所述液晶噴出條件算出工序中，基于在所述膜厚測定工序中測定的所述多個(gè)單元形成區(qū)域的液晶的膜厚，在每個(gè)單元形成區(qū)域，獨(dú)立地算出所述液滴噴頭的液晶噴出條件。
3.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示裝置的制造方法，其特征是在所述液晶噴出條件算出工序中，對在所述膜厚測定工序中測定的所述多個(gè)單元形成區(qū)域的液晶的膜厚的增減模式進(jìn)行解析，并按照已解析的增減模式，算出用所述液滴噴頭向所述多個(gè)單元形成區(qū)域噴出的液晶噴出條件。
4.如權(quán)利要求3所述的液晶顯示裝置的制造方法，其特征是以所述多個(gè)單元形成區(qū)域的整體、列單位、或者行單位進(jìn)行所述液晶的膜厚的增減模式的解析。
5.如權(quán)利要求1所述的液晶顯示裝置的制造方法，其特征是所述噴出條件是所述液滴噴頭的驅(qū)動(dòng)電壓波形和/或液晶滴下次數(shù)
6.如權(quán)利要求1～5中的任何一項(xiàng)所述的液晶顯示裝置的制造方法，其特征是用加熱機(jī)構(gòu)對所述液滴噴頭進(jìn)行加熱。
7.一種液晶顯示裝置，其特征是根據(jù)權(quán)利要求1～6中的任何一項(xiàng)所述的液晶顯示裝置的制造方法制造。
8.一種電子設(shè)備，其特征是搭載有權(quán)利要求7所述的液晶顯示裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種液晶顯示裝置的制造方法，包括在樣本基板的多個(gè)單元形成區(qū)域，將液滴噴頭以規(guī)定掃描方向掃描，并以規(guī)定噴出條件使液晶噴出而涂敷液晶的預(yù)備液晶涂敷工序；分別測定涂敷在所述多個(gè)單元形成區(qū)域的液晶的膜厚的膜厚測定工序；基于所述膜厚測定工序的膜厚測定結(jié)果，算出從所述液滴噴頭向所述多個(gè)單元形成區(qū)域噴出的液晶噴出條件的液晶噴出條件算出工序；按照在所述液滴噴出條件算出工序中算出的液晶噴出條件，在第一母基板和第二母基板中的至少一方的多個(gè)單元形成區(qū)域，將所述液滴噴頭以所述規(guī)定掃描方向掃描而涂敷液晶的液晶涂敷工序。根據(jù)本發(fā)明可以降低液晶面板的不合格率。
文檔編號G02F1/13GK1629687SQ20041010220
公開日2005年6月22日 申請日期2004年12月15日 優(yōu)先權(quán)日2003年12月17日
發(fā)明者巖田裕二, 櫻田和昭 申請人:精工愛普生株式會(huì)社